「surface plate method」に関連した英語例文の一覧と使い方(30ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide a heat mode-type original plate for a positive type lithographic printing plate, which is suitable for a heat-mode plate making method using laser exposure, which can be made by being directly mounted on a printing press, without processing after a short-time scanning exposure, which is excellent in printing resistance, and which reduces printing scums on a printed surface.例文帳に追加

レーザー露光を用いるヒートモードの製版方式に適した、短時間での走査露光ののちに現像処理を行うことなく直接に印刷機に装着して製版することが可能であり、耐刷性にすぐれ、印刷面上の印刷汚れも少ないヒートモード型のポジ型平版印刷版用原版を提供する。 - 特許庁

The method for developing a planographic printing plate having physical developing nuclei between an anodically oxidized aluminum support and a silver halide emulsion layer and applying a silver complex salt diffusion transfer process, is characterized in that the plate surface of the planographic printing plate is coated with an amino acid-containing developing solution.例文帳に追加

陽極酸化されたアルミニウム支持体とハロゲン化銀乳剤層の間に物理現像核を有する銀錯塩拡散転写法を利用した平版印刷版の現像処理方法において、アミノ酸を含有する現像液を前記平版印刷版の版面上に塗布する事を特徴とする平版印刷版の現像処理方法。 - 特許庁

In this method for manufacturing the lithographic printing plate support, the lithographic printing plate support is obtained by performing an electrochemical surface roughening process using alternating current in an aqueous solution 14 containing at least, nitric acid, aluminum nitrate and sulfuric acid and an etching process in an aqueous alkali solution, to an aluminum plate 11 in that order.例文帳に追加

アルミニウム板１１に、少なくとも、硝酸、硝酸アルミニウムおよび硫酸を含有する水溶液中１４での交流電流を用いた電気化学的粗面化処理、および、アルカリ水溶液中でのエッチング処理をこの順に施し、平版印刷版用支持体を得る、平版印刷版用支持体の製造方法。 - 特許庁

The screen plate having high solvent resistance, water resistance and wear resistance is provided by the method for manufacturing the plate comprising the steps of covering an overall surface of a screen mesh 10 made of stainless steel or amorphous metal with thermoplastic resin or reaction curable resin having no photosensitive properties, then irradiating the surface with an excimer laser to form a desired opening part for a pattern at the mesh surface.例文帳に追加

ステンレス製またはアモルフアス金属からなるスクリーンメッシュ１０全面を、感光性の無い熱可塑性樹脂または反応硬化性樹脂で被覆した後、この表面にエキシマーレーザを照射してスクリーンメッシュ面にパターン用の所望の開口部を形成することによつて、耐溶剤性、耐水性、耐磨耗性の高いスクリーン版とその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a surface-treated cold-rolled steel plate, by which a cleaning process before an annealing process and/or a cleaning process after the annealing process and before a surface treatment process can be stably performed by immersion cleaning without causing excess foam formation so that a surface treatment failure is not caused on an obtained cold-rolled steel plate.例文帳に追加

焼鈍工程の前の洗浄工程、及び／又は、前記焼鈍工程の後で表面処理工程の前の洗浄工程を、過剰な発泡を伴うことなく安定に、かつ、得られる冷間圧延鋼板に表面処理不良が生じないように、浸漬洗浄により行うことができる、表面処理された冷間圧延鋼板の製造方法を提供すること。 - 特許庁

This cutting method of a radiographic image conversion plate is a cutting method for cutting by laser light, the radiographic image conversion plate produced by forming a phosphor layer on a metal thin film layer by a vapor-phase sedimentation method, relative to a support formed of a polymer material and having the metal thin film layer on the surface.例文帳に追加

この放射線画像変換プレートの断裁方法は、高分子材料により形成され、その表面に金属薄膜層を有する支持体に対して、気相堆積法により前記金属薄膜層上に蛍光体層を形成することで作成された放射線画像変換プレートをレーザー光により断裁する断裁方法である。 - 特許庁

In the cooling method for cooling the hot-rolled thick steel plate with cooling water, the coolant volume is adjusted in compliance with the change of surface roughness of rolls accompanied by the increase of an accumulative rolling volume, and the cooling method for the thick steel plate is characterized in that the cooling method is executed in the beginning of rolling before the adjustment reaching the accumulative rolling volume predetermined in advance.例文帳に追加

圧延ロールで熱間圧延した厚鋼板を冷却水で冷却する方法において、累積圧延量の増加に伴う圧延ロールの表面粗度の変化に対応させ、前記冷却水の水量を調整し、その調整を予め設定した累積圧延量に達する迄の圧延初期に行う厚鋼板の冷却方法。 - 特許庁

In the method for treating the planographic printing plate using a silver complex salt diffusion transfer method with at least a silver halide emulsion layer provided on an anodized aluminum support, phosphoric acid and an alkaline earth metal are simultaneously applied or the phosphoric acid is applied in advance to a printing plate surface development-treated with an application method.例文帳に追加

陽極酸化されたアルミニウム支持体上に少なくともハロゲン化銀乳剤層を有する銀錯塩拡散転写法を利用した平版印刷版の処理方法において、塗布方式により現像処理された版面にリン酸とアルカリ土類金属を同時またはリン酸を先に施すことを特徴とする平版印刷版の処理方法。 - 特許庁

To provide a developer stably having good developing property to a non-image area and less liable to damage an image area in development of a photopolymerizable photosensitive lithographic printing plate material, and capable of giving a lithographic printing plate having high image strength, excellent in printing durability and free of soiling of a plate surface by sludge accumulated in a developing tank, and a plate making method using the same.例文帳に追加

光重合型感光性平板材料の現像処理において、非画像部に対し安定的に良好な現像性を有し、画像部に対してダメージが少なく強固な画像強度を有し耐刷性に優れ、且つ現像槽に蓄積するスラッジによる版面の汚れのない平板印刷版を得ることができる現像液、及びそれを用いた製版方法を提供する。 - 特許庁

A method for manufacturing the printed metal plate for manufacturing the can comprises the steps of continuously adhering thermoplastic resin films on both side surfaces of a strip-like metal plate, then cutting the film- adhered metal plate in a sheet-like state of a predetermined size, and then offset printing the film of a side to become an outer surface of the can of each sheet-like metal plate.例文帳に追加

印刷済み製缶用金属板材の製造方法において、帯状の金属板に対して、その両面に熱可塑性樹脂フィルムを連続して貼着した後で、フィルム貼着済みの帯状金属板を所定の大きさのシート状に切断してから、各シート状金属板のそれぞれに対して、缶の外面となる側で熱可塑性樹脂フィルムの上にオフセット印刷を施す。 - 特許庁

A building finish material placing method is so constituted that the building finish material (tile T) forming a membrane K made of an agar as a material on the surface section thereof is placed on the surface section of the fixed member (PCa plate 5) and that the membrane is eliminated.例文帳に追加

寒天を材料とする被膜Ｋがその表面部に形成されている建築仕上材料（タイルＴ）を、被固着部材（ＰＣａ板５）の表面部に打ち込みし、その後前記被膜を除去する建築仕上材料打ち込み工法とした。 - 特許庁

To provide a printed circuit board, capable of connecting a surface-side wiring layer and a rear-surface side wiring layer which pinch a cooling plate therebetween through the shortest route, an electronic device equipped with the printed circuit board and a manufacturing method of the printed circuit board.例文帳に追加

冷却板を間に挟む表面側の配線層と裏面側の配線層を最短経路で接続することができるプリント配線板、そのプリント配線板を備えた電子装置、およびそのプリント配線板の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a tempered glass which has, when manufacturing a glass plate, the surface strengthened to such an extent that the processing efficiency after glass formation is not affected and the glass surface before chemical strengthening is not easily scratched, and to provide a method for manufacturing the tempered glass.例文帳に追加

ガラス板の製造の際に、ガラス成形後の加工処理の効率に悪影響を与えず、化学強化する前のガラス表面に傷が付き難い程度にガラス表面が強化された強化ガラスと、この強化ガラスの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a work cutting method capable of completely cutting a plate shaped work of a semiconductor material, a glass material or the like while restraining chipping from being produced on the surface and rear surface of the work W when grinding and cutting the work with a thin-bladed whetstone.例文帳に追加

半導体材料やガラス材料等の板状ワークを薄刃砥石で研削切断するにあたり、ワークＷの表面及び裏面に発生するチッピングを抑制して完全切断することのできるワーク切断方法を提供すること。 - 特許庁

This game machine of pachinko or the like is provided with front surface window glass constituted by using at least one glass plate for which the thin film of tin oxide or ITO is formed on one surface manufactured by a float method by using the melted body of the tin oxide or ITO.例文帳に追加

酸化スズまたはＩＴＯの溶融体を用いてフロート法で製造した、片面に酸化スズまたはＩＴＯの薄膜を形成したガラス板を少なくとも１枚を使用して構成される前面窓ガラスを有するパチンコ等の遊技機である。 - 特許庁

The method for manufacturing the building plate comprises applying a coating liquid having polymeric MDI 4 as a principal component on the surface of a wood substrate 1, superimposing the face sheet 3 on this surface of the wood substrate 1 via a paper 2, and then carrying out heating and pressurization to stick the face sheet 3 on the wood substrate 1.例文帳に追加

木質基材１の表面にポリメリックＭＤＩ４を主成分とする塗布液を塗布し、木質基材１のこの表面に紙２を介して化粧シート３を重ねた後、加熱加圧して木質基材１に化粧シート３を貼り付ける。 - 特許庁

To provide a light-weight radiator having a foil-shape radiation fin, capable of preventing beforehand a concave groove produced in one surface by greatly reducing a stress produced when the radiation fin is formed on the other surface of a metal plate, and a method for forming the radiator.例文帳に追加

金属板に一方面に放熱フィンを形成するときのストレスを大幅に減少して、他方面に生ずる凹溝を未然に防止するとともに、放熱器自体を軽量にすることができる放熱器及びその形成方法を提供する。 - 特許庁

The chromium-plated roll on the surface of which the layer of a chromium plate having semispherical projecting shapes of 1-12 μm in diameter and the manufacturing method of the chromium-plated roll by applying chromium-plating after performing blast-processing on the surface of the roll are provided.例文帳に追加

ロール表面にブラスト処理を施した後、クロムめっきを施すことにより、表面に直径１〜１２０μｍの半球状凸形状を有するクロムめっき層を設けることを特徴とするクロムめっきロールと該クロムめっきロールの製造方法。 - 特許庁

To provide a method of fabricating sheet glass that can perfectly prevent sheet glass from falling, when sheet glass is conveyed in and out, and the coated surface can be prevented from being scratched or the like, when the surface-coated glass plate is fabricated, and an apparatus therefor.例文帳に追加

ガラス板を搬入及び搬出する際に、ガラス板の落下をなくすことができ、上面がコーティングされたガラス板の加工に際しては、コーティング面に傷等が生じることのないガラス板の加工方法及びその装置を提供すること。 - 特許庁

To provide a method and an apparatus for machining the surface of a cooling drum for a continuous casting machine of thin cast piece, which enables stable casting of a thin cast metal in which two primary defects of a thin plate product, surface crack and uneven brightness, are simultaneously suppressed.例文帳に追加

薄板製品の二大欠陥である表面割れと光沢むらの発生を同時に抑制した薄鋳片を安定に鋳造し得る薄鋳片連続鋳造機用冷却ドラムの表面加工方法ならびに加工装置を提供する。 - 特許庁

To provide a method to obtain outgoing light with equal light intensity in each wave length in all ranges of a light outgoing surface of a light guide plate in a surface light source apparatus provided with a plurality of point light sources with different outgoing light wave lengths.例文帳に追加

発光波長の異なる複数の点光源を備えた面光源装置において、導光板の光出射面の全ての領域において、各波長の光の強度がほぼ同等である出射光を得るための方法を提供する。 - 特許庁

In a method for manufacturing the light guide plate structure, surface modification is performed on a light guide layer, and an ink is printed on the modified surface of the light guide layer so that the ink is permeated in the light guide layer and a light shielding line is formed in the light guide layer.例文帳に追加

前記の導光板構造の製造に関し、導光層に表面改質が行われ、インクを導光層に浸透させて、導光層に遮光線を形成するべく、導光層の改質された表面にインクが印刷される。 - 特許庁

In an external surface type drum image processing system, a plate positioning mechanism and a method for operation thereof for automatically locating printing plates of various sizes in staging position are disclosed so as to be mounted on a predetermined position on an external surface type drum image processing system.例文帳に追加

外面型ドラム式画像処理システムで、画像処理システムの外面型ドラムの所定位置に取付けるため、中継位置で種々のサイズの印刷版を自動的に位置決めするためのプレート位置決め機構およびその操作方法が示されている。 - 特許庁

To provide a method and device for measuring the surface shape and thickness of plate shape work which can measure the surface shape and thickness of a work in a state put on a machining table and improve the measuring accuracy.例文帳に追加

ワークを加工テーブルに載置した状態で表面形状や板厚を測定することができ、かつ測定精度をさらに向上させることができる板状のワークの表面形状と板厚の測定方法および測定装置を提供する。 - 特許庁

In a method for mounting electronic components to a flexible printed wiring board, when the electronic components are mounted to a surface of the flexible printed wiring board, after the flexible printed wiring board is fixed to a surface of an adhesive layer of a fixing plate having the adhesive layer on the surface, the electronic components are mounted to the surface of the flexible printed wiring board.例文帳に追加

フレキシブルプリント配線板への電子部品の実装方法は、フレキシブルプリント配線板の表面への電子部品の実装に際して、表面に粘着性層を有する固定板の粘着性層表面に、フレキシブルプリント配線板を固定した後、前記フレキシブルプリント配線板の表面に電子部品を実装することを特徴とする。 - 特許庁

The method for manufacturing a chip size package by resin sealing the front surface of a semiconductor wafer having a front surface on which an integrated circuit is formed and a rear surface on the opposite side and then dividing the semiconductor wafer into individual semiconductor chip regions comprises a step for providing a reinforcing plate 50 on the rear surface of the semiconductor wafer before it is segmented into individual pieces.例文帳に追加

集積回路が形成された表面と、前記表面とは反対側の裏面とを有する半導体ウエハの、前記表面を樹脂にて封止した後に個片の前記半導体チップ領域に分割するチップサイズパッケージの製造方法において、前記半導体ウエハの前記裏面に補強板５０を設けた後に個片に分割する工程を有する。 - 特許庁

To provide a cold finish rolling method of a steel strip, for executing cold finish rolling for a steel strip having a plate thickness of ≤2.5 mm into a required thickness without surely causing minute surface flaws; and to provide a cold finish rolling device used for the method.例文帳に追加

板厚が２．５ｍｍ以下の帯鋼を、微少な表面疵を確実に生じることなく、所要の厚みに冷間仕上圧延する帯鋼の冷間仕上圧延方法、およびこれに用いる冷間仕上圧延装置を提供する。 - 特許庁

To provide a method for easily and inexpensively forming irregular shape on a resin surface, and a transfer original mold obtained by using the method, and a transfer original mold forming the transfer original mold, a transfer base film, a transfer film, a diffuse reflector plate and an optical film.例文帳に追加

簡便にかつ安価に樹脂表面凹凸形状を形成できる方法及びそれを用いた転写原型、転写原型を形成する転写原型、転写ベースフィルム、転写フィルム、拡散反射板、光学フィルムを提供する。 - 特許庁

To provide a method which is suitable for continuous treatment and uniformly forms a multilayer thin film at a low cost and to provide an optical film with a thin film formed on the surface by the method, a polarizing plate and an image display device using the optical film.例文帳に追加

連続処理に適しており、安価に多層の薄膜を均一に形成する方法を提供し、更にこの方法で表面に薄膜を形成した光学フィルム、これを用いた偏光板や画像表示装置を提供する。 - 特許庁

To provide a method for easily rendering a resin surface uneven at a low cost, and a transfer original pattern using the method, and to provide a transfer prototype for forming the transfer original pattern, transfer base film, transfer film, diffusion reflecting plate, and an optical film.例文帳に追加

簡便にかつ安価に樹脂表面凹凸形状を形成できる方法及びそれを用いた転写原型、転写原型を形成する転写原型、転写ベースフィルム、転写フィルム、拡散反射板、光学フィルムを提供する。 - 特許庁

The method comprises the steps of: pulverizing two types of rubber having different hardnesses into first and second rubber powders of specific size; mixing the pulverized rubber powders with a liquid rubber; spraying the rubber powder onto the surface of the rigid plate to a specific thickness by a spray method; vulcanizing the rigid plate treated with a coating material; and shearing the rigid plate.例文帳に追加

異なる硬度を有する二種のゴムを一定の大きさの第１、第２のゴム粉末に粉砕する段階；粉砕したゴム粉末を液状ゴムと共に混合する段階；リジッドプレートの表面に一定の厚さでゴム粉末をスプレー方式により噴射する段階；コーティング処理されたリジッドプレートを加硫する段階；リジッドプレートを剪断する段階からなることを特徴とする。 - 特許庁

The method has the structure to secure the cup 3 across a lens rest 10 from the convex surface side of the spectacle lens, is disposed with the reference convex surface inscribed on the transparent plate on the convex surface side of the spectacle lens and positions the layout mark of the convex surface of the spectacle lens through the scale plate.例文帳に追加

眼鏡レンズ１ａの凸面側に透明板に刻んだ基準目盛り板９ａを配し、前記目盛り板を通して眼鏡レンズ凸面上のレイアウトマーク１ｂを位置決めする構造を有することおよび、眼鏡レンズの凸面側からレンズ受け１０を挟んでカップ３を固着する構造を有しかつ眼鏡レンズ凸面側に透明板に刻んだ基準目盛り板を配し、前記目盛り板を通して眼鏡レンズ凸面のレイアウトマークを位置決めする構造。 - 特許庁

To provide a method for producing a solid powder cosmetic for molding a powder cosmetic filled in a middle plate into a solid shape, which is a method for producing a solid powder cosmetic for molding the filled powder cosmetic into the solid shape without wasting it, to thereby dispense with cleaning of the outer surface of the middle plate after molding.例文帳に追加

中皿に充填した粉末化粧料を固形状に成形する固形粉末化粧料の製造方法であって、充填した粉末化粧料を無駄なく固形状に成形し、成形後には中皿の外面を清掃する必要がない固形粉末化粧料の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of a dust core and a manufacturing method of a reactor core by which a bonding surface of a core material constituting the reactor core, etc., opposed to a gap plate is effectively treated without damaging the core material and consequently the peeling strength (shearing strength) of the core material with respect to the gap plate can be enhanced.例文帳に追加

リアクトルコア等を構成するコア材のギャップ板に対向する接着面を該コア材を損傷させることなく効果的に処理することができ、もってコア材のギャップ板に対する剥離強度（せん断強度）を高めることのできる圧粉磁心の製造方法とリアクトルコアの製造方法を提供する。 - 特許庁

This method is a method for performing the controlled cooling 22 of the thick steel plate 1 after finish rolling in a thick steel plate manufacturing process, the distribution of scale thickness is measured 14 and, after reducing variation in the scale thickness to ≤10 μm by descaling 16 or applying a surface film based on the measured result, the controlled cooling 22 is performed.例文帳に追加

厚鋼板製造工程において仕上圧延１０後に厚鋼板１を制御冷却２２する方法であって、スケール厚み分布を計測１４し、スケール厚み分布の計測結果に基づいてデスケーリング１６または表面膜塗布によりスケール厚みのばらつきを１０μm以下とした後、制御冷却２２を行う。 - 特許庁

To provide a box for packing a glass plate, which can be transported efficiently in a stable quality without generating a blemish or a smudging on the surface of a large type glass plate for a flat panel display(liquid crystal display, plasma display panel or the like) and packing operation of which can be carried out efficiently and a packing method and an unpacking method.例文帳に追加

フラットパネルディスプレイ（液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイパネル等）用の大型ガラス板の表面に傷や汚れが発生することなく安定した品質で高効率に搬送でき、また梱包作業を効率よく行うことのできるガラス板梱包箱、梱包方法及び開梱方法を提供する。 - 特許庁

The manufacturing method of the stamper includes a process for forming a metal thin film on a stamper original plate provided with a rugged pattern on a surface layer thereof and a process for forming an electroplating layer by electroplating the stamper original plate in a plating liquid consisting essentially of nickel sulfamate.例文帳に追加

スタンパの製造方法は、凹凸パターンを表層に備えたスタンパ原版に金属薄膜を形成する工程と、このスタンパ原版を用いてスルファミン酸ニッケルを主成分とするメッキ液で電気メッキすることで電気メッキ層を形成する工程とを備える。 - 特許庁

However, an end surface of an end plate entrainment preventive plate 51 arranged close to the wire row 11 makes contact with the wire row 11 before the base metal 12 is cut off, this contact state is detected by a specified detection method, and driving of the wire saw 10 is stopped.例文帳に追加

ところが、台金１２が切断される前に、ワイヤ列１１に近接配置された端板巻き込み防止板５１の端面がワイヤ列１１と接触し、この接触状態を所定の検出方法で検出してワイヤソー１０の運転を停止する。 - 特許庁

A reflective mirror 3 of the rear projection television (RPTV) includes a float glass plate (glass substrate) 1 formed to have a plate thickness of 3 mm by a float process, and a reflection enhancing film 2 constituted of aluminum (Al) formed on one surface 1a of the glass substrate 1 by a sputtering method.例文帳に追加

リアプロジェクションテレビ（ＲＰＴＶ）の反射ミラー３は、フロート製法により板厚が３ｍｍに形成されたフロートガラス板（ガラス基板）１と、ガラス基板１の一方の表面１ａに、スパッタ法により形成されたアルミニウム（Ａｌ）から成る増反射膜２とを備える。 - 特許庁

To provide an optical compensation sheet with which adhesiveness and good surface shape are made compatible with each other, its manufacturing method, a polarizing plate arranged with the optical compensation sheet one one side of a polarizing film, and a liquid crystal display device of a high display grade having the polarizing plate.例文帳に追加

密着性及び良好な面状を両立した光学補償シート、その製造方法、この光学補償シートを偏光膜の片側に配置した偏光板、及びこの偏光板を備えた表示品位の高い液晶表示装置を提供する。 - 特許庁

The manufacturing method of the plate glass 1 comprises a process for melting glass raw materials, a process for shaping the plate by drawing downward, and a process for treating the translucent surface 2 by a plasma irradiation, a laser beam irradiation, and/or an ion beam irradiation.例文帳に追加

また本発明の板ガラス１の製造方法は、ガラス原料溶融工程、下方に延伸成形する板成形工程、透光面２にプラズマ照射、レーザー照射、イオンビーム照射の１以上を行う該透光面２の表面処理工程よりなる。 - 特許庁

To provide a cooling device that efficiently cools a housing inexpensively by using a heat sink having a plurality of thin-plate fins joined to one surface of a base plate without using another means such as a heat pipe, and to provide a designing method for the cooling device.例文帳に追加

ヒートパイプ等の別の手段を使用することなく、複数の薄板フィンがベースプレートの一方の面に接合されたヒートシンクを用いて、低コストで筐体を効率的に冷却することができる冷却装置および冷却装置の設計方法を提供する。 - 特許庁

A method is for installing the reinforcing steel plate S with the anchor A at the corner part of the inner side face of the concrete segment, and a holding member for holding the reinforcing steel plate S with the anchor A in a fixed state is provided at the inner surface corner part of a mold P for placing concrete.例文帳に追加

コンクリートセグメントの内側面の隅角部にアンカーＡ付き補強鋼板Ｓを設置する方法であって、コンクリートを打設する型枠Ｐの内面隅角部に、アンカーＡ付き補強鋼板Ｓを固定状態に保持するための保持部材を設けておく。 - 特許庁

The method of manufacturing the printed circuit board includes: the steps of arranging a grounding plate 12 in substantially parallel to the back surface of a printed circuit board 11 having through holes; and atomizing a charged solder resist ink 15 from the front of the printed circuit board 11 and coating the ink, wherein the grounding plate 12 has a cavity portion.例文帳に追加

貫通穴を有するプリント配線板１１の背面にアース板１２を略平行に配置し、プリント配線板１１の前面から帯電させたソルダレジストインキ１５を霧化し塗装する構成を備え、アース板１２は空洞部を有している。 - 特許庁

In the method for cleaning a substrate, a cover plate is installed in face to face with the cleaning surface of the substrate of an object to be treated, a gap between the substrate and the cover plate is set to be ≤2 mm, and the ozone water is made to flow through the gap at an average flow velocity ≥0.1 m/s.例文帳に追加

被処理対象の基板の洗浄面に対向して覆板を設置し、基板と覆板との間隙を２ｍｍ以下に設定し、前記間隙にオゾン水を平均流速０．１ｍ／ｓ以上で流すことを特徴とする基板の洗浄方法である。 - 特許庁