「two-dimensional pattern」に関連した英語例文の一覧と使い方(8ページ目) - Weblio英語例文検索

In a two-dimensional line pattern formed of: the difference between the target air volume ratio SWFr on a front seat side and the target air volume ratio SWRr on a rear seat side; and the opening of the outlet mode, the actual control coordinate point px in the present input value is specified.例文帳に追加

前席側の目標風量比率ＳＷＦｒと後席側の目標風量比率ＳＷＲｒの差と、吹出口モードの開度で形成された二次元線図パターンにおいて、現入力値における実制御座標点ｐｘを特定する。 - 特許庁

Then, the density of one section of the illustration image (I) is adjusted to density to such an extent that it is recognizable by the eyes of a person but mechanically unrecognizable by a reading device, and the distribution pattern of the cells of a two-dimensional code is additionally displayed at the section whose density has been adjusted.例文帳に追加

そして、イラスト画像（Ｉ）の一部分の濃度が、人の目には認識できるが読取装置には機械認識できない程度の濃度に調整され、当該濃度を調整した部分に２次元コードのセルの分布パターンが追加表示される。 - 特許庁

Positioning marks to be displayed as references of the position of a two-dimensional code are displayed in an image pattern having the same shape and size as data marks representing digital information, with a plurality of superposed color components used to display the data marks.例文帳に追加

２次元コードの位置の基準として表示される位置決めマークを、デジタル情報を表現するデータマークと同じ形状および大きさの画像パターンを用いて、当該データマークの表示に用いる複数の色成分を重ねて表示する。 - 特許庁

In the hologram recording film with additional information, two-dimensional additional information A', B' in an identical pattern is recorded as reproducible at a time on the hologram plane and in the front or back side of the hologram plane being superposed on a reproduced image I' from a volume hologram 22.例文帳に追加

体積ホログラム２２からの再生像Ｉ’に重畳して、同一パターンの平面付加情報Ａ’、Ｂ’がホログラム面とホログラム面の前方あるい後方に同時に再生可能に記録されている付加情報の付いたホログラム記録フィルム。 - 特許庁

Light incident from an upper face is diffracted by a diffraction grating layer 2, comprising a single dimensional periodical pattern formed in parallel so as to resonate with incident light wavelength in reflection; and when the propagation constant matches the propagation mode of a high-refractivity index two-dimensional waveguide (wave guide layer 3) formed on a lower part, the diffracted waves are propagated through the wave guide layer 3.例文帳に追加

上面から入射した光は、入射波長に共鳴反射するように平行に形成された１次元周期パターンからなる回折格子層２で回折され、その伝播定数が下部に形成された高屈折率の２次元導波路（導波層３）の伝播モードに一致するとき、回折波は導波層３を伝播する。 - 特許庁

To represent a preferable 'gloss' on a sheet embossed using a ground tint pattern generated not to cause any gap or mass based the two-dimensional scalar field of fiber creep angle.例文帳に追加

繊維潜り角の２次元スカラー場を基に、隙間や塊が生じないような万線パターンを発生し、この万線パターンを用いてエンボス加工したエンボスシート上において好ましい「照り」を表現することが可能な万線データの作成方法および装置を提供する。 - 特許庁

The lookup table 11 has stored a plurality of predetermined two-dimensional patterns for each of one or a plurality of pixel values which can be taken by a multi-level image to be inputted, and multi-level information corresponding to the image forming engine 3 is set on each of values of each pattern.例文帳に追加

３次元ルックアップテーブル１１は、入力される多値画像が取り得る１ないし複数の画素値ごとに２次元の所定のパターンを複数記憶しており、各パターンのそれぞれの値には、画像形成エンジン３に応じた多値情報が設定される。 - 特許庁

Information light carrying and supporting the two-dimensional pattern information corresponding to data and reference light for recording modulated by phase modulation patterns are arranged on the hologram optical information recording medium in such a manner that the optical axes are aligned to the same line and the generated interference patterns are recorded.例文帳に追加

ホログラム光情報記録媒体に、データに対応する２次元パターン情報を担持した情報光と位相変調パターンで変調された記録用参照光を光軸が同一線上となるように配置し、発生する干渉パターンを記録される。 - 特許庁

To realize two-dimensional distribution of the ion implantation amount in a surface in response to a shape corresponding to a non-uniform pattern in the surface, which is likely to be generated in a process of utilizing plasma and in an annealing process when ion implantation is performed without using step rotation of a wafer.例文帳に追加

ウエハのステップ回転を用いることなくイオン注入を行う場合に、プラズマを利用した工程及びアニール工程で発生しやすい面内不均一パターンに対応した形状に対応した２次元イオン注入量面内分布を実現する。 - 特許庁

A large number of model control points pa, pb, pc, pd, pe, pf are set to a two-dimensional diagram pattern formed by a temperature difference between a front seat and a rear seat detected by an inside air sensor and a blow-out opening mode, so as to specify an actual control coordinate point px at a current input value.例文帳に追加

前席と後席の内気センサが検出した温度差と吹出口モードとで形成された二次元線図パターンに多数のモデル制御点ｐａ、ｐｂ、ｐｃ、ｐｄ、ｐｅ、ｐｆを設定し、現入力値における実制御座標点ｐｘを特定する。 - 特許庁

The two-dimensional code pattern includes a code frame for demarcating a certain area by dots arranged at prescribed intervals and a data arrangement area which is placed in the code frame and represents position information and document discrimination information by dots arranged at prescribed intervals.例文帳に追加

２次元コードパターンは、所定の間隔で配置されるドットにより一定の領域を区画するコード枠と、コード枠の内部に位置して所定の間隔で配置されるドットにより位置情報および文書識別情報を表現するデータ配置領域とを含む。 - 特許庁

To provide a controller, using a two-dimensional input device, in which a remote controller is installed, for the right control and the left control of a game system, and inserting an external game panel in the game system or performing game software by a predetermined pattern of the game software displayed by a user himself.例文帳に追加

リモコンが設置される二次元入力装置をゲームシステムの右側コントロールと左側コントロールにし、ゲームシステムに外部のゲームパネルを挿入させるか、或いは自分で表示するゲームソフトの所定の図案によりゲームソフトを実施するコントローラーを提供する。 - 特許庁

When relative line density distribution features between strokes based upon the pen moving directions at respective coordinate points are extracted by using two-dimensional pattern information and coordinate point information, the distances between the relative line density distribution features and relative position distribution features of respective standard characters stored in a standard pattern dictionary 58 are calculated to discriminate an object character to be recognized.例文帳に追加

２次元パターン情報と座標点情報を用いて、各座標点の運筆方向を基準とする相対線密度分布特徴を抽出すると、その相対線密度分布特徴と標準パターン辞書５８に格納されている各標準文字の相対線密度分布特徴との距離を計算して、認識対象文字を識別する。 - 特許庁

The printer capable of recording a two-dimensional image on a recording material comprises a pattern generating means generating at least a test pattern for measuring the sharpness, a density measuring means consisting of a light source for illuminating a recording image being outputted and a photosensor, and a means for outputting the measurements from the measuring means.例文帳に追加

記録材料上に２次元画像を記録可能に構成されたプリンタであって、少なくとも鮮鋭度測定用のテストパターンを発生させるパターン発生手段と、出力される記録画像を照明する照明光源と光センサからなる濃度測定手段と、この測定手段による測定結果の出力手段とを備えることを特徴とするプリンタ。 - 特許庁

A laser beam from an LD 3 is reflected with a scanning angle given by a two-dimensional scanner 4 to be vibrated horizontally and vertically, and the reflected laser beam is changed in its scanning pattern by a scanning pattern changing part 9 to increase irradiation density in the vicinity of the vertical-directional center of the scanning angle, so as to be emitted around own vehicle.例文帳に追加

ＬＤ３からのレーザ光に対して水平方向及び垂直方向に振動するように２次元スキャナ４で走査角度を与えて反射させ、反射したレーザ光に対して垂直方向の走査角度の中心付近の照射密度が増大するように走査パターン変換部９で走査パターンを変換して自車周囲に照射する。 - 特許庁

A two-dimensional code pattern 13 readable by a reader 3 is provided with: a central dot 21 showing the center of a circle; a reference direction dot 24 positioned outside the circle; and numerical values 22 and 23 positioned on the circumference of the circle in angular directions corresponding to numeric values encoded into the pattern with the central dot 21 and the reference direction dot 24 as a reference.例文帳に追加

読取装置３で読取可能な二次元コードパターン１３は、円の中心を示す中心ドット２１と、円の外側に位置する基準方向ドット２４と、円の円周上であって且つ中心ドット２１と基準方向ドット２４とを基準として、そのパターンにコード化される数値に応じた角度方向にある数値ドット２２，２３と、を有する。 - 特許庁

Further, a computer system includes a processor, a data storing device coupled to the processor, a computer executable code for specifying the movement patterns of teeth using the two-dimensional array; and a computer executable code for generating the treatment path for moving the teeth according to a specified pattern.例文帳に追加

さらに、プロセッサと、プロセッサに結合されたデータ格納デバイスと、２次元アレイを用いて歯の移動パターンを特定するコンピュータ実行可能コードと、特定されたパターンに従って歯を移動させるための処置経路を生成するコンピュータ実行可能コードとを備える、コンピュータシステムが提供される。 - 特許庁

Successively, at a step 322, on the basis of the wafer grid derived from the process and the correction map stored by in accordance with the degree of the wafer grid derived from the process, the superposition exposure is performed by correcting a relative position in a two-dimensional plane of an image of a pattern on reticle, and a wafer.例文帳に追加

そして、ステップ３２２では、プロセスに起因のウエハグリッドと、そのプロセスに起因するウエハグリッドの次数と対応付けされて記憶され補正マップとに基づいて、レチクル上のパターンの像とウエハとの２次元平面内の相対位置を補正しつつ、重ね合わせ露光を行う。 - 特許庁

When a print is ordered from a digital camera 101, an input of a user ID, which identifies the user, and a shop ID of an ordered shop for print are carried out by photographing two-dimensional pattern information indicated on a previously prepared card and the like by using a photographing function of the digital camera.例文帳に追加

デジタルカメラ１０１からプリント発注を行う際に、ユーザを特定するためのユーザＩＤや、プリント依頼先のショップＩＤ等の入力は、デジタルカメラの撮影機能により、予め用意したカード等に記載された二次元パターン情報を撮影することで行う。 - 特許庁

To provide a contaminant resistant coating deposition method and structure configured to control three-dimensional parameters of the pattern of the contaminant resistant materials in coating at multiple scales of dimension to optimize the contaminant resistant efficacy of two or more of the contaminant resistant materials in coating.例文帳に追加

被覆剤中の抗汚染性材料のパターンの三次元パラメータを複数の大きさの規模において制御して、被覆剤中の二以上の抗汚染性材料の抗汚染効果を最適化することができる、抗汚染性被覆剤の蒸着方法及び構造が必要である。 - 特許庁

In the wiring board having a plurality of external connection pads 7 arranged on a surface of an insulating substrate 1 in a lattice pattern, the dots 11 constituting the two-dimensional bar code are dispersed between the plurality of the external connection pads 7 on the surface of the insulating substrate 1.例文帳に追加

絶縁基板１の表面に格子状の並びに配列された複数の外部接続パッド７を有する配線基板であって、絶縁基板１表面における複数の外部接続パッド７同士の間に二次元バーコードを構成するドット１１を分散させて設けた配線基板である。 - 特許庁

The computer system further includes a processor, a data storage device coupled to the processor, a computer-implementable code for specifying the tooth movement patterns using the two-dimensional array, and a computer-implementable code for generating the treatment paths to move the teeth in accordance with the specified pattern.例文帳に追加

さらに、プロセッサと、プロセッサに結合されたデータ格納デバイスと、２次元アレイを用いて歯の移動パターンを特定するコンピュータ実行可能コードと、特定されたパターンに従って歯を移動させるための処置経路を生成するコンピュータ実行可能コードとを備える、コンピュータシステムが提供される。 - 特許庁

The marker light M is designed to draw a clear pattern on the reading object if the distance from the device to the reading object is within a readable range A of effective reading of a two-dimensional code by a reading mechanism and to defocus in ranges B and C beyond and short of the range.例文帳に追加

このとき、装置から読取対象までの距離が、読取機構により二次元コードの読取りを良好行える読取可能範囲Ａにあるときには、マーカ光Ｍが読取対象に鮮明なパターンを描き、その範囲から遠近に外れた範囲Ｂ、Ｃにおいてはぼけるように構成する。 - 特許庁

An analysis part 52 analyzes the sense of resolution of the image on the basis of spectrum components of spatial frequencies included in the periodic pattern, among the two-dimensional spatial frequency spectrum components obtained by the Fourier transform part 51, and analyzes the deterioration of the image on the basis of spectrum components other than these.例文帳に追加

解析部５２は、フーリエ変換部５１により取得された２次元の空間周波数のスペクトル成分のうち、周期パターンに含まれる空間周波数のスペクトル成分に基づいて画像の解像感を解析し、それ以外のスペクトル成分に基づいて画像の劣化を解析する。 - 特許庁

For each pixel of interest on a previous frame 34, a pattern matching process is applied between the previous frame 34 and a current frame 32 (see reference numeral 36), to calculate, for each pixel of interest, a mapping address to the current frame 32 as a movement destination or a two-dimensional movement vector (see reference numeral 38).例文帳に追加

前フレーム３４上の注目画素ごとに前フレーム３４と現フレーム３２の間においてパターンマッチング処理を実行することにより（符号３６参照）、注目画素ごとに現フレーム３２上の移動先又は二次元移動ベクトルとしてのマッピングアドレスが演算される（符号３８参照）。 - 特許庁

The supporting device to be formed of less materials in reliable procedures has the following sheet metal layer region: namely, the region includes at least one embossed meandering supporting bead embossed to be thicker without encircling both gasket holes to be sealed completely or almost completely or a two-dimensional pattern of a cup recessed portion and a relating boss portion.例文帳に追加

即ち、エンボス加工により厚くした、完全に又はほぼ完全にシールすべき本ガスケットの孔のいずれも包囲しない、少なくとも１つのエンボス加工された蛇行形状の支持ビード、又は、カップ状凹部の２次元パターン及び関連する隆起部を有する領域である。 - 特許庁

The respective plurality of pixel blocks include a rotation detection pixel part entering a turn-on state or a turn-off state in a prescribed display pattern so as to detect the angle of rotation and an information display pixel part entering a turn-on state or turn-off state in accordance with Y coordinate data out of two-dimensional coordinate data.例文帳に追加

複数の画素ブロック各々は、回転角を検出するために所定の表示パターンにて点灯状態又は消灯状態となる回転検出画素部と、２次元座標データのうちのＹ座標データに応じた点灯状態又は消灯状態になる情報表示画素部と、を含む。 - 特許庁

By forming recesses and projections for constituting a diffraction grating having a two-dimensional shape in either the body of the mark for forming an alignment pattern or the periphery of the mark, diffracted light from the diffraction grating and non-diffracted light are used to enhance light intensity contrast.例文帳に追加

アライメントパターンを形成するマーク本体部と、マーク周辺部のいずれかに、二次元的な形状を有する回折格子を構成する凹凸を設けることにより、回折格子からの回折光と、非回折光とを利用して、光強度コントラストを大きくすることができる。 - 特許庁

When a dot analyzing device 1 detects the dot feature value of the image to be evaluated, an image inputting part 3 reads the image pattern of the image to be evaluated as two-dimensional physical quantity distribution data representing variable density information and stores the read physical quantity distribution data in a memory 4.例文帳に追加

ドット解析装置１で被評価画像のドットの特徴量を検出するとき、画像入力部３で被評価画像の画像パターンを濃淡情報を表す２次元の物理量分布データとして読み取り、読み取った物理量分布データをメモリ４に格納する。 - 特許庁

A pixel area for error measurement 140 of a dummy pixel area 120 in a solid state image sensing element is regarded as one of layers composing a pixel of the solid state sensing element as a reference layer and is provided with a measuring pattern displaced in phase in two dimensional (x, y) directions to the reference layer.例文帳に追加

固体撮像素子のダミー画素領域１２０の誤差測定用画素領域１４０には、固体撮像素子の画素を構成するあるレイヤーの１つを基準レイヤーとし、この基準レイヤーに対して２次元（ｘ，ｙ）方向に段階的にずらした測定用パターンが設けられている。 - 特許庁

To obtain a positive type photoresist composition having high sensitivity and high resolving power of ≤0.2 μm, giving a photoresist of a rectangular shape and less liable to cause a dimensional shift in pattern transfer to a lower layer in an oxygen plasma etching step when the composition is used as the upper layer resist of a two-layer resist system.例文帳に追加

高感度であり、０．２μｍ以下の高解像力を有し、矩形形状を有するフォトレジストを与え、しかも二層レジストシステムの上層レジストとして使用した場合、酸素プラズマエッチング工程での下層へのパターン転写の際に寸法シフトが少ないポジ型フォトレジスト組成物を提供する。 - 特許庁

The game machine (1) is provided with an image control microcomputer (81) for deciding the performance of suggesting a big bonus and displaying a two-dimensional code pattern (205) coded in a form readable by using the portable terminal equipment (204) on the basis of a winning role decided by a main control circuit (71).例文帳に追加

遊技機（１）は、ビッグボーナスを暗示し、かつ携帯端末機（２０４）を用いて読み取り可能な態様にコード化された二次元コードパターン（２０５）を表示する演出を主制御回路（７１）により決定される当籤役に基づいて決定する画像制御マイコン（８１）を備える。 - 特許庁

To provide a two-dimensional code pattern capable of reflecting information on an original electronic document by accurately acquiring the information added with handwriting to a document printed on a print document 21 by utilizing various handwriting input devices without damaging the layout of the document and without any cost increase.例文帳に追加

文書のレイアウトを損なうことなく、しかもコストアップ無しで印刷文書２１に印刷した文書にさまざまな手書き入力装置を利用して手書きで加筆した情報を正確に取得し、元の電子文書にその情報を反映させることができる２次元コードパターンを提供する。 - 特許庁

Further this invention provides a computer system including a processor, a data storing device coupled to the processor, a computer executable code for specifying the tooth movement patterns using the two-dimensional array, and a computer executable code for generating treatment paths to move the teeth in accordance with the specified pattern.例文帳に追加

さらに、プロセッサと、プロセッサに結合されたデータ格納デバイスと、２次元アレイを用いて歯の移動パターンを特定するコンピュータ実行可能コードと、特定されたパターンに従って歯を移動させるための処置経路を生成するコンピュータ実行可能コードとを備える、コンピュータシステムが提供される。 - 特許庁

Furthermore, according to a gradual scaling, with which a certain point in a two-dimensional coordinate system is converted into a new point by adding a value proportional to the other coordinate value to the x-coordinate value or to the y-coordinate value, a corrected drawing data, corresponding to the second deformed pattern drawing region 47, are generated.例文帳に追加

さらに、２次元の座標系のある点を、そのＸ座標、もしくはＹ座標の座標値に、他方の座標値に比例した値を加えた新たな点に変換するグラデュアル・スケーリングによって、第２変形描画領域４７に対応した補正描画データを生成する。 - 特許庁

By the two-dimensional code for representing information by a distribution pattern of cell dot D differently painted in a cell 2 and visual sense, logo marks for representing a character are superimposed and at least a part of a colored area of the cell dot is smaller than that of the cell.例文帳に追加

セル２に塗り分けられたセルドットＤの分布パターンにより情報を表現する二次元コードと視覚によりキャラクターを表現するロゴマークを重ね合わせるとともに、少なくとも一部の前記セルドットの着色面積はセルの面積よりも小さいことを特徴とする。 - 特許庁

Further this invention provides a computer system including a processor, a data storing device coupled to the processor, a computer-implementable code for specifying the tooth movement patterns using the two-dimensional array, and a computer-implementable code for generating the treatment paths to move the teeth in accordance with the specified pattern.例文帳に追加

さらに、プロセッサと、プロセッサに結合されたデータ格納デバイスと、２次元アレイを用いて歯の移動パターンを特定するコンピュータ実行可能コードと、特定されたパターンに従って歯を移動させるための処置経路を生成するコンピュータ実行可能コードとを備える、コンピュータシステムが提供される。 - 特許庁

A unit region where the pattern is formed is detected from the acquired image of the scanning probe microscope to calculate various characteristics in the detected unit region, and the irregularity of the various characteristics in a measuring region, the correlation between respective characteristics, the two-dimensional arrangement precision of each region in the measuring region and the like are displayed to easily grasp the characteristics of the pattern.例文帳に追加

走査プローブ顕微鏡の取得画像から、パターンを形成する単位領域の検出を行い、各検出単位領域内における各種特性を算出し、測定領域内での各種特性のばらつき、各特性間の相関、測定領域内での各領域の二次元配列精度等を表示してパターンの特性が容易に把握できるようにする。 - 特許庁

Surprisingly, when forming a titanium compressor impeller using the hybrid or two-step process, the technical complexity of each step (pattern forming and machining) is substantially lower, distortion of the wax blades during pattern casting is reduced, casting of titanium is simplified, the process allows itself to be fully automated, and the dimensional accuracy of the final product is greater than with conventional techniques.例文帳に追加

意外にも、ハイブリッドまたは２段階法を使用してチタン圧縮機翼車１を形成すると、各ステップ（パターン形成および切削）の技術的複雑性は実質的に低く、パターン鋳造中のワックスブレードのねじれは減少し、チタンの鋳造は簡単になり、方法自体を完全自動化することができ、最終製品の寸法精度は従来の技法よりも高くなる。 - 特許庁

The HLAC feature quantity extracting method includes: a step of mapping one dimensional signal in a time-frequency plane; a step of accumulating the HLAC by moving a two dimensional local mask pattern in a block region for each segmented block by dividing its time axis and frequency axis; and a step of extracting and combining each term from the HLAC feature quantity calculated from blocks which are lined up along the frequency axis.例文帳に追加

１次元信号を時間−周波数平面に写像するステップ、その時間軸及び周波数軸を分割して区分けされたブロック毎に、その領域内で２次元局所マスクパターンを移動させてＨＬＡＣを累積するステップ及び周波数軸に沿って並ぶブロックから求めたＨＬＡＣ特徴量から各次数項を抜き出して結合するステップを含むＨＬＡＣ特徴量の抽出方法 - 特許庁

“design” means only the features of shape, configuration, pattern, ornament or composition of lines or colours applied to any article whether in two dimensional or three dimensional or in both forms, by any industrial process or means, whether manual, mechanical or chemical, separate or combined, which in the finished article appeal to and are judged solely by the eye;例文帳に追加

「意匠」とは，手工芸的，機械的，若しくは化学的の如何を問わず，又は分離若しくは結合の如何を問わず，工業的方法又は手段により，2次元若しくは3次元又はその双方の形態かを問わず，物品に適用される線又は色彩の形状，輪郭，模様，装飾若しくは構成の特徴に限られるものであって，製品において視覚に訴え，かつ，視覚によってのみ判断されるものを意味する。 - 特許庁

An almost rectangular information recording area 23 arranged in a plane-shaped recording face 20 is virtually set with matrix-shaped squares corresponding to bits, and optically recognizable marks(bright or dark) corresponding to digital information to be recorded are applied to each square, and the digital information to be recorded is recorded as a two-dimensional pattern.例文帳に追加

平面状の記録面２０内に設けられた略矩形状の情報記録領域２３に、ビットに対応する行列状の桝目を仮想的に設定し、各桝目に記録すべきデジタル情報に応じた光学的に認識可能なマーク（明又は暗）を付与して、記録すべきデジタル情報を２次元パターンとして記録する。 - 特許庁

The two-dimensional code 11-15 is disposed with an article number information code Cd from which an article code is obtained as a reading result, and an RS code Ce from which an RS code for correcting an error of the article number code is obtained as a reading result inside an information code recording area 106 as a distribution pattern of a cell.例文帳に追加

二次元コード１１〜１５は、品番符号が読取り結果として得られる品番情報コードＣｄと、品番符号の誤りを訂正するためのＲＳ符号が読取り結果として得られるＲＳコードＣｅとを、情報コード記録領域１０６内にセルの分布パターンとして配置している。 - 特許庁

In order to solve the problem, several kinds of conductors of different thicknesses composed of (copper and different kinds of metal plating other than copper) are arranged on the flat same base material surface inside a pattern area for loading the component element and the printed wiring board is attained having the three-dimensional solid circuit in the shape of two or more steps.例文帳に追加

課題を解決するため、平坦な同一基材面に（銅＋銅以外の異種金属めっき）からなる厚みの異なる数種類の導体を部品素子を搭載するパターンエリア内に配置し、複数段の階段状となる三次元的な立体回路を有するプリント配線基板とするものである。 - 特許庁

To obtain a positive type photoresist composition having high sensitivity and high resolving power of ≤0.2 μm in the production of a semiconductor device, giving a photoresist of a rectangular shape and less liable to cause a dimensional shift in pattern transfer to a lower layer in an oxygen plasma etching step when the composition is used as the upper layer resist of a two- layer resist system.例文帳に追加

半導体デバイスの製造において、高感度で0.2μｍ以下の高解像力を有し、かつ矩形形状のフォトレジストを与え、また二層レジストシステムの上層レジストとして使用した場合、酸素プラズマエッチング工程での下層へのパターン転写の際に寸法シフトが少ないポジ型フォトレジスト組成物を得る。 - 特許庁