| 例文 |
alignment marksの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 510件
Then a work conveying mechanism 23 conveys the work W to an exposure stage WS and performs alignment so that positions of mark marks MAM and work marks WAM are aligned with each other, and while the exposure stage WS is moved, each exposure region on the work W is exposed in sequence.例文帳に追加
ついで、ワーク搬送機構23が、ワークWを露光ステージWSに搬送し、マスクマークMAMとワークマークWAMの位置が一致するように位置合わせを行ない、露光ステージWSを移動させながら、ワークW上の各露光領域を順次露光する。 - 特許庁
At transferring of elements arranged on a first substrate onto a second substrate, alignment marks for positioning are formed in regions containing no element on the first substrate and the elements are transferred to the second substrate, by using the marks as positioning references.例文帳に追加
第一基板上に配列された素子を第二基板上に転写する際に、第一基板上の素子が形成されていない領域に位置合わせ用のアライメントマークを形成しておき、このアライメントマークを位置合わせの基準として素子を第二基板上に転写する。 - 特許庁
The laminated semiconductor device, with a semiconductor chip mounted, comprises at least three layers of substrates 1, laminated together, each of which comprises dislocation detecting marks (or alignment marks) 6, with each having the same pattern and arranged at different rotational angles.例文帳に追加
積層型半導体装置は、半導体チップが搭載され、各々が同一パターン形状で且つ互いに異なる回転角で配置された位置ズレ検出用マーク(あるいはアライメント用マーク)6を有する基板1を3層以上積層してなることを特徴とする。 - 特許庁
To provide a method and a device for assembling substrates by which alignment marks provided at respective substrates are made to coincide with each other with high accuracy and can be promptly stuck to each other in a vacuum.例文帳に追加
各基板に設けられた位置合わせマーク同士を高精度に一致させて真空中で速やかに貼り合せることができる基板の組立方法とその装置を提供することである。 - 特許庁
In finishing the alignment, marks m and m whose luminance is lowered than those of the monitor images excluding them are displayed in prescribed positions on the monitor screen to be occupied by the images of the working dots D and D.例文帳に追加
アライメント達成時にワーキングドットD、Dの画像が占めるべきモニタ画面上の所定位置にそれ以外のモニタ画像よりも輝度を低下させたマークm、mを表示する。 - 特許庁
Since the surface 21 does not form a shade on alignment marks 16A and 17A, the angle between the generating line of the tapering part 20 and the axis BX is made larger and the specular surface 21 is widened.例文帳に追加
面21がアライメントマーク16A及び17A上に影を作らないので、先細り部20の母線と軸BXとの間の角度を大きくしてミラー面21を広くする。 - 特許庁
In a step 512, a pattern is transferred to respective wafers in a lot, and prior to the transfer, alignment marks formed on the wafers through precedent exposure together with the pattern are detected (step 506).例文帳に追加
ステップ512でロット内のウエハのそれぞれにパターンが転写されるが、その転写に先だって、そのウエハに先の露光でパターンとともに形成されたアライメントマークが検出される(ステップ506)。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing a semiconductor device that can provide more many alignment marks for lithography and PCMs (Process Control Monitors) and prevent leakage of information through PCMs.例文帳に追加
より多数のリソグラフィ用合わせマークおよびPCMを設けることができ、かつPCMによる情報の漏えいを防止することができる半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁
To enable a chip aggregate to be pelletized satisfactorily into chips in dicing step, by preventing auto-alignment marks for dicing from being concealed.例文帳に追加
ダイシング用オートアライメントマークが隠されてしまうことを防止してダイシングでのペレタイズを良好にできるようにした、樹脂封止型半導体装置およびその製造方法の提供が望まれている。 - 特許庁
In the mold with the pattern formed by a fine uneven shape, alignment marks for determining the relative positional relationship between the substrate and the mold are attached in the shape of a concentric circle to at least two spots.例文帳に追加
微細な凹凸形状によりパターンを形成したモールドに、基板とモールドとの相対位置関係を決定するためのアライメントマークを同心円状に2箇所以上にする。 - 特許庁
The exposure apparatus 2b measures all alignment marks for position measurement which are formed on the wafer, and acquires information about local distortion generated due to the region where the distortion silicon is formed.例文帳に追加
露光装置2bは、ウェハに形成された位置計測用のアライメントマークを全て計測し、上記の歪シリコンが形成された領域に起因して生ずる局所的な歪み情報を得る。 - 特許庁
Focal areas 11A and 11B of the infrared image pickup devices 5A and 5B are set at positions capable of alternatively picking up the images of respective alignment marks 4A and 4B formed on counter surfaces 3A and 3B of the respective works 2A and 2B.例文帳に追加
赤外線撮像装置(5A,5B)の合焦領域(11A, 11B)は、各ワーク(2A, 2B) の対向面(3A,3B)に形成された夫々のアライメントマーク(4A,4B)を択一的に撮像できる位置に設定した。 - 特許庁
A device body 4 detects displacement of the workpiece W from image data on the alignment marks W1 and W2, and makes a necessary correction to data on a position where a defect has been found.例文帳に追加
装置本体4は、アライメントマークW1,W2の画像データからワークWの位置ずれを検出し、欠陥の発見された位置のデータに対して必要な補正を加える。 - 特許庁
The alignment marks have been defined by a second lithographic apparatus LM2 and are arranged to provide a substrate grid as a coordinate system that includes a first and a second direction, substantially perpendicular to the first direction.例文帳に追加
位置調整用マークは、第2リソグラフィ機器により規定され、第1方向と第1方向に実質的に直交する第2方向とを有する座標系として基板格子を提供する。 - 特許庁
Positioning marks 22Cs are formed on a screen 22, and the carrier film 10 and a printer 20 are mutually positioned (alignment) using the positioning holes 10a and the positioning mark 22Cs.例文帳に追加
スクリーン22には位置決めマーク22Cが形成され、キャリアフィルム10と印刷装置20は、上記位置決め孔10aと位置決めマーク22Cとを用いて相互に位置決め(アライメント)される。 - 特許庁
Plural cells are set on a pattern base plate, and a thin film bearing member 3 where plural pattern thin films and alignment marks are formed is set on a x-y-0 stage 4 in each cell.例文帳に追加
パターン基板上に複数のセルを設定し、各セル内に複数のパターン薄膜、および位置合わせマークを形成した薄膜担持体3をx−y−θステージ4上にセットする。 - 特許庁
Consequently, the mean image formation time from the start of a read of alignment marks from the plurality of substrate materials to the completion of exposure by the laser scanner 110 can be shortened.例文帳に追加
これにより、複数枚の基板材料に対するアライメントマークの読取開始からレーザースキャナ110による露光完了までの平均的な画像形成時間を短縮できる。 - 特許庁
In addition, whether anisotropic conductive films 51 which stick the TABs 24 to the circuit board 21 are positioned within appropriate extents can be confirmed, by confirming that the films 51 have been positioned in the second alignment marks 42.例文帳に追加
TAB24を回路基板21に接着する異方性導電膜51は、第2の合わせマーク42内に位置することを確認することにより、適正な範囲に位置することを確認できる。 - 特許庁
To provide a manufacturing method of semiconductor substrate capable of freely setting the size of the alignment mark and preventing the generation of problems such as a resist coating spot and a residual resist during a device manufacturing process, without having to install a dedicated process for forming alignment marks.例文帳に追加
アライメントマークを形成する専用の工程の別途追加が無く、アライメントマークのサイズも自由に設定することができ、さらに、デバイス製造工程においてレジスト塗布斑やレジスト残り等の不具合を発生させない半導体基板の製造方法を提供する。 - 特許庁
Regarding the second and subsequent liquid crystal panels of the same specification, they are temporarily positioned based on the two alignment marks 56, 58, a predetermined deviation Δx is obtained with respect to the third alignment mark 62, and then they are shifted by half in the X direction.例文帳に追加
同一仕様の2枚目以降の液晶パネルについては,二つのアライメントマーク56,58に基づいて液晶パネルを仮に位置決めしてから,第3アライメントマーク62に関して所定の偏差Δxを求めて,その半分だけ液晶パネルをX方向にシフトする。 - 特許庁
An alignment system which illuminates reference marks with radiation that is incident at right angles is used to conduct alignment of layers having a large Z separation, e.g. in the manufacture of a micro electromechanical system (MEMS) or a micro opto-electromechanical system (MOEMS).例文帳に追加
例えばマイクロ電気機械システム(MEMS)やマイクロ光電気機械システム(MOEMS)の製造において、大きなZ分離のある層間において位置合わせを行うために、直角に入射する放射線で基準マークを照射するアライメントシステムが用いられる。 - 特許庁
The positioning mark is measured by the visionary sensor whose positional relation is calibrated (S202), and the relative deviation values of the respective alignment marks are calculated as inter-alignment member target positions (S205), and the positional relation of the mutual members is controlled based on this so that the members can be aligned.例文帳に追加
位置合わせ用マークを位置関係が校正された視覚センサにより測定し(S202)、位置合わせ用マーク各々の相対的なずれ量を、位置合わせ部材間の目標位置として求め(S205)、この値に基づき部材相互の位置関係を制御して位置合わせする。 - 特許庁
Subsequently, the opening alignment marks 7 are formed in the membrane 3a, a mask 9 for dry-etching with opening patterns provided at the positions corresponding to support pillar formation positions on the substrate 1 is formed on the substrate 1 using the marks 7, and a support silicon layer is dry-etched in accordance with opening patterns 8 provided in the mask 9.例文帳に追加
続いてシリコンメンブレンに開口アライメントマーク7を形成し、それを用いて支持シリコン基板上に支柱形成位置に対応する位置に開口パターンが設けられたドライエッチング用マスク9を形成し、マスクに設けられた開口パターン8に合わせて支持シリコン層をドライエッチングする。 - 特許庁
These marks 22 and slits 18a and 18b are so designed that the marks 22 are completely shielded of light and both of the quantities of the light passed through the respective slits 18a and 18b are made zero only when the alignment in an X-axis direction, i.e., a displacement direction, is completed.例文帳に追加
これらマーク22とスリット18a・18bとは、変位方向であるX軸方向における位置合わせが完了したときのみ、マーク22に光が完全に遮光されて各スリット18a・18bを通過する通過光光量がどちらもゼロとなるように設計されている。 - 特許庁
Therefore, even if there are no alignment marks (fiducial marks) on the moving body WST for position measurement, the position of the plate, or in other words, the position of the moving body can be controlled on the movement coordinate system set by the measurement unit, based on the position information of the outer periphery edge of the plate.例文帳に追加
このため、その移動体WST上に位置計測用のマーク(基準マーク)などが存在しなくても、プレートの外周エッジの位置情報に基づいて、プレートの位置、すなわち移動体の位置を前記計測装置で規定される移動座標系上で管理することが可能になる。 - 特許庁
Since the marks are placed at the center of field of view of the alignment sensor to observe and since the same component of both the distortion of optical system of the alignment sensor or the fixed pattern noise and the like of the imaging device are superimposed at each time, degradation of reproducibility of measurement caused by them can be prevented to implement the stable reticle alignment.例文帳に追加
マークを、必ずアライメントセンサの視野中心において観察していることとなり、アライメントセンサの光学系のディストーション、あるいは、撮像素子の固定パターンノイズ等については、毎回同じ成分が重畳されることとなるので、これらに起因する計測再現性の悪化を防ぐことができ、安定したレチクルアライメントを行なうことができる。 - 特許庁
To make two alignment marks arranged at diagonal positions on a panel surface, illuminate only by providing two electrification terminals for mark illumination on one terminal part of a unidirectional terminal type liquid crystal display panel by using one electrification terminal for mark illumination for one alignment mark.例文帳に追加
1つのアライメントマークに対するマーク点灯用通電端子を1つとして、一方向端子型の液晶表示パネルにおいて、その1つの端子部に2つのマーク点灯用通電端子を設けるだけで、パネル面内の対角位置に配置されている2つのアライメントマークを点灯可能とする。 - 特許庁
In the base plate for transfer (donor element 20), formed by forming a light emitting layer 23 on a supporting base plate 21, a plurality of alignment marks M1 to M3 performing a position alignment with an element formation base plate to be an object of transfer are formed on the support base plate 21, coping with the matching relations different from each other.例文帳に追加
本発明は、支持基板21に発光層23が成膜されて成る転写用基板(ドナー要素20)において、支持基板21には、転写対象となる素子作成用基板との位置合わせを行うアライメントマークM1〜M3が、異なる合わせ関係に対応して複数設けられている。 - 特許庁
In addition, it measures the locations of alignment marks created in the first sample shot group of another substrate and calculates those of alignment mark created in the second sample shot group if it is necessary to measure locations for an alternate sample shot group and then corrects the measurement value by an offset for the second sample shot group.例文帳に追加
別の基板について、第1のサンプルショット群に形成されたアライメントマークの位置を計測し、代替サンプルショット群の計測が必要であると判断した場合には、第2のサンプルショット群に形成されたアライメントマークの位置が計測され、第2のサンプルショット群のオフセットで計測値が補正される。 - 特許庁
By this constitution, the light emission or the light source image of the light source elements for alignment at the point light source array is condensed on the alignment marks of the liquid crystal panel by the micro lens and the point light source, the micro lens and the liquid crystal panel can be comparatively easily aligned based on its condensed image.例文帳に追加
この構成により点光源アレイにおけるアライメント光源素子による発光もしくは光源画像をマイクロレンズにより液晶パネルのアライメントマークに集光し、その集光像を基準にして点光源、マイクロレンズ、液晶パネルを比較的容易に位置合わせすることができる。 - 特許庁
When a core 7 of an optical waveguide W is formed on a surface of an electric circuit board E, the core 7 and optical element positioning alignment marks A are simultaneously formed from a photosensitive resin layer including a core 7 formation region and an alignment mark A formation region by a single photolithography process.例文帳に追加
電気回路基板Eの表面に光導波路Wのコア7を形成する際に、コア7形成領域とアライメントマークA形成領域とをもつ感光性樹脂層から、1回のフォトリソグラフィ法により、コア7と同時に、光学素子位置決め用のアライメントマークAを形成する。 - 特許庁
In a substrate 9 which is the processing target for a pattern drawing apparatus, a plurality of alignment marks 60, each of which being an information recording code for recording the relative position between a reference position on the substrate 9 and itself, are formed in an assembled state in a predetermined domain as an alignment region 92.例文帳に追加
パターン描画装置が処理の対象とする基板9においては、アライメント領域92としての所定の範囲内に、それぞれが基板9上の基準位置と自身との相対位置を記録した情報記録コードである複数のアライメントマーク60が集合して形成されている。 - 特許庁
On and after a second liquid crystal panel of the same specification, after the liquid crystal panel is temporarily positioned on the basis of two alignment marks 56 and 58, a prescribed deviation Δx is found concerning a third alignment mark 62 to shift the liquid crystal panel only by its half in an X direction.例文帳に追加
同一仕様の2枚目以降の液晶パネルについては,二つのアライメントマーク56,58に基づいて液晶パネルを仮に位置決めしてから,第3アライメントマーク62に関して所定の偏差Δxを求めて,その半分だけ液晶パネルをX方向にシフトする。 - 特許庁
A TTR sensor 2 observes a reticle alignment mark RM formed on a reticle R, and a wafer alignment mark WM formed on a wafer W via a projection optical system PL or a reference mark formed on a reference member 14, and detects relative positions of these marks.例文帳に追加
TTRセンサ20は、レチクルRに形成されているレチクルアライメントマークRMと、投影光学系PLを介してウェハWに形成されているウェハアライメントマークWM又は基準部材14に形成されている基準マークとを観察してこれらの相対位置を検出する。 - 特許庁
When forming a via hole in the insulating layer or the like in the succeeding process, a corresponding alignment mark among the plurality of alignment marks is detected by the light made to pass through the openings by using the light irradiation member, and positioning is performed with the detected mark as a position reference.例文帳に追加
以降の工程において絶縁層にビアホールの形成等を行う際に、上記の光照射用部材を用いて上記の開口部を通過させた光により、上記の複数のアライメントマークのうち対応するアライメントマークを検出し、検出したマークを位置基準として位置合わせを行う。 - 特許庁
Upper and lower cameras 46a and 46b with which alignment marks AL1 and AL2 formed on first and second substrates W1 and W2 can be separately picked up, are disposed on the upper and lower sides of a chamber 32, respectively.例文帳に追加
チャンバ32の上下には、第1及び第2の基板W1,W2に形成されたアライメントマークAL1,AL2を個別に撮像可能とする上カメラ46aと下カメラ46bとが配置されている。 - 特許庁
In an optical element mounting step, a light emitting element 11 and a light receiving element 12 are mounted at proper positions with respect to the core 7 of the optical waveguide W with reference to the alignment marks A.例文帳に追加
そして、光学素子実装工程において、上記アライメントマークAを基準として、光導波路Wのコア7に対して適正な位置に、発光素子11および受光素子12を実装する。 - 特許庁
When the two alignment marks are detected, the work stage 3 is shifted so that they should become a predetermined positional relationship, and thus, exposing light is irradiated from the light emitter 1 so as to expose the mask pattern to the work piece W.例文帳に追加
2つのアライメントマークが検出されると、それらが所定の位置関係になるようにワークステージ3を移動し、光照射部1から露光光を照射し、ワークWにマスクパターンを露光する。 - 特許庁
Terminals at three both-end and center positions among external circuit connection terminals 601 formed on a TFT array substrate 10 are formed as marks 610 for alignment which each has an opening part 610a.例文帳に追加
TFTアレイ基板10上に形成された外部回路接続端子601のうち、両端及び中央の3箇所の端子を、開口部610aを有するアライメント用マーク610として形成する。 - 特許庁
When manufacturing the multilayer wiring board 10, via holes 11, 12 are formed as alignment marks to an edge of a core substrate 5 in the widthwise direction thereof, and a third layer 6 is then formed not closing these via holes 11, 12.例文帳に追加
多層配線基板10を製造する際には、コア基板5の幅方向の縁部にビアホール11,12をアライメントマークとして形成し、これらビアホール11,12を塞がないように第3層6を形成する。 - 特許庁
To provide a method for aligning each drive circuit with a substrate when the different positions of alignment marks are provided on a plurality of drive circuits of different types mounted on a substrate to exclude each other.例文帳に追加
互いに排他的に基板に搭載される複数種類の駆動回路に設けられた位置合わせマークの形成位置が異なる場合に、各駆動回路と基板とを位置合わせする方法を提供できる。 - 特許庁
Consequently, the TAB-substrate side alignment marks 35 and 36 can be formed avoiding an area where, for example ACF 32 is formed and a substrate-side terminal 26 can securely be connected to a panel-substrate side terminal 19 in a conductive state.例文帳に追加
これにより、例えばACF32を配置する領域を避けてTAB基板側アライメントマーク35,36を形成でき、基板側端子26を確実にパネル基板側端子19に導電接続できる。 - 特許庁
This method measures the locations of alignment marks created on first and second sample shot groups of a substrate, calculates the locations of all shots including the first and second sample shot groups and settles them for substrate exposure.例文帳に追加
基板の第1及び第2のサンプルショット群に形成されたアライメントマークの位置を計測し、第1及び第2のサンプルショット群を含む全ショットの位置を算出、位置決めして、基板を露光する。 - 特許庁
To provide a more concrete technique of manufacturing a panel molded article wherein two panel components are joined to each other after they are aligned in position with each other by using alignment marks.例文帳に追加
アライメントマークを用いて両パネル構成材を位置合わせした後、両パネル構成材を互いに接合することでパネル成形品を製造する、より具体的なパネル成形品製造技術を提供する。 - 特許庁
In a state that a plane part 5A of a printing plate 5 and a plane part 4 of an endless-belt-like blanket 3 face each other, both of them are aligned by using alignment marks provided on the plane parts 5A, 4.例文帳に追加
印刷版5の平面部5Aと無端ベルト状のブランケット3の平面部4が向かい合った状態で、平面部5Aと4に設けたアライメントマークを用いて両者の位置合わせを行う。 - 特許庁
Similarly the XY coordinates of three corners 3a-3c of the substrate 3 corresponding to the alignment marks 1a-1c are read out by the CCD cameras 4a-4c and the center coordinates and inclination of the substrate 3 are found out.例文帳に追加
同様にして位置合わせマーク1a〜1cと対応した基板3の3つの角隅3a〜3cのX,Y座標をCCDカメラ4a〜4cで読み取って,基板3の中心座標と傾きを求める。 - 特許庁
In later exposing, a plurality of alignment marks on the wafer are detected and exposure is performed based on a result of detection, so that the accuracy of superposition of patterns can be increased.例文帳に追加
また、後の露光を行う際には、ウエハ上の複数のアライメントマークを検出し、その検出結果に基づいて、露光を行うので、パターンの重ね合わせ精度を向上させることも可能となる。 - 特許庁
The first and second alignment marks (10, 11) are arranged so that one is substantially located above the other in the first portion and one is substantially located above the other in the second portion.例文帳に追加
第1及び第2の位置合せマーク(10、11)を、第1の部分が実質的に一方が他方の上方に位置し、かつ第2の部分が実質的に一方が他方の上方に位置するように配設する。 - 特許庁
Thereby, the mother glass substrates 1, in which the surface of the both side parts where the alignment marks are to be formed, is flat, and the irregulalities are formed in an area, from which individual liquid crystal display elements are to be collected, can be obtained.例文帳に追加
これにより、アライメントマークが形成される両側部の表面が平坦で個々の液晶表示素子のガラス基板を採取するエリアに凹凸が形成されたマザーガラス基板1が得られる。 - 特許庁
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