「react on」に関連した英語例文の一覧と使い方(5ページ目) - Weblio英語例文検索

In this production process, the tetrachlorodicyanobenzene represented by formula (1) is allowed to react with a fluorinating agent in the presence of an aprotic polar solvent in an amount of 0.1-3-fold mass based on the tetrachlorodicyanobenzene whereby the objective fluorinated dicyanobenzene represented by formula (2) can be produced in high yield.例文帳に追加

式（１）で示されるテトラクロロジシアノベンゼンを、テトラクロロジシアノベンゼンに対して０．１質量倍〜３質量倍の非プロトン性極性溶媒の存在下、フッ素化剤と反応させることにより、式（２）で示されるフッ素化ジシアノベンゼンを高収率で製造可能である。 - 特許庁

When the coolant 1 is foamed and the coolant foams 1b are elevated from the level 1a, the coolant foams 1b are brought into contact with the antifoaming agent 12 on the antifoaming members 10 and react therewith, and disappear before reaching an upper lid 6 to reliably and automatically perform the antifoaming.例文帳に追加

クーラント１が発泡してクーラント泡１ｂが液面１ａから上昇すると、クーラント泡１ｂは、消泡部材１０の消泡剤１２に接触して反応し、上蓋６まで達することなく消滅し、確実にかつ自動的に消泡することができる。 - 特許庁

Then, silicon contained in the silicide forming area is made to react with the metal film 17 by applying heat treatment under pressure higher than atmospheric pressure to the substrate 11 on which the metal film 17 is formed to form silicide films 18a, 18b.例文帳に追加

次いで、金属膜１７が形成された基板１１に対して、大気圧より高い圧力下での熱処理を行って、上記シリサイド形成領域に含まれるシリコンと上記金属膜１７とを反応させることにより、シリサイド膜１８ａ、１８ｂが形成される。 - 特許庁

Although many effects are demonstrated, by sending an electrical signal from an independent controller to an electromagnet to magnetize and making it react with the magnetic force of a natural magnet on an axis so as to take out the rotational movement of the axis, all are obtained as results.例文帳に追加

独立した制御装置より電磁石へ電気信号を送り、磁力化し、軸上の自然磁石の磁力と反応させ、軸の回転運動を取り出すようにしたことによって、幾つもの効果を発揮するが、これは全て結果としてえたものである。 - 特許庁

To provide an exhaust emission control device achieving space saving and weight reduction by sharing DPF, a hydrolysis catalyst and SCR catalyst and providing good NO_x reduction action by surely making NH_3 and NO_x react on the SCR catalyst.例文帳に追加

ＤＰＦ、加水分解触媒、ＳＣＲ触媒を共用化して省スペース及び軽量化を達成すると共に、ＳＣＲ触媒上でＮＨ_3とＮＯxとを確実に反応させて良好なＮＯx還元作用が得られる内燃機関の排気浄化装置を提供する。 - 特許庁

The reforming reactor 3 utilizes high temperature exhaust gas 6 from the rotary engine 5 and makes ethanol and steam react based on action of the heat and action of a filled catalyst 8 to perform steam reformation to hydrogen, carbon monoxide, carbon dioxide and the like.例文帳に追加

改質反応器３は、ロータリーエンジン５からの高温の排気ガス６を利用し、その熱の作用と、充填された触媒８の作用とに基づき、エタノールと水蒸気とを反応させ、もって水素，一酸化炭素，二酸化炭素等に、水蒸気改質する。 - 特許庁

The silane compound is made to react with a hydroxyl group (-OH group) existing on the surface of the alignment layer 16 of the silanol groups to be reaction active sites to form a reaction layer 31 and the silanol groups photochemically reacting with the liquid crystal molecules 50a are reduced.例文帳に追加

反応活性サイトとなるシラノール基のうち配向膜１６の表面に存在する水酸基（−ＯＨ基）にシラン化合物を反応させておくことによって反応層３１を形成し、液晶分子５０ａと光化学反応するシラノール基を低減する。 - 特許庁

The fine mesopores are formed in the inside of the crystal of the zeolite by supporting reactive particles which directly or indirectly react with zeolite on the surface or in the inside of the zeolite crystal and then directly or indirectly reacting the reactive particles with the zeolite.例文帳に追加

ゼオライトの結晶の表面又は内部にゼオライトと直接的又は間接的に反応する反応性粒子を担持した後、反応性粒子とゼオライトとの直接的又は間接的な反応によりゼオライトの結晶の内部にメソ細孔を形成する。 - 特許庁

The method for removing nonspecific matter adsorbed to array surface is provided, comprising the following process: An array with a physiologically active substance immobilized on a substrate and a cell extract liquid are made to react with each other followed by subjecting the array to ultrasonic cleaning with a nonionic surfactant-containing cleaning liquid.例文帳に追加

生理活性物質を基板上に固定化したアレイと細胞抽出液とを反応させた後、非イオン性界面活性剤を含む洗浄液でアレイを超音波洗浄することにより、アレイ表面の非特異的吸着物質を取り除くことができる。 - 特許庁

When a prescribed time passes without simultaneous long-time depression of the up key and the down key, a second child lock by which the audio device does not react on operations of the master volume knob or the up key or the down key of the volume adjustment keys of the remote controller is set.例文帳に追加

上方向キーと下方向キーとを同時に長押しされずに所定時間経過したときには、マスターボリュームツマミ、またはリモコンの音量調整キーの上方向キーあるいは下方向キーを操作しても反応しないようにする第２チャイルドロックが設定される。 - 特許庁

To provide a cylindrical container for accommodating a liquid and immersing a solid in the liquid to cause an interaction between the liquid and the solid, and to reconcile stable rotation based on positioning accuracy with ease of container attachment/detachment while utilizing the container and its stable rotation to clean the solid, to cause the solid to react with the liquid, and to measure liquid components.例文帳に追加

液体を収容し、液体中に固体を浸漬して液体と固体との間に相互作用させるための円筒形容器であって、位置決め精度に基づく安定した回転と容器着脱の容易さを両立して提供する。 - 特許庁

By this method, etching residues are removed without sputtering copper at the bottom parts of the opening parts, by providing an anisotropic hydrogen plasma, making ions in the plasma chemically react on the etching residues at the bottom of opening part including copper oxide on an exposed copper surface as ≥1 in relative permittivity, and then washing an exposed part on the copper surface.例文帳に追加

本方法は、異方性水素プラズマを提供して、プラズマ中のイオンと、露出した銅表面上の酸化銅を含む一以上の開口部の底部におけるエッチング残留物との間に化学反応を起こさせ、それによって、銅表面の露出した部分を洗浄して、開口部の底部で銅をスパッタリングすることなくエッチング残留物を除去することを含む。 - 特許庁

The method for growing an indium nitride-containing semiconductor layer comprises the steps of: forming indium hydride by causing hydrogen atoms resulting from the decomposition by plasma to react with an indium source including indium metal or indium-containing compound; forming nitrogen atoms by decomposing nitrogen with plasma; and forming an indium nitride-containing semiconductor layer on a substrate by causing the indium hydride and the nitrogen atoms to react with each other.例文帳に追加

本発明のＩｎＮを含む半導体層の成膜方法は、プラズマで分解された水素原子と、Ｉｎ金属またはＩｎを含む化合物からなるＩｎ源とを反応させることによってＩｎ水素化物を形成するステップと、プラズマで窒素を分解することによって原子状窒素を形成するステップと、Ｉｎ水素化物と原子状窒素とを反応させることによって、基板上にＩｎＮを含む半導体層を形成するステップとを含むことを特徴とする。 - 特許庁

In the film deposition method, a film of a reaction product is formed on the surface of a substrate by irradiating the surface of the substrate with a laser beam so as to heat the substrate and react raw material components while introducing the raw material components containing a gaseous substance in the direction of the substrate.例文帳に追加

本膜形成方法は、気体物質を含む原料成分を基板方向に導入しながらレーザー光を基板表面に照射し、基板の加熱と同時に原料成分の反応によって反応生成物からなる膜を基板の表面に形成するものである。 - 特許庁

In the film deposition method, a reaction gas including nitrogen atoms is introduced in the downstream of distribution holes 21a through the distribution holes 21a after being exposed to a surface wave of a microwave, and is made to react with an inorganic silane gas; thus a silicon nitride film is deposited on a substrate placed in the downstream side.例文帳に追加

窒素原子を含む反応ガスを、マイクロ波の表面波に曝した後、流通孔２１ａを通過させて該流通孔２１ａの下流に導き、該下流において無機シランガスと反応させることにより、上記下流に配置された基板上にシリコン窒化膜を成膜する成膜方法による。 - 特許庁

The sizes of the electrode pad 4 and the gold bump 5 in the face direction are almost equal, by forming a diffusion preventing layer 3 having a recess on an electrode and restricting the quantity of aluminum or aluminum alloy that is allowed to react with gold or gold alloy by the recess of the diffusion preventing layer 3.例文帳に追加

電極用パッド４と金バンプ５とは、段差を有する拡散防止層３を電極に形成し、この拡散防止層３の段差により、金もしくは金合金と反応できるアルミニウムもしくはアルミニウム合金の量を限定することにより、面方向の寸法がほぼ等しいものである。 - 特許庁

A substrate 6 is immersed in a source liquid L in a reaction chamber 4, and source gas G is supplied to the reaction chamber 4 to allow the source liquid L to react with the source gas G to grow a crystal 7 of a compound by the reaction of the source liquid L and the source gas G on the substrate 6.例文帳に追加

反応容器４内の原料液Ｌ中に基板６を浸漬し、反応容器４に原料ガスＧを供給することにより原料液Ｌと原料ガスＧとを反応させ、反応による原料液Ｌと原料ガスＧとの化合物の結晶７を基板６上に成長させる。 - 特許庁

Hydrogen and oxygen introduced to the 2nd chamber 15 radically react with each other by bringing it to contact with a platinum catalytic film 5 formed on the peripheral wall 11 and the bottom wall 13 of the reaction furnace main body 1 and the produced water is taken out from a water take-out port 7 of the bottom wall 13.例文帳に追加

第２室１５に導入された水素と酸素とは、反応炉本体１の周壁１１及び底壁１３に形成した白金触媒膜５との接触によりラジカル化されて反応し、その水分は底壁１３の水分ガス取出口７から取り出される。 - 特許庁

The photochemical reactor is constituted so that a light source 12 for optically exciting reaction molecules is provided in a reaction vessel 1, the reaction molecules contained in a solid phase are irradiated with light to be excited and the catalyst present in the reaction vessel 11 is allowed to act on the excited reaction molecules to react the reactive molecules.例文帳に追加

反応容器１１中に反応分子を光励起させる光源１２を設け、固相に含まれる反応分子に光を照射することにより励起させるとともに、励起した反応分子に反応容器１１中に存在する触媒を作用させて反応させるように構成した。 - 特許庁

There is provided an imide resin which is obtained by adding an imidizing agent to poly(meth)acrylic acid ester in an extruder to react and then reacting by adding an esterifying agent before removal of volatile portions, and which has ≤0.05 of the acid value expressed by the mm equivalent/g of imide resin for the amount of acids and acid anhydrides on the imide resin.例文帳に追加

押出機にイミド化剤を添加して反応させた後、揮発分を除去する前にエステル化剤を添加して反応させ、イミド樹脂上の酸および酸無水物の量をイミド樹脂のグラム当たりのミリ当量で表現した酸価が０．０５以下であるイミド樹脂。 - 特許庁

Aligned liquid crystal film is formed by using a liquid crystal aligning agent containing a polyamic acid or a derivative thereof produced by causing a diamine comprising alkaline nitrogen atoms in its molecule each present on two positions respectively, with the nitrogen atoms contained in the diphenylamine structure thereof, to react with a tetracarboxylic acid dianhydride, and is used in a liquid crystal display element.例文帳に追加

分子内２箇所にジフェニルアミンの構造に含まれる塩基性窒素原子を有するジアミンをテトラカルボン酸二無水物と反応させて得たポリアミック酸またはその誘導体を含有する液晶配向剤によって液晶配向膜を形成し、液晶表示素子に用いる。 - 特許庁

While the epoxy resin and the phenol-based resin are blended in the molding composition, a hydroxyl group is distributed in the molded body 1 by a simple method of adjusting the blending ratio, thereby, fluorine can be made easy to react on the surface of the molded body 1 at the time of surface-treatment.例文帳に追加

成形用組成物中にエポキシ樹脂とフェノール系化合物とを配合すると共にその配合比を調整するという非常に簡易な手法によって成形体１に水酸基を分布させ、これにより、表面処理時には、成形体１の表面にフッ素が反応しやすくなる。 - 特許庁

When a side edge of the long paper 17 is fed in the feeding direction F over the width W of the feeding passage 80, the skew detecting sensors 81, 82 react on the side edge of the long paper 17, and the driving of the device is immediately stopped by the reaction.例文帳に追加

長尺用紙１７の側縁が供給路８０の幅Ｗを超えて供給方向Ｆに供給されたとき、斜行検知センサー８１、８２がその長尺用紙１７の側縁に反応するようになっており、この反応により直ちに装置の駆動が停止される。 - 特許庁

The liquid containing ozone or the liquid in which ozone is dissolved is discharged into water 30 reserved, e.g., in a reactor vessel 1, and made to react with a radioactive substance adhering on the reactor vessel 1 and an instrument inside the reactor vessel 1 to remove the radioactive substance.例文帳に追加

オゾンのマイクロバブルを含んだ液体、もしくは、オゾンが溶解した液体は、たとえば原子炉容器１に貯えられた水３０の中に排出され、原子炉容器１や原子炉容器１の内部の機器などに付着した放射性物質と反応して、その放射性物質を除去する。 - 特許庁

This polymer electrolyte film comprises the polymer electrolyte composition and is obtained by coating the mixed solution on a substrate, forming a coated film by drying, thereafter making the compound constituting the coated film containing a plurality of ethylenic unsaturated groups to react to be crosslined.例文帳に追加

本発明の高分子電解質膜は前記高分子電解質組成物からなり、前記混合溶液を基材上に塗布し、乾燥して塗膜を形成した後、該塗膜を構成するエチレン性不飽和基を複数含有する化合物を架橋反応させることにより得られる。 - 特許庁

A flow passage-like reaction part 9 is provided at a point of a merging part 8 where a plurality of flow passages fed out with a liquid containing the substance to react are merged and a portion having a wide flow passage width and a portion having a narrow flow passage width are alternately formed on the reaction part 9 in a flow passage direction.例文帳に追加

反応させる物質を含む液体が送出される複数の流路が合流する合流部８の先に、流路状の反応部９を設け、この反応部９に、流路幅が広い部分と、流路幅が狭い部分とを、流路方向へ交互に形成した。 - 特許庁

In a region where plasma treatment is performed by introducing gas containing fluorine as a constitutive element as the material gas of etching, the plasma of gas containing fluorine is caused to react on carbon 112 under a solid state to generate molecular chemical species of CF_4, CF_2, CF_3, C_2F_4, and the like, used for etching.例文帳に追加

エッチングの原料ガスとして、フッ素を構成元素とするガスを導入し、プラズマ処理するその領域で、固体の状態の炭素１１２にフッ素を含むガスのプラズマを反応させ、ＣＦ_4やＣＦ_2、ＣＦ_3、Ｃ_2Ｆ_4などの分子状の化学種を生成し、この化学種でエッチングする。 - 特許庁

The sulfuric acid and the oxygenated water are mixed and made to react so that SPM can be generated on the surface of the wafer, and the temperature of the SPM is increased to such a high temperature that the resist of the surface of the wafer can be satisfactorily peeled by using reaction heat of formation at that time.例文帳に追加

これにより、ウエハの表面上で、硫酸と過酸化水素水とが混じり合って反応することによってＳＰＭが生成され、このときの反応生成熱を利用して、そのＳＰＭがウエハ表面のレジストを良好に剥離可能な高温に昇温される。 - 特許庁

In Na and Ga mixed melting liquid 107 and on an Na and Ga mixed melting liquid surface 108, nitrogen gas or nitrogen components in the melting liquid supplied from the nitrogen gas and Ga are allowed to react so that continuous GaN crystals can grow, and that the crystal size can be made large.例文帳に追加

ＮａとＧａの混合融液中１０７及び混合融液表面１０８で、窒素ガス或いは窒素ガスから供給された融液中の窒素成分とＧａとが反応することで、継続的なＧａＮ結晶が成長し、結晶サイズの大きなものを得ることが可能となる。 - 特許庁

The organic photoreceptor has at least an intermediate layer and photosensitive layer on a conductive substrate, wherein the intermediate layer contains a cured resin formed, by making a reactive resin having an aldehyde content of ≤0.5% and having an alkyl alcohol group react.例文帳に追加

導電性基体上に少なくとも中間層及び感光層を有する有機感光体において、前記中間層がアルデヒドの含有率が０．５％以下で且つアルキルアルコール基を有する反応性樹脂を反応させて形成された硬化樹脂を含有することを特徴とする有機感光体。 - 特許庁

(1) If the conditions stipulated for granting the patent are not met referred to in Sections 5, 7, 8 and 9, the Office shall refuse the application. Before refusing the application the Office shall enable the applicant to react to the ascertained reasons on the basis of which it has to be refused.例文帳に追加

(1) 特許付与に係る条件(第5条，第7条，第8条及び第9条)が満たされていない場合は，庁は，出願を拒絶する。ただし，出願を拒絶する前に，庁は，出願人に対して，出願拒絶の理由について応答する機会を与えるものとする。 - 特許庁

Although, when heavy oil or gas originated from fossil fuel is burned, the heavy oil or gas is changed to carbon dioxide, etc. and the original fuel disappears, the quick lime 1 and slaked lime 3 can be made to continuously react on each other while changing the chemical structure between the quick lime and slaked lime in the energy generation mechanism.例文帳に追加

化石燃料に由来する重油やガスでは燃焼させると二酸化炭素などに変化して元の燃料は消失するが、このエネルギー発生機構では生石灰１と消石灰３との間で化学構造を変換させながら連続的に反応させることができる。 - 特許庁

A reaction sample solution sucked and reserved by the each suction and delivery operation member 29 is dispensed from the each dispenser member 47 onto the each fixed sample on the substrate 53 to react therebetween, under the condition where the suction and delivery operation members 29 are selectively communicated to the respective suction members 23.例文帳に追加

各吸引部材２３と吸引吐出作動部材２９とを選択的に連通した状態で、吸引吐出作動部材２９に吸引され溜められた反応試料溶液を分注部材４７から基板５３上の各固定試料に対して分注吐出して反応させる。 - 特許庁

The reactive gas is vertically supplied to a film surface on the lower side of the tape-like wire 6 in a similar fashion to react the film body of the tape-like wire with the superconductive layer; and the reacted gas is exhausted from gas exhaust holes of exhaust tubes 4c and 4d for the reacted gas at the same time.例文帳に追加

同様に、テープ状線材６の下部側の膜面に対して垂直方向から反応性ガスを供給し、テープ状線材の膜体を超電導層に反応させるとともに、同時に反応後のガスの排出管４c、４dのガス排出孔から反応後のガスを排出する。 - 特許庁

This semiconductor laser element includes a front surface electrode formed by Au plating, a back surface electrode formed by Au plating, an antisticking film formed only on the front surface electrode and made of a material which does not react with Au, and a coating film covering a light emitting side end face and an opposite side end face.例文帳に追加

Ａｕメッキにより形成された表面電極と、Ａｕメッキにより形成された裏面電極と、表面電極上のみに形成された、Ａｕと反応を起こさない材料からなる付着防止膜と、発光側端面及び反対側端面を覆うコーティング膜とを有する。 - 特許庁

At least two kinds of gas where at least one type of gas is subjected to ionization decomposition by discharge is mixed in a film-formed chamber 1, thus allowing an element for forming the thin film contained in the gas, to react in the film-formed chamber 1, and forming the thin film on the substrate 6 to be treated.例文帳に追加

少なくとも１種類が放電により電離分解された２種類以上のガスが成膜チャンバー１内で混合されることにより、それらのガス中に含まれる薄膜を形成する元素が成膜チャンバー１内で反応し、被処理基板６上への薄膜の形成が行われる。 - 特許庁

Work of user operation is saved by operations such as, if a side frame part 104 is opened, a detection sensor of opening and closing 107 responds; if the eyeglasses type display 101 is worn, and a nose pad part and the side frame part contact with face or head parts, sensors 109 to 111 react, and a screen display is turned ON.例文帳に追加

サイドフレーム部１０４を開くと、開閉探知センサー１０７が反応し、眼鏡型ディスプレイ１０１をかけて、ノーズパッド部とサイドフレーム部が顔及び頭部に接触すると、センサー１０９〜１１１が反応し、画面表示がＯＮになることにより、使用者の操作の手間を省く。 - 特許庁

When a thin film 1 consisting mainly of vanadium oxide is formed on a substrate by supplying a vanadium compound containing chlorine and a gaseous starting material containing steam onto the substrate and allowing the vanadium compound (for example, vanadium chloride, vanadium oxychloride) to react with steam, hydrogen chloride is added into the gaseous starting material.例文帳に追加

塩素を含むバナジウム化合物と水蒸気とを含む原料ガスを基体上に供給し、バナジウム化合物（例えば塩化バナジウム、オキシ塩化バナジウム）と水蒸気とを反応させ、基体上に酸化バナジウムを主成分とする薄膜１を形成するに際し、原料ガスに塩化水素を添加する。 - 特許庁

In addition, this process includes the step where β-glucosidase is allowed to react with a saccharide solution mainly containing glucose to produce β-gluco- oligosaccharide and the step where β-glucosidase is allowed to act on the resultant β-gluco-oligosaccharide and a hydroxyl group-bearing compound to form β-glucoside.例文帳に追加

グルコースを主成分として含む糖液にβ−グルコシダーゼを作用させてβ−グルコオリゴ糖を得る工程、及び得られたβ−グルコオリゴ糖と水酸基を有する化合物とにβ−グルコシダーゼを作用させてβ−グルコシドを生成させる工程を含む、β−グルコシドの製造方法。 - 特許庁

The radiation-sensitive resin composition comprises (A) an alicyclic olefin polymer having an acidic group, (B) a compound having two or more functional groups which react with an acidic group, (C) an onium salt, and (D) an oxidation inhibitor in an amount of 3-15 pts.wt. based on 100 pts.wt. of the polymer.例文帳に追加

Ａ：酸性基を有する脂環式オレフィン重合体、Ｂ：酸性基と反応する官能基を２つ以上有する化合物、Ｃ：オニウム塩、Ｄ：酸化防止剤を前記重合体１００重量部に対し３〜１５重量部含有してなる感放射線樹脂組成物。 - 特許庁

The objective adhesive comprises the Michel's addition type urethane-urea resin bearing isocyanate groups on the chain terminals that is obtained by allowing (B) an amine prepared by the Michel's addition of (c) a polyamine to (d) an unsaturated compound to react with (A) the polyurethane- urea resultant from the reaction between (a) a polyol and (b) a polyisocyanate.例文帳に追加

ポリオール（ａ）とポリイソシアネート（ｂ）とを反応させて得られるウレタンプレポリマー（Ａ）に、ポリアミン（ｃ）と不飽和化合物（ｄ）とをマイケル付加反応させてなるアミン化合物（Ｂ）を反応させてなり末端にイソシアナト基を有するマイケル付加型ウレタンウレア樹脂を含んでなる粘着剤。 - 特許庁

Continually, heat treatment is performed to make Mn in the alloy layer 17 react with the components of interlayer insulating films 12 and 15 to form a self-forming barrier film made of an Mn compound having diffusion prevention property of Cu on the interface of the alloy layer 17 and the interlayer insulating films 12 and 15.例文帳に追加

続いて、熱処理を行い、合金層１７中のＭｎを層間絶縁膜１２、１５の構成成分と反応させて、合金層１７と層間絶縁膜１２、１５の界面に、Ｃｕの拡散防止性を有するＭｎ化合物からなる自己形成バリア膜を形成する。 - 特許庁

The photocatalyst body is provided with a porous base material and a photocatalyst layer which is provided on a surface of each constituent of the porous base material and which can react at least to sunlight, has percentage of void enabling light to transmit the inside in a thickness direction and has a form extensible in a planar shape.例文帳に追加

多孔質基材と、該多孔質基材の各構成要素の表面に設けられた少なくとも太陽光に反応可能な光触媒層とを備え、厚み方向に内部まで光を透過可能な空隙率を有し、平面状に延在可能な形態を有する光触媒体。 - 特許庁

The protecting film stabilizer 20 is so structured that an MgO protective film 10a formed on a front substrate 10 is removed of stains under heating in a front substrate treatment room 4 evacuated, and that, is made to react with a process gas containing hydrogen-system gas.例文帳に追加

本発明の保護膜安定化装置２０は、真空排気される前面板処理室４内において、前面板１０上に形成したＭｇＯ保護膜１０ａに対し、加熱下で、汚染物除去を行い、かつ、水素系ガスを含有するプロセスガスと反応させるように構成されている。 - 特許庁

A conductive material in a contact hole with a maximum diameter of 0.5 μm or less which is formed in an insulation film 7 on a semiconductor substrate 1, is allowed to react with a polycrystalline silicon 10 and a cobalt 12 in solid phase, and the unreacted cobalt is removed selectively, so that a contact plug containing a cobalt silicide 13 is formed.例文帳に追加

半導体基板１上の絶縁膜７に形成された最大径が０．５μｍ以下のコンタクト孔内の導電材料に多結晶シリコン１０とコバルト１２を固相反応させ、未反応のコバルトを選択的に除去して、コバルトシリサイド１３を含むようなコンタクトプラグを形成する。 - 特許庁