「surface diffusion」に関連した英語例文の一覧と使い方(46ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide a local illumination using a light-emitting device and a lens in which the central part of an irradiated surface is illuminated uniformly over a wide range by the control of diffusion angles according to luminous intensity distribution, and for this purpose an attempt is made so as not to entail the complication of configuration, or the like.例文帳に追加

発光素子及びレンズを用いた局部照明灯において、発光強度分布に応じた拡散角度の制御により被照射面の中央を広い範囲に亘って均一に照明するとともに、そのために構成の複雑化等を伴わないようにする。 - 特許庁

To provide a fuel battery in which an approximately linear gas inflow channel and an approximately linear gas outflow channel are formed on the surface of a cathode-side separator to be almost parallel with each other, and a decline in power generation performance, which results from the formation involving an area involving no oxidizer gas flow in a cathode-side gas diffusion layer, is prevented.例文帳に追加

カソード側のセパレータの表面に、略直線形状のガス流入流路およびガス流出流路が略平行に形成された燃料電池において、カソード側のガス拡散層に酸化剤ガスが流れない領域が生じることによる発電性能の低下を防止する。 - 特許庁

To provide a film, in which fine projections are provided on the surface and both writing properties and tracing properties are excellent and the whole beam transmittance and light diffusion transmittance are large and a rate of heat shrinkage is small and heat resistance is excellent, in the film- making process of an ordinary polyester film at a low cost together with stabilized quality.例文帳に追加

表面に微小突起を有し、筆記性とトレース性に優れ、全光線透過率と光拡散透過率の大きな、熱収縮率の小さい耐熱性に優れたフィルムを通常のポリエステルフィルムの製膜工程内で安定した品質とともに安価に提供する。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a semiconductor device, which is capable of forming a side wall without producing a dent on the surface of a substrate at the side wall of a gate electrode so as to stabilize the formation positions of diffusion layer regions, such as a source region, a drain region, etc., and to obtain a semiconductor device uniform in element characteristics.例文帳に追加

ゲート電極側壁の基板表面に掘れを発生させることなくサイドウォールを形成することが可能で、これによりソース／ドレインなどの拡散層領域の形成位置が安定化して素子特性が均一な半導体装置を得ることが可能な製造方法を提供する。 - 特許庁

As the other means, the controller sets protection current to less than the diffusion limit current density of dissolved oxygen, so as to control protection current to the fixed one, and, by the partial formation of electrocoating, the electric potential in the surface part of the steel in contact with fresh water is reduced to -0.7 V(SHE) or lower.例文帳に追加

他の手段として、制御装置は、防食電流密度を溶存酸素の拡散限界電流密度未満に設定して防食電流を定電流制御し、エレクトロコーティングの部分的な形成によって、淡水と接触する鋼材表面部分の電位を-0.7V（SHE）以下に低下させる。 - 特許庁

To adequately adjust a carburized depth and a carbon amount on a surface while inhibiting the formation of cementite, in a continuous vacuum carburizing furnace for continuously carrying out the step of heating a treating material, subjecting the treating material to carburization/diffusion treatment in a reduced pressure, and then lowering the temperature of the treating material.例文帳に追加

処理材を加熱し、この処理材に対し減圧状態で浸炭・拡散を行った後、この処理材を降温させる工程を連続して行う連続式真空浸炭炉において、セメンタイトの生成を抑制し、浸炭深さや表面炭素量を適切に調整できるようにする。 - 特許庁

A He ion is irradiated on the whole of a chip and a lifetime killer is introduced from a position d2 shallower than a position d1 of a PN junction surface 31 including the n^- semiconductor layer 22 and the p^+ diffusion region 23 to a position d3 deeper than the position d1 to form a low lifetime region 32 on the whole of the chip.例文帳に追加

チップ全面にＨｅイオンを照射して、ｎ^-半導体層２２とｐ^+拡散領域２３とからなるＰＮ接合面３１の位置ｄ１よりも浅い位置ｄ２から深い位置ｄ３までライフタイムキラーを導入し、チップ全体に低ライフタイム領域３２を形成する。 - 特許庁

The trench type MOSFET 10 is formed by laminating a P type highly-doped drain section 1, a P type lightly-doped drain section 2, an N channel body section 3, and a P type source diffusion section 4 in this order and a trench gate electrode 6 is formed in a trench reaching the lightly-doped drain section 2 from a substrate surface.例文帳に追加

本発明のトレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１０は、Ｐ型の高ドープドレイン部１、Ｐ型の低ドープドレイン部２、Ｎ型のチャネルボディ部３、Ｐ型のソース拡散部４がこの順で積層され、トレンチゲート電極６が基板表面から低ドープドレイン部２に達するトレンチに形成される。 - 特許庁

Respective holes 112A and 113A adjacent to each other in the stacking direction in the gas diffusion plates 112 and 113 are formed so that center positions thereof are shifted from each other by a predetermined distance (for instance, a half of a distance between the holes) in the in-plane direction of the stacking surface, and communicate with each other.例文帳に追加

ガス拡散板１１２，１１３における積層方向で隣接する各孔１１２Ａ，１１３Ａは、その中心位置が積層面の面内方向において所定距離（たとえば孔どうしの間隔の半分）だけずれるように配置されて、互いに連通している。 - 特許庁

To provide a planographic printing plate applying a silver complex salt diffusion transfer process, excellent in various printing characteristics, excellent particularly in resistance to the stain of the non-image area and scratch stain (the stain of a scratched part of the plate surface) and having enhanced handleability.例文帳に追加

本発明は銀錯塩拡散転写法を応用した平版印刷版は印刷諸特性に優れ特に非画像部分の汚れ及びスクラッチ汚れ（版面の引っ掻き傷部分の汚れ）に優れ取り扱い性の向上した平版印刷版を提供する事を目的とする。 - 特許庁

A second prism 83 is provided with a scattering side face 83c which is a light diffusion surface formed like ground glass and therefore even if unintended random polarized light L1 enters the scattering side face 83c, the degradation of the polarization degree of linearly polarized light LO can be prevented.例文帳に追加

第２プリズム８３において、磨りガラス状に形成された光拡散面である散乱側面８３ｃが設けられているので、意図しないランダム偏光ＬＩが散乱側面８３ｃに入射した場合であっても、直線偏光ＬＯの偏光度が低下することを防止できる。 - 特許庁

To provide an optical sheet with excellent condensation property, diffusion characteristic and a configuration inhibiting interference fringe, that can protect the optical sheet itself from damage due to warping or twisting even when another optical sheet is laminated on a light emission surface.例文帳に追加

優れた光の集光・拡散特性及び干渉縞を発生させ難い構造を併せ持ち、光出射面上に別の光学シートを積層させた際においても、光学シート自体の反りやねじれ等の変形による傷付防止効果を有する光学シートを提供する。 - 特許庁

In this way, the reaction between the components in the molten salt with an oxygen component or moisture is substantially prevented, the stabilization of the diffusion components in the molten salt is attained, and a compound layer as a treatment layer having excellent properties can be formed on the surface part of the object to be treated.例文帳に追加

これにより、溶融塩中の成分と酸素分や水分との反応を実質的に防止し、溶融塩中の拡散成分の安定化を図り、被処理品の表面部に優れた性質を有する処理層である化合物層を形成させることが可能となる。 - 特許庁

In the diffusion plate 11 of the backlight device 49, a light ray from a lamp 43 is diffused to various directions inside a protruding body 12, by arranging the protruding body 12 having, for example, a bent cross sectional shape (having a curved (bent) surface) on a position irradiated with the light ray directly from above.例文帳に追加

バックライト装置４９における拡散板１１において、直上光線の照射される位置に、例えば湾曲した断面形状を有する（曲面（湾曲面）を有する）隆起体１２を設けるようにし、ランプ４３からの光線を隆起体１２内部で多方面に拡散させる。 - 特許庁

Afterwards, a metal film is formed on the surface protecting film 7 including the inside of the opening 8, and the metal film is patterned, thereby forming an anode electrode 9a in contact with the p-type diffusion layer 6 and an outer peripheral electrode 9b in contact with the n-type epitaxial layer 2 exposed in the outer periphery of the chip.例文帳に追加

その後、開口部８の内部を含む表面保護膜７上にメタル膜を成膜し、メタル膜をパターニングすることによって、ｐ型拡散層６に接するアノード電極９ａおよびチップの外周部に露出したｎ型エピタキシャル層２に接する外周電極９ｂを形成する。 - 特許庁

A light diffusion layer 6 comprising light scattering particles 7 nearly uniformly distributed on an upper surface of a reflection film 5 disposed between a liquid crystal layer 9 and a rear substrate 1B with ≥50% filling factor and coated with a coating material 8 having a refractive index different from that of the light scattering particles 7 is formed.例文帳に追加

液晶層９とリア基板１Ｂとの間に配設された反射膜５の上面に、充填率が５０％以上となるように略均一に分布させた散乱粒子７を当該散乱粒子７と異なる屈折率を有する被覆材８で被覆させた光拡散層６を形成する。 - 特許庁

The high speed air flow jetted from the bypass passage 8 surrounds injected fuel and prevents diffusion of the fuel, and guides the fuel to a position near the center of the combustion chamber of the upper surface of the head of an intake valve 2 or a position near the center of the combustion chamber between the intake valve and a sheet 5.例文帳に追加

バイパス通路８から吹き出す高速空気流が噴射燃料を囲んで燃料の拡散を防止しつつ該燃料を吸気弁２のヘッド上面のうち燃焼室中央寄りの位置或いは吸気弁・シート間５の燃焼室中央寄りに位置に導く。 - 特許庁

The woven fabric or the nonwoven fabric made mainly of a flame resistant yarn or thread is passed through a thermo-compression roll, and after making the surface smooth and thin, a final heat treatment of 800-3,000°C is applied, thereby, the carbon fiber woven fabric or nonwoven fabric for fuel cell gas diffusion layer is manufactured.例文帳に追加

炭素繊維用耐炎化糸を主成分とする織布または不織布を熱圧ロールに通過させて、表面を平滑かつ厚みを薄くした後、８００〜３０００℃の最終熱処理をすることからなる燃料電池ガス拡散層用の炭素繊維織布または不織布の製造方法。 - 特許庁

After forming a metallic layer (diffusion preventing layer) 150 of a nickel by cladding the nickel on each surface mutually faced in a first and a second plates 111, 112, a copper is heated to not lower than the m.p. of the copper as a brazing filler metal to join the first and the second plates 111, 112 with brazing.例文帳に追加

第１、２プレート（１１１、１１２）のうち互いに面するそれぞれの面に、ニッケルをクラッドしてニッケルの金属層（拡散防止層）１５０を形成した後、銅をろう材として銅の融点以上まで加熱して第１、２プレート１１１、１１２をろう付け接合する。 - 特許庁

Provided on a vacant surface 4, a dummy component 3 is identical with a component adjacent to a memory cell field or similar, as possible, to the component, while provided in the connected diffusion regions 5 common to the component adjacent to the dummy component.例文帳に追加

空き面（４）にダミー構成素子（３）が設けられており、該ダミー構成素子は、メモリセルフィールドの隣接する構成素子と同じであるか、または当該構成素子にできるだけ類似し、ダミー構成素子と隣接する構成素子とは共通の繋がった拡散領域（５）に配置されている。 - 特許庁

The ring light 1 includes an annular base plate 2, LEDs 3a on an outer periphery side and LEDs 3b on an inner periphery side which are respectively doubly arranged zigzag at predetermined intervals on one surface of the base plate 2, and an annular diffusion plate 4 diffusing light radiated from the respective LEDs 3 (3a and 3b).例文帳に追加

リングライト１は、円環状の基板２と、基板２の一表面にそれぞれ所定間隔で二重にチドリ配置された外周側のＬＥＤ３ａと、内周側のＬＥＤ３ｂと、各ＬＥＤ３（３ａ，３ｂ）の照射する光を拡散する円環状の拡散板４とを備える。 - 特許庁

The first coat of slurry is applied on a basic layer of carbon 6 and dried to form a first underlayer 7 and the second coat of slurry is applied on the underlayer 7 and dried to form a second underlayer 8 of which surface roughness is 40μm or less at maximum height Rmax, which provides a diffusion electrode 5.例文帳に追加

第１のスラリーを炭素基材層６上に塗布、乾燥し、第１の下地層７を形成し、第２のスラリーを下地層７上に塗布、乾燥して、表面粗さの最大高さＲmaxが４０μｍ以下の第２の下地層８を形成し、拡散電極５を形成する。 - 特許庁

In an RESURF MOSFET, an n-type upper diffusion area 115 that has higher n-type impurity concentration than that in other parts of a drift area 102 is provided between a drain area 109 and a drift embedded area 114 on the surface of an n-type drift area 102.例文帳に追加

ＲＥＳＵＲＦＭＯＳＦＥＴにおいて、Ｎ型ドリフト領域１０２の表面部におけるドレイン領域１０９とドリフト埋め込み領域１１４との間に、ドリフト領域１０２の他の部分と比べてより高いＮ型不純物濃度を有するＮ型上部拡散領域１１５が設けられている。 - 特許庁

A p-type diffusion layer 21 is formed in an epitaxial wafer 10 arranged with first and second clad layers 13 and 15 of n-type semiconductor having an energy band gap higher than that of an active layer 14 of n-type semiconductor sandwiched between, and p and n electrodes 31 and 32 are provided on the surface side.例文帳に追加

ｎ型半導体の活性層１４を挟むように、これよりエネルギーバンドギャップの高いｎ型半導体の第１と第２のクラッド層１３，１５を配置したエピウエハ１０にｐ型拡散層２１を形成し、表面側にｐ、ｎの両電極３１，３２を設ける。 - 特許庁

To provide a process for fabricating a thin film transistor in which a shallow junction diffusion layer can be formed on the surface layer of a semiconductor thin film and thereby the leak current can be suppressed uniformly by relaxing the electric field at the drain end without providing an LDD region.例文帳に追加

半導体薄膜の表面層に浅い接合の拡散層を形成することが可能で、これによりＬＤＤ領域を設けることなくドレイン端においての電界を緩和してリーク電流を均一に抑えることができる薄膜トランジスタの製造方法を提供する。 - 特許庁

A raw material is molded by pressure fine particle sintering molding using iron alloy powders containing Cr, and nitriding treatment excluding carburized component is applied to form the surface having a mixing texture 3 composed of a compound layer 2 of Fe-Cr-N, a diffusion layer of Fe-Cr-N, and a base.例文帳に追加

Ｃｒを含有する鉄系合金粉末を使用して圧粉体焼結成形で素材を成形し、浸炭成分を排除した窒化処理を施すことで、表面をＦｅ−Ｃｒ−Ｎの化合物層２とＦｅ−Ｃｒ−Ｎの拡散層と基地の混合組織３とした。 - 特許庁

To provide a surface light source device which uses as an optical reflecting plate a synthetic resin foam body that is superior in processability and shape retentivity, and can have high reflectance with a thin shape, by giving diffusion effect to this reflecting plate, as well as improving the unevenness in luminance.例文帳に追加

加工性や形状保持性に優れた合成樹脂発泡体を光反射板として用い、かつこの反射板に拡散効果を持たせることにより、薄型で高い反射率を有するだけでなく、輝度むらを改善することができる面光源装置を提供する。 - 特許庁

To obtain better diffusion of gas necessary for reaction as well as maintaining the mechanical strength of the electrode, that, in particular, enables formation of catalyst layers of smooth surface with uniform and excellent water repellency, regardless of unevenness of the electrode base material, and that also ensures stable battery performance.例文帳に追加

電極の機械的な強度を確保しながら、反応に必要な気体の拡散を良好に行うことを可能にし、特に、電極基材の凹凸に関わらず平滑な表面を持つ、均一で撥水性に優れた触媒層を形成し、安定な電池性能を確保する。 - 特許庁

Specifically, when the diffusion layer of the fuel electrode is formed by applying a compound of carbon black and polytetrafluoroethylene to the surface of a base material comprising a carbon paper, the weight ratio of the polytetrafluoroethylene in the compound and/or the applying amount of the compound are changed in accordance with the flow of the fuel.例文帳に追加

具体的には、カーボンペーパ等からなる基材の表面に、カーボンブラック＋ポリテトラフルオロエチレン混合物を塗布して燃料極拡散層とする場合において、混合物中に含まれるポリテトラフルオロエチレンの重量比、及び／又は、混合物の塗布量を燃料の流れに沿って変化させる。 - 特許庁

In this processing, the PH3 gas jetted out of a gas diffusion hole 12a of the nozzle 12 is allowed to reflect at the inner wall of the reaction furnace 1, and the gas stream is directed at an angle of 45° to 90°, preferably at an angle vertical or approximately vertical to the surface of the substrate 11.例文帳に追加

このとき、石英ガスノズル１２のガス拡散穴１２ａから吹き出されるＰＨ_3 ガスを反応炉１の内壁で反射させ、そのガス流の方向を半導体基板１１の表面に対して、４５°〜９０°の角度、好適には、垂直か垂直に近い角度になるようにする。 - 特許庁

Though the specific surface area of an electrode composed of the transparent electrode 10 and the semiconductor layer 20 can be increased by fining and lengthening the projections, and forming them densely, the space factor and the aspect ratio of the projections are set considering the problem of diffusion in the transfer layer 40, etc.例文帳に追加

透明電極１０及び半導体層２０からなる電極の比表面積を高めるためには、突起を細かくかつ長くし、そして密に形成すればよいが、電荷移動層４０中の拡散の問題等を考慮して、突起の空間占有率及びアスペクト比を設定する。 - 特許庁

To provide a workpiece plate for a metal separator for a fuel cell in which superior contact resistance is realized between a gas diffusion electrode after having premised that gilding is not applied on the surface of stainless steel, a superior mechanical characteristic is secured wherein cracks do not occur in press molding.例文帳に追加

ステンレス鋼の表面に金めっき等を施さないことを前提とした上で、ガス拡散電極との間で優れた接触抵抗性が実現されるとともに、プレス成形時に割れを生じない優れた機械的特性を確保した燃料電池用金属製セパレータ用素材板を提供する。 - 特許庁

The controller sets protection current density to the diffusion limit current density of dissolved oxygen or higher, so as to control protection current, or controls protection current in such a manner that the electric potential in the surface part of the steel in contact with fresh water is initially reduced to -0.7 V (SHE) or lower.例文帳に追加

制御装置は、防食電流密度を溶存酸素の拡散限界電流密度以上に設定して防食電流を制御し、或いは、淡水と接触する鋼材表面部分の電位が初期的に-0.7V（SHE）以下に低下するように防食電流を制御する。 - 特許庁

When the liquid given to the liquid receiving part 10 diffuses to the surroundings in an absorbing layer 5 and a surface sheet 4, the grade of the diffusion degree of the liquid corresponding to the physical condition at the time or the wearing time can be known by the reference marks 12, 14, 16 and the grade displays 21, 22, 23.例文帳に追加

受液部１０に与えられる液が吸収層５および表面シート４で周囲に拡散したときに、前記基準マーク１２，１４，１６および等級表示２１，２２，２３によって、そのときの体調や着用時間に応じた液の拡散度の等級を知ることができる。 - 特許庁

In a salicide formation process, a detecting wiring line 217 for connecting a floating diffusion 203 and a gate electrode 104g of an amplification transistor 104 is formed in the form of a high-melting-point metallic material not reacting with the silicide reaction on a non-silicon surface generated in the salicide formation process.例文帳に追加

サリサイド形成過程において、フローティングディフュージョン２０３と増幅トランジスタ１０４のゲート電極１０４ｇとを接続する検出用配線２１７を、サリサイド形成過程に発生する非シリコン表面上のシリサイド化反応していない高融点金属材料を利用して形成する。 - 特許庁

To provide a light-emitting element in which current diffusing layers can be formed efficiently despite the layers being formed on both main surface sides of an AlGaInP light-emitting layer section, and which can suppress the deterioration of the current diffusing layers caused by the thermal diffusion of the dopant profile of the light-emitting layer.例文帳に追加

ＡｌＧａＩｎＰ発光層部の両主表面側に電流拡散層が形成されているにもかかわらず、電流拡散層を効率よく形成でき、また、電流拡散層を発光層部のドーパントプロファイルの熱拡散による劣化も抑制できる発光素子を提供する。 - 特許庁

To ensure stable cell performance by enabling it to perform satisfactory diffusion of gases necessary for the reaction, while retaining mechanical strength for the electrode, and in particular, by forming a carbon layer which has a smooth surface, regardless of unevenness of the electrode substrate and has an improved uniform water repellency.例文帳に追加

電極の機械的な強度を確保しながら、反応に必要な気体の拡散を良好に行うことを可能にし、特に、電極基材の凹凸に関わらず平滑な表面を持つ、均一で撥水性に優れたカーボン層を形成し、安定な電池性能を確保する。 - 特許庁

Accordingly, since the liquid-absorbing polymer absorbs the oily component and makes soil gel even when a liquid component including the oily component leaks out from the oil well S, the outflow and diffusion of the oily component to a circumference containing a ground surface can be prevented.例文帳に追加

こうすることにより、油井Ｓから油性成分をはじめとする液体成分が漏出しても、この吸液性ポリマーが油性成分を吸収したり土壌をゲル化させたりするので、地表を含む周囲への油性成分の流出や拡散を防止することができる。 - 特許庁

A member 11 having two surfaces facing each other as repair parts is disposed on a surface inclined by a predetermined angle from the horizon, and a pair of holding plates 15a and 15b hold cladding-by-welding diffusion repairing materials 14a and 14b facing each other disposed on the repair parts 13a and 13b, respectively.例文帳に追加

対向する二面を補修部とした被補修材１１は水平より所定角度に傾けた面に配置され、一対の押さえ板１５ａ、１５ｂは補修部１３ａ、１３ｂに配置された対向する肉盛拡散補修材１４ａ、１４ｂをそれぞれ押さえる。 - 特許庁

Further, the first layer 11 uses a material with a low density, while the second layer 12 uses one woven with a fibrous shape-memory alloy so that it can expand and contract in a vertical direction in accordance with temperature change against a joint surface of the electrolyte catalyst 2 with the gas diffusion layer 3.例文帳に追加

さらに、第１の層１１として密度の小さなものを用い、第２の層１２として、温度変化によって、電極触媒層２とガス拡散層３との接合面１３に対して垂直な方向に伸縮するように、繊維状の形状記憶合金で織られたものを用いる。 - 特許庁

This backlight unit 202 comprises: light sources 302 emitting light; a reflecting sheet 320 arranged below the light sources 302 for reflecting the light emitted from the light sources 302; and the heat diffusion layer 322 formed on one surface of the reflecting sheet 320.例文帳に追加

本発明に係るバックライトユニット２０２は、光を放出する光源３０２と、上記光源３０２の下方に配置され、該光源３０２から放出された光を反射する反射シート３２０と、上記反射シート３２０の一表面に形成された熱拡散層３２２と、を含んで構成したものである。 - 特許庁

To provide a light-weight, thin backlight unit for a flat panel display device that is reduced in cost by forming a light source into a surface light source to facilitate luminance increase by only using a thin optical sheet group, without having to use a thick, heavy and high-cost diffusion plate is not used.例文帳に追加

本発明では、厚みがあり、重量物で、かつコストの高い拡散板を用いずとも、薄い光学シート群のみで、光源を面光源化し、輝度上昇を促し、軽量・薄型でかつコストを抑制したフラットパネル型表示装置用バックライトユニットを提供せんとするものである。 - 特許庁

A second porous part 30 that is porous, has a diffusion resistance smaller than that of a first porous part 115, and has a BET specific surface area of 1.0 m^2/g or larger is arranged on the opposite to a measuring chamber 107c via the first porous part 115 of the gas sensor element 2.例文帳に追加

ガスセンサ素子２の第１多孔質部１１５を介して測定室１０７ｃとは反対側に、第１多孔質部１１５よりも拡散抵抗が小さい多孔質状をなすとともに、ＢＥＴ比表面積が１．０ｍ^２／ｇ以上である第２多孔質部３０を配置する。 - 特許庁

To provide an improved optical analysis system, having improved reaction speeds and sensitivity, by an increase in the surface area of a solid phase, decrease in the diffusion distance, and the reinforcement in optical combination to the excitation light source between the solid phases and the combination, between the solid phases and a detection object.例文帳に追加

固相の表面積の増加、拡散距離の低下、および固相間の励起光源に対する光学的結合ならびに固相と検出物との結合の強化により反応速度および感度が向上した改善された光学的分析システムを提供するものである。 - 特許庁

A diffusion mirror 21 is located in the upper part corresponding to a workpiece 6 of the plane mirror 2, and light that is emitted from the lamp 1 belonging to the I and II groups and reflected on the reflection mirror 2 is given as diffused light to the work 6, thus improving the uniformity of illumination distribution on the surface of the wafer.例文帳に追加

平面ミラー２のワーク６に対応する上方領域には拡散ミラー部２１が設けられ、Ｉ群、ＩＩ群に属するランプ１から放射され反射鏡２で反射された光は拡散光としてワーク６に照射され、ウエハ表面での照度分布の均一性が向上する。 - 特許庁