「surface pattern」に関連した英語例文の一覧と使い方(145ページ目) - Weblio英語例文検索

The hybrid integrated circuit device 10 is provided with a circuit board wherein an electric circuit formed of a conductive pattern 18 and a circuit element is formed on its surface and a packaging resin that packages the electric circuit and covers at least the surface of the circuit board.例文帳に追加

本本発明の混成集積回路装置１０は、導電パターン１８と回路素子とから成る電気回路が表面に形成された回路基板と、前記電気回路を封止して、少なくとも前記回路基板の表面を被覆する封止樹脂とから構成されている。 - 特許庁

The uneven pattern corresponding to the shape of a cavity surface 32 can be certainly formed even on the skin material 2 low in stretchability like a fabric or leather in order to suck the skin material 2 to a cavity surface 32 from suction holes 35 before the injection of a foamable row material.例文帳に追加

発泡原料を注入する前に吸引孔３５から吸引して、表皮材２をキャビティ面３２に吸着させるため、織物やレザーのような伸縮性の低い表皮材２でも、キャビティ面３２の形状に応じた凹凸パターンを確実に形成することができる。 - 特許庁

The light diffusing film 1 is provided with a light translucent film base material 2, an uneven microstructure layer 34 formed on its 1st surface and protrusions 5 which are dispersedly formed on a 2nd surface of the light translucent film base material 2 by a dot-shaped pattern and which are consisting of a pressure sensitive type adhesive.例文帳に追加

透光性フィルム基材２と、その第１面上に形成された微細凹凸構造層３４と、透光性フィルム基材２の第２面上にドット状パターンにて離散的に形成された感圧型接着剤からなる凸部５とを備えている光拡散フィルム１。 - 特許庁

On the active face of the IC chip 4 facing the second surface 2b, a plurality of terminals 5 are formed collectively in the center of the IC chip 4, and on the place corresponding to the second surface 2b of the substrate 2, a wiring pattern 8 is formed by collecting the wires in the center of the substrate 2.例文帳に追加

ＩＣチップ４が第２面２ｂに対向する能動面には、ＩＣチップ４の中央に集めて形成された複数の接続端子５が設けられ、基板２の第２面２ｂの対応位置には、基板２の中央に集められた配線パターン８が形成されている。 - 特許庁

The flexible wiring board 1 comprises a polyimide film 10, where a filmy basic material is turned down and the opposing faces are bonded tightly, and a pattern electrode 13 is formed continuously from the first surface 11 to the second surface 12 of the polyimide film 10.例文帳に追加

本発明のフレキシブル配線板１は、フィルム状の基材が折り返され相対向する面が密着固定されたポリイミドフィルム１０を有し、ポリイミドフィルム１０の第１の表面１１から第２の表面１２にわたってパターン電極１３が連続的に形成されている。 - 特許庁

In the circuit unit 40 having a circuit pattern constituted of a plurality of conductive members 41A and 41B and mounting an electronic component 32 on the front surface or the back surface thereof, the conductive members 41A and 41B are arranged in piles on the front and back surfaces, and an insulation 42 is molded therebetween.例文帳に追加

複数の導電部材４１Ａ，４１Ｂにより構成された回路パターンを有し、その表面または裏面に電子部品３２が実装される回路ユニット４０であって、前記導電部材４１Ａ，４１Ｂは表裏に重ねて配置され、その間に絶縁部４２がモールド成形されている。 - 特許庁

A low-transmittance layer 11 formed into a discontinuous pattern, and a high-transmittance multi-layer film 12 formed on the low-transmittance layer and a non-formation region of the low-transmittance layer are arranged on the outside surface of a front panel 1 having a phosphor screen 3 formed on its inside surface.例文帳に追加

内面に蛍光体スクリーン３が形成された前面パネル１の外面に、不連続な配置パターンに形成された低透過率層１１と、低透過率層上及び低透過率層の未形成領域に形成された高透過率多層膜１２とが設けられている。 - 特許庁

To provide a planetarium video generating device capable of displaying both video representing the state of circumferential space in real time and a surface pattern of an astronomical body of takeoff and landing with high quality when producing takeoff from and landing on a surface of the astronomical body.例文帳に追加

天体の表面に対する離着陸を演出する際に，周辺の宇宙空間の様子をリアルタイムで再現した映像と，離着陸する天体の表面模様とをともに高品質に表示できるプラネタリウム映像作成装置およびその映像作成方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing composite tubular body, by which a prescribed conductor pattern can be formed easily and surely on at least either of the inner peripheral surface or the outer peripheral surface of a tubular film body with accuracy, and to provide a composite tubular body manufactured by the method.例文帳に追加

フィルム管状体の内周表面および外周表面の少なくとも一方に、所定の導体パターンを簡易かつ確実に、精度良く形成することのできる、複合管状体の製造方法、および、その方法により製造された複合管状体を提供すること。 - 特許庁

To provide a projection aligner capable of exposing a side surface of a sample to be exposed with high productivity, applicable to mass production at low cost, and capable of forming a pattern on the side surface of the sample to be exposed with high angular accuracy.例文帳に追加

本発明が解決しようとする課題は、被露光試料の側表面を高い生産性にて露光でき、安価に量産に適用でき、かつ、被露光試料の側表面に高い角度精度でパターンを形成できる投影露光装置を提供できるようにすることである。 - 特許庁

If a setting is performed so that an image-formation position is conformed to a reading image surface 16, a scattered light from the light scattering pattern 13 is input to the reading image surface 16 without futility and a spatial light intensity distribution in sub scanning direction can be made uniform.例文帳に追加

そこで、この結像位置と読み込み画像面１６とが一致するように設定しておけば、光散乱パターン１３からの散乱光が無駄なく読み込み画像面１６に入射することになり、副走査方向における空間光強度分布の均一化も図れる。 - 特許庁

The outside liner 2 has a base material film 3 on the front surface of which a rugged shape 8 is formed by using a matting agent 8a and on the back surface of which a metallic picture layer 6 and a general picture pattern layer 7 are formed in patterned shapes by using an ink containing a bright pigment.例文帳に追加

このうち外側ライナー２はマット剤８ａにより表面に凹凸形状８が形成された基材フィルム３と、基材フィルム３の裏面に光輝性顔料を含むインキによりパターン状に形成されたメタリック調絵柄層６および一般絵柄層７とを有している。 - 特許庁

The thin film pattern is formed by arranging a magnet 17 on the rear of a vapor deposition substrate 14, locating the first aperture 7 side of the vapor deposition mask 20 in a manner to be opposed to the surface of the vapor deposition substrate 14, and vacuum-depositing a thin film on the surface of the vapor deposition substrate 14.例文帳に追加

薄膜パターンは、蒸着用基板１４の裏面に磁石１７を配置し、蒸着用マスク２０の第１の開口窓７側を蒸着用基板１４の表面に対向配置して、薄膜を蒸着用基板１４の表面に真空蒸着して形成する。 - 特許庁

A corium collagen fiber bundle structure is distinguished using characteristics of stress variation of the skin surface against compression by external force, such as a pattern of stress variation from the maximum stress at the compression finishing to stress at relaxation finishing in processes of compressing and relaxing the skin surface, as an index.例文帳に追加

皮膚表面を圧縮及び緩和する工程における、圧縮終了時の最大応力から緩和終了時に於ける応力までの応力変化のパターン等の皮膚表面の、外力による圧縮に対する応力変化の特性を指標とし、真皮コラーゲン線維束構造を鑑別する。 - 特許庁

The manufacturing method of the electronic part includes a step of cutting a wiring board having a base substrate, a wiring pattern 18 formed on the first surface of the base substrate and a reinforcement member 20 provided on the second surface of the base substrate along a line which intersects with the periphery of the reinforcement member 20.例文帳に追加

電子部品の製造方法は、ベース基板と、ベース基板の第１の面に設けられた配線パターン１８と、ベース基板の第２の面に設けられた補強部材２０とを有する配線基板を、補強部材２０の外周と交差する線に沿って切ることを含む。 - 特許庁

The method of the present invention includes taking images of undulation pattern of water surface generating at the surface due to water flow or wave by a video camera with a certain time interval and measuring traveling rate and direction at a certain area thereby to measure one or both of flow rate and direction of the water flow.例文帳に追加

この発明の方法は、水の流れや波によって水面に生じる水面の起伏模様を一定の時間間隔でビデオカメラ撮影し、一定の領域の起伏模様の移動量、移動方向を測定して水流の流速及び方向の何れか一方又は双方を測定するものである。 - 特許庁

To provide a light floor system allowing a light floor to be easily assembled in the construction field so as to have excellent decorativeness with a grated pattern of a support frame looming with a sharp contour without causing gradation in brightness with surface emission in uniform brightness over the whole glass floor surface while facilitating maintenance.例文帳に追加

ガラス床全面にわたって均一な明るさに面発光して明るさにグラデーションが生ぜず、支持枠の格子型模様がシャープな輪郭で浮き出る装飾性に優れた光床を施工現場で簡単に組立てることができ、かつメンテナンス容易な光床システムを提供する。 - 特許庁

To make the coating amounts of paste from a plurality of paste discharge holes almost equal and to prevent the damage of the surface of a substrate by the lower end of nozzle during coating and drawing when the coating and drawing of a pattern are simultaneously applied to the surface of the substrate using the nozzle having a plurality of paste discharge orifices linearly arranged thereto.例文帳に追加

横一線に配列された複数のペースト吐出孔を有するノズルを用いて基板表面に同時にパターン塗布描画する場合、各ペースト吐出孔でのペースト塗布量はほぼ等しく、塗布描画中にノズル下端で基板表面を損傷しないようにする。 - 特許庁

In a method for producing the patterned foil, the metal foil 1 is held between thin paper sheets or films 3 and pressed by the die in which a die pattern 8 of an optional design is formed on a plate surface, the paper sheets or the films are removed, and patterns 2 of a rough surface are formed on both surfaces pressed by the die 5 of the metal foil.例文帳に追加

模様箔の製造方法は、金属箔１を薄紙又はフィルム３で挟み、版面に任意デザインの型模様８が施された型で加圧した後、薄紙又はフィルムを外し、金属箔の型５による圧接面の両面に荒れた面の模様２を形成する。 - 特許庁

In the magnetic recording medium 10, a non-magnetic material 16 is filled in a concave part 14 between recording elements 12A, allowing the surface to have an irregular shape being different from the irregular pattern of a recording layer 12, also, arithmetic average roughness of the irregular shape of the surface is restricted to 1 nm or less.例文帳に追加

磁気記録媒体１０は、記録要素１２Ａの間の凹部１４に非磁性材１６が充填されて表面が記録層１２の凹凸パターンと異なる凹凸形状とされ、且つ、該表面の凹凸形状の算術平均粗さが１ｎｍ以下に制限されている。 - 特許庁

After forming the primary layer by using a slurry mainly consisting of a refractory of less reactivity at high temperature with the metal on a surface of a wax pattern, a water wet layer is formed on the surface of the primary layer, and the backup layer is formed by using a slurry for reinforcement.例文帳に追加

ワックス模型の表面に金属との高温時における反応性が低い耐火物を主成分とするスラリーを用いてプライマリー層を形成した後、該プライマリー層の表面に水のウエット層を形成してから、補強用のスラリーを用いてバックアップ層を形成した。 - 特許庁

The decorative sheet has an image pattern layer and a transparent surface protective sheet in this order on a colored substrate sheet comprising a polyolefin resin, and a transparent resin layer on the rear surface of the substrate sheet, wherein the transparent resin layer has a tensile modulus of elasticity smaller than 1,000 MPa.例文帳に追加

ポリオレフィン系樹脂からなる着色基材シート上に絵柄模様層及び透明性表面保護層を順に有し、前記基材シートの裏面に透明性樹脂層を有する化粧シートであって、前記透明性樹脂層の引張弾性率が１０００ＭＰａ未満である化粧シート。 - 特許庁

To provide a translucent wiring board including a translucent alumina substrate and a wiring pattern formed on a surface of the translucent alumina substrate, in which adhesion between the wiring pattern and the translucent alumina substrate is maintained after the application of heat cycles, and translucency of the wiring board can be obtained.例文帳に追加

透光性アルミナ基板と、この透光性アルミナ基板の表面に形成されている配線パターンとを備えている透光性配線基板において、熱サイクル印加後に配線パターンの透光性アルミナ基板への接着を維持し、かつ配線基板の透光性が得られるようにすることである。 - 特許庁

Circuit pattern-like electrostatic latent images are formed on the surface of a photoreceptor 1 and the circuit-forming chargeable powder (circuit-forming toners) 4a is electrostatically adhered to the electrostatic latent image and the image by the circuit pattern-like circuit-forming chargeable powder is transferred onto a body 10 to be transferred and is then fixed.例文帳に追加

感光体１の表面に回路パターン状の静電潜像を形成し、その静電潜像に回路形成用荷電性粉末（回路形成用トナー）４ａを静電的に付着させ、回路パターン状の回路形成用荷電性粉末による像を被転写体１０上に転写させた後、定着させる。 - 特許庁

A diaphragm 11 for a capacitor microphone is formed of a thermoplastic resin film and includes a metal film on one surface, wherein a first unevenness pattern 12 of long-cycle rough unevenness 12a and a second unevenness pattern 13 of short-cycle fine unevenness 13a are formed over the entire area of the diaphragm 11.例文帳に追加

熱可塑性樹脂フィルムからなり、一方の面に金属膜を有するコンデンサマイクロホン用の振動板１１において、周期の長い粗い凹凸１２ａからなる第１凹凸パターン１２と、周期の短い微細な凹凸１３ａからなる第２凹凸パターン１３とを、それぞれ振動板１１の全域にわたって形成する。 - 特許庁

Said transparent conductive member 26 includes openings in portions corresponding to conductive parts of signal wiring portions (electrode terminals 23; A-D, F and G and wiring pattern 25 connected thereto) in the electrode terminals 23 and the wiring pattern 25 provided on the surface side of the main body 21 of the imaging device.例文帳に追加

この透明導電性部材２６は、撮像素子本体部２１の表面側に設けられた各電極端子２３および配線パターン２５のうち、信号用配線部分（電極端子２３；Ａ〜Ｄ、ＦおよびＧおよびこれに接続される配線パターン２５）の導電部に対応する部分に開口部を有している。 - 特許庁

To provide a photocatalyst lithography method using a template provided with a predetermined pattern made of a photocatalyst on a light-transmissive substrate, the photocatalyst lithography method being characterized in that a high-precision fine pattern with a high contrast can be formed on a work surface in a short time; and to provide the template used therefor.例文帳に追加

光透過性基板上に光触媒よりなる所定のパターンを設けたテンプレートを用いた光触媒リソグラフィ法において、被加工物表面にコントラストが高く高精度の微細パターンを短時間に形成することができる光触媒リソグラフィ法およびそれに用いるテンプレートを提供する。 - 特許庁

To suppress the deposition of foreign matter on the surface of a reticle pattern by removing chemical materials such as ammonia as materials which cause the formation of deposits from the internal space of a pellicle and to provide a pellicle which retains an accurate pattern shape and patterning precision over a long period of time.例文帳に追加

析出物形成のための原因物質であるアンモニア等の化学物質を、ペリクル内空間から除去することでレチクルパターン面に対する異物析出を抑制し、これにより、正確なパターン形状を長期にわたって維持し、長期にわたるパターニング精度維持を図ることが可能なペリクルを提供する。 - 特許庁

To provide a magnetic recording medium in which a recording layer is formed in a prescribed recessed and projecting pattern, a recording element is formed as a projecting part of the recessed and projecting pattern to have high surface recording density and a crash of a magnetic head hardly occurs to have high reliability, and a magnetic recording and reproducing device provided with such a magnetic recording medium.例文帳に追加

記録層が所定の凹凸パターンで形成され、記録要素が凹凸パターンの凸部として形成されて面記録密度が高く、且つ、磁気ヘッドのクラッシュが生じにくく信頼性が高い磁気記録媒体及びこのような磁気記録媒体を備える磁気記録再生装置を提供する。 - 特許庁

The inter-layer wiring 41 includes: a conductive layer 42 formed, in an opening formed in the wiring layer, between an upper end portion and a lower end portion of the opening so as to cover a part of the wall surface; and a land pattern 44 formed around the opening for connecting the wiring pattern 21 and the conductive layer 42.例文帳に追加

層間配線４１は、配線層に形成された開口部において、その壁面の一部を覆うように開口部の上端部と下端部との間に形成された導電層４２と、開口部の周囲に形成され、配線パターン２１と導電層４２とを接続するランドパターン４４とを有している。 - 特許庁

The polarized light separating element is constituted such that a rugged pattern 2 constituting the diffraction grating is formed on the surface of a base material 1 made of material having light transmissivity in the usage wavelength range and at least two or more surfaces of protruded parts 3 of the rugged pattern 2 are covered with a film 4 made of material comprising a metal or a metal compound.例文帳に追加

使用波長範囲において光透過性を有する材料より成る基材１の表面に、回折格子を構成する凹凸パターン２が設けられ、この凹凸パターン２の凸部３の少なくとも２つ以上の面が、金属或いは金属化合物より成る材料膜４で被覆されて成る構成とする。 - 特許庁

A semiconductor device has the solder bump 20 formed on a substrate 10, and the composition measurement pattern 30 formed on the substrate 10 for measuring the composition of the solder bump 20, the composition measurement pattern 30 having the same volume with the solder bump 20 and larger surface area than the solder bump 20.例文帳に追加

基板１０に形成されたはんだバンプ２０と、前記基板１０に形成されていて前記はんだバンプ１０の組成を測定するための組成測定パターン３０を有し、 前記組成測定パターン３０は、前記はんだバンプ２０と同体積を有し、前記はんだバンプ２０の表面積よりも大きい表面積を有する。 - 特許庁

A semiconductor module 6 is formed by temporarily flip-chip mounting the semiconductor chip 5 on a three-dimensional circuit board 3 provided with a recessed section and having a circuit pattern 2 on its surface, by applying a sealing resin 4 between the semiconductor chip 5 and the projecting sections 2a of the circuit pattern 2 protruded toward the electrode sections 5a of the chip 5.例文帳に追加

凹部が設けられ表面に回路パターン２を有する立体回路基板３に半導体チップ５を、半導体チップ５とその電極部５ａに向けて突出する凸部回路パターン２ａとの間に封止樹脂４を塗布して、仮付けフリップチップ実装して、半導体モジュール６を形成する。 - 特許庁

The method includes an imprinting step of pressing a mold 5 formed with a rugged pattern in the lower clad layer 2 after coating of the lower clad layer 2 and transferring the rugged pattern to the lower clad layer 2, and a printing step of printing the core layer 3 in a recessed part 6 formed on the surface of the lower clad layer 2 by the imprinting step.例文帳に追加

下部クラッド層２の塗工後に、下部クラッド層２に凹凸パターンが形成されたモールド５をプレスして、凹凸パターンを下部クラッド層２表面に転写するインプリント工程と、インプリント工程により下部クラッド層２表面に形成された凹部６内に、コア層３を印刷する印刷工程と、を含む。 - 特許庁

A recess 117 is formed on a bottom surface 112 at the side of a second side 114 in the substrate 110, and air having low permittivity is interposed between the first radiation conductor 123 and the third edge line 220c of the ground pattern, thus further suppressing deterioration in antenna characteristics caused by the influence of the grand pattern.例文帳に追加

また、基体１１０の第２の側面１１４側の底面１１２には凹部１１７が形成されており、第１の放射導体１２３とグランドパターンの第３のエッジライン２２０ｃとの間に低誘電率の空気が介在することから、グランドパターンの影響によるアンテナ特性の劣化はさらに抑制される。 - 特許庁

When the three-dimensional curved surface decided by the function Z (x, y) is irradiated with the parallel beams of the pattern decided by the function C (x, y) on the (x-y) plane from the directions ϕ, θ, a geographical pattern which can be observed at a point of view z=∞ is simulated by a simulation means 4 without operating any shadow calculation.例文帳に追加

シミュレーション手段４は、関数Ｚ（ｘ，ｙ）で定められる３次元曲面に対して、ｘ−ｙ平面上で関数Ｃ（ｘ，ｙ）で定められるパターンの平行光線が、φ、θの方向から照射されたとしたとき、視点をｚ＝∞において観察できる幾何学模様を陰影計算を行わずにシミュレーションする。 - 特許庁

On at least one surface of a transparent base 2, the patch antenna elements 3 for blocking an electromagnetic wave of predetermined frequency are arranged two dimensionally, and the pattern of the patch antenna elements 3 is formed by using a mesh pattern composed of thin wires of conductive thin films of 10 to 80 μm in wire width so as to have the see-through property.例文帳に追加

透明基材２の少なくとも一方の面に、所定周波数の電磁波を遮蔽するためのパッチアンテナ素子３が２次元的に配設されてなり、前記パッチアンテナ素子３のパターンは、線幅が１０〜８０μｍの導電性薄膜の細線からなるメッシュパターンを用いて、透視性を有するように形成する。 - 特許庁

This method for imparting letters or a pattern to an incense stick comprises mixing an incense stick material with a colorant having a bright color, forming an incense stick having the bright color, and then adding high heat to the surface of the incense stick to burn organic base materials such as a binder, a burning auxiliary, etc., thus imparting black letters or pattern to the incense stick.例文帳に追加

線香材料に明るい色の着色料を混入して明るい色の線香を形成し、該線香の表面に高熱を加えて線香に含まれる結合材や支燃材などの有機基材を燃焼させることにより、黒い文字又は模様を付することを特徴とする線香に文字や模様を付する。 - 特許庁

This method comprises a mortar filling step of filling a mortar 2 into the defective portion 1b formed on a fair-face concrete surface 1a, a form pattern forming step of forming a form trace pattern on the portion to be restored and a gradation step of stippling a gradation coating material moderated to a desired color with an inorganic pigment.例文帳に追加

打放しコンクリート表面１ａに生じた欠損部１ｂにモルタル２を充填するモルタル充填工程と、修復箇所に型枠跡模様を形成する型枠模様形成工程と、無機質顔料により所望の色に調整されたぼかし用塗材を叩き塗りするぼかし工程と、を有するものである。 - 特許庁

And the optical axis of the test pattern irradiating part 21 is made un-parallel to a straight line orthogonal to the light receiving surface of the imaging element 28, and the optical axis of the part 21 is inclined so that the axis may pass from one of boundary lines constituting the viewing angle θ_1 of the imaging element 28 to the other as the laser light 25a of the test pattern goes ahead.例文帳に追加

そして、テストパターン照射部２１の光軸は、撮像素子２８の受光面に直交する直線に対して非平行にされ、テストパターンのレーザー光２５ａが進むに従って撮像素子２８の画角θ_１をなす一方の境界線から他方の境界線に通過するように傾斜される。 - 特許庁

Pattern light is irradiated to a curved surface bent by press working of sheet metal (102), and a reflected image of the pattern light is converted into a power spectrum, through the use of a two-dimensional FFT (102-103) to extract coordinates of each peak value in the row direction and in the column direction of its low-frequency area by row units and by column units (105).例文帳に追加

プレス加工により曲げ加工された曲面にパターン光を照射し（１０２）、そのパターン光の反射像を２次元ＦＦＴを用いてパワースペクトルに変換し（１０２〜１０３）、その低周波数域の行方向と列方向の各ピーク値の座標を行単位、列単位で抽出する（１０５）。 - 特許庁

This method includes the step of forming a concave/convex pattern in the surface of a 2P resin layer formed on a flat substrate, the step of forming a recording layer on the concave/convex pattern, and the step of peeling the flat substrate from the 2P resin layer after the 2P resin layer and the recording layer are bonded to the support substrate of an optical recording medium.例文帳に追加

平坦基板上に塗布された２Ｐ樹脂層の表面に凹凸パターンを形成し、前記凹凸パターン上に記録層を形成し、前記２Ｐ樹脂層及び前記記録層を光記録媒体の支持基板上に接着した後に、前記平坦基板を前記２Ｐ樹脂層から剥離する光記録媒体の製造方法。 - 特許庁

In the flexible flat cable which has a reinforcing plate 2 at a prescribed part on the rear face side and in which a conductive pattern 1 is exposed on the surface of the tip side, a curved face 3 curved from the upper side toward the lower side is formed at the most tip part, and the conductive pattern 1 is extended and installed up to the end part of this curved face 3.例文帳に追加

裏面側の所定部分に補強板２を有し、先端側の表面に導電パターン１を露出させたフレキシブルフラットケーブルにおいて、最先端部に上側から下側に向けて湾曲する曲面３が形成され、この曲面３の端部まで前記導電パターン１を延設した。 - 特許庁

The photomask for proximity exposure has a pattern made of light shielding material formed on a light-transmissive substrate, wherein a coated film made of a photocatalyst which exhibits photocatalyst action by the exposure light or a coated film including the photocatalyst is formed on the surface on which the pattern is formed.例文帳に追加

透光性基板上に遮光材料からなるパターンが形成された近接露光用フォトマスクであって、前記パターンが形成された面に、露光光により光触媒作用を発現する光触媒からなる被膜または前記光触媒を含む被膜が成膜されていることを特徴とする近接露光用フォトマスク。 - 特許庁

To precisely discriminate the presence of the adhesion of residue in inspecting the presence of the adhesion of the residue consisting of an organic component to the surface of a resist pattern by applying an electron beam to a substrate which the resist pattern and an antireflection film being an organic film containing silicon overlie in this order from the upper side.例文帳に追加

レジストパターンと、シリコンを含む有機膜である反射防止膜と、が上側からこの順番で積層された基板に対して、電子線を照射することにより、当該パターン上への有機成分からなる残渣の付着の有無を検査するにあたり、精度高く残渣の付着の有無を判別すること。 - 特許庁