「atomic」に関連した英語例文の一覧と使い方(50ページ目) - Weblio英語例文検索

To reduce a circuit scale, a manufacturing period and a manufacturing cost by generating a high frequency signal whose lower frequency multiplication coincides with an atomic resonance frequency from an output frequency signal of a reference oscillator.例文帳に追加

低次の周波数逓倍が原子共鳴周波数に一致する高周波信号を基準発振器の出力周波数信号から生成できるようにすることで、回路規模の縮小，製造期間の短縮及び製造コスト削減を図れるようにする。 - 特許庁

A wiring film for a display comprises a laminated structure of Mo alloy which includes at least one element selected from the group consisting of rare-earth-metal elements, Zn, Mg, and Ca in the range of 5 to 50 atomic % and pure Cu or Cu alloy.例文帳に追加

希土類金属元素、Ｚｎ、Ｍｇ、およびＣａよりなる群から選択される少なくとも一種の元素を５原子％以上５０原子％以下の範囲で含むＭｏ合金と、純ＣｕまたはＣｕ合金との積層構造を有する表示装置用配線膜である。 - 特許庁

In the method for generating singlet oxygen, a compound of formula (1) (where X^1 to X^3 are each an atomic group required to form a 5-membered aromatic heterocycle; Y is hydroxy, amino, alkyl, aryl, alkoxy or aryloxy; and L is a substituent).例文帳に追加

下記一般式（１）で表される化合物を用いることを特徴とする一重項酸素発生方法及び一重項酸素検出方法である〔Ｘ^1〜Ｘ^3：５員芳香族ヘテロ環を形成するのに必要な原子団；Ｙ：水酸基、アミノ基、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基；Ｌ：置換基〕。 - 特許庁

To provide a plasma condition monitoring and/or controlling method in a plasma spectrometer, for example, an inductively coupled plasma optical- emission spectrometer or an inductively coupled plasma atomic-spectrometer (ICP-OES or ICP-MS), and a spectrometer for executing the method.例文帳に追加

プラズマ・スペクトロメーター、例えば、プラズマ光学放射スペクトロメーター又は原子スペクトロメーター（ＩＣＰ−ＯＥＳ又はＩＣＰ−ＭＳ）におけるプラズマの状態を監視及び／又は制御する方法、及びそのような方法を実行するスペクトロメーターに関する。 - 特許庁

The cantilever for processing, for processing a micropattern by use of an atomic force microscope (AFM), has a great number of probes as cutting blades provided at the top end of a lever part of a cantilever, and has the probes integrally formed with a common base material.例文帳に追加

原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）を利用して微細パターンの加工を行うための加工用カンチレバーについて、切れ刃となるプローブ（探針）がカンチレバーの１本のレバー部先端に多数設けられていることであり、上記プローブが共通の基材と一体に形成されていること。 - 特許庁

The oxide evaporation material is constituted of a sintered body containing 0.020 to 0.050 of praseodymium at a Pr/In atomic ratio with indium oxide as a main component, and an L^*value in a CIE1976 color system is 60 to 95.例文帳に追加

この酸化物蒸着材は、酸化インジウムを主成分とし、Ｐｒ／Ｉｎ原子数比で０．０２０〜０．０５０のプラセオジウムを含む焼結体により構成され、ＣＩＥ１９７６表色系におけるＬ^＊値が６０〜９５であることを特徴とする。 - 特許庁

The film 1 comprises the surface silica layer 4 having water repellant and stainproof characteristics and arranged on the outermost surface, and an adhesion silica layer 3 containing carbon of less than 20 atomic %, which is arranged between the surface silica layer 4 and a base 2.例文帳に追加

撥水性と防汚性がある表面シリカ層４を最表面に有し、その表面シリカ層４と基材２との間に炭素含有量が２０原子％未満の密着シリカ層３を有するフィルム１によって、上記課題を解決する。 - 特許庁

Since a formula +∞=-∞=1=-1=0 may cause the possibility that "1" equal to the infinite universe, the observation of a hydrogen atom of mass 1 (atomic number 1) with a highly accurate microscope enables the observation of the infinite universe, thereby solving the problem.例文帳に追加

＋∞＝−∞＝１＝−１＝０ の数式から「１」イコール無限大の宇宙である可能性があるので、質量１（元素記号番号１）の水素原子を精度の高い顕微鏡で観察するとそこに無限の宇宙を観察する事ができる事により、この問題を解決する。 - 特許庁

At the end of atomic operation, a memory access control part 133 stops the writing of the processing result data in the main memory 3 on the basis of an atomicity guarantee signal outputted from a judgment circuit 139 in accordance with the interruption detection flag 134 or the like.例文帳に追加

メモリアクセス制御部１３３は、アトミックオペレーションが終了するときに、割り込み検出フラグ１３４等に応じて判定回路１３９から出力されるアトミック性保証信号に基づき、処理結果データのメインメモリ３への書き込みを停止する。 - 特許庁

In the Si dispersed vitreous carbon material, Si is uniformly dispersed and combined in the structure of the vitreous carbon in atomic level and the bound energy of 2p orbit of Si atom, which is determined from the peak value of a photoelectron spectrum by an X-ray photoelectron spectroscopy(XPS), is 101-103 eV.例文帳に追加

ガラス状カーボンの組織中にＳｉが原子レベルで均一に分散複合し、Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ）による光電子スペクトルのピーク値から求めたＳｉ原子の２ｐ軌道の束縛エネルギーが１０１〜１０３ｅＶの範囲にあることを特徴とするＳｉ分散ガラス状カーボン材。 - 特許庁

The display element 11 holds an organic layer 14 including at least an organic light-emitting layer 14c between a negative electrode 15 and a positive electrode 13, at least either of which contains hafnium (Hf: atomic number 72).例文帳に追加

陰極１５と陽極１３との間に、少なくとも有機発光層１４ｃを含む有機層１４を挟持してなる表示素子１１において、陰極１５および陽極１３のうちの少なくとも一方は、ハフニウム（Ｈｆ：原子番号７２）を含有することを特徴とする。 - 特許庁

The silver halide photographic emulsion contains ≥50% by number of silver halide grains each having ≥10 nm thickness of a short-range repulsion region measured by a force curve method using an atomic force microscope.例文帳に追加

原子間力顕微鏡を用いたフォースカーブ法によって測定される、近距離反発力領域の厚さが、１０ｎｍ以上であるハロゲン化銀粒子を粒子個数比率で５０％以上含有することを特徴とするハロゲン化銀写真乳剤である。 - 特許庁

To provide a catalyst for cleaning automobile exhaust gas in which rhodium in an atomic state is carried in a sufficiently and highly dispersed state, and having sufficiently high catalytic activity, and to provide a method for manufacturing a catalyst for cleaning automobile exhaust gas that can manufacture the catalyst efficiently and reliably.例文帳に追加

原子状態のロジウムが十分に高度に分散された状態で担持され、十分に高度な触媒活性を有する自動車排ガス浄化用触媒並びにその触媒を効率よく確実に製造することが可能な自動車排ガス浄化用触媒の製造方法を提供すること。 - 特許庁

The oxide sintered body which is made of indium oxide whose crystal structure is substantially a bixbyite structure, has a gallium atom solid-dissolved in the indium oxide and has an atomic ratio Ga/(Ga+In) of 0.10 to 0.15, is used as a target material for sputtering.例文帳に追加

結晶構造が、実質的にビックスバイト構造を示す酸化インジウムからなり、前記酸化インジウムにガリウム原子が固溶しており、原子比Ｇａ／（Ｇａ＋Ｉｎ）が０．１０〜０．１５である酸化物焼結体をスパッタリング用ターゲット材とする。 - 特許庁

On the selector laminated film, a heterogeneous component containing layer composed of 14-group elements having a larger atomic radius than that of silicon is formed in a part of the region except the ends of the word line side and the bit line side.例文帳に追加

前記セレクタ積層膜には、前記ワード線側の端部及び前記ビット線側の端部を除く領域の一部に、第１４族元素であって原子半径がシリコンよりも大きい元素を含有する１ヶ所の異種成分含有層が形成されている。 - 特許庁

To accurately conduct inspection with a magnetic force microscope, with a scanning Hall probe microscope, or with a scanning magneto-resistive microscope with high speed by greatly shortening inspection time (tact time) with an atomic force microscope, and holding height of an inspection probe uniform.例文帳に追加

原子間力顕微鏡による検査時間（タクトタイム）を大幅に短縮化し、検査用探針の高さを一定に保持して磁気力顕微鏡、走査型ホールプローブ顕微鏡又は走査型磁気抵抗効果顕微鏡による検査を正確かつ高速に行なえるようにする。 - 特許庁

The crosslinking nitrile rubber composition comprises (A) a highly saturated nitrile rubber having an iodine value of ≤120, (B) an α,β-ethylenic unsaturated carboxylic acid metal salt, (C) a fluororubber containing a halogen atom having an atomic weight of ≥35, and (D) an organic peroxide crosslinking agent.例文帳に追加

ヨウ素価が１２０以下である高飽和ニトリルゴム（Ａ）と、α，β−エチレン性不飽和カルボン酸金属塩（Ｂ）と、原子量が３５以上であるハロゲン原子を含有するフッ素ゴム（Ｃ）と、有機過酸化物架橋剤（Ｄ）と、を含有する架橋性ニトリルゴム組成物を提供する。 - 特許庁

The Ni alloy electrode film having excellent resistivity stability in repeated heating is formed on a substrate, which has a composition composed of W of 0.5 to 2.0 atomic%, and the balance Ni with inevitable impurities, and whose resistivity is ≤30 μΩcm.例文帳に追加

基板上に形成される電極膜であって、０．５〜２．０原子％のＷを含有し、残部Ｎｉおよび不可避的不純物からなる組成を有し、抵抗率が３０μΩｃｍ以下である繰返し加熱における抵抗率安定性に優れるＮｉ合金電極膜である。 - 特許庁

The atomic oscillator 1 uses the electromagnetically-induced transparency that is caused by irradiating alkaline metal atoms with a resonant light pair, and has a light source 10, alkaline metal atoms 20 in the form of gas, a light detection unit 30, and a frequency control unit 40.例文帳に追加

原子発振器１は、アルカリ金属原子に共鳴光対を照射することにより生じる電磁誘起透過現象を利用する原子発振器であって、光源１０、気体状のアルカリ金属原子２０、光検出部３０、周波数制御部４０を含む。 - 特許庁

When the atomic group is an acyl group, that is the same as that of the cellulose acylate, the solid component 58 comprising the cellulose acylate 51 and the substitution 52 is obtained by acylating 57 a raw material 54 which is to be acylated and is a mixture of cellulose 55 and the polymer 56.例文帳に追加

原子団がセルロースアシレートと同じアシル基である場合には、セルロースアシレート５１と置換体５２とからなる固形成分５８は、セルロース５５と重合体５６との混合物であるアシル化原料５４をアシル化５７する。 - 特許庁

In the separator material for fuel cell, the Au plating layer 2-20 nm in thickness and 0.5-1.5 nm in arithmetic surface roughness (Ra) measured in a crystal grain of a metal substrate by an atomic force microscope is formed on a surface of the metal substrate.例文帳に追加

金属基材の表面に、厚み２〜２０ｎｍで、かつ前記金属基材の結晶粒内において原子間力顕微鏡により測定した算術表面粗さ（Ｒａ）が０．５〜１．５ｎｍであるＡｕめっき層が形成されている燃料電池用セパレータ材料である。 - 特許庁

To provide a method for welding metal parts, which forms appropriate beads and forms joints excellent in resistance against corrosion and weld cracking, and to provide welding metal parts for an atomic power plant, which are welded by the method.例文帳に追加

適正なビードを形成し、耐食性および耐溶接割れ性に優れた接合部を形成することができる金属部品の溶接方法、およびこの金属部品の溶接方法により溶接された原子力プラント用溶接金属部品を提供する。 - 特許庁

The article includes (a) a flexible polymer substrate having an upper surface and a lower surface, and (b) a 2-100 nm-thick air-permeable barrier deposited on one of or both of the upper surface and the lower surface of the substrate by an atomic layer deposition.例文帳に追加

本発明は、ａ）上面および下面を有する可撓性ポリマー基板と、ｂ）原子層蒸着によって前記基板の上面および下面の一方または両面上に蒸着された厚さ２ｎｍ〜１００ｎｍを有する気体透過バリアとを含むこと特徴とする物品である。 - 特許庁

The invention relates to a new mixture consisting of at least two materials, one material being used as a matrix material (for example, spirobifluorene represented by the figure) and the other as a material which is capable of emission and contains at least one element of an atomic number of 20 or larger.例文帳に追加

少なくとも２種の材料からなる新規の混合物に関し、一方の材料をマトリックス材料（例えば、下記のスピロビフルオレン）として使用し、他方を、発光可能であり、かつ原子番号が２０以上の少なくとも１種の元素を含む材料として使用する。 - 特許庁

The method for producing a hydrogen generating agent includes a step of molding a body 1 of the hydrogen generating agent, and a step of adding a specific metal oxide 2 to the body 1 of the hydrogen generating agent using an ALD (atomic layer deposition) method or an LPD (liquid phase deposition) method before the molding step.例文帳に追加

水素発生剤の主体１を成型する工程と、前記成型する工程の前に、ＡＬＤ法またはＬＰＤ法を用いて、水素発生剤の主体１に特定の金属酸化物２を添加する工程とを含む水素発生剤の製造方法。 - 特許庁

The solid electrolyte 26 is made of lithium phosphorus oxynitride with an atomic ratio (Li/P) of lithium atom to phosphorus atom 1.0 or more and 2.3 or less, and the peak of P_2P coupling of the phosphorus atom of the lithium phosphorus oxynitride in XPS spectrum exists in a range of 134 eV or more and 135 eV or less.例文帳に追加

この固体電解質２６は、リン原子に対するリチウム原子の原子比（Ｌｉ／Ｐ）が１．０以上２．３以下である窒化リン酸リチウムからなり、ＸＰＳスペクトルにおける窒化リン酸リチウムのリン原子のＰ_2p結合のピークが１３４ｅＶ以上１３５ｅＶ以下の範囲に存在する。 - 特許庁

The atomic carbon used in the snow melting agent is obtained by heating an organic substance in a non-oxygenic atmosphere at a predetermined temperature and thermally decomposing components except carbon in the atmosphere and the organic substance one by one from the components having lower decomposition temperature at a temperature of ≤600°C to individually separate the components.例文帳に追加

融雪剤に用いられる原子状炭素は、有機物を無酸素雰囲気において所定の温度で加熱し、前記雰囲気中及び有機物中の炭素以外の成分を、６００℃以下の温度において分解温度の低いものから順次熱分解させて個別的に遊離させて得られる。 - 特許庁

The two substrates are next superposed under atmospheric pressure such that the thin films formed on the two substrates are in contact and, when necessary, the substrates are heated to cause atomic diffusion at a bonded interface and grain boundary of the microcrystalline thin films, which bonds the two substrates.例文帳に追加

その後，大気圧下で前記２つの基体に形成された前記薄膜同士が接触するように前記２つの基体を重ね合わせると共に，必要に応じて基体を加熱することで前記微結晶薄膜の接合界面及び結晶粒界に原子拡散を生じさせて前記２つの基体を接合する。 - 特許庁

The solid electrolyte 26 is made of lithium phosphorus oxynitride, with an atomic ratio (Li/P) of lithium atom to phosphorus atom 3.0 or more and 6.0 or less, and the peak of P_2P coupling of the phosphorus atom of the lithium phosphorus oxynitride in XPS spectrum exists in a range of 134 eV or more and 135 eV or less.例文帳に追加

この固体電解質２６は、リン原子に対するリチウム原子の原子比（Ｌｉ／Ｐ）が３．０以上６．０以下である窒化リン酸リチウムからなり、ＸＰＳスペクトルにおける窒化リン酸リチウムのリン原子のＰ_2p結合のピークが１３４ｅＶ以上１３５ｅＶ以下の範囲に存在する。 - 特許庁

To solve a problem that it is urgently necessary that alternative energy and power mechanisms should be replaced by other ones because petroleum, natural gas and atomic power are transferred to electric energy or are continuously used as fuel of engines, and as a result air pollution and global warming have been caused.例文帳に追加

石油、天然ガスまた原子力などを電気エネルギーに置き換え、あるいはエンジンの燃料として使い続けた結果、大気汚染や地球温暖化を引き起こしてしまったためその代替えエネルギーや動力機構を他のものに切り替える必要に迫られている。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a semiconductor device and a substrate processing apparatus capable of providing a titanium nitride film that is higher in quality than a titanium nitride film formed by the conventional CVD method at a higher film-forming rate, that is, with higher productivity than a titanium nitride film formed by an ALD (Atomic Layer Deposition) method.例文帳に追加

従来のＣＶＤ法で形成された窒化チタン膜と比較して良質な窒化チタン膜を、ＡＬＤ法で形成された窒化チタン膜と比較して速い成膜速度で、すなわち高い生産性で提供することが可能な半導体装置の製造方法及び基板処理装置を提供することにある。 - 特許庁

To provide a frequency detection device of a vibrator capable of being detected in a wide frequency detection range while highly holding detection sensitivity of a resonant frequency of the vibrator, an atomic force microscope, and a frequency detection method and a program of the vibrator.例文帳に追加

振動体の共振周波数の検出感度を高く保ったまま、広い周波数検出範囲で検出可能な振動体の周波数検出装置、原子間力顕微鏡、振動体の周波数検出方法およびプログラムを提供する。 - 特許庁

In the gas barrier film, the gas barrier layer has a composition composed of, by atom, ≤42% Si, ≥31% N, ≤27% O and ≤2% C (wherein, the total of the respective contents of Si, N, O and C is controlled to 100 atomic%).例文帳に追加

本発明のガスバリア性フィルムは、ガスバリア層の組成を、Ｓｉを４２原子％以下、Ｎを３１原子％以上、Ｏを２７原子％以下、Ｃを２原子％以下とする（但し、Ｓｉ、Ｎ、Ｏ、Ｃそれぞれの含有率を合計すると１００原子％となる）ことにより、上記課題を解決する。 - 特許庁

In the tempered glass, the region of high Si concentration in which the concentration ratio of an Si atomic concentration (atom%) to that in the central position of the tempered glass in its thickness direction is higher than 5%, is formed in the range of depth of >0 to ≤30 nm along the thickness direction from the glass surface.例文帳に追加

強化ガラスには、強化ガラスの厚さ方向の中心位置におけるＳiの原子濃度（原子％）に対するＳiの原子濃度（原子％）の濃度比率が５％以上高いＳｉ高濃度領域が、ガラス表面から厚さ方向に沿って０より大きく３０ｎｍ以下の深さの範囲に形成される。 - 特許庁

The material for the organic electroluminescent devices includes a phosphorescent metal complex (a) containing a monoanionic bidentate ligand expressed by formula A, and a metal with an atomic weight of not less than 40, and (b) a structural isomer which is expressed by the same chemical formula as the phosphorescent metal complex (a), but has a stereoscopically different manner of coordination of the ligand.例文帳に追加

式Ａで表されるモノアニオン性の２座配位子と、原子量４０以上の金属とを含む燐光性金属錯体ａと、該燐光性金属錯体ａと同じ化学式で表されながら、該配位子の配位方法が立体的に異なる構造異性体ｂとを含有する有機電界発光素子用材料。 - 特許庁

In the formation of an optical attenuation film obtained by layering a dielectric layer and a light absorbing layer being a plurality of layers on a substrate, the dielectric layer is formed to have a prescribed film thickness by repeating the total adhesion of a raw material at an atomic layer level (step S1) and the exposure thereof to an oxidizing or nitriding atmosphere (step S2).例文帳に追加

基板上に誘電体層と光吸収層を複数層に積層する光減衰膜の形成において、その誘電体層はその原料物質の原子層レベルでの全面付着（ステップＳ１）とその酸化または窒化性雰囲気への曝露（ステップＳ２）を繰り返して所定の膜厚にする。 - 特許庁

Next, the humidity-adjusting pin 14 of the measuring cell 8 is loosened to expose the surface of the resin base material 1 of the sample 7 to a high-humidity atmosphere and the surface shape of the same place as a dry state measured first by the atomic force microscope 20 is measured, after a fixed interval.例文帳に追加

次に、測定セル８の湿度調整ピン１４を緩め、試料７の樹脂基材１の表面を高湿雰囲気に晒し、一定時間後に原子間力顕微鏡２０により始めに測定した乾燥状態と同じ箇所の表面形状を測定する。 - 特許庁

The hydrogen concentration of the surface atomic layer of a sample (a substrate 20) is measured in the surface treatment apparatus without extracting the sample in atmospheric air, by conducting in the vacuum chamber 2 of the surface treatment apparatus by using the elastic recoil-particle detecting method by the low-energy ion scattering spectral method.例文帳に追加

低エネルギーイオン散乱分光法による弾性反跳粒子検出法を用い、表面処理装置の真空室２内で行うことによって、試料（基板２０）を大気中に取り出すことなく表面処理装置内において、試料の表面原子層の水素濃度の測定を行う。 - 特許庁

A first protective layer (54) overlies a first region (40) of the surface (52) of the substrate (50), wherein the first protective layer (54) has a composition with a first-protective-layer aluminum content at least 3 atomic percent greater than the substrate (50) aluminum content.例文帳に追加

第１の保護層（５４）が、基板（５０）の表面（５２）の第１の領域（４０）を覆い、第１の保護層（５４）は、基板（５０）アルミニウム含有量よりも少なくとも３原子パーセント多い第１保護層アルミニウム含有量を含む組成を有する。 - 特許庁

The thin film transistor uses an oxide thin film in which gallium is dissolved in indium oxide as a solid solution; the atomic ratio Ga/(Ga+In) is 0.001 to 0.12; the content of indium and gallium to the whole metal atom is ≥80 atom%; and the oxide thin film has a bixbyite structure of In_2O_3.例文帳に追加

ガリウムが酸化インジウムに固溶していて、原子比Ｇａ／（Ｇａ＋Ｉｎ）が０．００１〜０．１２であり、全金属原子に対するインジウムとガリウムの含有率が８０原子％以上であり、Ｉｎ_２Ｏ_３のビックスバイト構造を有する酸化物薄膜を用いることを特徴とする薄膜トランジスタ。 - 特許庁

To provide an efficient method for making a function public to a set of components sharing the function via a common context without requiring an expensive complicated atomic coupling between a service and a component or duplication of a service instance.例文帳に追加

機能を、コスト高で複雑なサービスとコンポーネントとの原子的結合や、サービスインスタンスの複製を必要とせず、共通のコンテキストでこの機能を共有するコンポーネントの集合に公開する効率的な方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a multiplex synchronization RF (radio frequency) coil which generates a uniform high-frequency magnetic field by magnetic resonance frequencies of two atomic nuclei, and further, does not lower detecting sensibility by coupling receiving coils upon receiving.例文帳に追加

本発明の目的は、２つの原子核の磁気共鳴周波数で均一な高周波磁場を発生でき、しかも受信時には受信用コイルとカップリングして検出感度を下げることがない多重同調ＲＦコイルを提供することを目的とする。 - 特許庁

Zinc borate has a specific chemical composition and has a crystalline size of not less than 60 nm determined based on any of diffraction peak of surface indices (020), (101) and (200) in an X-ray diffraction image and a sodium content of not more than 100 ppm measured by means of an atomic absorption method.例文帳に追加

特定の化学組成を有し、Ｘ線回折像（Cu-kα）における面指数(０２０)(１０１)及び(２００)の回折ピークから求めた結晶子サイズが何れも６０ｎｍ以上であり、且つ原子吸光法で測定したナトリウム分の含有量が１００ｐｐｍ以下であるホウ酸亜鉛。 - 特許庁

In a compound oxide containing a lanthanum, an alkaline earth metal and a manganase of an atomic ratio of (1-x):x:1.0, the alkaline earth metal is a barium or a strontium, or it contains both, and a coil magnetic core using a substance having a range where x is within 0.25-0.35 is used to form a magnetic sensor.例文帳に追加

ランタンとアルカリ土類金属とマンガンとを原子比（１−ｘ）：ｘ：１．０の割合で含む複合酸化物において、アルカリ土類金属がバリウム又はストロンチウムあるいはその両方であり、ｘが０．２５〜０．３５の範囲にあるものをコイル磁心として用いた磁気センサーとする。 - 特許庁

A gas-phase cell 200 for the chip scale atomic clock (CSAC) includes a silicon wafer 205, and a first chamber 210, a second chamber 220 and a route 215 for connecting the first chamber 210 to the second chamber 220 are included in the silicon wafer 205.例文帳に追加

チップスケール原子時計（ＣＳＡＣ）のための気相セル２００は、シリコンウェハ２０５を有し、シリコンウェハ２０５内に、第１チャンバ２１０、第２チャンバ２２０、および第１チャンバ２１０を第２チャンバ２２０へ接続する経路２１５を有する。 - 特許庁