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stepperを含む例文一覧と使い方

該当件数 : 261



例文

In order to correct an error in a profile parameter, the above-mentioned procedure is supplied to a track/stepper and an etcher to control lithography and etching processes.例文帳に追加

プロフィール・パラメータのエラーを補正するために上述した手法をトラック/ステッパおよびエッチャに供給してリソグラフィおよびエッチングのプロセスを制御することができる。 - 特許庁

To provide a method for electron beam lithography, which realizes high throughput and which can correspond to a variations in static warps and dynamic warps in a lower-layer exposure system, especially in a stepper projection printing system.例文帳に追加

下層露光装置、特に光縮小露光装置の静的歪み及び動的歪みの変化に対応した、高スループットな電子線描画方法を提供する。 - 特許庁

A plurality of the connecting patterns are held at an interval 43 of sufficiently separately resolving by the stepper and the instrument, and symmetrically disposed with the space 42 disposed at an outside.例文帳に追加

複数のこの接合パターンを,ステッパ及び光学測長機で充分分離解像する間隔43を保ち,ラインアンドスペースパターン42を外側にして対称的に配置する。 - 特許庁

After the first and second original glass 10 and 20 are prepared, a stepper exposes the first original glass 10 on a wafer in a matrix-like state by using the original glass 10.例文帳に追加

第1及び第2の原板10,20が準備されたステッパ装置は、先ず第1の原板10を使用して、該第1の原板10をウェハ上にマトリックス状に露光する。 - 特許庁

例文

To obtain an aberration measuring pattern of a stepper lens capable of measuring aberration characteristic evaluation in a short time at a high sensitivity by using an optical length measuring instrument of the lens.例文帳に追加

ステッパレンズの収差特性評価を光学測長機を用いて,高感度に短時間で測定することを可能としたステッパレンズの収差測定用パターンを提供すること。 - 特許庁


例文

To eliminate displacement and oscillation in structure and mirror cylinder polishing plate generated by stage scanning at the time of scanning exposure and improve throughput and exposure accuracy in the entire stepper.例文帳に追加

走査露光時のステージ走査により発生する構造体や鏡筒定盤の変位や振動を無くし、露光装置トータルのスループットや露光精度を向上させる。 - 特許庁

To avoid increase in fine fluctuation of an output shaft body resulting from settling with time in a stepper motor for turning the pointer of meters for various uses, e.g. automobile meters.例文帳に追加

自動車用計器など各種用途の計器の指針を回転させるステッパモータにおいて、経時的なへたりに起因する出力軸体の微振れの増大を避ける。 - 特許庁

To provide a method for optically inspecting a wafer having stepper area windows (SAWs) formed in a displaced arrangement, which can be carried out in a simple means.例文帳に追加

変位されて(ずらされて)形成されたSAWを有するウエハの光学的検査を簡単な手段によって実現できる半導体ウエハの検査方法の提供。 - 特許庁

When detecting the stepped-out condition of the valve 4 which bites foreign matters or the like, the stepper motor 1 drives the valve to be closed or opened to remove the foreign matters.例文帳に追加

バルブ4の異物のかみこみ等による脱調状態を検出すると、バルブ4を閉じ側および開き側に駆動するようにステッパモータ1を駆動し、異物を除去する。 - 特許庁

例文

A passage with valve for moving the gas in one chamber to another chamber is provided in the barrier 16 and the rod 20 is moved by a short distance by using a stepper motor.例文帳に追加

一方のチャンバのガスを他方のチャンバに移動させるための弁付きの通路が障壁16内に設けられ、ステッパ・モータを使用して、ロッド20を短い距離移動させる。 - 特許庁

例文

To provide a chemically stable electric connector and a fabricating method thereof, which does not cause volatilization of a housing material even when being disposed within a vacuum oven in a stepper and the like.例文帳に追加

ステッパ等における真空槽内に配置されてもハウジングの材料が揮発することのない化学的に安定した電気コネクタ及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide an apparatus of manufacturing a semiconductor apparatus without using a stepper in a manufacturing process when semiconductor apparatus are produced in high volume using a substrate having a large area.例文帳に追加

大面積を有する基板を用いて半導体装置の大量生産を行う場合、ステッパを製造プロセスに用いない半導体装置の製造装置を提供する。 - 特許庁

Excitation steps excepting the reversal step thus stored constitute a detection step and every time when the detection step is supplied, a decision is made whether rotation of the stepper motor 1 is stopped mechanically through butting of a piece 1d and a stopper 1e or not based on the voltage being induced across exciting coils 1a1 and 1a2 as the stepper motor 1 rotates.例文帳に追加

この記憶された反転ステップを除いた励磁ステップを、検出ステップとし、検出ステップが供給される毎に、ステッパモータ1の回転に応じて誘導電圧が発生する励磁コイル1a1、1a2の両端電圧に基づいて、片1dとストッパ1eとが当接して、ステッパモータ1の回転が機械的に停止したか否かを判断する。 - 特許庁

The first disc 2 is driven by a date driving source 12, and the second disc 4 is rotated with the rotation of the first disc 2 in carrying by a stepper 16.例文帳に追加

第1の日付円板2は日付駆動源12により駆動され、第2の日付円板4は送り機構16により桁上げ時に第1の日付円板2の回転に伴って回転する。 - 特許庁

To provide a stepper motor drive circuit for eliminating the need for induced voltage detection, reducing the behavior of a pointer when returning the pointer to a zero point, achieving quick processing, and simplifying a circuit configuration.例文帳に追加

誘導電圧検出を不要にし、指針をゼロ点に戻す際に指針の挙動が少なく、短時間で処理でき、かつ回路構成を簡単にしたステッパモータ駆動回路を提供する。 - 特許庁

Since the line- and-space pattern P is smaller than the resolution limit of the reducing stepper, an image can not be focused through the pattern P onto a wafer, and thereby no problem is caused for exposure.例文帳に追加

ラインアンドスペースパターンPは、縮小投影露光装置の解像限界以下のピッチであるため、そのパターンPを通してウェハ上に結像することがなく、露光に支障を与えることがない。 - 特許庁

To improve pattern transferring precision using a stepper by performing plotting added with the position deviation of a pattern formation face when the back face of a substrate is adhered to a predetermined standard face.例文帳に追加

基板の裏面が所定の基準面に密着されたときのパターン形成面の位置ずれを加味した描画を行うことができ、ステッパ等を用いたパターン転写精度の向上に寄与する。 - 特許庁

An uppermost layer 12a is formed with a wiring 21 for connection, an ordinal wiring 22, a fuse wiring 23, an alignment mark 24 for a stepper, and a target mark 25, which are all made of copper film.例文帳に追加

最上の配線層12aには、接続用配線21、通常配線22、ヒューズ配線23、ステッパ用アライメントマーク24及びターゲットマーク25が同じ銅膜から形成されている。 - 特許庁

An external connecting pad electrode 31, an alignment mark 32 for inspection and processing, and an alignment mark 33 for the stepper, which are all made of aluminum, are formed on the insulation film 13.例文帳に追加

絶縁膜13の上には、外部接続パッド電極31と、検査・加工用アライメントマーク32と、ステッパ用アライメントマーク33とが同じアルミニウム合金膜から形成されている。 - 特許庁

A stepper 16 is freely slidably fitted to the shaft 14, and it is energized by a compression coil spring 18 and pressed to a click motion generation member 17 fixed to the back surface of the shutter 10.例文帳に追加

シャフト14には節動子16をスライド自在に嵌合し、これを圧縮コイルばね18で付勢してシャッタ10の裏面に固定したクリックモーション生成部材17に押し付ける。 - 特許庁

The predetermined value is the sum of a back-electromotive force (BEMF) estimated via a function of the desired speed and a product of a desired amplitude of a phase current (Iphase) and an estimated absolute value of the impedance of the stepper motor.例文帳に追加

前記所定の値は、所望の速度の関数で予測されるBEMFと、相電流の所望の振幅(Iphase)と前記ステッパ・モータのインピーダンスの予測絶対値との積の和である。 - 特許庁

Then the stepper exposes the second original glass 20 on the wafer at every other positions, which are provided alternately with the exposure positions of the first original glass 10 by using the original glass 20.例文帳に追加

次いで、ステッパ装置は、第2の原板20を使用して、マトリックス状に露光した第1の原板10の露光位置に対し1つ置きとなる露光位置に第2の原板20を露光する。 - 特許庁

Furthermore, this stepper has a moderately small size, can be combined with complex rehabilitation equipment that has been previously presented by the inventor so as to reduce an occupation area in use.例文帳に追加

また装置の大きさは適度に小さく、更には本発明者の既出特許である複合リハビリ機器にも本発明を複合できるので、使用にあたっての占有面積を小さくできる。 - 特許庁

To provide an optical characteristic measuring instrument which can measure optical characteristics of an optical component used for a stepper, etc., and has a sufficient quantity of light even when a polarizing element is used.例文帳に追加

ステッパー等で使用される光学部品の光学特性を測定可能であり、かつ、偏光素子を用いた場合でも十分な光量を有する光学特性測定器を提供する。 - 特許庁

A resist on a substrate is subjected to step exposure for several times by a stepper exposure apparatus using a reticle on which a portion with a unit cell pattern present and a portion without the cell pattern are regularly and alternately arranged.例文帳に追加

単位セルパターンの有る部分とない部分が交互に規則的に繰り返されるように配置したレチクルを用いてステッパー露光装置で基板上のレジストを複数回ステップ露光する。 - 特許庁

First and second photoconductive assemblies are respectively arranged within the optical paths of incident light and transmitted light and the coherence of light substantially equal to that of the stepper is supplied.例文帳に追加

第1及び第2の導光アセンブリがそれぞれ入射光及び透過光の光路内に配置されており、ステッパーのそれと実質的に等しい光のコヒーレンスを供給する。 - 特許庁

A vacuum image drum 300 is related operationally with an encoder 344 and a rotation synchronizing pulse signal is generated for every revolution of the vacuum image drum 300 and delivered to a stepper motor controller 166.例文帳に追加

シート状のサーマルプリント媒体用の画像処理装置(10)は、真空画像ドラム(300)で位置合わせされたサーマルプリント媒体(32)と色素ドナー材料(36)を保持する真空画像ドラム(300)から成る。 - 特許庁

In concrete terms, among the regulation means are an ankle foot orthosis 20, or a hard member having a shape extending from the shin to the sole of the subject, and a stepper 80 assisting the stepping movement (walking movement) of the subject.例文帳に追加

規制手段は、具体的には、被験者の脹脛から足底に沿う形状の硬質部材である短下肢装具20や、被験者の足踏み動作(歩行動作)を補助するステッパ80が該当する。 - 特許庁

A problem of variations of wafer edge critical size is solved by using an exposure plate arranged on a retaining pin by which a wafer table of a stepper is made to progress and retreat.例文帳に追加

本発明の実施例において、本発明は支持ピン上に置かれた露光板を利用してウエハエッジ臨界寸法変動の問題を解消し、そのうち支持ピンはステッパのウエハ台を進退する。 - 特許庁

To provide a stepper motor drive circuit which shortens the total detection time as much as possible, while suppressing increase in the induced voltage detecting circuits to its absolute minimum, when performing zero detection of a plurality of motors.例文帳に追加

複数のモータのゼロ検を行う際に、誘導電圧検出回路の増加を必要最低限に抑えつつ、全検出時間をできる限り短縮化したステッパモータ駆動回路を提供する。 - 特許庁

To provide a stepper motor drive circuit in which contact/noncontact can be decided surely even if the positional pattern of a rotor is varied when abutted against a stopper due to ambient temperature variation or variation of components.例文帳に追加

周囲温度変化や部品のバラツキにより、ストッパ当接時における回転子の位置関係のパターンが変動しても、当接/未当接の確実な判定を可能にしたステッパモータ駆動回路を提供する。 - 特許庁

Thereby, even when the inner diameter and width of the recessed part formed on the surface of the processing object are reduced or the aspect ratio of the recessed part is increased, stepper coverage in forming the thin film can be improved.例文帳に追加

これにより、被処理体の表面に形成されている凹部の内径や幅が小さくなったり、凹部のアスペクト比が大きくなっても、薄膜の成膜時のステップカバレジを向上させることが可能となる。 - 特許庁

To exactly measure the position deviation values of a lower layer circuit pattern and an upper layer resist pattern caused by the lens aberration of a stepper to be used for exposure in the lithography of a semiconductor manufacturing process.例文帳に追加

半導体製造工程のリソグラフィー工程において、露光に使用されるステッパーのレンズ収差に起因する下層回路パターンと上層レジストパターンとの位置ずれ量を正確に計測する。 - 特許庁

A stepper 1 is formed so that an integrated circuit pattern formed on a reticule is reduced with a projection lens 22 by the use of ArF excimer laser light from a light source 11 and then exposed on a wafer 30.例文帳に追加

光源11からのArFエキシマレーザ光により、レチクル21に形成された集積回路パターンが投影レンズ22により縮小されてウエハ30上に露光されるようにステッパー1を構成する。 - 特許庁

A computer-controlled stepper adjusts the relationship between the patterned light beam and the photosensitive work surface by synchronizing with the shutter actuators in order to direct the patterned light beam toward the different portions of work material.例文帳に追加

コンピュータ制御のステッパーは、処理材料の異なる部分にパターン形成光ビームを向けるため、シャッターアクチュエータと同期して、パターン形成光ビームと、感光処理表面との間の関係を調整する。 - 特許庁

A double-faced polished cemented carbide is prepared as a base material and a high sensitivity photosensitive material is applied on the surface of the base material with a spinner and subjected to reduced exposure with a stepper using the mask without defocusing.例文帳に追加

母材料として両面研磨した超硬合金を用意し、その表面上に高感度感光性材料をスピンナーにて塗布し、そのマスクを用いてステッパーでデフォーカスなしで縮小露光する。 - 特許庁

Since the replacement work of the reticle between the reticle case for transfer and the reticle case for stepper can be eliminated, not only the number of processes can be reduced and the chance that the foreign matters are adhered can also be reduced.例文帳に追加

搬送専用レチクルケースとステッパ専用レチクルケースとの間でのレチクルの入れ替え作業を省略できるので、工数を低減できるばかりでなく、異物の付着等の機会を低減できる。 - 特許庁

At the time of initializing drive, recovery drive signals Sr for 2π in electric angle and stop signals Ss for stopping the rotation of the stepping motor for a specified time T1 are outputted repeatedly to the stepper motor.例文帳に追加

初期化駆動時において、ステッパモータには、電気角2π分の復帰駆動信号Srと、ステッパモータの回転を所定時間T1、停止させる停止信号Ssとが交互に繰り返し出力される。 - 特許庁

To complete initialization of an exhaust gas recirculation means, which is performed in starting an engine to properly control exhaust gas recirculation, in an early stage in the engine comprising a stepper motor driving type exhaust gas recirculation means.例文帳に追加

ステッパモータ駆動式の排ガス環流手段を備えたエンジンにおいて、排ガス環流制御の適正化のためにエンジン始動時に行われる排ガス環流手段のイニシャライズを早期に完了する。 - 特許庁

The pattern includes an effective line to space ratio and can be tested, by using a microscope or a stepper system, or can be measured directly using a detector for the zeroth-order diffraction measurement.例文帳に追加

このパターンは、効果的なライン対スペース比を含み、顕微鏡またはステッパ・システムを使用して試験することができ、または0次回折測定用の検出器を使用して直接測定することができる。 - 特許庁

To provide a method of forming a semiconductor device concurrently including position information in an exposure shot by a stepper lithographic machine and exposure shot position information for a GaAs semiconductor wafer on each chip on the wafer.例文帳に追加

GaAs半導体ウエハ上の各チップに、ステッパ露光装置による露光ショット内位置情報と、ウエハに対する露光ショット位置情報とを同時に具備した半導体装置の形成方法を提供すること。 - 特許庁

This photomask is a photomask of a 4-times reticle used at the time of transfer of wiring patterns on a wafer by a reduction stepper and has plural pieces of the mask patterns 10 in series and parallel.例文帳に追加

本フォトマスクは、縮小投影式露光装置によりウエハ上に配線パターンを転写する際に使用する4倍レチクルのフォトマスクであって、マスクパターン10を直列及び並列に多数個有する。 - 特許庁

The high accurate matching mark for a stepper having an optical constant different from other region on the semiconductor thin film 103 can be formed by the relatively low cost laser irradiation system 200.例文帳に追加

従って、比較的安価なレーザ照射装置200により半導体薄膜103上に他の領域とは光学定数の異なる高精度のステッパ用目合わせマークを形成することができる。 - 特許庁

To enable change of parameters on a stepper side and preparation of a new job file, without having to stop consolidated management of a parameter by a server temporarily, even in the middle of reconstruction of a parameter management system of a server.例文帳に追加

サーバのパラメータ管理システムの再構成の最中でも、サーバによるパラメータの一元管理を中断することなく、ステッパ側でのパラメータの変更や新規ジョブファイルの作成を可能にする。 - 特許庁

The beam length index is given by an approximate expression including as a parameter a pixel pitch found corresponding to the kind of a stepper used to pattern the pixels and the heat conductivity of the material of the wire 6.例文帳に追加

梁長指数は、温度分解能の式に基づいて、画素のパターニングに用いられるステッパの種類及び配線6の材料の熱伝導率に応じて求められた、画素ピッチをパラメータとする近似式で与えられる。 - 特許庁

To provide an electric stepper in which a user can automatically carry out stepping exercise to maintain and enhance his health and can carry out rehabilitation only by riding for the user on left and right step plates and turning on an electric source.例文帳に追加

この発明は、使用者が左右の踏み板上に乗り、電源を入れるだけで自動的に足踏み運動をすることができ、健康の維持、増進、リハビリをすることができる電動ステッパー提案を目的とする。 - 特許庁

To provide a processing method and a stencil mask for making a vertical-edge through hole, having a small diameter with respect to the thickness of thin film, in a thin film of stencil for an electron beam stepper and the like.例文帳に追加

本発明の課題は、電子ビームステッパー等のステンシルマスクの薄膜にその薄膜の厚さに対して径の小さな貫通孔を垂直エッジで形成できる加工方法並びにそのようなステンシルマスクを提供することにある。 - 特許庁

To provide a reference light source for a fluorine laser device emitting light with the wavelength of 157 nm, which can be used as a projection aligner including a stepper, a scan exposure or the like in a practical sense.例文帳に追加

波長157nmの光を放出するフッ素レーザ装置用の基準光源であって、ステッパーやスキャン露光等の投影露光装置の光源として実用的意味において使用できる基準光源を提供すること。 - 特許庁

The beam length index is determined by an approximate expression including the pixel pitch as a parameter obtained from the equation of temperature resolution in response to the type of the stepper used for pixel patterning and the thermal conductivity of the material of the wiring 6.例文帳に追加

梁長指数は、温度分解能の式に基づいて、画素のパターニングに用いられるステッパの種類及び配線6の材料の熱伝導率に応じて求められた、画素ピッチをパラメータとする近似式で与える。 - 特許庁

例文

In a stepper motor driver, a number-of-phases determination circuit 30 determines whether or not it is a timing to pass an excitation current through two phases based on an excitation phase signal 20a from an excitation sequence generation circuit 20.例文帳に追加

本発明によるステップモータドライバでは、相数判定回路30は、励磁電流を2つの相に流すタイミングか否かを励磁シーケンス発生回路20からの励磁相信号20aに基づいて判定する。 - 特許庁




  
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