「stepper」に関連した英語例文の一覧と使い方(5ページ目) - Weblio英語例文検索

To properly contain a gas for preventing oxidation, by making the member of a mask stage of a stepper light in weight and of high rigidity for preventing generation of a gap between the substrate and the mask stage.例文帳に追加

露光装置用マスクステージの部材を軽量で高剛性のものとすることで、自重たわみによる基板とマスクステージの間の隙間が生ずることがなくなるようにして、良好に酸化防止用の気体を収容することが可能とする。 - 特許庁

To provide such a reduction stepper that can suppress and prevent in its inside the clouding of optical parts producing uneven illumination due to the environmental change of a clean room regardless of the existence of chemical atmosphere.例文帳に追加

クリーンルームの環境変化により照明ムラを引き起こす光学部品の曇りの発生をその原因となる化学的雰囲気の存在に拘らず装置内で抑制防止し得る縮小露光投影装置を提供すること。 - 特許庁

Using a laser, which is operated in the range of 1000 to 4000 Hz with energies, or pulse energies in the range of 10 to 5 mJ, as an illumination source, a stepper or a scanner equipment can produce integrated circuit resolution of 0.1 μm or less.例文帳に追加

エネルギ、パルスエネルギ範囲を１０から５ｍＪとした場合、１０００から４０００Ｈｚの範囲で作動するレーザを照明源として、ステッパ又はスキャナ装置は０．１μｍ又はそれ以下の集積回路解像度を作り出す。 - 特許庁

To solve the following problem associated with conventional stepper motor drivers: the two-phase excitation vectorial sum current value is larger than the one-phase excitation current value and an uneven torque is produced between one-phase excitation timing and two-phase excitation timing, so that smooth rotational driving is not performed.例文帳に追加

従来のステップモータドライバは、２相励磁ベクトル和電流値が１相励磁電流値よりも大きくなるので、１相励磁タイミングと２相励磁タイミングとの間でトルクムラが発生し、回転駆動がスムーズでなくなっている。 - 特許庁

Thereby, for example, the silicon wafer 10 is simply supported in a horizontal state so that only its own weight acts on a wafer stage of a stepper at a time of exposure in a device formation process, the wafer is prevented from being bent as compared with the conventional silicon wafer.例文帳に追加

これにより、例えばデバイス形成プロセスの露光時、ステッパのウェーハステージ上で、自重のみが作用するようにシリコンウェーハ１０を水平状態で単純支持したとき、従来のシリコンウェーハに比べて、ウェーハが撓みにくくなる。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a CaF_2 single crystal of a large diameter appropriate for an optical system for ordinary optical instruments or optical lithography, and moreover usable for an optical system for a stepper for semiconductor lithography which requires high optical performance.例文帳に追加

通常の光学機器や光リソグラフィー用の光学系に適し、さらには高度な光学性能が要求される半導体リソグラフィー用ステッパーの光学系に使用可能な大口径のCaF_2単結晶の製造方法を提供すること。 - 特許庁

To form a reference chip for inspection on a wafer without changing a reticle, on the whole surface of which a plurality of identical semiconductor devices is arranged or lowering the utilizing efficiency of a stepper and the yields of surrounding semiconductor devices.例文帳に追加

全面に同一の半導体装置を複数個配置したレチクルを変更することなく、またステッパの使用効率の低下や、周囲の半導体装置の歩留り低下を招くことなく、ウエハ上に検査用基準チップを形成する。 - 特許庁

Even when the light shielding region 2 is illuminated by stray light produced by the reticle illumination optical system of the reducing stepper, the image of the line-and-space pattern P on the semiconductor wafer can be prevented.例文帳に追加

したがって、縮小投影露光装置のレチクル照明光学系で発生した迷光により、遮光領域２が照明された場合にも、そのラインアンドスペースパターンＰが半導体ウェハ上に結像することを防止することができる。 - 特許庁

A pair of coils of each stepper motor, contained in each of plural meters, is supplied with an excitation signal which rotates each rotor, so that it shifts each driven member to be driven by each rotor, in the direction of zero position determined by each stopper.例文帳に追加

複数のメータにそれぞれ含まれる各ステッパモータの一対のコイルには、各回転子により駆動される各被駆動部材を、各ストッパで定められるゼロ位置方向に移動するように、各回転子を回転させる励磁信号が供給される。 - 特許庁

This method can reduce the warp of the semiconductor wafer by the high fusing point metal, so this can reduce the faults in the subsequent patterning process for forming wiring, especially, in the exposure pattern by a stepper.例文帳に追加

本願の代表的な発明によれば、高融点金属膜による半導体ウエハの反りを低減できるので、以降の配線を形成するためのパターニング工程、特にステッパーによる露光工程においてフォーカスの不良を低減することができる。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a field effect transistor for reducing distance between a gate electrode and a trench to zero not depending on alignment accuracy and moreover for making narrower an aperture width of the trench not depending on aperture capability of a stepper.例文帳に追加

位置合わせの精度に依存しないでゲート電極とトレンチとの間の距離をゼロにすることができ、さらにステッパーの開口能力に依存しないでトレンチの開口幅を狭くすることの可能な電界効果トランジスタの製造方法を提供する。 - 特許庁

The outer cover 50 comprises a first bellows part 51 formed of a rubber cloth close to the vibration device 27, a middle part 52 formed of a transparent acrylic resin, and second bellows part 53 made of rubber connected to the stepper 30.例文帳に追加

外カバー５０は、振動装置２７に近接した位置にラバークロスにより形成された第１の蛇腹部５１と、透明なアクリル樹脂により形成された中間部５２と、ステッパー３０に接続されるゴム製の第２の蛇腹部５３とから構成されている。 - 特許庁

To provide a method of producing a large diameter CaF_2 single crystal which is suitable for an optical system for regular optical instruments or photolithography and further, which can be used in an optical system of a stepper for the semiconductor lithography, in which high optical performance is required.例文帳に追加

通常の光学機器や光リソグラフィー用の光学系に適し、さらには高度な光学性能が要求される半導体リソグラフィー用ステッパーの光学系に使用可能な大口径のCaF_2単結晶の製造方法を提供すること。 - 特許庁

The stepper motor 11 is made to alternately perform a striking action in which the hammer section 15 is acceleratedly advanced to a striking position and a return action in which the hammer section 15 is withdrawn to a waiting position and the advance position and the withdrawal position of the hammer section 15 is electrically controlled.例文帳に追加

このステッパモータ１１で槌部１５を打撃位置まで加速前進させる打撃動作と、槌部１５を待機位置まで後退させる復帰動作とを交互に行わせるとともに、槌部１５の前進位置と後退位置を電気的に制御する。 - 特許庁

To provide the apparatus capable of performing the visual examination of a photomask under the same condition as an actual exposure condition on a wafer in a stepper and capable of also calculating the optimum process condition in wafer processing with respect to a critical pattern.例文帳に追加

フォトマスクの外観検査を、実際にステッパでウェハ上に露光するときと同じ条件で、行えるだけでなく、クリティカルなパターンに対して、ウェハ処理における最適なプロセス条件を求められる装置を提供することを課題とする。 - 特許庁

The display 8 includes a rotatable reel 8a with a three-dimensional accessory 8d having a built-in color LED 801 and a dot-matrix display 8e disposed on both sides and a stepper motor 102 for rotating the reel 8a.例文帳に追加

演出装置８は、カラーＬＥＤ８０１を内蔵する立体役物８ｄとドットマトリクス表示可能な表示器８ｅとを表裏に配置され回転可能に構成されたリール８ａと、リール８ａを回転させるステッピングモータ１０２とを備える。 - 特許庁

Then a working reticle 34 is produced by reducing and transferring of the parent patterns of these two groups of the master reticles on the substrate by superposing the same while connecting screens by using an optical reduction stepper of 1/α reduction rate.例文帳に追加

これら２組のマスターレチクルの親パターンを、縮小倍率が１／α倍の光学式の縮小投影型露光装置を用いて、画面継ぎを行いながら基板上に重ね合わせて縮小転写することによってワーキングレチクル３４を製造する。 - 特許庁

A positioning mark is formed in a wiring surface side of a silicon substrate by appropriating an active region or a gate electrode used in a MOS transistor preparation process, for example, for stepper positioning in a manufacturing process of a backside illumination type CMOS image sensor.例文帳に追加

裏面照射型ＣＭＯＳイメージセンサの製造工程において、ステッパ合わせを行うために、例えばＭＯＳトランジスタ作成工程で用いる活性領域またはゲート電極を流用してシリコン基板の配線面側に位置合わせマークを形成する。 - 特許庁

To restrict a reduction in contrast of a pattern caused by unevenness in the film thickness of an etching stepper which is formed on a multilayer film which reflects EUV beams in an EUV beams exposure reflection type mask for use in transferring a pattern in a semiconductor manufacture, or the like.例文帳に追加

半導体製造等におけるパターン転写の際に使用されるＥＵＶ光露光用反射型マスクにおいて、ＥＵＶ光を反射する多層膜上に成膜されるエッチングストッパー層の膜厚のむらに起因するパターンのコントラスト低下を抑制する。 - 特許庁

To provide a reticle for a stepper which can arrange convex portions more uniformly on a substrate which laminates semiconductor layers, and to provide a manufacturing method for a patterning substrate, a manufacturing method for a semiconductor multilayer substrate, and a manufacturing method for a semiconductor light-emitting element, using the reticle.例文帳に追加

半導体層を積層する基板上に凸部をより一様に配置しうるステッパー用レチクル、そのレチクルを用いた、パターン加工基板の製造方法、半導体積層基板の製造方法および半導体発光素子の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for accurately and simply manufacturing an optical semiconductor element having a p-type side electrode only on the flat surface of the upper part of a ridge on the overall surface, without using an accurate stepper or the like and without requiring a precise mark alignment.例文帳に追加

リッジ上部の平坦面のみに、かつ、その全面に渡ってｐ側電極を有する光半導体素子を精度の高いステッパ等を用いることなく、また、精密な目合せを要せずに、精度よく且つ簡単に形成する製造方法を提供する。 - 特許庁

The control circuit 52 determines that a rotor is not rotated normally when a predetermined recess is not generated in the peak value of the reflux current based on the output of the comparator 415, and applies correction pulses to the exciting coil 114 so as to appropriately drive a stepper motor.例文帳に追加

制御回路５２は、コンパレータ４１５の出力に基づいて、還流電流のピーク値に所定の凹部が発生していない場合には、ロータが正常に回転していないと判定し、励磁コイル１１４に補正パルスを印加して、ステップモータを適切に駆動する。 - 特許庁

To provide a method for producing high purity barium nitrate useful for a raw material for optical glass, an optical cable, or a stepper; in which the concentrations of an alkali metal, a transition metal, especially Sr, Ca, Cl, are several ppm or below, and the concentration of Fe is reduced to 100 ppb or below.例文帳に追加

アルカリ金属、遷移金属、特にＳｒ、Ｃａ、Ｃｌ等が数ｐｐｍ以下で、且つＦｅが１００ｐｐｂ以下まで低減された光ケーブル、ステッパー等の光学ガラスの原料として有用な高純度硝酸バリウムの製造方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a method for producing high purity barium carbonate useful for a raw material for optical glass, an optical cable, or a stepper, in which the concentrations of an alkali metal, a transition metal, especially Sr, Ca, Cl, are several ppm or below, and the concentration of Fe is reduced to 100 ppb or below.例文帳に追加

アルカリ金属、遷移金属、特にＳｒ、Ｃａ、Ｃｌ等が数ｐｐｍ以下で、且つＦｅが１００ｐｐｂ以下まで低減された光ケーブル、ステッパー等の光学ガラスの原料として有用な高純度炭酸バリウムの製造方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a method for producing a fluoride single crystal which is useful for obtaining a lens material for a photolithography device (stepper) used for pattern exposing at the time of the production of a semiconductor or a vacuum ultra-violet transmissive material used as a window material or the like for various excimer laser systems.例文帳に追加

半導体製造時のパターン露光に使用する光リソグラフィー装置（ステッパー）用のレンズ材料や、各種エキシマレーザー装置用窓材などに使用する真空紫外光透過材料を得るためのフッ化物単結晶の製造法を提供する。 - 特許庁

Working reticles WR, WR1 for manufacturing the device are manufactured by transferring projected images of a plurality of the circuit pattern units selected from the working reticles WR1, WR2 on a substrate with a prescribed positional relation by using an optical stepper.例文帳に追加

光学式の投影露光装置を用いて、ワーキングレチクルＷＲ１，ＷＲ２から選択された複数の回路パターンユニットの投影像を所定の位置関係で基板上に転写することによって、デバイスを製造するためのワーキングレチクルＷＲ，ＷＲ１を製造する。 - 特許庁

To provide a synthetic quartz glass which can eliminate defects due to the fluorescence emission of an optical material used for a stepper exposure device used for the exposure and the transfer of a fine pattern of an exposure device, a laser processing device, an optical cleaning device, an integrated circuit or the like to reduce intensity of fluorescence emission, and which has excellent transmission performance.例文帳に追加

露光装置、レーザ加工装置、光洗浄装置等、集積回路等の微細パターンを露光・転写に用いるステッパ露光装置に用いられる光学系材の蛍光発光による欠陥をなくし、強度低減できるより優れた透過性能を備えた合成石英ガラスの提供。 - 特許庁

A strain meter 160 is arranged on the yoke 170 so as to detect the pressure of the yoke 170 applied on the photoreceptor belt 10 and to transfer the signal to the controller 29, and, the stepper motor 150 is actuated by the signal, then, the tension applied on the belt 10 is controlled to be a prescribed set quantity.例文帳に追加

ひずみ計１６０は、ヨーク１７０上に配置され、感光体のベルト１０に作用するヨーク１７０の圧力を検出し、コントローラ２９に信号を送り、次に、この信号によってステッパモータ１５０が作動され、ベルト１０に作用する張力が所定の設定量とされる。 - 特許庁

The optical disk device is provided with a servo control unit 140 for generating driving values to control at least two or more driving targets including tracking driving, focus driving, tilt driving, stepper motor driving, and spindle motor driving, and a driver IC 150 for outputting signals to drive the driving targets according to the driving values.例文帳に追加

トラッキング駆動、フォーカス駆動、チルト駆動、ステッパモータ駆動、スピンドルモータ駆動のうちの少なくとも２つ以上の駆動対象をそれぞれ制御する駆動値を生成するサーボ制御部１４０と、駆動値に応じて、駆動対象を駆動する信号を出力するドライバＩＣ１５０とを設ける。 - 特許庁

To provide a fluoride single crystal having a diameter of not less than 70 mm in the cross section perpendicular to the axis of a crystal growth direction and capable of obtaining a sufficient resolution performance when used as a lens material for a stepper, to provide a growing method thereof, and to provide a lens composed of such a fluoride single crystal.例文帳に追加

結晶育成方向軸に垂直な断面の直径が７０ｍｍ以上であって、ステッパー用レンズ材料として用いた場合に十分な解像性能が得られるフッ化物単結晶、及び、その育成方法、並びに、かかるフッ化物単結晶からなるレンズを提供する。 - 特許庁

To provide a thin film magnetic head wafer manufacturing method capable of easily manufacturing a GMR element having an LOL structure with a narrow track width without using a highly accurate stepper, a GMR element of a CPP structure or a TMR element, a method for manufacturing a thin film magnetic head and a thin film magnetic head wafer.例文帳に追加

高精度のステッパを用いることなく狭トラック幅のＬＯＬ構造を有するＧＭＲ素子、ＣＰＰ構造のＧＭＲ素子又はＴＭＲ素子を容易に製造することができる薄膜磁気ヘッドウエハの製造方法、薄膜磁気ヘッドの製造方法及び薄膜磁気ヘッドウエハを提供する。 - 特許庁

In an operating apparatus, a commander control part 6 controls a stepper motor 5 to control a rotary range and a rotary pitch angle of an operating knob 1 corresponding to the input mode based on the states of each appliance 8a-8c and also instruct light LED (light emission diode) emissions to an LED control part 3 corresponding to the input mode.例文帳に追加

コマンダ制御部６は、各機器８ａ〜８ｃの状態に基づいた入力モードに応じて、ステッピングモータ５を制御して操作ノブ１の回転範囲及び回転ピッチ角を制御すると共に、ＬＥＤ制御部３へ入力モードに応じたＬＥＤ発光を指示する。 - 特許庁

This is a method for manufacturing a patterned color filter by arranging a photosensitive coloring resist layer on a substrate 4 on which a lot of rectangular chip patterns P(1-6) are formed lengthwise and widthwise, and exposure-treating this photosensitive coloring resist layer with a reduction stepper.例文帳に追加

矩形状のチップパターンＰを縦横に多数配列形成してなる基板４上に感光性着色レジスト層を設け、この感光性着色レジスト層を縮小投影露光装置で露光処理することによってパターニングされてなるカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法である。 - 特許庁

To provide a stepper motor for grasping the magnetic pole direction of a permanent magnet, outputting a proper drive pulse in response to the magnetic pole direction of the permanent magnet, and achieving normal rotation inverse rotation drive having high reliability without misstep.例文帳に追加

永久磁石の磁極方向を把握することができ、永久磁石の磁極方向に応じて、適切な駆動パルスを出力することができ、ミスステップの無い、信頼性の高い正転逆転駆動を達成することができるステップモータを提供することを目的としている。 - 特許庁

To unerringly carry out striking and propelling of a pachinko ball without involving a large impact noise due to mechanical structural factors by a small and lightweight stepper motor by simplifying the structure by making a complex spring force accumulation mechanism and a motion conversion mechanism in a pachinko ball flicking device.例文帳に追加

パチンコ球発射装置において、複雑なバネ蓄力機構や運動変換機構を不要にして構成を簡素化し、小型かつ軽量のステッパモータでもって、機械的な構造要因による大きな衝撃性騒音を伴うことなく、パチンコ球の打撃発射を失敗なく確実に行わせる。 - 特許庁

The device pulls a web of foil off a large diameter feed roll and maintains web alignment as it travels down the line through the device by a system that optically detects transverse movement of the web as it is fed into the device and adjusts the position of the feed roll relative to a centerline of travel using a bi-directional stepper motor.例文帳に追加

装置は、大径送りロールからフォイルのウェブを引っ張り、装置へ送り込まれた時、ウェブの横移動を光学的に検出し、双方向ステッパーモーターを使用して、移動の中心線に関して送りロールの位置を調整するシステムによって、装置を通ってラインを下方に移動する時、ウェブの整列を維持する。 - 特許庁

To provide a watch equipped with an oilless stepper motor, whose abrasion generated in the shaft support part of a rotor is reduced thanks to an oilless structure, in which characteristics such as power consumption, a reserve capacity or the like can be maintained over a long period, in a state with its being close to an initial value and which is superior in durability and reliability.例文帳に追加

オイルレス化に伴ってローターの軸支部に発生する摩耗を減らし、消費電力や余力などの特性を初期値に近い状態で長期間にわたり維持することが可能な、耐久性および信頼性の点で優れたオイルレス化したステップモーターを備えた時計を提供することである。 - 特許庁

The stepper 80 is configured that the holding arm 90 downwardly moves the probe 58 in response to the electrical signal to contact with the device 62 to be tested, and upwardly moves the probe 58 to separate the probe 58 from the device 62 to be tested, thereby performing a vertical movement of the probe 58 with higher frequency than 6 cycles per second.例文帳に追加

ステッパ８０は、電気信号に応答して、保持アーム９０でプローブ５８を下方に移動させて被試験デバイス６２にコンタクトさせ、保持アーム９０でプローブ５８を上方に移動させて被試験デバイス６２から離し、よってプローブ５８の上下移動を６サイクル毎秒より高頻度で行えるように構成される。 - 特許庁

In other words, even when the resolution of a stepper does not have precision enough to form an intended pattern shape, the light escaping can be reduced by forming the part where the light escaping tends to occur of a capacity wiring 400 that functions as a light-shielding film in a manner to overlap with other light-shielding films.例文帳に追加

言い換えれば、ステッパの解像度が狙いのパターン形状を形成可能なほど十分な精度を有していない場合でも、遮光膜としても機能する容量配線４００のうち光抜けが生じ易い部分を他の遮光膜に重なるように形成することによって、光抜けを低減できる。 - 特許庁

To provide a fabrication method of a joined wafer, which improves production yields of semiconductor chips sealed with a glass substrate into which the wafer is divided after exposed by a stepper, and reduces the occurrence of a failure in semiconductor devices comprising the semiconductor chips, thus improving their reliability.例文帳に追加

ステッパーによりウエハを露光した場合においても、当該ウエハを個片化して得られた、ガラス基板で封止された半導体チップの製造歩留まりを向上させ、また、当該半導体チップを含む半導体装置の障害発生を減少させてその信頼性を向上させることができる接合ウエハの製造方法を提供する。 - 特許庁

In the antenna scanning system for the two-dimensional radar, a servomechanism is constituted of a stepper motor used to drive an antenna and a rotary encoder used to measure an antenna directivity angle, an arbitrarily designated drive range is sector-scanned in a setting mode, and an angle around a detected target angle is sector-scanned in a tracking mode.例文帳に追加

アンテナを駆動するステップ・モータと、アンテナ指向角度を計測するロータリ・エンコーダとでサーボ機構を構成し、設定モードでは任意に指定した駆動範囲を、また、追尾モードでは検出した目標角度を中心にしてした角度を扇形走査するようにしたことを特徴とする２次元レーダのアンテナ走査方式 - 特許庁

To provide a sample image length measurement method by which the measurement area can be set by easily, quickly and surely performing matching of a plurality of standard images and the sample image even when the obtained sample images are various on the basis of a pattern forming condition of a pattern forming device such as a stepper.例文帳に追加

例えばステッパーのようなパターン形成装置のパターン形成条件により、得られる試料像にばらつきがある場合であっても、簡便、迅速、かつ、確実に、複数の基準画像と試料像のパターンとのマッチングを行うことにより測定領域を設定することのできる試料像測長方法を提供する。 - 特許庁

In this induction type thin film magnetic head, film thickness of 3.0 μm or more of an upper part magnetic core can be formed and width of 0.5 μm or less of a lower part of the upper part magnetic core immediately after plating can be formed by forming the upper part magnetic core by a frame plating method using a frame formed by KrF or ArF excimer laser stepper.例文帳に追加

本発明による誘導型薄膜磁気ヘッドでは、上部磁気コアを、KrFもしくはArFエキシマ・レーザー・ステッパーにより形成したフレームを用いたフレームめっき法により形成することにより、上部磁気コアの膜厚が3.0μm以上でかつ、めっき直後の上部磁気コア下部の幅を0.5μm以下で形成できる。 - 特許庁

In an optical system of a general exposure stepper, a one phase shift filter is given to the rear focused surface of a first projection lens, or a shifter and an attenuator are given respectively thereto, thereby making the edge to be vertical in the distribution of intensity of transmitting light and improving the image formation resolving power for a silicon wafer.例文帳に追加

一般の露光ステッパの光学系において、第一投影レンズの後ろ合焦面に一つの位相シフト濾波器を加え、或いは、シフターと減衰器とをそれぞれに加えることによって、透過する光強度分布は縁が垂直である図形となり、シリコンウェーハの結像解像力を向上させる。 - 特許庁

To provide a method of detecting the initial excitation phase of a stepper motor at smaller pitch angles than the pitch angle of one-phase excitation without using an element which incurs cost increase and complication of a mechanism such as a magnetoelectric conversion element, and a device which is suitable for use in execution of the method.例文帳に追加

コストの増加要因となり、かつ、ロータに近接して配置する必要等から来る設置箇所の制約による機構の複雑化やその回避に伴う信頼性の低下を招く磁電変換素子のような別素子を用いることなく、フルステップ駆動よりも小さいマイクロステップ駆動のステップ角単位で、ストッパの位置に応じたロータの初期励磁相を検出すること。 - 特許庁