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surface resolutionの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 479



例文

To provide a radiation sensitive resin composition having high sensitivity, high resolution and high radiation transmittance, excellent in smoothness of a pattern surface in micro dimensions and capable of avoiding partial insolubilization in over-exposure without impairing basic solid state properties as a resist such as pattern shape, dry etching resistance and heat resistance.例文帳に追加

パターン形状、ドライエッチング耐性、耐熱性等のレジストとしての基本物性を損なわずに、高感度、高解像度で、放射線透過率が高く、微細寸法でのパターン表面の平滑性に優れ、かつ過露光時の部分不溶化を解消しうる感放射性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁

To obtain a printing ink composition which has excellent surface smoothness, improved dimensional accuracy of high-resolution pattern and shape and finely stabilizes pigment and to provide a method for producing a color filter having similar properties by using the printing ink composition.例文帳に追加

表面平滑性が良好で、かつ高精細なパターンの寸法精度及び形状を向上させることができ、さらに顔料の微細安定化が可能である印刷インキ組成物および、該印刷インキ組成物を用いて、同様の特性を有するカラーフィルターの製造方法を提供する。 - 特許庁

To perform recording and reproducing operation with resolution suitable for high density recording by improving surface flatness of a magnetic recording medium using a magnetic recording layer made of an L1_0-type FePt magnetic alloy thin film and by sufficiently closing an interval (spacing) between a magnetic head and the magnetic recording medium.例文帳に追加

L1_0型FePt磁性合金薄膜からなる磁気記録層を適用した磁気記録媒体の表面平坦性を改善し、磁気ヘッドと磁気記録媒体の間の距離(スペーシング)を十分に詰めて高密度記録に適合した分解能で記録再生動作が出来るようにする。 - 特許庁

To provide an electrophotographic carrier capable of giving stable high definition, high resolution and high quality images free of image deterioration such as the lowering of image density, toner scattering and surface fog over a long period of time and excellent also in recyclability and to provide an electrophotographic developer using the carrier and an image forming method.例文帳に追加

画像濃度の低下やトナーチリ・地肌カブリ等の画像劣化がなく、安定した高精細、高解像度の高品質画像を長期間に渡って得ることができ、しかもリサイクル性にも優れた電子写真用キャリア、それを用いた電子写真用現像剤、画像形成方法を提供する。 - 特許庁

例文

To provide a photosensitive film for circuit formation which does not contaminate a mask since it follows up surface unevenness of a substrate to be laminated well and is very small in the viscosity of a photosensitive layer on a surface coming into contact with a pattern mask, as a photosensitive film for circuit formation which is adaptive to higher density of wiring of a printed wiring board and high resolution.例文帳に追加

プリント配線板の配線の高密度化及び高解像度化に対応した回路形成用感光性フィルムを提供するものであって、ラミネートすべき基板の表面の凹凸に対して追従性が良く、且つパターンマスクと密着する面の感光層の粘着性が極めて小さいため、マスクを汚染しない回路形成用感光性フィルムを提供する。 - 特許庁


例文

To provide an interference type radar imaging method, a correlator therefor, and an interference type radar imaging device for constructing a composite antenna for improving resolution and easily measuring a distance to the surface of an observed object or a distance to the observed object with high precision even by means of a low-output radar.例文帳に追加

合成アンテナを構築して分解能を向上するとともに、低出力のレーダーを用いても、簡単に精度良く観測物体の表面や観測物体までの距離を観測することができる干渉型レーダーイメージング法並びにそのための相関器及び干渉型レーダーイメージング装置を提供することを目的とする。 - 特許庁

To obtain a radiation sensitive resin composition effectively sensitive to various radiations, having high sensitivity, also having satisfactory resolution and focus latitude in various patterns including dense lines, isolated lines and contact holes, particularly in a line pattern and capable of forming a minute pattern with low surface roughness.例文帳に追加

各種の放射線に有効に感応し、高感度であり、かつ密集ライン、孤立ライン、コンタクトホール等を含む種々のパターンで、とりわけライン系パターンにおいて、十分な解像度とフォーカス余裕度を有し、さらに膜面荒れの小さい微細パターンを形成することができる感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a resist substrate and contact exposure method that improve conditions of extension in exposure time and decrease in resolution, while preventing resist deposition on a photomask after exposure, and also perform good exposure even on the occurrence of surge on a surface of a resist layer and deposition of contamination, or mixing of air bubbles.例文帳に追加

密着露光方法において、露光後のフォトマスクへのレジスト付着を防止しつつ、露光時間の延長や解像力低下を改善し、且つレジスト層表面のうねりや異物の付着、気泡の混入が生じた場合においても良好な露光を行うことができるレジスト基板及び密着露光方法を提供する。 - 特許庁

The space resolution is improved by arranging a pinhole in front of a detector of reflected light intensity, the temperature dependence of the surface reflection is analyzed by simultaneously measuring the electric resistance and reflected light intensity when rectangular wave current is made to flow in the sample, and the temperature is instantly determined using the results.例文帳に追加

反射光強度の検出器の前にピンホールを配置することにより空間分解能を向上させるとともに、試料に矩形波電流を流した際の電気抵抗と反射光強度を同時に測定することにより表面反射率の温度依存性を解析し、その結果を用いて即時に温度を決定する。 - 特許庁

例文

To provide a photosensitive film for forming a circuit adapted to increased density of the wiring of a printed wiring board and having good following property to the surface ruggedness of a substrate to be laminated, high resolution, excellent characteristics such as etching resistance, laminating property, developability, mechanical strength and flexibility and easy operability.例文帳に追加

本発明は、プリント配線板の配線の高密度化に対応した、ラミネートすべき基板の表面の凹凸に対して追従性が良く、解像度が高く、しかも、耐エッチング性、ラミネート性、現像性、機械強度、柔軟性等の特性及び操作性に優れる回路形成用感光性フィルムを提供する。 - 特許庁

例文

To provide a positive resist composition suitable when an exposure light source at160 nm, in particular, F_2 excimer laser light (157 nm) is used, and specifically to provide a positive resist composition having sufficient transmitting property when a light source at 157 nm is used, and having improved surface roughness, development defect, scum and resolution.例文帳に追加

160nm以下、特にF_2エキシマレーザー光(157nm)の露光光源の使用に好適なポジ型レジスト組成物を提供することであり、具体的には157nmの光源使用時に十分な透過性を示し、且つ表面ラフネス、現像欠陥、スカム、解像力が改善されたポジ型レジスト組成物を提供する。 - 特許庁

To provide an electron source which can reduce a work function of an electron emission surface rather than a currently-used Zr/O/W electron source and can attain emitted electrons with narrow energy width and high current density and has longer lifetime, an electron microscope which can attain high resolution image for a short period, and an electron beam lithography device having high throughput.例文帳に追加

現用のZr/O/W電子源よりも電子放出面の仕事関数を減少させ、狭エネルギー幅かつ高電流密度の放出電子が得られ、長寿命な電子源を提供し、高分解能像が短時間に得られる電子顕微鏡や高スループットな電子線描画装置を実現する。 - 特許庁

To provide a resist composition capable of improving the performance in minute processing of a semiconductor element using an electron beam, an X ray, a KrF excimer laser beam, or an ArF excimer laser beam, excellent in terms of sensitivity, resolution, focal margin (DOF) performance, LWR, reduction of blur, and reduction of pattern surface roughness; and to provide a pattern-forming method using the same.例文帳に追加

電子線、X線、KrFエキシマレーザー光、ArFエキシマレーザー光を使用する半導体素子の微細加工における性能向上であり、感度、解像力、フォーカス余裕度(DOF)性能、LWR、裾引き低減、パターン表面荒れの低減に優れたレジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法の提供。 - 特許庁

This inkjet recording method is to provide a non-white solid patterned layer P on a white solid coating layer W after the white solid coating layer W is provided on the surface of film base material S under the condition that the resolution of the white solid coating layer W is made higher than that of the non-white patterned layer P.例文帳に追加

インクジェット記録方法は、フィルム基材Sの表面上に白色ベタ塗り層Wを設けた後に、その白色ベタ塗り層Wの上から非白色パターン層Pを設ける方法であって、前記白色ベタ塗り層Wの解像度を、前記非白色パターン層Pの解像度よりも高くすることを特徴とする。 - 特許庁

To provide a positive photoresist composition suitable for an exposure light source of200 nm wavelength, in particular an F_2 excimer laser beam (157 nm), to be more specific, a positive photoresist composition which has sufficient transmittance for the 157 nm light source and further of which the surface roughness, the development defect, the development residue (scum) and the resolution are improved.例文帳に追加

200nm以下、特にF_2エキシマレーザー光(157nm)の露光光源の使用に好適なポジ型レジスト組成物を提供することであり、より具体的には157nmの光源使用時に十分な透過性を示し、且つ表面ラフネス、現像欠陥、現像残渣(スカム)、解像力が改善されたポジ型レジスト組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a photosensitive resin composition which has high sensitivity, realizes a pattern with a high film remaining rate when developed and after cured, has excellent resolution and a pattern profile of a micro pattern, and has high heat resistance and mechanical performance required for the usage for a surface protective film and an interlayer insulating film of a semiconductor element.例文帳に追加

高感度で現像時及びキュア後において高残膜率のパターンを得られ、同時に微細パターンの解像性及びパターン形状に優れ、さらには、半導体素子の表面保護膜、層間絶縁膜用途として要求される耐熱性と力学的性能をも高レベルで満足する感光性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁

Then, by using the photomask, which has a plurality of patterns for the measurement of the pattern arrangement in the pattern formation area, on the principal surface of a semiconductor wafer, it has the process which transfers the prescribed pattern and let the size of the pattern for the measurement be a size which is lower than the resolution limit and moreover detectable.例文帳に追加

また、パターン形成領域内にパターンの配置位置を測定する測定用パターンを複数配置したフォトマスクを用いて半導体ウエハの主面上に所定のパターンを転写する工程を有し、前記測定用パターンの寸法を、解像限界以下で、かつ、検出可能な寸法とするものである。 - 特許庁

To provide a screen quality enhancing element capable of forming a film contributing to improvement of color purity and contrast by absorbing reflected light caused by external light using an optical interference function in a state of maintaining sufficient screen quality by adhering to a surface of a transparent base material and preventing deterioration of picture resolution.例文帳に追加

透明基材の表面上に密着し、画像解像度の低下を防止し、充分な画面品位を保持した状態で、外光による反射光を光学干渉機能を利用して吸収し、色純度向上、コントラスト向上に寄与する膜を形成できる画面品位向上エレメントを提供する。 - 特許庁

To provide a photosensitive composition which includes a polyurethane resin that has enhanced sensitivity, surface hardness, cold heat shock resistance, plating resistance and insulation properties and unexpectedly has an excellent shape of a permanent pattern and excellent resolution, and to provide a photosensitive film using the photosensitive composition, a photosensitive laminate, a method for forming a permanent pattern, and a printed board.例文帳に追加

感度、表面硬度、冷熱衝撃性、めっき耐性、及び絶縁性が向上し、予想外に永久パターンの形状、及び解像性に優れるポリウレタン樹脂を含む感光性組成物、該感光性組成物を用いた感光性フィルム、感光性積層体、永久パターン形成方法、及びプリント基板の提供。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a drive substrate with color filters which is capable of forming the color filters having excellent surface smoothness and uniform and sufficient coloring density directly on a substrate having electronic circuit materials at high resolution by utilizing its driving voltage without depending upon the combinations of TFT drive substrates and the color filters.例文帳に追加

TFT駆動基板及びカラーフィルタの組合せによることなく、電子回路材料を備えた基板に、その駆動電圧を利用して直接高解像度で表面平滑性に優れ、かつ均一で十分な着色濃度を有するカラーフィルタを形成しうるカラーフィルタ付駆動基板の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide an electroluminescence display device and its manufacturing method, in which the joint section of adjacent display panels is made less conspicuous, while constituting a single display device by joining a plurality of display panels, the number aperture and the resolution of the display surface are improved and a large size screen is obtained.例文帳に追加

複数の表示パネルを接合して1つの表示装置を構成する場合に、隣接する表示パネルの接合部を目立たなくすることができるとともに、表示面の開口率および解像度を向上させることができかつ大画面化が可能なエレクトロルミネッセンス表示装置およびその製造方法を提供することである。 - 特許庁

To provide a scattered ion analyzer making it possible to analyze a sample with high resolution by generating a magnetic field parallel with an incident ion beam and equipped with a secondary electron detector capable of exactly detecting secondary electrons produced on the surface of the sample by incidence of the ion beam.例文帳に追加

入射するイオンビームと平行な磁場を発生させることにより高分解能な試料の分析を可能とするイオン散乱分析装置において,上記イオンビームの入射により上記試料の表面に生成される2次電子を正確に検出可能な2次電子検出器を備えるイオン散乱分析装置を提供すること。 - 特許庁

To provide a method of laser beam machining of a workpiece in a short time and with a high resolution, by generating ablation plasma on the surface of the workpiece, producing a stress deformation region inside the workpiece, and thereby growing a crack in that region using a shock wave from the plasma.例文帳に追加

加工対象物の表面にアブレーション・プラズマを、加工対象物内部に応力ひずみ領域を発生させ、プラズマから発生する衝撃波を利用して、応力ひずみ領域内にクラックを成長させることで、短時間かつ高い分解能で加工対象物をレーザ加工する方法を提供すること。 - 特許庁

After an elevation angle of a viewing angle is converted into an effective elevation angle, the surface is rendered as a two-dimensional screen image as if it is created from the isotropic data, next, the obtained two-dimensional image with distortion is extended by quantity related to the aspect ratio A' and the image with high resolution and without distortion is obtained.例文帳に追加

視角の仰角を実効仰角へ変換した後、表面を、等方性データから作成されたものであるかのように2次元スクリーン画像としてレンダリングし、次いで、得られた歪みのある2次元画像をアスペクト比A′に関連した量だけ伸長させて、高分解能の歪みのない画像を得る。 - 特許庁

The octree is provided with nodes arranged at plural levels, each node stores plural zero-dimensional sets consisting of n elements, the set locally approximates the shape and the shade attributes of a part of the surface of the graphic object and the sets consisting of n elements are provided with sampling resolution of an image space.例文帳に追加

オクトリは、複数のレベルで配列されたノードを有し、各ノードが、複数のゼロ次元のn個の要素からなる集合を記憶し、集合は、グラフィックオブジェクトの表面の一部分の形状及び陰属性を局部的に近似させ、n個の要素から成る集合は、画像空間のサンプリング解像度を有する。 - 特許庁

To provide a negative resist composition which satisfies high sensitivity, high resolution, good heat resistance of a pattern, suppression of outgassing and reduction of surface roughness in microfabrication of a semiconductor device, and also to provide a pattern forming method using the composition.例文帳に追加

半導体素子の微細加工における性能向上技術の課題を解決することであり、特に半導体素子の微細加工において高感度、高解像性、良好なパターン耐熱性、アウトガスの低減、表面荒れの低減を満足するネガ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

To provide an image forming method which is high in initial printing density and resolution, hardly gives rise to form fogging even under such a severe environment like a high temperature and high humidity or low temperature and low humidity, and hardly gives rise to filming by efficiently transferring the toner image formed on the surface of a photosensitive drum to a transfer material.例文帳に追加

感光ドラムの表面に形成されたトナー像を効率よく転写材に転写することで、初期印字濃度や解像度が高く、更に高温高湿や低温低湿のような厳しい環境下でも、用紙カブリが起こり難く、更にフィルミングも起こり難い画像形成方法を提供すること。 - 特許庁

This inkjet recording method is to provide a non-white solid patterned layer P on a white solid coating layer W after the white solid coating layer W is provided on the surface of a film base material S under the condition that the resolution of the white solid coating layer W is made higher than that of the non-white patterned layer P.例文帳に追加

インクジェット記録方法は、フィルム基材Sの表面上に白色ベタ塗り層Wを設けた後に、その白色ベタ塗り層Wの上から非白色パターン層Pを設ける方法であって、前記非白色パターン層Pの解像度を、前記白色ベタ塗り層Wの解像度よりも高くすることを特徴とする。 - 特許庁

This inkjet recording method is to provide a white solid coating layer W on a non-white patterned layer after the non-white patterned layer is provided on the surface of a transparent film base material S under the condition that the resolution of the non-white patterned layer P is made higher than that of the white solid coating layer W.例文帳に追加

インクジェット記録方法は、透明フィルム基材Sの表面上に非白色パターン層Pを設けた後に、その非白色パターン層Pの上から白色ベタ塗り層Wを設ける方法であって、前記白色ベタ塗り層Wの解像度を、前記非白色パターン層Pの解像度よりも高くすることを特徴とする。 - 特許庁

This inkjet recording method is to provide a white solid coating layer W on a non-white patterned layer after the non-white patterned layer is provided on the surface of a transparent film base material S under the condition that the resolution of the non-white patterned layer P is made higher than that of the white solid coating layer W.例文帳に追加

インクジェット記録方法は、透明フィルム基材Sの表面上に非白色パターン層Pを設けた後に、その非白色パターン層Pの上から白色ベタ塗り層Wを設ける方法であって、前記非白色パターン層Pの解像度を、前記白色ベタ塗り層Wの解像度よりも高くすることを特徴とする。 - 特許庁

To provide a photosensitive resin composition which is free of surface roughness and the degradation in transparency due to the high transmissivity at 400 to 780 nm, is free of coating application defects, has good resolution, and can improve the planarity of edges of a substrate, and to provide a color filter using this composition and a liquid crystal display.例文帳に追加

本発明は表面荒れおよび400−780nmにおける透過率が高いために透明性の低下がなく、塗布欠陥がなく、解像度がよく、基板エッジ部分の平坦性を良好にできる感光性樹脂組成物、該組成物を使用したカラーフィルターおよび液晶表示装置を提供する。 - 特許庁

Then, an amount of defocus on an image formation surface is measured by an imaging signal of a resolution chart by a solid-state imaging device 3'; inclination of the lens is calculated; an amount of adjustment is obtained in the XY direction; and the pressing pins 39, 49 are driven by Xy axis driving motors 31, 41 to eliminate the inclination of the lens.例文帳に追加

そして、固体撮像素子3’による解像度チャートの撮像信号により結像面のデフォーカス量を測定し、レンズの傾きを算出するとともにXY方向の調整量を得て、Xy軸駆動モータ31,41でXY押圧ピン39,49を駆動しレンズの傾きを解消するようにする。 - 特許庁

For an image of ≥1,200 dpi in resolution on which dust of toner exhibits great adverse effects on the image quality, a transfer voltage E which does not cause a discharge dc between a non-image part on the surface of a photoreceptor drum 1 and a form P is applied in an area before transfer from a power unit 7 to a transfer roller 4.例文帳に追加

トナーのチリが画質に著しい悪影響を与える解像度1200dpi以上の画像については、転写前領域において、感光体ドラム1の表面の非画像部と用紙Pとの間に放電dcを生じない転写電圧Eを電源装置7から転写ローラ4に印加する。 - 特許庁

By providing a pair of conductive members 32 opposed to each other via an insulting layer 31 on the surface opposite to the magnetic recording medium 12 of the magneto-resistive effect layer 11, the resolution can be easily controlled by the thickness of the insulating layer 31 and higher recording density can be realized than that in a conventional shield type thin film magnetic head.例文帳に追加

また、磁気記録媒体12とは逆側の磁気抵抗効果層11の面に絶縁層31を介して対向した一対の導電性部材32を構成することにより、絶縁層31厚で容易に分解能を制御でき、従来のシールド型薄膜磁気ヘッドよりも高記録密度化が実現できる。 - 特許庁

To correct not only a unidirectional positional shift due to a drift but also a positional shift due to magnification/contraction, rotation, a trapezoidal distortion or the like, so as to acquire an image of high spatial resolution reduced in distortion, when detecting a characteristic X-ray or the like radiated from a sample in response to irradiation of an electron beam to prepare the surface image.例文帳に追加

電子線の照射に応じて試料から放出される特性X線等を検出して表面画像を作成する際に、ドリフトによる一方向の位置ずれだけでなく拡大/縮小、回転、台形歪みなどの位置ずれも補正して歪みが少なく高い空間分解能の画像を取得する。 - 特許庁

The solid base adsorbs a proton generated on a positive electrode surface which is not opposed to the negative electrode to suppress acidification and resolution of the electrolyte, thereby obtaining the electric double layer capacitor that is prevented from deteriorating in capacity and from increasing in internal resistance even when used at high temperature of >60°C to show long-life characteristics.例文帳に追加

固体塩基が、負極と対向していない正極面で発生したプロトンを吸着し、電解液の酸性化と分解を抑制するため、60℃を超える高温での使用においても、電気二重層キャパシタの容量低下と内部抵抗増大が抑制され、長寿命特性を有するキャパシタが得られる。 - 特許庁

To provide an image pickup device for detecting the surface condition of a circuit pattern-formed wafer with high resolution and a defect detection apparatus using the same, without being affected by steep pattern steps, reflectance distributions and optically transparent substance which are formed after resist patterns are formed and removed.例文帳に追加

本発明の目的は、レジストパターン形成後やレジスト除去後の回路パターン付ウェハに存在する急峻なパターン段差、反射率分布、光学的透明体に影響を受けることなく、表面状態を高解像度で検出する撮像装置並びにこれを用いた欠陥検査装置を提供することである。 - 特許庁

To provide a flaw detector capable of realizing high precision flaw detection by making the magnetic flux density of measurement region high resolution by detecting the change of magnetic flux density by changing the rotation angle of polarization surface using the Faraday effect, in the case of detecting the flaw in a member under testing of magnetic substance.例文帳に追加

磁束密度の変化を、ファラデー効果を利用して偏光面の回転角の変化として検出することにより、磁性体である被探傷部材の傷を検出する場合において、磁束密度の測定領域を高分解能化して高精度の探傷を実現し得る探傷装置を提供する。 - 特許庁

To provide a photosensitive element which suppresses surface roughening of side faces of a resist pattern and occurrence of stringlike development residue in a place where the resist pattern has a narrow interval, and can achieve high-level resolution, and to provide a resist pattern forming method using the same and a method for manufacturing a printed wiring board.例文帳に追加

レジストパターンの側面の粗面化及びレジストパターンの間隔の狭い箇所での糸状現像残りの発生を充分に抑制し、高水準の解像度を達成することが可能な感光性エレメント、並びにそれを用いたレジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法を提供すること。 - 特許庁

Magnetic properties such as coercive force, saturation magnetization, anisotropic energy and surface magnetic wall energy are precisely controlled by introducing nitrogen into a magnetic layer having a composition close to the compensated composition and needing the most precise control of magnetic characteristics (e.g. the reproducing layer of the magneto-optical recording medium utilizing magnetic super-resolution).例文帳に追加

補償組成に近い組成を有し、最も精密な磁気特性の制御が必要な磁性層(例えば磁気的超解像を利用した光磁気記録媒体の再生層)に対し、窒素を導入することにより、保磁力、飽和磁化、異方性エネルギー、界面磁壁エネルギー等の磁気的性質が精密に制御される。 - 特許庁

In the case when the solid shaped article is shaped by projecting the image of the sectional shape of the solid shaped article on the surface of the photo-curable resin, an external computer apparatus 120 expresses the sectional shape of the solid shaped article by sectional image data of a bit map style composed of a resolution of 4096×3072.例文帳に追加

光硬化性樹脂の表面に立体造形物の断面形状画像を投影することにより立体造形物を造形する場合において、外部コンピュータ装置120は、立体造形物の断面形状を4096×3072の解像度で構成されたビットマップ形式の断面画像データで表す。 - 特許庁

To provide a photosensitive resin composition capable of finishing a substrate to be processed for forming a minute pattern with a good yield as a sandblasting mask material with the superior resolution after development, adhesion and sandblasting resistant adhesion, a photosensitive resin laminate, a surface finishing method for a substrate to be processed, and a method for manufacturing a back plate of a plasma display.例文帳に追加

現像後の解像性及び密着性並びに耐サンドブラスト密着性に優れ、サンドブラスト用のマスク材として被加工基材に微細なパターンを歩留まりよく加工できる感光性樹脂組成物、感光性樹脂積層体、被加工基材の表面加工方法及びプラズマディスプレイの背面板の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a radiation sensitive resin composition having sensitivity to active light rays such as far-ultraviolet light represented by an ArF excimer laser, for example, superior in the flatness of a pattern surface without impairing fundamental material properties such as transparency to radiation, sensitivity, a resolution, and a pattern shape, and useful as a chemical amplification type resist which is improved against pattern collapse on a substrate.例文帳に追加

活性光線、例えばArFエキシマレーザー等に代表される遠紫外線等に感応し、放射線に対する透明性、感度、解像度、パターン形状等の基本物性を損なわずに、パターン表面の平滑性に優れ、かつ基板上でのパターン倒れが改善された化学増幅型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁

To accurately analyze a constituent by reducing stray light in the light reception of scattered light as much as possible and at the same time by efficiently condensing dim Raman scattered light in a Raman spectroscopy for analyzing the constituent on a sample surface by a horizontal resolution of at least diffraction limit by utilizing the Raman scattered light due to near-field light.例文帳に追加

試料表面の成分解析を近接場光によるラマン散乱光を利用して回折限界以下の水平分解能で行うラマン分光方法において、散乱光を受光する際の迷光を極力低減しながら、微弱光であるラマン散乱光を効率よく集光することにより、より精密な成分解析を可能とする。 - 特許庁

To provide a photosensitive resin composition which has proper storage stability, avoids odor annoyance, ensures proper solvent resistance and satisfactory surface smoothness of a cured resin pattern formed therefrom, does not cause coating defects, such as a granular foreign substance, has a high resolution for forming a fine pattern, and can form a photospacer with a superior recovery rate.例文帳に追加

良好な貯蔵安定性で、臭気問題がない感光性樹脂組成物であり、形成した硬化樹脂パターンの耐溶剤性が良好で、表面平滑性に優れ、粒状異物等の塗布欠陥が発生せず、微細パターンが解像可能で、回復率に優れたフォトスペーサーを形成しうる感光性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a supporting structure of optical elements, in which lens surface deformation due to the strain produced during assembling can be reduced and stable and high resolution with small aberration can be obtained, and an optical apparatus such as an exposure apparatus constructed by using the supporting structure, and a method for manufacturing a semiconductor device constructed from the optical apparatus, etc.例文帳に追加

温度環境の変化や、組み付けの際に発生する歪みに起因するレンズ面の変形を軽減することができ、安定で、収差が小さく、高い解像力を得ることが可能となる光学要素の支持構造、および該支持構造を用いて構成された露光装置等の光学装置と、該装置による半導体デバイス等の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a photosensitive conductive film capable of simply and conveniently forming a conductive pattern, having full adhesiveness with a substrate and full small surface resistivity on the substrate with full resolution, and provide a forming method of a conductive membrane, using the photosensitive conductive film, and the forming method of the conductive pattern, and to provide a conductive film substrate.例文帳に追加

基板上に、基板との接着性が十分であり且つ表面抵抗率が十分小さい導電パターンを十分な解像度で簡便に形成することを可能とする感光性導電フィルム、並びに、この感光性導電フィルムを用いた導電膜の形成方法、導電パターンの形成方法及び導電膜基板を提供する。 - 特許庁

The fluorescent microscope 1 demodulates, by modulating the spatial intensity distribution of the intermediate image with the scan mask 4, the component shifted to the frequency equal to or lower than the cutoff frequency f_c to the original high frequency component, and communicates the frequency component to an imaging surface through an imaging lens 6 to be converted to digital image data including super resolution components by an imaging element 7.例文帳に追加

そして、蛍光顕微鏡1は、スキャンマスク4で中間像の空間強度分布を変調することによって、カットオフ周波数f_c以下の周波数にシフトした成分を元の高周波成分に復調して、撮像レンズ6により撮像面に伝達し、撮像素子7により超解像成分を含むデジタル画像データに変換する。 - 特許庁

To acquire image information generated by light in a wavelength band different from that of measuring light with high resolution without enlarging an optical system for scanning the measuring light, irradiating a measuring object therewith, and allowing entrance of light from the measuring object; and to correlate the image information highly accurately with surface information of an optical stereographic structure image which is a measuring object.例文帳に追加

測定光を走査して測定対象に照射し測定対象からの光を入射する光学系を大型化することなく、測定光とは異なる波長帯域の光による画像情報を高解像度で取得し、かつ該画像情報を測定対象の光立体構造像の表面情報に高精度にて対応させる。 - 特許庁

例文

This rubber composition containing 20 to 120 pts.wt. silica based on 100 pts.wt. diene-based rubber is characterized in that the silica contains a surface-treated silica treated with a silane-coupling agent having 3 to 10 peak intensity at -45 ppm in a solid high resolution ^29Si-NMR spectrum by setting the peak intensity around -80 to -120 ppm as 100.例文帳に追加

ジエン系ゴム100重量部にシリカを20〜120重量部含有するゴム組成物において、前記シリカが、固体高分解能^29Si−NMRスペクトルにおける−45ppmでのピーク強度が、−80〜−120ppm付近のピーク強度を100とした場合3〜10であるシランカップリング剤で処理された表面処理シリカを含むことを特徴とする。 - 特許庁




  
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