「FLUID FILM」に関連した英語例文の一覧と使い方(12ページ目) - Weblio英語例文検索

The method for electropolishing an electroconductive film on a wafer comprises rotating a wafer chuck at a velocity sufficient for an electrolyte fluid injected onto the wafer to flow toward the wafer edge on the surface of the wafer.例文帳に追加

ウェハー上の導電性膜の電解研磨方法は、ウェハー上に入射した電解質流体がウェハー表面上をウェハー縁部に向かって流れるのに十分な速度で、ウェハー・チャックを回転させることを含む。 - 特許庁

In the method, the viscous fluid-state coating film is removed from the water and the liquid carbon dioxide discharged from the washing tank, and the water and dissolved matters are separately removed to recover the remaining clean liquid carbon dioxide into the liquid tank 11.例文帳に追加

洗浄槽から排出された水と液体二酸化炭素から粘液状の皮膜を除去し、更に水や溶解物を分離除去して残存する清潔な液体二酸化炭素を液体タンク１１に回収する。 - 特許庁

V-shaped grooves 15 are formed on the elastic member 5 at the side opposite to the side having the flexible film 6 stuck thereto in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the ink supply tube 8 (the direction of the ink fluid channels).例文帳に追加

また、弾性部材５の可撓性フィルム６を貼り付ける側と反対側にはＶ字型の溝１５がインク供給チューブ８の長手方向（インク流路方向）と直交する方向に形成されている。 - 特許庁

The composition for a transparent conductive film used for forming the transparent conductive film contains a material for the transparent conductive film composed of fine particles of conductive metal oxide and/or a precursor thereof, hydrogen fluoride or an HF generating material capable of generating hydrogen fluoride, and fluid medium 1 dissolving or dispersing at least a part of the material for the transparent conductive film.例文帳に追加

本発明の透明導電膜形成用組成物は、透明導電膜の形成に用いられる透明導電膜形成用組成物であって、導電性を有する金属酸化物微粒子および／またはその前駆体で構成される透明導電膜材料と、フッ化水素、または、フッ化水素を発生し得るＨＦ発生材料と、少なくとも透明導電膜材料の一部を溶解または分散する液状媒体とを含むことを特徴とする。 - 特許庁

The cooling microcircuit comprises at least one inlet slot for introducing a refrigerant flow into the cooling microcircuit, fluid outlet slots for distributing the film of a refrigerant on the air foil part, and a structure for substantially preventing one jet of the refrigerant flowing through one fluid outlet slot from applying an excessive force to the second jet of the refrigerant flowing out through the one fluid outlet slot.例文帳に追加

この冷却用微細回路は、冷媒流を冷却用微細回路の中に導入する少なくとも１つの入口スロットと、エアフォイル部上に冷媒のフィルムを分布させる複数の流体出口スロットと、流体出口スロットの１つを通って出て行く冷媒の１つの噴流がその１つの流体出口スロットを通って出て行く冷媒の第２の噴流に過度の力を加えることを実質的に防止する構造物と、を備える。 - 特許庁

In the curtain coating method and apparatus for applying the coating liquid dropped curtain film like from a lip tip part onto a continuously travelling web, after the coating film is formed on the web, a fluid is blown to remove the coating solution excessively applied on the endmost part in the coating film width direction and the coating solution is applied on the web while discharging the brown out coating solution.例文帳に追加

連続的に走行するウェブ上に、リップ先端からカーテン膜状に落下させた塗布液を塗布するカーテン塗布方法・装置において、前記ウェブ上に塗布膜形成後、塗膜巾方向最端部に過剰に塗設された塗布液を除去するために流体吹きつけ、及び、前記吹き飛ばされた塗布液を排出しながら前記ウェブ上に塗布液を塗布するカーテン塗布方法・装置。 - 特許庁

To provide a coating method and an overlay film forming device capable of preventing an overlay film from defects generated by discharge outside of gas inside a base material, in case one is formed by coating a raw material containing a solid component and a fluid component on a porous base material, as well as an overlay film thus prevented from defects and a nonaqueous electrolyte secondary battery.例文帳に追加

多孔質の基材に固形成分と液状成分とを含む原料を塗工して表層膜を形成する場合に、基材内部の気体の外部への放出により表層膜に欠陥が発生するのを防止することができる塗工方法および表層膜形成装置、並びに、それにより欠陥の発生が防止された表層膜および非水電解液二次電池を提供する。 - 特許庁

The method includes: a step of forming a silicon-containing Al alloy film 3 on a silicon substrate 1; a step of providing a resist pattern 4 on the Al alloy film 3; a step of etching the Al alloy film 3 using the resist patter 4 as a mask; a step of washing after etching; and a step of removing a silicon residue 5 using a two-fluid nozzle 6.例文帳に追加

半導体装置の製造方法はシリコン基板１上にシリコンを含有するＡｌ合金膜３を形成する工程と、Ａｌ合金膜３上にレジストパターン４を設ける工程と、レジストパターン４をマスクとしてＡｌ合金膜３をエッチングする工程と、エッチ後洗浄する工程と、２流体ノズル６によってシリコン残渣５を除去する工程とを備える。 - 特許庁

The flow direction and flow speed meter includes: a plurality of thin film-shaped beams 12; a support 11 for supporting the plurality of beams 12; a heater 13 arranged on the beams 12 for heating fluid to be measured; and at least three or more temperature sensors 14a-14f arranged on the beams 12, for measuring a temperature of the fluid to be measured heated by the heater 13.例文帳に追加

流向流速計は、薄膜状の複数の梁１２と、複数の梁１２を支持する支持部１１と、梁１２の上に配置され、被計測流体を加熱するヒータ１３と、梁１２の上に配置され、ヒータ１３により加熱された被計測流体の温度を測定する少なくとも３つ以上の温度センサ１４ａ〜１４ｆとを備える。 - 特許庁

The rubber film 21 partitions a clearance between the piston rod 2 and a mounting ring 20 into front and rear pars in the axial direction regardless of the stroke position of the piston rod 2, thereby intercepting a leakage caused by leading the magnetic viscous fluid onto the piston rod 2 from a hydraulic chamber 10 of the cylinder 1 while preventing contact between the piston rod 2 and the block 18 through magnetic powder of the magnetic viscous fluid.例文帳に追加

ゴム膜２１は、ピストンロッド２と取付環２０との隙間をピストンロッド２のストローク位置にかかわらず軸方向前後に仕切り、シリンダ１の油圧室１０からピストンロッド２上への磁気粘性流体の引き込みによる漏れを遮断すると共に、ピストンロッド２とブロック１８との磁気粘性流体の磁性粉を介した接触を阻止する。 - 特許庁

Since not only the washing rinse nozzle 41 for directly washing a substrate W, but also the cover rinse nozzle 51 is a two-fluid nozzle for discharging mixture fluid, a uniformly thin pure water film is formed in the upper surface of the substrate W even if it is hydrophobic, thus further surely preventing generation of water marks in washing treatment.例文帳に追加

基板Ｗの直接の洗浄処理を担当する洗浄リンスノズル４１だけでなく、カバーリンスノズル５１をも混合流体を吐出する二流体ノズルとしているため、基板Ｗが疎水性基板であっても、その上面に均一な薄い純水水膜が形成され、洗浄処理時のウォーターマーク発生をより確実に防止することができる。 - 特許庁

A colored fluid 15 having a magnetism is filled into an inclusion space S between a first and a second substrates 11 and 13 disposed with a space between them, and a thin film electromagnets 17a and 17b which move the colored fluid 15 in the inclusion space S with magnetic force are provided on the first substrate 11 to compose the optical modulation elements 100.例文帳に追加

互いに間隔をあけて配設した第１、第２基板１１、１３の間の封入空間Ｓに磁性を有する着色流体１５を封入し、着色流体１５を磁力によって封入空間Ｓ内で移動させる薄膜電磁石１７ａ、１７ｂを第１基板１１に設けて光変調素子１００を構成する。 - 特許庁

This fluid machine comprises a rotor chamber 11 storing a pair of rotors, a casing having fluid inflow and outflow ports communicated with the rotor chamber 11, a gear set consisting of gears 23 connected to a rotor shaft 9 and a gear chamber 13 storing the gear set, wherein an oil film damper 7 is provided on the rotor shaft 9 at the side of the gears 23 for absorbing vibration.例文帳に追加

一対のロータを収容するロータ室１１と、ロータ室１１と連通する流体の流入口及び流出口を有するケーシングと、ロータ軸９に連結されたギヤ２３からなるギヤ組と、このギヤ組を収容するギヤ室１３とを備え、ロータ軸９のギヤ２３側に、振動を吸収するオイルフィルムダンパ７を設けた。 - 特許庁

Therefore, a part of sealing object fluid introduced into the clearance with the rotor 10 by the unevenness strip 24 generates dynamic pressure by intervening wedgedly in a narrowed direction of the clearance in connection with a rotation of the rotor 10, and a sliding resistance with the periphery of the rotor 10 reduces since thick fluid lubricating film is formed.例文帳に追加

このため、凹凸条２４による回転体１０との間隙へ導入される密封対象流体の一部が、回転体１０の回転に伴って前記間隙の狭まり方向へクサビのように介入して動圧を発生し、厚い流体潤滑膜を形成するので、回転体１０の外周面との摺動抵抗が減少する。 - 特許庁

A cationic polymer containing solution, a fine particle dispersion and a rigid film agent solution are mixed, and dispersed to prepare a dispersion, and a low polymerization degree polyvinyl alcohol aqueous solution and a high polymerization polyvinyl alcohol aqueous solution are added in the above order in the dispersion to form a coating fluid, and the coating fluid thus prepared is applied on a substrate to manufacture an ink-jet recording paper.例文帳に追加

カチオン性ポリマー含有溶液と微粒子分散液および硬膜剤溶液を混合した後、分散して得られる分散液に、低重合度ポリビニルアルコール水溶液および高重合度ポリビニルアルコール水溶液をこの順に添加して得られる塗布液を支持体上に塗布して得られることを特徴とするインクジェット記録用紙。 - 特許庁

This flow sensor has structure provided with a heater and a plurality of temperature sensor arrays arrayed so as to surround the heater, on a thin film separated thermally from a substrate via a cavity part, or structure with the thin film, having the heater and the plurality of temperature sensor arrays arrayed spatially separated to detect only the omnidirectional variations of the fluid.例文帳に追加

基板から空洞部を介して熱分離した薄膜に、ヒータとそのヒータを取り囲むように配列した複数個の温度センサアレイを具備した構造、又は、ヒータと複数個の温度センサアレイを有する薄膜を空間的に分離して全方位からの流体の変化量のみを検知する構造とすること。 - 特許庁

This equipment for producing the deposited film has plural tubular hollow parts respectively separately provided along the longitudinal direction at the inside of the cylindrical electrode and feeding a fluid for cooling the cylindrical electrode and the above gaseous starting material, and the method for producing the deposited film uses the same.例文帳に追加

前記円筒状電極を冷却するための流体および前記原料ガスの供給を行なう、前記円筒状電極内部の長手方向に沿ってそれぞれ別個に設けられた複数個の管状空洞部を有する堆積膜の製造装置並びにそれを用いた堆積膜の製造方法。 - 特許庁

To provide a fluid sealing type cylindrical vibration control device of a new structure surely and stably preventing protrusion of a rubber elastic film to an outer circumferential face side in an opening window portion of the outer circumferential member in sticking the outer circumferential edge of the rubber elastic film to the opening window portion penetratingly provided in the outer cylinder member by vulcanization.例文帳に追加

外筒部材に貫設された開口窓部対してゴム弾性膜の外周縁部を加硫接着せしめるに際して、外周部材の開口窓部におけるゴム弾性膜の外周面側へのはみ出しを、確実に且つ安定して防止し得る、新規な構造の流体封入式筒型防振装置を提供すること。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a micro-fluid device having a porous part by accurately laminating and fixing a film-like member having a microporous part provided thereto or an extremely thin and flexible film-like member having a porous part to another member in an industrially stable manner.例文帳に追加

本発明の課題は、微小な多孔質部をその一部に有するフィルム状の部材や、多孔質部を有する非常に薄くかつ柔軟なフィルム状の部材を工業的に安定した方法で精度良く他の部材に積層し固着して、多孔質部を有するマイクロ流体デバイスを製造する方法を提供する。 - 特許庁

To provide an antireflective film in which generation of color unevenness and whitening is suppressed while having sufficient antireflection performance, an antifouling property, and abrasion resistance by adjusting description, addition of a leveling agent to be used, and solid content concentration of coating fluid, and to provide a polarizing plate and an image display device using the antireflective film.例文帳に追加

使用するレベリング剤の種類、添加量及び塗液の固形分濃度を調整することにより、十分な反射防止性能、防汚性、耐擦傷性を有しながら色ムラ及び白化の発生を抑えた反射防止フィルム及び反射防止フィルムを用いた偏光板並びに画像表示装置を提供すること。 - 特許庁

The fluid dynamic pressure bearing assembly includes an oil seal part formed between a fixed member and a rotating member and an oil barrier film arranged such that oil leakage from the oil seal part is prevented and including a self-organizing single molecular film formed in at least one surface of the fixed member and the rotating member.例文帳に追加

本発明による流体動圧ベアリングアセンブリは、固定部材と回転部材との間に形成されるオイルシール部と、上記オイルシール部からのオイル漏れが防止されるように配置され、上記固定部材及び回転部材のうち少なくとも一表面に形成された自己組織化単分子膜を含むオイルバリアフィルムと、を含む。 - 特許庁

To provide a fluororubber coating composition which can directly form a rubber coating layer on a metal surface without using a primer, has an improved resistance to an antifreezing fluid, and gives a coating film improved in permanent set under high-temperature long-time compression.例文帳に追加

プライマーを用いることなく、金属面上に直接ゴム被覆層を形成させることのできる材料であって、しかも耐不凍液性や高温長期圧縮時の塗膜のヘタリ性を改善したフッ素ゴム塗料組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a measuring apparatus which measures the two-dimensional distribution of the film thickness of a lubricant/sealing fluid interposed between the rotational sliding surfaces of an end face sealing member and an opposite member over the entire sliding surfaces with sub-micron order precision.例文帳に追加

端面シール部材と相手部材の回転摺動面間に介在する潤滑・密封流体の膜厚に関し、摺動面全周に亙る二次元的な分布をサブミクロンオーダの精度で測定する測定装置を提供する。 - 特許庁

To provide a simultaneous double-layer coating slide type coater for lowering the generation of coating trouble to the utmost when a slurry-like coating liquid containing a dispersed matter and a coating liquid having characteristics different from those of a Newtonian fluid are applied by the coater and excellent in coating film thickness distribution.例文帳に追加

塗布液が分散物を含むスラリ状の塗布液及びニュートン流体から外れる特性を持った塗布液をコータで塗布する際に、塗布故障の発生を極力低くし、更に塗布膜厚分布の優れたコータの提供。 - 特許庁

The thin film members 5 have a strength capable of enduring a pressure of the fluid, are made of materials which do not restrict the movement of the airfoil model 11 even if the members come in touch with the walls 2, and are provided so as to block the gap d1 between the ends and the walls 2.例文帳に追加

薄膜部材５は、流体の圧力に耐え得る強度を有し、壁２に接触しても翼模型１１の動きを制限しない材料で形成され、端部と壁２との隙間ｄ１を塞ぐように設けられる。 - 特許庁

To provide a coating method whereby a coating fluid film (coat layer) having a uniform and good appearance can be formed, and unevenness called transverse step unevenness formed at right angles with the advancing direction of the web and resulting from the vibration of the web can be prevented.例文帳に追加

均一かつ良好な外観を有する塗液膜（コート層）を形成でき、更にウェブの振動に起因するウェブ進行方向に対し直角方向に入る横段斑と呼ばれる斑を抑制できる塗布方法を提供する。 - 特許庁

In a hydrogen-cooled generator, a seal casing 30 has a chamber opening radially inwardly for receiving a pair of seal rings (40 and 42) forming a fluid film along the interface between the rings and the rotor.例文帳に追加

水素冷却式発電機内で、封じケーシング（３０）が１対の封じリング（４０、４２）を受入れる為に、半径方向内向きに開口する室を持っていて、リングと回転子との間の界面に沿って流体膜を形成する。 - 特許庁

On a surface of a metal layer 104 formed in a part or the whole of a flow passage surface of a micro flow passage 100 through which working fluid 50 passes, a sulfur compound film 106 having hydrophilic group 105 in end group is formed.例文帳に追加

作動流体５０が通過するマイクロ流路１００の流路表面の一部あるいは全面に形成された金属層１０４の表面に、末端基に親水基１０５を有する硫黄化合物皮膜１０６を形成する。 - 特許庁

To provide a permeability measuring device of a sample fluid such as a tear film, which is trustworthy with high repeatability and accuracy, minimizes inconvenience and uncomfortableness of a patient, and does not require much skill in measuring.例文帳に追加

患者に対して不便と不快を極力かけずに、且つ、測定するのに多大の熟練を要することなく、高度の反復性と精度でもって、信頼し得る涙膜等のサンプル流体の浸透度測定装置を提供する。 - 特許庁

To provide a slit coat type coating device and slit coat type coating method in which by monitoring the feed quantity of coating fluid to a coating head, the delicate variation of coating conditions can be coped with to enable obtaining the uniform film thickness of a high level.例文帳に追加

塗布ヘッドへの塗布流体の供給量をモニターすることで、微妙な塗布条件変動に対応できるようにして高レベルの均一な膜厚を得ることができるスリットコート式塗布装置とスリットコート式塗布方法の提供。 - 特許庁

As the first needle 231 punctures the projection 123 on the film members 121a and 121b, the inside and the outside of the barrel 1 become continuous through the fluid passage hole 234, so that the drug solution is transferred between the barrel 1 and the connection device 2.例文帳に追加

第一針２３１を膜体１２１ａ，１２１ｂの突起部１２３に刺通することにより、通液穴２３４を介してバレル１の内外が連通され、バレル１と接続器具２との間で薬液を移送可能とする。 - 特許庁

Droplets generated by mixing etchant including fluorine containing chlorine with gas are injected to the surface of the substrate W having a natural oxidation film formed on the surface by a two-fluid nozzle 80, to etch and clean the substrate surface.例文帳に追加

二流体ノズル８０により、塩酸を含むフッ酸からなるエッチング液と気体とを混合して生成される液滴を、表面に自然酸化膜が形成された基板Ｗの表面へ噴射し、基板表面をエッチングして洗浄する。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of a transparent conductive film which has a lower resistance than before and a sufficient surface smoothness in a method for forming a gate electrode by applying a fluid material containing transparent conductive particulate.例文帳に追加

透明導電性微粒子を含む流動性材料の塗布により、ゲート電極を形成する方法において、従来よりも低抵抗、かつ充分な表面平滑性をもった透明導電膜の製造方法を提供する。 - 特許庁

The periphery of the support member 9 is connected to a pressing mechanism 10, and the second plate 5 is made to bear against the back of the sheet film F as pressed toward the substrate W corresponding to a fluid pressure given by the pressing mechanism 10.例文帳に追加

また、支持部材９の周縁部は押圧機構１０と接続されており、この押圧機構１０から与えられる流体圧力に応じて基板Ｗ側に押圧されて第２のプレート５をシートフィルムＦの裏面に当接させる。 - 特許庁

The local over-acceleration of the primary fluid flow F turns the cooling jet 70 to flow on the high temperature face 24 to facilitate sideways expansion of the jet and formation of a protective cooling film continuing sideways together with the expanded jet.例文帳に追加

一次流体流れ（Ｆ）の局部的な過加速は、高温面（２４）上に冷却噴流（７０）をそらせて、噴流が側方に広がるとともに合わさって側方に連続する保護冷却フィルムを形成するのを促進する。 - 特許庁

The application method comprises applying a coating fluid which has hydroxy groups and forms a coating film when crosslinked to a substrate having a curvature and is characterized in that the hydrogen bond component γH of the surface energy of the substrate is 8 mN/m or higher.例文帳に追加

水酸基を有し架橋により成膜する塗布物を、曲率を有する基材へ塗布する塗布方法において、該基材の表面エネルギーの水素結合成分γＨが８ｍＮ／ｍ以上であることを特徴とする塗布方法。 - 特許庁

To provide a bone substitute material which is easy to work, comparatively lightweight and has excellent toughness, intensity and bone tissue affinity and which forms an apatite coating film on a surface more speedily than before in the body fluid.例文帳に追加

加工が容易で、比較的軽量で、かつ靭性と強度に優れるとともに、骨組織親和性に優れ、体液中において従来よりも短時間で表面にアパタイト被膜を形成する骨代替材料を提供する。 - 特許庁

The copper film is treated in a gas of carbon dioxide at 200°C-300°C, 2-30 MPa, or in a gas of an inert element, or in a super-critical carbon dioxide, or in a gas or fluid of the above gas containing hydrogen.例文帳に追加

これを２００℃〜３００℃、２〜３０ＭＰａの高温高圧の二酸化炭素、または不活性元素の気体中で、ないしは超臨界二酸化炭素中で、あるいはさらにこれらに水素を含有させた気体、流体中で処理する。 - 特許庁

The plain bearing comprises a fixing member 1 and a motion member 2 sliding with keeping a gap with the same, forms fluid lubricating film between the same, and includes texture supporting force acting toward the fixed member in the motion member.例文帳に追加

固定部材１とこれと隙間を隔てて摺動する運動部材２とからなり、その間に流体潤滑膜を形成させて、運動部材に固定部材に向けて作用する力を支承するテクスチャを有するすべり軸受。 - 特許庁

The cooling microcircuit has at least one cooling film hole (36) positioned in front of a gage point for creating a flow of a cooling fluid over the outer surface of the suction surface which flows past a throat point (38).例文帳に追加

冷却用ミクロ回路は、負圧面の外表面上にスロートポイント（３８）を通過する冷却流体の流れを発生させるために、このゲージポイントの前方に位置決めされた少なくとも１つの冷却フィルム穴（３６）を有する。 - 特許庁

The coating fluid for forming a hydrophilic film comprises a partial hydrolyzate of an alkoxysilane, a partial hydrolyzate of a zirconium alkoxide, and an alcohol and, based on the sum of silicon (Si) in terms of SiO_2 and zirconium (Zr) in terms of ZrO_2 in this coating fluid for forming a hydrophilic film, the weight percentage of the above SiO_2 is 30 to 70 weight%.例文帳に追加

本発明の親水性被膜形成用塗布液は、アルコキシシランの部分加水分解生成物と、ジルコニウムアルコキシドの部分加水分解生成物と、アルコールとを含有し、この親水性被膜形成用塗布液中の珪素（Ｓｉ）をＳｉＯ_２に、ジルコニウム（Ｚｒ）をＺｒＯ_２にそれぞれ換算した場合の、これらＳｉＯ_２及びＺｒＯ_２の合計量に対する前記ＳｉＯ_２の重量百分率は、３０重量％以上かつ７０重量％以下であることを特徴とする。 - 特許庁

A manufacturing process of an apparatus for fabricating a semiconductor device which processes a substrate to be processed mounted on a sample stand in a container comprises a step for forming a dielectric film on the upper surface of the sample stand by spraying and cleaning the dielectric film with fluid, and a step for mounting a wafer on the upper surface of the dielectric film and attracting the wafer electrostatically a plurality of times.例文帳に追加

容器の内部の試料台上に載置された被処理基板を処理する半導体デバイス製造装置の製造方法であって、前記試料台の上面に誘電体製の膜を溶射により形成した後にこの誘電体製の膜を流体を用いて洗浄する工程と、前記誘電体製の膜の上面にウエハを載せて静電吸着させる処理を複数回行う工程とを備えた。 - 特許庁

To provide a method of forming an element isolation layer of a semiconductor memory device, capable of filling a fluid first insulating film on the bottom surface of a trench, forming a second insulating film, then performing a dry etching process and a wet etching process and reducing the amount of fluorine (F) included in the second insulating film while expanding the top width of the trench.例文帳に追加

本発明は、トレンチの底面に流動性の第１の絶縁膜を満たし、第２の絶縁膜を形成した後に乾式エッチング工程及び湿式エッチング工程を行ってトレンチの上部の幅を広げながら第２の絶縁膜に含まれるフッ素(Ｆ；fluorine；フローリン)の量を減少させることができる半導体メモリ素子の素子分離膜形成方法を提供することを可能にすることを目的としている。 - 特許庁

The method of manufacturing a semiconductor device includes steps of blowing a fluid on a surface of a processing-target substrate including a semiconductor substrate; forming a protective layer on the surface of the processing-target substrate, after the fluid blowing step; and performing removing and processing operation with respect to a region of the substrate with the protective film being selectively removed.例文帳に追加

半導体基板を含む被処理基板の表面に流体を吹き付ける工程と、前記流体を吹き付ける工程の後、前記被処理基板の表面に保護層を形成する工程と、前記保護層をエネルギービームにより選択的に除去する工程と、前記被処理基板における、前記保護膜が選択的に除去された領域に対して、除去加工を行う工程と、を具備する。 - 特許庁

In a supercritical pressure boiler where hematite is generated by adding oxygen to supply water and performing the oxidation of Fe in the supply water and a film is formed by making the hematite adhere to the inner wall of the heat transfer pipe, the adhesion thickness of a hematite scale is predicted based on an evaluation formula where the adhesion thickness of the hematite scale, an Fe concentration in the supply water, a fluid temperature and fluid pressure are associated with one another.例文帳に追加

給水に酸素を添加して給水中のＦｅを酸化してヘマタイトを生成させ、ヘマタイトを伝熱管の内壁に付着させて皮膜を形成させるようにした超臨界圧ボイラにおいて、ヘマタイトスケールの付着厚さと、給水中のＦｅ濃度と、流体温度と、流体圧力と、を関係付けた評価式に基づいてヘマタイトスケールの付着厚さを予測する。 - 特許庁