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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > Resolving Powerの意味・解説 > Resolving Powerに関連した英語例文

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Resolving Powerの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 508



例文

To provide an electric power steering device capable of resolving a feeling of uncomfortableness of a driver during steering due to output change, and improving steering feeling, even when the output of a rotation detecting portion is greatly changed before/after finishing output correction.例文帳に追加

出力補正の完了前後で回転検出部の出力が大きく変動したときでも、その出力変動に起因する操舵動作中のドライバーの違和感を解消することができ、操舵フィーリングを向上することができる電動パワーステアリング装置を提供する。 - 特許庁

The resolving power of the apparatus is more excellently determined and the angle value of the passage width from each reflecting point (A or B) on the surface of the mirror is enhanced by introducing the injection collimator (28) so as to substancially depend on the position of the reflecting point.例文帳に追加

本発明では、装置の分解能はより良好に決められ、鏡の表面の各反射点(A又はB)からの通路幅に対する角度値が、反射点の位置に実質的に依存するよう射出コリメータ(28)を導入することによって高められる。 - 特許庁

To provide an alicyclic acrylate compound used as a monomer for a photoresist which has high transparency to the far ultraviolet rays having a wave length of ≤248 μm, is excellent in dry-etching resistance, exhibits good adhesion to a substrate and good solubility in an alkaline developing solution, and further has high sensitivity and high resolving power.例文帳に追加

波長248nm以下の遠紫外線に対して高い透明性を有し、かつドイエッチング耐性に優れ、基板密着性、アルカリ現像液に対し良好な溶解性を示し、更に高感度、高解像度を有するフォトレジスト用モノマーの提供。 - 特許庁

To provide an image forming apparatus in which current resolving-power for obtaining a desired transfer current can be kept nearly constant even when the value of a working transfer voltage is changed due to a change in the resistance value of a transfer roller attributable to temperature and humidity in the apparatus and an energization time.例文帳に追加

転写ローラの抵抗値が機内の温湿度や通電時間により変化して、使用する転写電圧の値が変わる場合も、所望の転写電流を得るための電流分解能を概略一定にすることが可能な画像形成装置を提供すること。 - 特許庁

例文

To enhance detection accuracy on the position of an observation object and on the reflection coefficient of the observation object by using information on polarized wave in super-resolution processing of a radar device for detecting the observation object with accuracy exceeding resolving power limited by the band of a signal.例文帳に追加

信号の帯域によって制限された解像度以上の精度で観測対象を検出するレーダ装置の超解像処理において、偏波の情報を用いることで、観測対象の位置と観測対象の反射係数の検出精度を向上させる。 - 特許庁


例文

To provide a method for producing a polyol compound for photoresists which can reduce line edge roughness (LER) and can efficiently obtain a high purity polyol compound for photoresists useful in preparing a resist composition having excellent resolving power and etching resistance.例文帳に追加

LERを低減することができ、且つ、解像性及び耐エッチング性に優れるレジスト組成物を調製するために有用なフォトレジスト用ポリオール化合物を高い純度で効率よく得ることができるフォトレジスト用ポリオール化合物の製造方法を提供する。 - 特許庁

Since the sample solution 2, the cathode solution 4 and the anode solution 7 do not directly come into contact with each other by providing the separation parts 3, the excessive electric current is suppressed even under the modifying condition, so that the sample separation of high reproducibility and resolving power is achieved.例文帳に追加

離間部3を設けることにより、試料溶液2と陰極液4及び陽極液7とが直接接することがないので、たとえ変性条件下であっても、過度の電流を抑制し、再現性及び解像度の高い試料分離を実現することができる。 - 特許庁

To provide a negative resist composition which satisfies such properties as sensitivity, resolving power, variation of sensitivity and line edge roughness when an electron beam or X-rays is used.例文帳に追加

活性光線又は放射線を使用するミクロファブリケーション本来の性能向上技術の課題を解決することであり、特に電子線又はX線の使用に対して感度、解像力性、感度変動率及びラインエッジラフネスの特性を満足するネガ型レジスト組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a color liquid crystal device which obviates the darkening of a liquid crystal panel and is capable of displaying many colors with high resolving power while the device is capable of adjusting the color balance of color filters by changing the opening area of the portions of the respective colors.例文帳に追加

カラーフィルタにおける色バランスを、各色の部分の開口面積を変化させることによって調節することが可能でありながら、液晶パネルが暗くなることがなく、しかも、高い分解能で多くの色の表示が可能なカラー液晶装置を提供する。 - 特許庁

例文

To detect the degree of a warpage of a top board at a high detection resolving power by a simple structure while keeping a high supporting rigidity of the top board in a table system which is suitable for, e.g., an X-ray CT photographing, in which the top board for mounting an object is let out in the horizontal direction.例文帳に追加

対象を載置する天板を水平方向に繰り出す、例えばX線CT撮影に適したテーブルシステムにおいて、天板の支持剛性を高く保ちつつ、簡単な構造で、天板の撓みの程度を高い検出分解能で検出する。 - 特許庁

例文

In the sticking resolving step, the microdevice is exposed to at least either heat or an impact to reduce the sticking power exerted between a movable portion 102 and the supporting substrate 101 so as to repair the microdevice in which the movable portion 102 sticks to the supporting substrate 101.例文帳に追加

スティッキング解消工程では、可動部102が支持基板101に張り付いてしまったマイクロデバイスを修復する為に、マイクロデバイスに熱及び衝撃の少なくとも一方を与えて可動部102の支持基板101への張り付き力を低下させる。 - 特許庁

To provide a multiplied switching power supply which separately provides ac voltage and dc voltage with a plurality of loads from a singly ac power supply, capable of protecting elements from excess voltage and of completely preventing faulty output by resolving an incomplete circuit state which partially permits faulty output on a circuit after a fuse blowout.例文帳に追加

単一の交流電源から複数の負荷に交流電圧と直流電圧とを分岐供給するようにした多様化したスイッチング電源であっても、過電圧から素子を保護し、さらにヒューズ溶断後における回路上で一部誤出力可能となるような不完全な回路状態を解消して、スイッチング電源の誤出力を完全に防止する。 - 特許庁

To provide an immersion oil for a microscope, that can keep its inherent low fluorescency over a long period of time, has good chracteristics such as refractive index, Abbe number, viscosity, resolving power, etc., requiered for an immersion oil for microscope, and is especially suitable for a fluorescent microscope.例文帳に追加

それ自体の低蛍光性を長期間に亘って維持することができ、屈折率、アッベ数、粘度、解像力など顕微鏡用液浸油に要求される諸性質も良好であり、特に蛍光顕微鏡用として好適な顕微鏡用液浸油を提供すること。 - 特許庁

To provide a measuring system using a surface plasmon resonance sensor capable of measuring a refractive index to be measured with high resolving power and high sensitivity even if the refractive index is within a wide range by providing constitution that a plurality of sensors are provided to a single chip.例文帳に追加

単一チップに複数のセンサを設ける構成とすることにより、測定要求がある屈折率が広範囲でも高い分解能で高感度に測定でき、小型化およびコストの低減が行える表面プラズモン共鳴センサを用いた測定システムを提供すること - 特許庁

To provide a diaphragm device by which the lowering of resolving power and the unevenness of light quantity on an image plane due to the influence of diffraction are prevented even for a very high-luminance subject, which is easily manufactured, whose manufacture cost is low and which has high durability to an environmental condition such as humidity.例文帳に追加

非常に高輝度な被写体に対しても回折の影響による解像力の低下や画面の光量むらが発生せず、またその製造が簡易であり、製造コストが低く、湿度等環境条件に対する耐久性が高い絞り装置を提供すること - 特許庁

This spectrum diffusion system distance measuring device is provided with a rough measurement circuit 20 for measuring the measurement object time taking one period of the reference clock as a time resolving power by a correlation device, and a close measurement circuit 30 for measuring the correction time for the measurement time obtained in the rough measurement circuit 20.例文帳に追加

スペクトラム拡散方式の距離測定装置に、測定対象時間を、相関器を用いて基準クロックの1周期を時間分解能として測定する粗測定回路20と、粗測定回路20で得られる測定時間に対する補正時間を測定する密測定回路30とを設ける。 - 特許庁

To provide a medium reproducer and an exhaust gas treatment unit excellent in recovering a gas desorbed from a medium for reproducing a medium having adsorbing or resolving power for components to be removed, which are contained in gases such as exhaust gas, and yet improved in cost effectiveness and maintainability.例文帳に追加

排ガス等のガス中に含まれる被除去成分に対する吸着能又は分解能を有する媒体を再生するのに、媒体からの脱離ガスの優れた回収性能を有し、しかも経済性及び保守性を向上できる媒体再生装置及び排ガス処理装置を提供する。 - 特許庁

To provide a positive resist composition which is enhanced in resolving power, reduced in residue on development and improved in process admissibility such as a margin for exposure and a focal depth in lithography using a short- wavelength light source for exposure capable of ultra-microfabrication and a positive chemical amplification resist.例文帳に追加

超微細加工が可能な短波長の露光光源及びポジ型化学増幅レジストを用いたリソグラフィー技術にあって、解像力が向上し、現像残査が低減し、露光マージンや焦点深度等のプロセス許容性が改善されたポジ型レジスト組成物を提供すること。 - 特許庁

Since a scanning speed and the magnification of an imaging lens are switched corresponding to the scanning direction 201 with respect to the extending direction 205 of the pattern 210, the image input of the pattern can be performed in as short time as possible by image resolving power capable of detecting the flaw present in the pattern.例文帳に追加

パターン210の延在方向205に対するスキャン方向201に応じて、スキャン速度及び撮像用レンズの倍率を切り換えるようにしたことから、パターンに存在する欠陥を検出可能な画像分解能にて、可能な限り短時間にて、パターンの画像入力を行うことができる。 - 特許庁

To provide a fluoroscopic inspection device of a semiconductor wafer easy of configuration, capable of shortening a detection time without requiring a long time in the transfer of data and deteriorating resolving power and especially suitable for use when a large amount of semiconductor wafers are rapidly inspected to achieve a mass production.例文帳に追加

構成が容易で、データ転送に長時間を要することなく、また、解像度を劣化させることなく検出時間の短縮を図ることができ、特に、大量の半導体ウエハを迅速に検査して大量生産を図る場合に使用して好適な半導体ウェハ透視検査装置を提供する。 - 特許庁

To provide an ink jet recording sheet constituted so that a colorant receiving layer has good ink absorbability and can form an image of high resolving power, the formed image has an ink receiving capacity excellent in water resistance, blur resistance with the elapse of time and excellent in gloss and is improved in fading or discoloration due to light.例文帳に追加

色材受容層が良好なインク吸収性を有し、高解像な画像を形成できるとともに、その形成画像が耐水性、経時ニジミ、光沢性に優れるインク受容性能を備えながら、光による褪色や変色が改善されたインクジェット記録用シートを提供すること。 - 特許庁

To provide a zoom lens, which has a high variable magnification ratio of about 10 times or more even though a half field angle at a wide angle end is sufficiently a wide field angle that is 38 degrees or more, which is sufficiently corrected in aberration, and which has a resolving power adapted to an image pickup element of a small size and high resolution.例文帳に追加

広角端における半画角が38度以上と十分に広画角でありながら10倍程度以上の高い変倍比を有し、十分に収差補正され、小型でかつ高解像度の撮像素子に対応した解像力を有するズームレンズを提供する。 - 特許庁

In the image display device, an area in which a gradient is gentle is provided to a partial region of a gamma curve denoted by a relationship of an input value (gray level) and an output value (luminance relative value) so that chromaticity points on chromaticity coordinates are unevenly distributed, thereby improving a chromatic resolving power (color resolution) of a particular color.例文帳に追加

画像表示装置において、入力値(階調レベル)と出力値(輝度相対値)との関係で表されるガンマ曲線の一部の領域に傾きの緩やかな領域を設け、それにより色度座標上での色度点を偏在させ、特定色の色分解能を向上する。 - 特許庁

To provide a coil communication device having the following performance: firstly reducing a point where sensitivity is zero, a zone where communication sensitivity is reduced and communication is not available on the other communication sensitivity, secondly achieving the above easily, and thirdly resolving fault in electromagnetic wave by being hardly imposed by the effect of power supply magnetic field.例文帳に追加

第1に、感度ゼロ点,その他の通信感度特性上の通信感度低下域,通信不能域が減少すると共に、第2に、これが簡単容易に実現され、第3に、電力供給磁場の影響を受けにくく電磁波障害も解消される、コイル通信装置を提案する。 - 特許庁

A light screening film 12 having an opening 13 for transmitting or scattering light is formed on one face of a substrate 11, and the opening 13 is sufficiently small in comparison with a resolving power of the defect inspection apparatus for the flat panel display as an object of calibration.例文帳に追加

光を透過または散乱させるための開口13を形成した遮光膜12が基板11の一方の面上に形成されるとともに、前記開口13を、校正対象である、フラットパネルディスプレイの欠陥検査装置の分解能に比して十分小さく形成した。 - 特許庁

To provide a resist laminated body adaptable to exposure in the far ultraviolet region, excellent in adhesion between the 1st and 2nd layers, having high resolving power, capable of forming a resist pattern having superior dry etching resistance, processable at a high temperature in a short time and excellent also in suitability to production.例文帳に追加

遠紫外領域の露光に対応し得、第1層と第2層との密着性が優れ、高い解像力を有し、優れたドライエッチング耐性を有するレジストパターンを形成することができ、さらに、短時間での高温処理が可能であり、製造適性にも優れるレジスト積層物を提供すること。 - 特許庁

To provide a radiation-sensitive resin composition which is excellent in resolving power and LEF resistance as a chemically amplified photoresist responding to far-ultraviolet radiation represented by KrF excimer laser, ArF excimer laser and F_2 excimer laser, and a copolymer which can be used for the radiation-sensitive resin composition.例文帳に追加

KrFエキシマレーザー、ArFエキシマレーザーあるいはF_2エキシマレーザーに代表される遠紫外線に感応する化学増幅型レジストとして、解像度およびLEF耐性に優れた感放射線性樹脂組成物、およびこの感放射線性樹脂組成物に使用できる共重合体を提供する。 - 特許庁

To solve the problem wherein secondary effects on a living body sample due to the administration of a fluorescent coloring matter, the restriction of spatial resolving power due to the diffraction limit of light and measuring difficulty of the thickness including the density of a sample.例文帳に追加

本発明は、蛍光色素投与による生体試料に対する二次的影響、連続的な励起光照射による蛍光の減衰、光の回折限界による空間分解能の制限、試料の密度を含む厚さを測定することが困難、等の問題点を解消することをその課題とする。 - 特許庁

To provide a light quantity controller which can cope with miniaturization of an optical apparatus and reduction of the manufacturing cost and is improved without causing degradation of the resolving power and has a light quantity control member provided with an optical filter like an ND filter, and to provide a photographing device using the light quantity controller.例文帳に追加

光学装置の小型化及び製造コストの低減に対処でき、しかも解像力低下を生じる恐れのない改善された、光量調節部材にNDフィルタの如き光学フィルタを設けた光量調節装置、これを用いた撮影装置の提供。 - 特許庁

To provide a positive photosensitive composition for exposure with far UV adaptable to exposure in the far UV region using ArF or KrF as a light source in production of a semiconductor device, ensuring improved dimensional uniformity of a resist pattern and excellent also in various properties as a resist, such as resolving power and focal depth.例文帳に追加

半導体デバイスの製造において、ArFやKrFを光源とする遠紫外線領域の露光に対応し得、レジストパターンの寸法均一性が改善され、さらに解像力、焦点深度などのレジスト諸特性にも優れた遠紫外線露光用ポジ型感光性組成物を提供する。 - 特許庁

To realize high resolving power inspection in a high S/N ratio by effectively reducing the noise due to usual propagation light during inspection due to discharged near field light in optical inspection performing the inspection due to the usual propagation light and the inspection due to the discharged near field light so as to change over them.例文帳に追加

通常伝搬光による検査と滲出近接場光による検査を切り替えて行う光学検査において、滲出近接場光による検査の際に、通常伝搬光によるノイズを有効に軽減し、高いS/N比で高分解能検査を実現する。 - 特許庁

To provide a radiation-sensitive resin composition which maintains a sufficient transparency, solvent resistance and adhesion and is provided with a required resolving power and storage stability even when it is submitted to a high-temperature treatment after formation of a pattern of an inter-laminar insulating film or a microlens, and an interlaminar insulating film and a microlens prepared therefrom.例文帳に追加

層間絶縁膜マイクロレンズパターンの形成後、高温処理を施しても、十分な透明性、耐溶剤性、密着性を維持し、かつ必要な解像度、保存安定性を具備した感放射線性樹脂組成物、およびそれから得られる層間絶縁膜、マイクロレンズを提供する。 - 特許庁

To provide a method for reproducing halftone dots capable of improving reproducing stability of a highlighted part or a shadow part without reducing quality of an entirety in a printing system in which a reproduction of the dots of the highlighted part or the shadow part uses an unstable plate with low resolving power.例文帳に追加

解像力が低くハイライト部またはシャドー部の網点の再現が不安定な版を使用する印刷方式において、全体の品質を低下させずに、ハイライト部またはシャドー部の再現安定性を向上させる網点再現方法を提供することを課題とする。 - 特許庁

To provide a resist composition suitable for use under an exposure light source of ≤250 nm, particularly F_2 excimer laser light, and to provide a positive resist composition having high inhibition and a high dissolution contrast and excellent in sensitivity and resolving power, and a pattern forming method using the same.例文帳に追加

250nm以下、特にF_2エキシマレーザー光の露光光源の使用に好適なレジスト組成物を提供することであり、高インヒビションで溶解コントラストが大きく、なお且つ感度・解像力に優れたポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

Writing speed and writable capacity are increased by enhancing the high-speed reactivity/resolving power of a spatial optical modulator used in modulation of recording light for a volume holographic memory and a spatial optical modulator using a ferroelectric liquid crystal is provided.例文帳に追加

本発明は、体積ホログラフィックメモリの記録光の変調に使われる空間光変調器の高速反応性・分解能を向上することで、書込み速度および書込み可能な容量を向上するもので、強誘電性液晶を用いた空間光変調器を備えたものである。 - 特許庁

To provide an NC-AFM capable of stably performing approach and the surface observation of a sample with proper resolving power even with respect to any sample in a non-contact atomic force microscope and the operation program thereof.例文帳に追加

本発明は非接触原子間力顕微鏡及び非接触原子間力顕微鏡の動作プログラム関し、どのような試料においても、適した分解能で安定にアプローチ及び試料表面観察をすることができるNC−AFMを提供することを目的としている。 - 特許庁

(2) The resist is patternwise exposed with an allowance for the resolution limit of the resolving power of wavelength of exposing light and this resist or a mask material formed from the resist is treated by isotropic etching to carry out patterning finer than the resolution limit.例文帳に追加

レジストについて露光波長の解像力の解像限界より余裕をもったパターン露光を行い、その後該レジスト又はレジストにより形成されたマスク材料を等方性エッチングを用いて処理することにより、前記露光波長の解像力の解像限界よりも微細なパターニングを行う。 - 特許庁

This ink jet recording method is characterized in that an image is recorded with 500 dpi or more record resolving power, using ink containing carbon black having 15 mass % or less volatile content and 100 m2/g or more nitrogen adsorption specific surface area, a dispersant and a solvent.例文帳に追加

揮発分が15質量%以下であり、且つ、窒素吸着比表面積が100m^2/g以上であるカーボンブラックと分散剤及び溶媒を含有するインクを用いて記録解像度500dpi以上で記録することを特徴とするインクジェット記録方法。 - 特許庁

To provide a method and a device for stroke extraction and a storage medium in which a stroke extraction program is stored, which have a high direction component resolving power for strokes and flexibly cope with the variance of line width and stably extract strokes, even in blurred parts.例文帳に追加

ストロークに対する高い方向成分分解能を持ち、線幅の変動にも柔軟に対応でき、かすれた箇所においても安定してストロークを抽出可能なストロークを抽出装置、ストローク抽出方法及びストローク抽出用プログラムを記憶した記憶媒体の提供。 - 特許庁

To provide an inexpensive device with a simple structure and an easy operation capable of enlarging an analyzing area of sample and enhancing a resolving power of ion at an electric field evaporation position to an atom level in an atom probe or a scanning type atom probe in which an electric field ion microscope and an ion detector are combined.例文帳に追加

電界イオン顕微鏡とイオン検出器を組み合わせたアトムプローブあるいは走査型アトムプローブにおいて、試料の分析領域を拡大すると共にイオンの電界蒸発位置の分解能を原子レベルまで向上させ得る、簡素な構造で安価で操作が容易な装置を構成する。 - 特許庁

To provide an ink jet recording sheet with a coloring material receiving layer capable of forming an image which has satisfactory ink absorption and high resolving power and an excellent ink receiving performance displaying superiority in terms of water resistance, bleeding over time and glossiness and also sufficient ozone resistance for a long time.例文帳に追加

色材受容層が、良好なインク吸収性を有し高解像な画像が形成できるとともに、その形成画像が、耐水性、経時ニジミ、光沢性に優れるインク受容性能を備えながら、長期に亘って充分な耐オゾン性を備えたインクジェット記録用シートを提供すること。 - 特許庁

To provide a rotating-type electrostatic encoder whose sensor part of a rotating-type structure has a simple structure, and which can acquire an absolute angle, has a stabilized circuit and can acquire accurate angle information, is highly practical and has high resolving power, is an ultra-thin type, and can reduce the number of cables.例文帳に追加

回転式構造のセンサ部は簡素な構造を有し、絶対角度を得ることができ、安定した回路部を有して正確な角度情報を得ることができ、実用性が高くかつ高い分解能を有し、超薄型であり、ケーブル数を少なくできる回転式静電型エンコーダを提供する。 - 特許庁

To obtain a positive type photoresist composition having high sensitivity and high resolving power of ≤0.2 μm, giving a photoresist of a rectangular shape and less liable to cause a dimensional shift in pattern transfer to a lower layer in an oxygen plasma etching step when the composition is used as the upper layer resist of a two-layer resist system.例文帳に追加

高感度であり、0.2μm以下の高解像力を有し、矩形形状を有するフォトレジストを与え、しかも二層レジストシステムの上層レジストとして使用した場合、酸素プラズマエッチング工程での下層へのパターン転写の際に寸法シフトが少ないポジ型フォトレジスト組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a positive type resist laminate having high resolving power in exposure with light in the far ultraviolet region, giving a resist pattern with little line wave in the case of a time line/space of ≤0.2 μm, nearly free of development defects and having high suitability to production.例文帳に追加

遠紫外領域の露光に対応して高い解像力を有し、しかも0.2μm以下の微細なライン/スペースにおいて、ラインうねりの少ないレジストパターンを与え、現像欠陥の発生量が少なく、高い製造適性を有するポジ型レジスト積層物を提供すること。 - 特許庁

To provide a positive type resist composition having enhanced resolving power and improved process admissibility such as margin for exposure and focal depth and less liable to cause development defects in lithography using a short-wavelength light source for exposure capable of ultra- microfabrication and a positive type chemical amplification resist.例文帳に追加

超微細加工が可能な短波長の露光光源及びポジ型化学増幅レジストを用いたリソグラフィー技術にあって、解像力が向上し、露光マージンや焦点深度等のプロセス許容性が改善され、現像欠陥の発生も少ないポジ型レジスト組成物を提供することにある。 - 特許庁

An oscillation wavelength is scanned according to clock frequency by changing the clock frequency of the clock signal to make a wavelength variable at a high speed, and this light source is used to enhance the resolving power and depth of invasion of the optical tomographic image display system.例文帳に追加

このクロック信号のクロック周波数を変化させることによってクロック周波数に応じて発振波長を走査することで、高速で波長を可変でき、この光源を用いることで光断層画像表示システムの分解能、および深達度を向上させることができる。 - 特許庁

To provide an image measuring method capable of being adapted to a wide range of a medical use and capable of acquiring the X-ray image of a target subject with high resolving power in a short time using X rays of high output and high brightness excellent in parallelism, and an image measuring instrument.例文帳に追加

広範囲な医療用途などに対して適用することが可能な、高出力かつ高輝度で平行性に優れたX線を利用して、高解像度かつ短時間で目的とする被写体のX線画像を得ることが可能な画像測定方法及び画像測定装置を提供する。 - 特許庁

To provide a negative type resist composition which has superior storage stability for resist liquid and post-exposure temporal stability as well as high sensitivity and high resolving power in pattern formation by irradiation with an electron beam or EUV in microprocessing of a semiconductor element.例文帳に追加

半導体素子の微細加工における性能向上及び技術の課題を解決することであり、電子線又はEUVの照射によるパターン形成において、高い感度及び解像度とともに、レジスト液の保存安定性及び引き置き経時安定性に優れたネガ型レジスト組成物を提供する。 - 特許庁

To provide an information detector having a scanning probe capable of measuring a wide range sample surface having a wider measuring range in the direction of height with high resolving power and at a high speed while minimizing breakage of a sample and the probe to detect information and an information detecting method.例文帳に追加

試料とプローブの破損を最小限に押さえながら、より広い高さ方向の測定レンジをもつ広範囲な試料面を、高分解能かつ高速に測定し、情報を検出することができる走査型プローブを有する情報検出装置及び方法を提供する。 - 特許庁

例文

To provide a radiation sensitive resin composition having such high sensitivity to radiation typified by far UV or charged particle beams as to require a small quantity of energy for exposure, excellent in resolving power and suitable for use as a chemical amplification type resist having low nano- edge roughness.例文帳に追加

遠紫外線や荷電粒子線に代表される放射線に対して、高感度(低露光エネルギー量)で、解像性能に優れるとともに、ナノエッジラフネスが小さい化学増幅型レジストとして好適に使用することができる感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁




  
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