「Path Control」に関連した英語例文の一覧と使い方(53ページ目) - Weblio英語例文検索

Then, after the control means moves an actual engine operating point to a position of the engine operating point becoming a compression ratio equal to a compression ratio on the target operation point by raising the engine torque, the control means moves the actual engine operation point to a position of the target operating point via a path capable of maintaining the compression ratio.例文帳に追加

そして、制御手段は、エンジントルクを上昇させることにより、目標動作点における圧縮比と等しい圧縮比となるエンジン動作点の位置に実際のエンジン動作点を移行させてから、当該圧縮比を保持することが可能な経路を経由して目標動作点の位置に実際のエンジン動作点を移行させる。 - 特許庁

The first transmitter 120 includes a digital processing part 30 and an analog processing part 35, wherein the digital processing part 30 includes data processing units 31 and 33, a memory 32, a transmission path 34, a control register 36, a transmission timer 3420 and a transmission control unit 3421, and the analog processing part 35 includes a transmission clock generation part 350 and a transmission output part 351.例文帳に追加

第１送信器１２０はデジタル処理部３０とアナログ処理部３５を含み、デジタル処理部３０はデータ処理ユニット３１、３３とメモリ３２と送信パス３４と制御レジスタ３６と送信タイマー３４２０と送信制御ユニット３４２１を含み、アナログ処理部３５は送信クロック生成部３５０と送信出力部３５１を含む。 - 特許庁

Each of the third node is characterized by calculating the cost of a link with a neighboring node in accordance with the situation of exchanging the control information with the neighboring node, and selecting a second node and a master node to be connected for communicating with the first node based on the path cost value inserted into the received control information and the calculated link cost.例文帳に追加

第３のノードは、隣接ノードと制御情報を送受信した状況に応じて隣接ノードとのリンクコストを算出し、受信した制御情報に挿入されたパスコスト値及び算出したリンクコストに基づいて、第１のノードと通信するために接続する第２のノード及び親ノードを選択することを特徴とする。 - 特許庁

The control device monitors a pressure difference between respective working fluids 19, circulates respective working fluids 19 by opening respective control valves 11a, 11b, 11c when the pressure difference reaches a set upper limit value and performs switching (heat source switching) among respective flow path switching valves 14a, 14b, 14c when the pressure difference reaches the set lower limit value after the opening.例文帳に追加

制御装置は、各作動流体１９の圧力差を監視し、設定上限値に到達したときに各制御弁１１ａ，１１ｂ，１１ｃを開放して各作動流体１９の流通を行い、開放後に圧力差が設定下限値に到達したときに各流路切替弁１４ａ，１４ｂ，１４ｃの切替（熱源切替）を行う。 - 特許庁

An evaporation load control system of a dryer 2 evaporating water contained in an object to be dried by heating it, includes a sensor 10 for the amount of evaporated water which is provided in the middle of a discharge path 13 of the evaporated water 3, and a control part 8 for controlling the heating amount according to the amount of evaporated water.例文帳に追加

被乾燥物を加熱し、含有する水分を蒸発させる乾燥機２の蒸発負荷制御システムにおいて、蒸発させた水分３の排出経路１３の途中に、蒸発水分量のセンサ１０を設け、蒸発水分量により加熱量を制御する制御部８を設けた乾燥機の蒸発負荷制御システムを提供する。 - 特許庁

The semiconductor integrated circuit for display control 200 further includes a selector circuit 213 which is disposed on a transmission path of output data from the display memory in order to selectively replace the output data from the regular storage region into the output data from the preliminary storage region in accordance with a control signal from the redressing circuit.例文帳に追加

さらに上記表示メモリからの出力データの伝達経路に設けられ、上記正規の記憶領域からの出力データを、上記救済回路からの制御信号に応じて選択的に上記予備の記憶領域からの出力データに置き換えるためのセレクタ回路（２１３）とを含んで表示制御用半導体集積回路（２００）を構成する。 - 特許庁

To suppress damping due to air resistance of an ejected X-ray beam and therewith reduce power consumption by improving durability of an X-ray optical control element and shortening an X-ray light path length up to an X-ray irradiation destination by incorporating the X-ray optical control element into an X-ray generator.例文帳に追加

Ｘ線発生装置にＸ線光学制御素子を組み込むことにより、Ｘ線光学制御素子の耐久性を向上させるとともに、Ｘ線照射目的地点までのＸ線光路長を短縮できるようにして、出射したＸ線束の空気抵抗による減衰の抑制を図り、もって消費電力の低減を実現する。 - 特許庁

In a magnet system for MRI imaging having a superconductive magnet (10) mounted within a cryogen vessel (12), an apparatus for controlling egress of cryogen gas from the cryogen vessel includes: a control valve (42) linking the interior of the cryogen vessel to a gas exit path; and a controller (30) arranged to control the valve.例文帳に追加

クライオジェン容器（１２）内に超電導磁石（１０）を備えるＭＲＩ画像形成のための磁石システムにおいて、クライオジェン容器からのクライオジェンガスの流出を制御するための装置は、上記クライオジェン容器の内部をガス排出経路に接続する制御弁（４２）と、上記弁を制御するようになされたコントローラ（３０）とを備える。 - 特許庁

An image forming apparatus includes a sensor for determining the classification of paper that is set in a paper feed tray for setting printing paper or on a paper transfer path, and control means for exerting control to provide the optimal transfer speed, image transfer, and image fixing to printing paper on which images are actually formed in accordance with the classification of paper determined by the sensor.例文帳に追加

印刷用紙をセットする給紙トレイ内又は用紙搬送経路上に設置される用紙種別を判別するためのセンサと、センサにより判別された用紙種別に応じて、現に画像形成の対象となる印刷用紙に対して最適となる搬送速度制御、画像転写制御、および画像定着制御を行う制御手段とを備える。 - 特許庁

It further comprises a plurality of transfer control elements Tr which are provided by a pair to a pair of adjoining photoelectric conversion regions, and change a potential barrier of optical generation charge transfer path between the storage well of a pair of photoelectric conversion regions and a corresponding floating diffusion region, to control transfer of optical generation charges.例文帳に追加

さらに隣り合う１組の光電変換領域毎に１組設けられ、１組の光電変換領域のそれぞれの蓄積ウェルと、対応するフローティングディフュージョン領域との間の光発生電荷転送経路の電位障壁を変化させ、光発生電荷の転送を制御する複数の転送制御素子Ｔｒとを有する。 - 特許庁

To provide a microchip having a liquid supply mechanism which can supply a solution in a micro flow path with a simple construction in which a drive source utilizing an osmotic pressure is arranged within the microchip and which controls the osmotic pressure by a control unit utilizing temperature or the like, whereby it is possible to effect drive control such as intermittent driving and continuous driving at a fixed velocity.例文帳に追加

マイクロチップの内部に浸透圧による駆動源を配設した簡易な構成によりマイクロ流路内の溶液を送液でき、しかも、温度などを用いた制御手段により浸透圧を制御することで、断続的に駆動させることや、一定の速度で連続して駆動させるなどの駆動制御を可能にする送液機構を有するマイクロチップを提供する。 - 特許庁

High-voltage power lines 94R and 95R for connecting the electrically driven actuator of a car on-board unit such as a steering drive module 16 with the output part of the DC/DC converter 76R are wired along a common path to low-voltage power lines 82R and 83R for connecting the control device to control the actuator with the distributor 74R.例文帳に追加

ステアリング駆動モジュール１６等の車載ユニットにおける電気アクチュエータとＤＣ／ＤＣコンバータ７６Ｒの出力部とを接続する高電圧用電力線９４Ｒ，９５Ｒと、前記電気アクチュエータを制御する制御装置と前記配電器７４Ｒとを接続する低電圧用電力線８２Ｒ，８３Ｒとを共通の経路に沿って配索する。 - 特許庁

A device for soldering an electronic component to a substrate comprises a blast mechanism 99 provided at a predetermined position of a conveyance path for conveying the substrate, and forming an air curtain area 927 blocking an atmosphere by blowing gas on the conveyance path; and a control part 65 for controlling the blast mechanism 99 to blow or stop the air corresponding to a passage timing of the substrate passing through the mechanism.例文帳に追加

基板に電子部品をはんだ付けする装置において、基板を搬送する搬送経路の所定位置に設けられ、当該搬送経路上に気体を送風して雰囲気を遮断するエアーカーテンエリア９２７を形成する送風機構９９と、当該機構を通過する基板の通過タイミングに対応してエアーの送出又は停止するように送風機構９９を制御する制御部６５とを備えるものである。 - 特許庁

This image forming apparatus has a plurality of paper feeding means, is provided with the conveyance path common for a paper feeding device for machine glazed papers 6, 7 and a paper feeding device for the sheet paper 15, and constitutes a conveyance passage 25 around which paper sheet can detour in front of the common conveyance path or in its vicinity to change respective conveyance speeds in order to form the optimum condition for control.例文帳に追加

複数の給紙手段を持つ画像形成装置において、ロール紙６，７の給紙装置とシート紙１５の給紙装置で共通の搬送経路を備え、共通の搬送経路にさしかかる手前またはその近傍で、用紙の迂回可能な搬送路２５を構成し、それぞれの搬送速度を最適条件となるように変化させて制御することを特徴とする画像形成装置を提供する。 - 特許庁

An operation system acquires transmission specification classification information and association information of that information and a node constituent component or communication path pattern from a transmission information DB, and sets a communication path by transmitting, to an optical node device, control message including information acquired from the transmission information DB, a node constituent element according to transmission specification type information, and connecting a transmission system.例文帳に追加

本発明は、運用システムが、伝送情報ＤＢから伝送仕様分類情報、及びそれらと、ノード構成要素または通信路パターンとの対応付け情報を取得し、運用システムが光ノード装置に伝送情報ＤＢから取得した情報を含め、伝送仕様種別情報が一致するノード構成要素、及び伝送システムを接続する制御メッセージをノード装置に対して送信し通信路を設定する。 - 特許庁

The system has: a fuel supply system 2 having a fuel supply path 20 for supplying fuel to a fuel cell 1; an oxidizer supply system 5 having an oxidizer supply path 52 for supplying oxidizer to the fuel cell 1; an operating switch for activating each of a plurality of operating modes for the fuel cell; and a control unit 7 for performing the operation modes operated by the operating switch.例文帳に追加

システムは、燃料電池１に燃料を供給するための燃料供給通路２０をもつ燃料供給系２と、燃料電池１に酸化剤を供給するための酸化剤供給通路５２をもつ酸化剤供給系５と、燃料電池に関する複数の運転モードをそれぞれ開始させる操作スイッチと、操作スイッチで操作された運転モードを実行する制御部７とを有する。 - 特許庁

To provide a node device selecting a fixative path in accordance with an operation guideline of a carrier on a packet ring network, and improving a maintenance operation function by avoiding a phenomenon where frames redundantly arrive, and a frame instantaneous interruption phenomenon even in a forced changeover operation or manual changeover operation, and also to provide an operation monitoring device, a transfer path selection method, and a control program.例文帳に追加

パケットリングネットワーク上でキャリアの運用指針に応じて固定的な経路の選択を行うことができるようにすると共に、強制切り替え操作や手動切り替え操作においても、フレームが重複して到着する現象やフレーム瞬断現象を回避できるようにすることにより、保守運用機能の向上を図れるノード装置、運用監視装置、転送経路選択方法、制御プログラムを提供する。 - 特許庁

To provide a method for testing communication transmission line which can efficiently execute a test or test control while reliably preventing the malfunction of an information processor connected to an active communication transmission line being a communication path to be tested, and to provide a test controlling method.例文帳に追加

被試験通信路である現用中の通信伝送路に接続されている情報処理装置の誤動作を確実に防止して、効率よく試験または試験制御を実行できる通信伝送路の試験方法及び試験制御方法を提供する。 - 特許庁

Conversely, when the detected speed is smaller, the control section 21 judges that the input level change results from input power variations at a change in the transmission path loss and controls the attenuation of the optical variable attenuator 5 so that the optical power per channel at an output port 2 is constant.例文帳に追加

逆に、検出速度が小なる場合には、制御部２１において、伝送路ロス変動による入力パワー変動と判断して、出力ポート２における１チャネルあたりの光パワーが一定なるように、光可変減衰器５の減衰量を制御する。 - 特許庁

To provide an automatic phase control method which is effective not only in the case of a specific frequency band but in the case of a wide band, in a digital transmitter having a feedback path for compensating nonlinear distortion of a power amplifier, a quadrature modulator and a quadrature demodulator.例文帳に追加

電力増幅器の非線形歪みを補償するための帰還路と、直交変調器と、直交復調器とを備えたデジタル送信機おいて、特定周波数帯域だけでなく、広帯域の場合にも有効な自動位相制御方法を提供する。 - 特許庁

The path switching control part 202 waits for a connection request transmitted from the hosts 100 and 110, and when receiving the connection request from the hosts 100 and 110 within a prescribed time, returns connection switching destination notification as a response to the connection request.例文帳に追加

パス切替え制御部２０２は、ホスト１００及び１１０から送信される接続要求の待合せを行い、所定時間以内にホスト１００及び１１０から接続要求を受信すると、接続要求に対する応答として、接続切替え先通知を返す。 - 特許庁

Furthermore, in addition to the voice data used for a voice speech in the radio slave unit 4, the control data used for controlling a voice speech path on the radio transmission line 5C used for that voice speed are also directly transferred with the radio slave unit 4 via the radio transmission line 5C.例文帳に追加

また、無線子機４での音声通話に用いる音声データに加え、その音声通話に用いる無線伝送路５Ｃ上における音声通話路の制御に用いる制御データについても、無線伝送路５Ｃを介して無線子機４との間で直接転送する。 - 特許庁

A jamming position deciding part 12 of a main control part 10 calculates the position of retention of the paper in the transport path, by converting the line number to the length of a distance at the point, when forming of a data transfer line is interrupted in a photoreceptor drum of an image forming part.例文帳に追加

主制御部１０のジャム位置判定部１２は、画像形成部の感光体ドラムでデータ転送ラインの形成が中断された時点において、ライン数を距離長さに換算して用紙が搬送路のどの位置に滞留しているかを算出する。 - 特許庁

The secondary switch has time division switches at its pre-stage and a spatial switch at its post-stage, the central controller for controlling the secondary switch retrieves a free channel of a highway in the secondary switch and applies time division switching control to the free channel to set a speech path.例文帳に追加

２次スイッチにおいて、前段に時分割スイッチ、後段に空間スイッチを有し、２次スイッチを制御する中央制御装置は、２次スイッチ内のハイウェイの空きチャネルを検索し、その空きチャネルに対し時分割スイッチング制御を行い通話パスを設定する。 - 特許庁

Even in the case that reception signal strength is decreased and two-way communications with a base station are disabled, a control processing circuit 26 executes a path search during existence in a communication service zone while a time attenuation rate of the reception signal strength is higher than a prescribed threshold value.例文帳に追加

制御処理回路２６は、受信信号強度が低下し、基地局との双方向通信ができなくなった場合であっても、受信信号強度の時間減衰率が所定の閾値よりも大きい間は、通信サービス圏内所在時のパスサーチを実行する。 - 特許庁

The main control ECU114 communicates with the charger 200 using the power line communication part 116; and if communication result indicates proper connection, power delivery is allowed between the main battery 102 and the charger 200 by using the power transmission path.例文帳に追加

主制御ＥＣＵ１１４は、電力線通信部１１６を用いて充電装置２００と通信を行ない、通信結果良好な接続を示す場合に、電力伝達経路を用いてメインバッテリ１０２と充電装置２００との間で電力授受を行なわせる。 - 特許庁

Additionally, when temperature in the compartment 31 detected by the in-car sensor 30 is not less than a predetermined value, the calculation control circuit 32 is set in a manner that actuation of the diaphragm drive motors 24R, 24C, 24L is controlled to narrow a flow path of the variable diaphragms 17R, 17C, 17L.例文帳に追加

しかも、演算制御回路３２は、インカーセンサ３０で検出される車室３１内の温度が所定値以上のとき、絞り駆動モータ２４Ｒ，２４Ｃ，２４Ｌを作動制御して可変絞り１７Ｒ，１７Ｃ，１７Ｌの流路を狭めるように設定されている。 - 特許庁

To provide a communication method and a communication system for realizing efficient selective re-transmission control even on a transmission path where there are many errors by confirming transmission by transmitting a table for confirming transmission with as small amounts of information quantity as possible.例文帳に追加

極力少ない情報量で送達確認を行うテーブルを送信することによって送達確認を行い、誤りの多い伝送路においても効率的な選択的再送制御を実現することが可能な通信方法および通信システムを提供する。 - 特許庁

Signal channels outputted from direct modulation light sources 11_1 to 11_N of non-temperature-control are multiplexed by a multiplexer 12, and transmitted through an optical fiber transmission path 30, and demultiplexed into a first wavelength area Λ_1 and a second wavelength area Λ_2 by a demultiplexer 22.例文帳に追加

無温調の直接変調光源１１_１〜１１_Ｎから出力された信号チャネルは合波器１２により合波され、光ファイバ伝送路３０により伝送され、分波器２２により第１波長域Λ_１と第２波長域Λ_２とに分波される。 - 特許庁

The wireless terminal 1 includes a plurality of communication processing sections 2, 3 for making communication with a plurality of wireless systems simultaneously, and a communication control section 4 for transmitting a request message, wherein a reply path is designated by an identifier corresponding to each wireless system, to the server apparatus 6.例文帳に追加

無線端末装置１は、複数の無線システムと同時に通信を行うための複数の通信処理部２，３と、各無線システムに対応した識別子により応答経路を指定した要求メッセージをサーバ装置６に送信するための通信制御部４とを備る。 - 特許庁

The surge control valve 50 is placed in a duct for pressure- feeding and fueling via a tanker vehicle to an aircraft and employs a spring 55, a back pressure piston 62, a valve opening/closing piston 63 or the like as well as a reduced diameter flow path 51 and a differential pressure regulating piston 58 for generating a differential pressure.例文帳に追加

このサージコントロールバルブ５０は、燃料油を給油自動車を介し航空機に圧送，給油する管路に配設され、スプリング５５，背圧ピストン６２，弁開閉ピストン６３等と共に、差圧発生用の径小流路５１や差圧ピストン５８を、採用してなる。 - 特許庁

The delay circuit 200 is provided with: a field effect transistor(FET) 210 whose source region and source region are connected to a signal transmission path 206; and an applied voltage control section 220 that controls the voltage applied to the gate electrode of the FET 210.例文帳に追加

信号が伝送する経路２０６に、ソース領域及びドレイン領域が接続された電界効果型トランジスタ（ＦＥＴ）２１０と、ＦＥＴ２１０のゲート電極に対して印加する電圧を制御する印加電圧制御部２２０とを備えた遅延回路２００。 - 特許庁

When the reception level is low at communication start by the mobile phone 4, the control circuit 9 retrieves a communication position at which a car can stop and the reception level is ensured from the database 3 and the display device 14 displays the communication position together with a path from a current position.例文帳に追加

携帯電話機４による通信開始時に受信レベルが低い場合には、制御回路９により、停車可能で受信レベルが確保できる通信位置をデータベース３で探索し、これを現在位置からの経路と共に表示装置１４に表示させる。 - 特許庁

A control device 32 is configured to operate the machine 14 and power supply 22 for distributing multiple electrical arcs between the electrode 12 and the workpiece 20 for electroerosion of the workpiece while moving the electrode rotated at high speed, along its feed path.例文帳に追加

また、制御装置（３２）は、電極（１２）と加工物（２０）との間に多重電気アーク（４０）を分散させるように機械（１４）及び電源（２２）を作動させて、高速回転する電極をその送り経路に沿って移動させながら、加工物を電食するように構成される。 - 特許庁

When discriminating that the communication path via the ADSL MODEM 6 is restored, the line control section 5 gives an instruction of line interruption to the analog MODEM 7 and switches the IP packet received from the IP routing section 4 to be given to the ADSL MODEM 6.例文帳に追加

回線制御部５は、ＡＤＳＬモデム６を介した通信路が復旧したと判断した場合、アナログモデム７に対して回線切断の指示を出すとともに、ＩＰルーティング部４から渡されたＩＰパケットはＡＤＳＬモデム６へ渡すように切り替えを行う。 - 特許庁

In telephone answering equipment 1 which responds to an incoming call arriving from an outside line telephone terminal 2 through a telephone communication network NW and performs sound answer, a communication control part 10 forms a speech path to the outside line telephone terminal 2 in response to the incoming call.例文帳に追加

電話通信網ＮＷを介して外線電話端末２から到来した着信呼に応じて音声応答を行う電話応答装置１において、通信制御部１０は、前記着信呼に応答して外線電話端末２との通話路を形成する。 - 特許庁

In a layout design for an integrated circuit, a layout result following data flow can be obtained without giving timing restrictions by finding flow of a real data system signal and a control system signal and deciding cell arrangement according to the signal path.例文帳に追加

集積回路のレイアウト設計において、実データ系信号および制御系信号の流れを見い出して、その信号経路に従ってセルの配置を決定することにより、タイミングの制約を与えることなく、データの流れに従ったレイアウト結果が得られる。 - 特許庁

When a mechanical switch 11 detects connection between the gathering machine 1 and a binding/paper punching machine 20, a control section of the gathering machine 1 switches a switching gate 8, a leading guide 9, and a transfer path switching plate 10 as illustrated, thereby transferring a gathered paper stack downward.例文帳に追加

機械式スイッチ１１が丁合機１と綴じ／穿孔機２０との連結を検出すると、丁合機１の制御部は、切換えゲート８、案内ガイド９、搬送路切換板１０を図に示すように切り換えるので、丁合された用紙束は下方に搬送される。 - 特許庁

Further, a procedure is repeated wherein a top element of the start point node ID list is deleted by one to give the spare transmission path reservation control message from the first node to a second node and the destination node is determined to be the second node existing at the top of the start point node ID list.例文帳に追加

また予備伝送パス予約制御メッセージを第１のノードから第２のノードへ渡すために始点ノードＩＤリストの先頭要素を１つ削除し、宛先ノードを始点ノードＩＤリストの先頭にある第２のノードと定める手順を繰り返す。 - 特許庁

The control circuit has first to third logic circuits (29, 42, and 23), and when an interconnection path (54) is selected by an aluminum master slice, keeps the pMOS (39) and nMOS (40) in an OFF state and allows the nMOS's (26 and 27) to perform the push-pull output operation.例文帳に追加

制御回路は、第１、第２及び第３論理回路（２９，４２，２３）を有し、アルミマスタスライスにより配線経路（５４）が選択されると、ｐＭＯＳ（３９）及びｎＭＯＳ（４０）をオフ状態に保ち、ｎＭＯＳ（２６，２７）によるＮＭＯＳプッシュプル出力動作を可能とする。 - 特許庁

Furthermore, the signal is detected by a detector 15, amplified by a DC amplifier 16, the amplified signal is given to a control terminal (c) of a high frequency changeover switch 14 to select an output terminal (b) of the high frequency changeover switch 14 and to disconnect a reception path.例文帳に追加

また、上記送信信号は、検波器１５で検波された後、直流増幅器１６で増幅されて高周波切換スイッチ１４の制御端子ｃに入力され、高周波切換スイッチ１４の出力端子ｂ側が選択されて受信経路が切離される。 - 特許庁

To provide a communication network, ring connection node and control method of the communication network in which ring segmentation can be canceled by making a setting position of a closed spot flexibly movable in accordance with a position where any failure occurs, on a ring path.例文帳に追加

本発明は、リング経路の障害発生箇所に応じて、閉塞箇所の設定位置を柔軟に移動させることができ、リングセグメンテーションを解消することができる通信ネットワーク、リング接続ノード及び通信ネットワークの制御方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

It is detected by a sensor 6 whether or not a corresponding tray in the plurality of trays 1A-1C piled up longitudinally is located at a position matched to a carrier path and in response to an instruction from a control part, driving motors 14 and 15 are driven to rotate the gears 4 and 5 so that the tray is moved.例文帳に追加

縦方向に重ねられた複数のトレイ１Ａ〜１Ｃのうちの該当トレイが搬送路に一致する位置にあるかをセンサ６により検知して、制御部からの指示で駆動モータ１４，１５を駆動してギャ４，５を回転させ、トレイを移動させる。 - 特許庁

To provide a system for controlling a pulse transmission path in which malfunction of a microcomputer can be prevented in a system comprising a microcomputer having a function for decoding the pulse of an electric signal generated from an infrared code transmitted from an infrared remote control unit.例文帳に追加

赤外線リモートコントロールユニットから送信される赤外線コードから生成される電気信号のパルスをデコードする機能を持つマイクロコンピュータで構成される装置において、マイクロコンピュータの誤動作を防止することができるパルス伝送路制御システムを提供する。 - 特許庁

To provide a method for measuring temperature and a substrate processing apparatus capable of continuously and correctly measuring the temperature of a temperature control medium flowing through a flow path in a substrate placing table and correctly adjusting the temperature of each portion of the substrate to a predetermined temperature.例文帳に追加

基板載置台内部の流路を流れる温度調整媒体の温度を各部で連続的に正確に測定することができ、基板の各部を所定温度に正確に温度調節することのできる温度測定方法及び基板処理装置を提供する。 - 特許庁