「Selectivity」に関連した英語例文の一覧と使い方(40ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide the intermediate frequency circuit of a television tuner, which is capable of making the synchronous detection oscillation frequency of a local oscillator equal to the frequency of an image carrier wave of intermediate frequency signals, without being affected by the selectivity characteristics of a SAW filter, even if the oscillation frequency of a local oscillator shifts to a higher side.例文帳に追加

局部発振器の発振周波数が高い方に変化した場合でも、ＳＡＷフィルタの選択度特性の影響を受けることなく同期検波用の発振周波数を中間周波信号における映像搬送波と同じ周波数となるように制御する。 - 特許庁

Its improved point is enhancement of the selectivity in the reaction of N,N'-bis(cyanoethyl)-1,2-ethylenediamine and N,N'-bis(3-aminopropyl)-1,2-ethylenediamine including the reaction of acrylonitrile and ethylenediamine in the presence of 2-30 wt.% water based on the total reacting substances.例文帳に追加

そして改良点が、総反応物質に基づいて、２〜３０重量％の水の存在下で、アクリロニトリル及びエチレンジアミンを反応させることを含む、Ｎ，Ｎ’−ビス（２−シアノエチル）エチレンジアミン及びＮ，Ｎ’−ビス（３−アミノプロピル）−１，２−エチレンジアミンに対する反応の選択性を向上させることにある。 - 特許庁

To obtain a composition containing at least one oxidation dye maintaining good colorability, e.g., durability, intensity and low selectivity color tone, having no defects of a standard composition and imparting specific optical effects to treated keratin fibers.例文帳に追加

良好な着色特性、例えば堅牢性、強度及び選択性の低い色調を維持すると同時に、標準的な組成物の欠点を有することなく、処理されたケラチン繊維に特定の光学的効果を付与する、少なくとも一つの酸化染料を含有する組成物の提供。 - 特許庁

To provide an oxidation dyeing composition which controls the adverse affect on hair by an oxidizing agent, has improved cosmetic properties and low selectivity, and enables obtaining a strong color tone having good resistance to chemical reagents or natural factors of action.例文帳に追加

酸化剤による毛髪への悪影響を抑制するとともに向上した化粧品特性を有し、なおかつ選択性が低く、化学試薬又は天然の作用因子に対して良好な耐性を持つ強力な色調を得ることを可能にする酸化染色用組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a process for producing high-purity bisphenol A containing decreased amount of thermal degradation substance, causal substance for discoloration and coloring substance with decreased number of melting and crystallization steps using a catalyst having high activity and selectivity, a small-sized reactor and decreased amount of catalyst.例文帳に追加

高活性で高選択率の新規な触媒を用い、反応器が小さく、触媒使用量も少なく、また、溶融結晶化段階数が小さくて、熱変性物質や着色の原因物質・着色物質が低減された高純度ビスフェノールＡを製造するプロセスを提供する。 - 特許庁

To provide a technique in which the concentration of a reaction accelerator used for a reaction is controlled, and which can thereby raise the selectivity to ethylene oxide in a method in which under the presence of a silver catalyst, the contact vapor phase oxidation of ethylene by oxygen-containing gas is carried out to produce ethylene oxide.例文帳に追加

本発明は、エチレンを銀触媒の存在下、酸素含有ガスにより接触気相酸化してエチレンオキシドを製造する方法において、反応に用いる反応促進剤の濃度を制御することにより、エチレンオキシドへの選択性を向上させることができる技術に関するものである。 - 特許庁

To provide a method for efficiently producing an aromatic carboxylic acid, an aromatic aldehyde or an aromatic alcohol by liquid-phase oxidation of an aromatic hydrocarbon in the presence of a catalyst, with which an aromatic alcohol useful as a raw material for medicines, agrochemicals, resin additives, etc., is produced in high selectivity.例文帳に追加

芳香族炭化水素の触媒の存在下で液相酸化により、芳香族カルボン酸、芳香族アルデヒドまたは芳香族アルコールを効率よく製造し、医農薬、樹脂添加剤などの原料として有用な芳香族アルコールを高選択率にて製造するための方法を提供する。 - 特許庁

To provide a palladium-containing catalyst by which α, β-unsaturated aldehyde and α, β-unsaturated carboxylic acid can be produced from olefin at high selectivity in high yield and to provide a method for manufacturing this catalyst and a method for producing α, β-unsaturated aldehyde and α, β-unsaturated carboxylic acid by using this catalyst.例文帳に追加

オレフィンからα，β−不飽和アルデヒドおよびα，β−不飽和カルボン酸を高選択率かつ高収率で得ることができるパラジウム含有触媒、その製造方法およびそれを用いたα，β−不飽和アルデヒドおよびα，β−不飽和カルボン酸の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for forming a contact hole, having proper metal interconnection layer coverage and a semiconductor device, and to provide a method for manufacturing the same having contact hole, when an interlayer insulation film consisting of at least more than two insulation films having different etching selectivity is formed.例文帳に追加

エッチング速度の異なる少なくとも２以上の絶縁膜により層間絶縁膜が形成されている場合に、金属配線層の被覆性が良好なコンタクトホールを形成する方法、および当該コンタクトホールを有する半導体装置およびその製造方法を提供する。 - 特許庁

Since a region, doped very lightly and emitting light at a p-n junction through quantum restraint effect, is provided and a structure resonating only with light in a specified wavelength band is added, superior efficiency is attained, while significantly enhancing wavelength selectivity.例文帳に追加

これにより、極端に浅くドーピングされてそのｐ−ｎ接合部位で量子拘束効果により発光を起こるドーピング領域を備え、特定波長帯域の光のみを共振させる共振器構造が付加されているので、効率に優れ、かつ波長選択性が大きく向上される。 - 特許庁

To provide a method for producing a 4-nitrosodiphenylamine in good operability, with which excellent selectivity is maintained, agglomeration of a 4-nitrosodiphenylamine is controlled and fine particles are obtained in good dispersibility so that adhesion of the agglomerated material to a reactor wall and a stirring shaft is prevented.例文帳に追加

良好な選択性を維持した上で、４−ニトロソジフェニルアミン類の凝集を抑えて、分散性がよく、細かい粒子を得ることにより、反応器壁や攪拌軸への付着等を防ぎ、良好な操作性で４−ニトロソジフェニルアミン類を製造する方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a material useful as a catalyst which has such high selectivity that by-products such as dimethyl ether can be restrained from being produced when used for decomposing alcohol to produce hydrogen and which can work at low temperature and to provide the catalyst using the material for decomposing alcohol, and a method for producing hydrogen from alcohol by using the catalyst.例文帳に追加

アルコールを分解して水素製造する際にジメチルエーテルなど副生成物を抑制できる高選択性で、低温で機能し得る触媒として有用な材料、この材料を用いたアルコール分解用触媒、この触媒を用いたアルコールからの水素の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a catalyst free of a risk of contaminating the environment and of a risk of a health hazard thanks to the absence of an oxide of chromium unlike a prior art copper/chromium-oxide, and moreover exhibiting activity, selectivity and durability equal to or higher than those of a prior art copper/chromium-oxide catalyst.例文帳に追加

従来の銅／クロム酸化物とは異なり、クロム酸化物を含まないことによって、環境汚染や健康被害を招く恐れがなく、その上、従来の銅／クロム酸化物触媒同等以上の活性、選択率および耐久性を示す触媒を提供する。 - 特許庁

The method of providing a solar cell electrode by the electroless-plating has high selectivity between a silicon nitride 3 and silicon 23, a large working window, and is steady, easily to be controlled, and therefore is suitable for being used in the manufacturing the electrode of the solar cell substrate.例文帳に追加

本発明の無電解めっきによって太陽電池電極を提供する方法は窒化ケイ素３及びシリコン２３の間の高い選択性及び大きな運転条件範囲を有し、そして安定で制御され易いため、太陽電池基板の電極の製作において使用されるのに適している。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a titanium/silicon molecular sieve capable of attaining high selectivity and high conversion and having also an advantage of easy filtration recovery when the titanium/silicon molecular sieve has an average particle diameter of not smaller than five microns and used as a catalyst for manufacturing cyclohexanone oxime.例文帳に追加

チタン−珪素分子篩が５ミクロン以上の平均粒子径を持ち、シクロヘキサノンオキシムの製造に触媒として用いられる場合、高選択率と高転化率を達成でき、さらに濾過回収が容易である利点を兼ね備えるチタン−珪素分子篩の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a catalyst composition for manufacturing hydrocarbons with high CO conversion and with less formation of gas components in which a gasoline fraction which is rich in the selectivity of high octane number components such as aromatic, naphthene, olefin, and branched paraffin hydrocarbons, can be obtained from a synthetic gas by one stage reaction.例文帳に追加

ＣＯ転化率が高く、ガス成分の生成が少なく、かつ芳香族やナフテン、オレフィン、分岐状のパラフィン炭化水素といった高オクタン価成分の選択性に富むガソリン留分を、合成ガスから１段の反応によって得ることができる炭化水素類の製造用触媒組成物の提供。 - 特許庁

In the production method of propylene comprising bringing ethanol into contact with a catalyst in a reactor, a catalyst obtained by adding phosphorus to aluminosilicate having an MFI structure is used as the catalyst to give propylene in a high yield with high selectivity stably for long terms.例文帳に追加

エタノールを、反応器中で触媒と接触させてプロピレンを製造する方法において、前記触媒として、ＭＦＩ構造を有するアルミノシリケートにリンを添加したものを用いることにより、プロピレンを高収率かつ高選択的に、長期間安定に製造することができる。 - 特許庁

To provide a method for producing a ≥2C alcohol in high safety, yield and selectivity, enabling industrial production of the alcohol by using carbon dioxide as a raw material without using petroleum-derived raw materials and biomass and solving problems of conventional technique.例文帳に追加

工業的に石油由来の原料やバイオマスに因らずに二酸化炭素を原料として生産することができると共に、従来技術における課題を解決することができ、高い安全性かつ高収率・高選択率で、炭素数２以上のアルコールを製造することができる方法を提供する。 - 特許庁

To provide an NOx absorbing and cleaning material excellent in the adsorbability of HC, capable of enhancing the reaction selectivity of NOx and HC or CO and capable of efficiently cleaning up NOx even under an oxygen excessive atmosphere and an exhaust gas cleaning catalyst using the same.例文帳に追加

ＨＣの吸着性に優れ、ＮＯｘとＨＣやＣＯとの反応選択性を向上でき、酸素過剰雰囲気下においても効率良くＮＯｘを浄化できるＮＯｘ吸収浄化材料及びこれを用いた排ガス浄化用触媒を提供すること。 - 特許庁

In order to solve the problem concerned, a thermosensitive recording layer, which develops color by heating, and a cholesteric liquid crystal having two characteristics such as the selectivity of circularly polarized light and the selective reflectiveness, are provided at places different from each other.例文帳に追加

基材上に、加熱により発色する感熱記録層と、円偏光選択性と選択反射性の２つの特性を有するコレステリック液晶層とを、異なる場所に設けていることを特徴とする感熱記録媒体とすることにより、上記の課題を解決することができた。 - 特許庁

To provide a method for dry-etching of a High-k film having an etching speed difference between a rarefaction part and a dense part as well as an etching property with a small shape difference, while keeping high selectivity (ratio) of a metal oxide served as the High-k film to a foundation polysilicon film.例文帳に追加

本発明の目的は、Ｈｉｇｈ−ｋ膜である金属酸化物を、下地ポリシリコン膜との高い選択性（比）を保ちつつ、パターンの疎部と密部によるエッチング速度差、及び形状差の小さいエッチング特性を有するＨｉｇｈ−ｋ膜のドライエッチング方法を提供することである。 - 特許庁

To provide indexes for the time of firing with which a large quantity of a catalyst having high selectivity of an aimed product at the time of reaction can be prepared with high reproducibility with respect to a preparation method of an oxide catalyst to be employed for vapor-phase contact oxidation reaction of propane or isobutane or vapor-phase contact ammoxidation reaction.例文帳に追加

プロパンまたはイソブタンの気相接触酸化反応または気相接触アンモ酸化反応に用いる酸化物触媒の調製方法において、反応時の目的物の選択率が高い触媒を、大量に、再現性良く調製でき、また、焼成の際の指標を提供する。 - 特許庁

To provide a direct dye which makes it possible to attain dyeing of various colors which are powerful, chromatic and aesthetic, has low selectivity and has high resistance to various stimuli (a shampoo, light, sweat, a permanent wave solution and the like) to which the hair is thought to be susceptible, and is easily erasable.例文帳に追加

強力で、有彩色で、美的で、選択性が低くて、頭髪が受けると思われる様々な影響（シャンプー、光、汗、およびパーマなど）への耐性が高く、そして容易に消去される、様々な色合いの着色を得ることを可能にする直接染料を提供することである。 - 特許庁

To provide an amino acid sequence determining method for a peptide using a mass spectrograph excellent in efficiency of cleavage to product ions and selectivity of a cleavage site, in the peptides of a wide range including an unknown peptide, and capable of detecting the obtained product ions with high precision and high through-put.例文帳に追加

未知のペプチドを含む広範囲のペプチドに対してプロダクトイオンへの分解の効率及び分解が起こる部位の選択性に優れ、得られるプロダクトイオンを高感度かつハイスループットに検出することができる、質量分析装置を用いたペプチドのアミノ酸配列決定方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for producing a hydroxyalkanal in high selectivity and yield even when using an industrially advantageous high-concentration aqueous solution of an unsaturated aldehyde and enabling the increase of a reaction temperature to increase a reaction rate by the use of a heat-resistant catalyst.例文帳に追加

耐熱性を備えた触媒を使用することにより、反応速度を加熱によって上げることができ、かつ、工業的に有利となる高濃度の不飽和アルデヒド水溶液を用いた場合においても、ヒドロキシアルカナールを高選択率かつ高収率で製造することができる製造方法を提供する。 - 特許庁

The lighting device comprises a semiconductor laser element 100, a component member which is provided at the outside of the semiconductor laser element 100 and has wavelength selectivity to threshold gain, and a phosphor layer in which a phosphor which absorbs the light from the semiconductor laser element 100 and emits fluorescence is dispersed.例文帳に追加

照明装置は、半導体レーザ素子１００と、その半導体レーザ素子１００の外部に設けられた、閾値利得に波長選択性を有する構成部材と、半導体レーザ素子１００からの光を吸収し蛍光を放射する蛍光体が分散された蛍光体層とを備えている。 - 特許庁

To provide a process and a catalyst for partial oxidation, which enable to carry out a partial oxidation reaction of an aromatic compound with sufficiently high yield and selectivity, useful in the production of an aromatic hydroxide such as phenol, and to provide a method for producing phenol using the process and the catalyst.例文帳に追加

フェノールなどの芳香族水酸化物を製造する場合に有用な、十分に高い収率及び選択率をもって芳香族化合物の部分酸化反応を行うことを可能とするプロセスおよび部分酸化用触媒、ならびにそれを用いたフェノールの製造方法の提供。 - 特許庁

To provide an abrasive composition for CMP process of a semiconductor device having a copper film and a tantalum compound, having high selectivity to have high abrasion rate of copper and small abrasion rate of the tantalum compound and giving a smooth surface of the copper film.例文帳に追加

銅膜とタンタル化合物を有する半導体デバイスのＣＭＰ加工プロセスにおいて、銅の研磨レートは大きいがタンタル化合物の研磨レートが小さいという選択性の高い研磨用組成物であり、銅膜表面の平滑性にも優れたＣＭＰ加工用の研磨用組成物を提供する。 - 特許庁

The selectivity to the detection target nucleic acid molecule and the melting temperature of the formed complex are each properly controlled by applying the two-stage base sequence-designing method of the whole probe to enable the design of the probe set optimum to the target detection condition.例文帳に追加

この二段階のプローブ全体の塩基配列設計法を適用すると、検出対象核酸分子に対する選択性と、形成される複合体の融解温度とをそれぞれ適正に制御でき、目的とする検出条件に最適なプローブセットの設計が可能となる。 - 特許庁

To provide a method for producing a dinitrotoluene, comprising reacting toluene with nitric acid in the presence of sulfuric acid to form the dinitrotoluene, and enabling a high toluene conversion, a high selectivity to DNT, the high selective utilization of the nitric acid directly fed at a reaction step, and simple plant adjustments.例文帳に追加

トルエンと硝酸とを硫酸の存在下で反応させてジニトロトルエンを形成するにあたり、高いトルエン転化率とともにＤＮＴに関する高い選択性と、反応段階に直接供給される硝酸を高くかつ選択的な利用を簡単なプラントの調整を用いて可能にする。 - 特許庁

To obtain a composition for oxidation dye having excellent fastness to natural factors or chemical factors while providing excellent cosmetic characteristics, having low selectivity, obtaining a strong and colorful color tone, excellently being retained in an application part without flowing down.例文帳に追加

良好な化粧品特性を付与しつつ、天然要因又は化学的要因に対して良好な堅牢性を有し、また選択性が低く、強くて彩りのある色調を得ることができ、さらに流れ落ちることなく適用部位に良好に保持される酸化染色用組成物を提供する。 - 特許庁

The tunable filter includes a wavelength selecting means 3 and a reflecting means 4 which reflects transmitted light selected by the selecting means and has its wavelength selectivity increased by transmitting the light reflected by the reflecting means through the wavelength selecting means again.例文帳に追加

波長の選択手段３と、前記波長の選択手段によって選択された透過光を反射させる反射手段４とを含み、前記反射手段によって反射された光を、再度前記波長の選択手段を透過させることによって、波長の選択性を高めたチューナブルフィルタ。 - 特許庁

To provide a method for producing hydrocarbons from synthetic gas, high in continuous chain growth probability, excellent in olefin selectivity and high in catalytic activity as well, causing no heat-spot comprising the local overheating of a catalytic bed, and capable of performing the reaction stably and smoothly.例文帳に追加

連鎖成長確率が高く、かつオレフィン選択性に優れ、なおかつ触媒活性が高く、触媒床の局所が過熱するヒートスポットの発生を来たすことなく、安定して円滑に反応を行うことができる合成ガスからの炭化水素類の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a partial oxidation catalyst which is advantageously used for preparing an oxygen-containing organic compound such as phenol and enables partial oxidation of an organic compound with a sufficiently high yield and selectivity, and to provide a method of preparing phenol using the same.例文帳に追加

フェノールなどの含酸素有機化合物を製造する場合に有用な、十分に高い収率及び選択率をもって有機化合物の部分酸化反応を行うことを可能とする部分酸化用触媒、並びにそれを用いたフェノールの製造方法を提供すること。 - 特許庁

The method for treating the effluent containing boron removes a salt from the effluent containing boron and the sulfate group by electrodialysis, adjusts pH in the range of 6 to 12 by adding a basic compound into the residue, and treats the obtained solution with a boron selectivity ion- exchange resin.例文帳に追加

硫酸根を含むホウ素含有排水から電気透析により塩を除去し、その残液に塩基性化合物を加えることによりｐＨを６〜１２に調整し、得られた溶液をホウ素選択性イオン交換樹脂で処理することを特徴とする前記ホウ素含有排水の処理方法。 - 特許庁

To provide a method for efficiently producing propylene in high selectivity and yield from a feedstock mixture comprising a ≥4C olefin and methanol and/or dimethyl ether through suppressing formation of byproducts such as aromatic compound(s) and paraffin while maintaining the rate of reaction.例文帳に追加

炭素数４以上のオレフィンとメタノールおよび／またはジメチルエーテルとを含む原料混合物からプロピレンを製造するに当たり、反応速度を維持した上で芳香族化合物やパラフィン等の副生を抑制し、高選択率かつ高収率でプロピレンを効率的に製造する。 - 特許庁

To provide a plastic optical member, which has a broad selectivity to an anti-static material as a component and maintains a fundamental function required for the optical member, and also which is free from coloring or cloudiness, keeps wear resistance and has superior anti-static effect with sufficient persistence.例文帳に追加

構成材としての帯電防止材料に幅広い選択性を有し、光学部材に要求される基本的な機能を維持したプラスチック光学部材であって、着色や曇りが無く、耐磨耗性を保持し、持続性よく良好な帯電防止効果を有するプラスチック光学部材を提供する。 - 特許庁

To provide an abrasive composition for CMP (chemical mechanical polishing) work having a high selectivity, that is, high in abrasion rate of copper but low in that of tantalum, and also excellent in the smoothness of the copper film surface, in the CMP work process of a semiconductor device having a copper film and a tantalum compound.例文帳に追加

銅膜とタンタル化合物を有する半導体デバイスのＣＭＰ加工プロセスにおいて、銅の研磨レートは大きいがタンタル化合物の研磨レートが小さいという選択性の高い研磨用組成物であり、銅膜表面の平滑性にも優れたＣＭＰ加工用の研磨用組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a composition containing a flat metal plate that improves stability of a flat metal plate and can prevent reduction of plasmon reflection by light, and a heat-ray shielding material that has broad selectivity for reflection wavelength and reflection band, high permeability for visible light ray and radio wave, and good light resistance.例文帳に追加

金属平板の安定性が向上し、光によるプラズモン反射低減を防止できる金属平板含有組成物、及び反射波長選択性及び反射帯域選択性が高く、可視光線透過性及び電波透過性に優れ、更に耐光性にも優れている熱線遮蔽材の提供。 - 特許庁

To be excelled in the degree of conversion of an olefin and selectivity of alcohol, enhance a production yield and lengthen the life as a catalyst in comparison with the catalyst using a conventional silica gel carrier, when it is used as an olefin hydration catalyst with a catalyst component is carried.例文帳に追加

触媒成分を担持させてオレフィン水和触媒として使用した場合に、従来の担体シリカゲルを用いた触媒と比較して、オレフィンの転化率及びアルコールの選択率に優れ、生産収率が向上するとともに、触媒としての寿命も延長されるようにする。 - 特許庁

To provide an external resonator-type wavelength-variable light source capable of securing excellent wavelength selectivity with a small number of parts and taking out light output efficiently over a wide wavelength band range even when using a semiconductor laser having a far field pattern narrow in a horizontal direction.例文帳に追加

水平方向のファーフィールドパターンが狭い半導体レーザであっても、少ない部品点数で優れた波長選択性を確保し、広い波長帯域に渡って効率よく光出力を取り出すことができる外部共振器型の波長可変光源を実現すること。 - 特許庁

To obtain a polishing composition for use in CMP (chemical mechanical polishing) processing for semiconductor devices each having copper film and a tantalum compound, having such high selectivity that the polishing rate of copper is high but that of the tantalum compound is low, and also affording high smoothness of the surface of the copper film.例文帳に追加

銅膜とタンタル化合物を有する半導体デバイスのＣＭＰ加工プロセスにおいて、銅の研磨レートは大きいがタンタル化合物の研磨レートが小さいという選択性の高い研磨用組成物であり、銅膜表面の平滑性にも優れたＣＭＰ加工用の研磨用組成物を提供する。 - 特許庁

To prevent an engine from running while discharging a large volume of NOx even when a storage tank of reducing agent solution is empty, etc. in an exhaust emission purifier of the engine which is provided with selectivity contact reduction catalyst and which adds the reducing agent solution to exhaust emission prior to inflow into the reduction catalyst.例文帳に追加

選択性接触還元触媒を備え、この還元触媒での流入前の排ガスに還元剤溶液を添加するエンジンの排気浄化装置において、還元剤溶液の貯蔵タンクが空になった場合等に、ＮＯｘを大量に放出しながらの走行を防止する。 - 特許庁

To provide a method for producing a cyclobutane-1,2,3,4-tetracarboxylic acid compound in high selectivity, enabling the reaction by dispersing in water completely without using an organic solvent as a reaction medium while keeping extremely high photoreaction efficiency and generating little industrial wastes.例文帳に追加

シクロブタン-１，２，３，４-テトラカルボン酸化合物を選択率高く、さらに極めて高い光反応効率を保持しながら、有機溶剤を反応媒質として全く使用せずに水に分散させて反応させることができ、かつ産業廃棄物をほとんど出すことのない製造方法を提供する。 - 特許庁

After forming a side wall 9 with a CVD oxide film (TEOS film 8) on the side of a gate electrode 7 on a silicon substrate 1, this substrate 1 is cleaned with the side wall 9 exposed, until the etching selectivity of the CVD film to a thermal oxidation film is 5 or less.例文帳に追加

シリコン基板１上のゲート電極７の側面にＣＶＤ酸化膜（ＴＥＯＳ膜８）からなるサイドウォール９を形成した後に、サイドウォール９が露出した状態で、ＣＶＤ酸化膜の熱酸化膜に対するエッチング選択比が５以下になるようにシリコン基板１に対して洗浄を行なう。 - 特許庁