「pattern surface」に関連した英語例文の一覧と使い方(183ページ目) - Weblio英語例文検索

A ground conductor layer is formed on one surface of a laminate substrate, and resonant pattern conductor layers each having resonant electrode patterns 161a, 161b each of which one end is a short circuit end connected to the conductor layer and the other end is an open end are formed via the dielectric layer so as to oppose the conductor layer.例文帳に追加

積層基板の一方の面側に接地導体層を形成し、一端が接地導体層と接続される短絡端で他端が開放端とされた共振電極パターン１６１a，１６１bを有する共振パターン導体層を、誘電体層を介して接地導体層と対向して設ける。 - 特許庁

In the photomask, a stripe part S1 of the light-shielding pattern, having a small window width is affected less by flare light, so that the hollow size of side surface 11A of a protrusion part 11 of a transparent substrate 1 is enlarged, and thereby the canceling due to interference of oblique incident light is reduced.例文帳に追加

このフォトマスクによれば、窓幅が小さい遮光パターンのストライプ部Ｓ１では、フレア光の影響が小さいから、透明基板１の凸部１１の側面１１Ａが窪んでいる寸法を大きくすることによって、斜め入射光の干渉による打ち消し合いを少なくする。 - 特許庁

The method of producing the ink-jet recording head for ejecting ink droplets perpendicularly to a substrate surface comprises as the following: Firstly, a first photosensitive material layer having a latent image pattern forming an ink channel, is formed on a first substrate having an energy generating element for ejecting the ink droplets.例文帳に追加

基板面に対して垂直方向にインク液滴が吐出されるインクジェット記録ヘッドの製造方法として、まず、インク液滴吐出のためのエネルギー発生素子を有する第１の基板上にインク流路となる潜像パターンを有する第１の感光性材料層を形成する。 - 特許庁

Pattern electrodes 32a-32l forming a plurality of pairs are formed on one surface of a substrate 35 in which electrodes and wiring patterns are formed on both surfaces of a base material 31, and circuit elements 50a-50f corresponding to each of them are joined by solder junction, thereby obtaining a circuit module 30.例文帳に追加

基材３１の両面に、電極及び配線パターンが形成された基板３５の一方の面には、複数の対をなすパターン電極３２ａ〜３２ｌが形成され、それぞれに対応する回路素子５０ａ〜５０ｆを半田接合により接合し、回路モジュール３０を得た。 - 特許庁

The composite substrate consists of a substrate body, an insulation film covering the surface of the substrate body, and a wiring pattern formed on the insulation film, wherein the substrate body is made of an expanded graphite sheet or a graphite composite sheet including the expanded graphite sheet and a different material laminated.例文帳に追加

基板本体と、該基板本体の表面を被覆する絶縁膜と、該絶縁膜上に形成された配線パターンとからなり、前記基板本体が膨張黒鉛シートもしくは膨張黒鉛シートと異種素材とを積層した黒鉛複合シートからなる複合基板とする。 - 特許庁

Many hollows 103 and 104 are formed in specified pattern on one largest-size surface of light guide plates 101 and 102 made of thin plates having high transparency and coated with paint, and light sources 107, 108, 109, and 110 are installed nearby end surfaces of the light guide plates.例文帳に追加

透明性の高い薄板から成る導光板１０１，１０２の面積が最大の１つの表面に所定のパターンによる多数のくぼみ１０３，１０４を施し、そのくぼみに塗料を塗布し、その導光板の端面の近傍に光源１０７，１０８，１０９，１１０を設置する。 - 特許庁

To provide a pneumatic tire having an asymmetrical tread pattern with the groove area ratio being different between the right and left areas of a tread surface, which is capable of reducing the value of conicity and improving the steering wheel flow of a vehicle while maintaining the high-speed durability, and its manufacturing method.例文帳に追加

トレッド面の左右の領域で溝面積比率が異なる非対称トレッドパターンを有する空気入りタイヤにおいて、高速耐久性を維持しながら、コニシティの値を小さくし、車両のハンドル流れを改善することが可能な空気入りタイヤ及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

A silicon compound layer 102 composed of silicon carbide is formed on the whole exposed face of a silicon substrate 101, a resist pattern 104 with a groove part 104a and a groove part 104b is formed on the silicon compound layer 102 on the side of the main surface of the silicon substrate 101.例文帳に追加

シリコン基板１０１の露出している全面に、炭化シリコンからなるシリコン化合物層１０２が形成された状態とし、シリコン基板１０１の主表面側のシリコン化合物層１０２の上に、溝部１０４ａ，溝部１０４ｂを備えるレジストパターン１０４が形成された状態とする。 - 特許庁

To provide a method for producing an embossed decorative sheet in which an embossed uneven pattern can be formed on the surface of a sheet precisely in god reproducibility while the sheet is prevented from being caught by a press roll in high speed embossing processing and an apparatus for the method.例文帳に追加

高速度でエンボス加工処理を行ってもシート状原反が加圧ロールに取られることなく、シート状原反の表面にエンボス凹凸模様を高い精度と良好な再現性をもって形成できるエンボス化粧シートの製造方法及びその製造装置を提供することにある。 - 特許庁

After burying the semiconductor component 104 and a first semiconductor component reinforcing member 116 in a first thermoplastic resin base material 122, a circuit pattern 119 is formed and made into a module and thus, a finished component 101 on which the semiconductor component is mounted is composed of a flat outer surface.例文帳に追加

第１熱可塑性樹脂基材１２２に半導体部品１０４及び第１半導体部品補強部材１１６を埋め込んだ後に、回路パターン１１９の形成を行い、モジュール化する為、完成した半導体部品実装済部品１０１は、平坦な外表面にてなる。 - 特許庁

A resin layer 4 is provided on the surface of a ceramic board 1, a groove 5 having a prescribed pattern is provided to the resin layer 4, then the groove 5 is filled with conductive paste 6, the conductive paste 6 is cured, and the resin layer 4 is removed.例文帳に追加

そしてこの目的を達成するために本発明は、セラミック基板１の表面に樹脂層４を設け、次にこの樹脂層４に所定パターンの溝５を形成し、その後この溝５内に導電性ペースト６を充填し、次に導電性ペースト６の硬化と樹脂層４の除去を行うこととした。 - 特許庁

The electronic component comprises a substrate 25, spiral coils 10 and 20 provided on the substrate 25, and a conductive pattern 50 being divided into a plurality of sections, having optical reflectivity higher than that on the surface of the coils 10 and 20 and being provided inside the coils 10 and 20.例文帳に追加

本発明は、基板２５と、基板２５上に設けられたスパイラル状のコイル１０、２０と、コイル１０、２０の内側に設けられ、コイル１０、２０の表面の光の反射率より高い光の反射率を有し、複数に分割された導電性パターン５０と、を具備する電子部品である。 - 特許庁

An electric wiring member 140 for transmitting an electrical signal to an ink delivery member has a base film for forming the mounting surface of the ink delivery member and forms a wiring pattern on the base film and has a laminated structure protected with a cover film which is treated with a plating such as a gilding.例文帳に追加

インク吐出部材に電気信号を送信するための電気配線部材１４０は、インク吐出部材の実装面を形成するベースフィルムを有し、ベースフィルム上に配線パターンを形成し、金メッキ等のメッキ処理を施してカバーフィルムで保護した積層構造を有する。 - 特許庁

To generate no popcorn phenomenon even when a plastic package is heated after chip parts such as an IC chip, etc., are mounted, in the case where the package is provided with a chip part mounting part on its surface and a conductor pattern is formed on the chip part mounting part.例文帳に追加

パッケージ表面にチップ部品を搭載するチップ部品搭載部を有し、該チップ部品搭載部に導体パターンが形成されたプラスチックパッケ−ジにおいて、ＩＣチップ等のチップ部品を実装した後に加熱されても、ポップコーン現象を生じないプラスチックパッケ−ジを提供すること。 - 特許庁

In the pattern forming method, development is carried out with a developing solution containing a metal ion-free organic base and a nonionic surfactant as essential components in the developing step of photolithography while keeping 45.0-65.0 mN/m (20°C) surface tension of the developing solution through the developing step.例文帳に追加

ホトリソグラフィーの現像工程において、金属イオンを含まない有機塩基とノニオン性界面活性剤を主成分として含む現像液を用い、現像全工程を通して、現像液の表面張力値を４５．０〜６５．０ｍＮ/ｍ（２０℃）に維持して現像するパターン形成方法。 - 特許庁

To form a hard deposit layer in any arbitrary pattern on the surface of a wire tool of fixed abrasive grain type, to suppress a drop of the cutting efficiency resulting from repetitive use and elongate the tool life, and to reduce the labor required to conduct processing and also enhance the productivity easily.例文帳に追加

固定砥粒式ワイヤ工具のワイヤ表面に任意のパターンで硬質堆積層を形成することができて、繰り返し使用による切断能率の低下を抑えるとともに工具寿命を延ばすことができ、且つ、加工に手間がかからず、容易に生産性を上げることができるようにする。 - 特許庁

In the swelling pattern engraving device comprising polygonal seal surface plates, and various type seal surfaces, a magnet is mounted at iron pieces mounted at bottoms of the plates, a cylinder 5 in the engraving device body, and a lower bearer plate 7, and a link lever 3 is interposed between an operating lever 4 and the cylinder 5.例文帳に追加

多角形の印面プレート２０，２１と、豊富な印面２２，２３とを含む刻印装装置で、印面プレートの底面に取り付けた鉄片２４，２５と、刻印装置本体内部のシリンダー５と、下部受台プレート７に磁石が取り付けてあり、操作レバー４とシリンダー５の間にリンクレバー３が介在している。 - 特許庁

To prevent the waving of a polymer solution and the generation of a wind pattern on the surface of the solution in a mold and to provide a method for producing a seamless belt the thickness of which is 50 μm-1 mm, especially at least 80 μm, and can be uniform.例文帳に追加

金型内で高分子材料溶液が波打ったり、表面に風紋状の模様が生じるのを抑制防止し、厚さ５０μｍ以上、特には８０μｍ以上、通常１ｍｍ以下の厚いシームレスベルトの肉厚の均一化を図り得るシームレスベルトの製造方法を提供する。 - 特許庁

The respective Fresnel lenses 3 use a plurality of radiation directions inclined from the optical axis of the light emitting diode 1 as their optical axis directions and form a light distribution pattern F of desired illuminance on the irradiation surface, and are so arranged as to surround the light emitting diode 1 on the front side of the light emitting diode 1.例文帳に追加

各フレネルレンズ３は、発光ダイオード１の光軸から傾いた複数の照射方向それぞれを光軸方向とし照射面へ所望の照度の配光パターンＦを形成するレンズであり、発光ダイオード１の前方側で発光ダイオード１を囲むように配置する。 - 特許庁

To provide a stamper production device using a dot printer theory forming a dot pattern by giving a physical deformation to a stamper without using complex process nor expensive equipment such as removing or cutting off stamper surface by etching.例文帳に追加

ドットパターンを形成することにおいて、エッチィングなどのようにスタンパ表面を剥ぎ取ったり、削り取ったりするなど、複雑な工程や高価な装備を備えず、スタンパに物理的な変形を加えることで、ドットパターンを形成するドットプリンター原理を利用したスタンパ製造装置を提供する。 - 特許庁

Then, a conductor pattern 6 is formed on the base insulating layer 5, a second protection layer 7 is formed of the tin or the tin alloy on a surface of the conductor base 6, and a cover insulating layer 8 is formed on the base insulating layer 5 to cover the second protection layer 7.例文帳に追加

次いで、ベース絶縁層５の上に導体パターン６を形成し、その導体パターン６の表面に、錫または錫合金からなる第２保護層７を形成するとともに、ベース絶縁層５の上に、第２保護層７を被覆するようにカバー絶縁層８を形成する。 - 特許庁

A dielectric substrate 11 of the plasmon waveguide 1 having a plurality of fine holes 12 of a predetermined pattern on its surface is filled with a plurality of fine metal bodies 20 of the size, which induces localized plasmons, spaced so that a plasmon guided wave occurs in the adjacent fine metal bodies 20.例文帳に追加

表面に所定のパターンで複数の微細孔１２が開口したプラズモン導波路１の誘電体基材１１に、局在プラズモンを誘起しうる大きさの複数の微細金属体２０が、隣接する微細金属体２０にプラズモン導波がおこる離間距離を有して充填されている。 - 特許庁

To provide a display which is so fully secure as to make forgery difficult and allows more reliable validity judgement, with respect to a display in which a substrate surface is divided in a matrix shape and a diffraction grating pattern is formed in a cell within each element of the matrix to constitute a display image.例文帳に追加

基材表面をマトリクス状に分割し、マトリクスの各要素の内部のセルに回折格子パターンを形成して表示画像を構成するディスプレイにおいて、よりセキュリティ性が高く偽造が困難で、真偽判定がより一層確実に行えるディスプレイを実現する。 - 特許庁

To prevent the signal omission of magnetic information transferred on a slave medium and to facilitate peeling from the slave medium after the transfer when a magnetic transfer master carrier having a concave and convex pattern on the surface is tightly contacted to the slave medium to execute magnetic transfer.例文帳に追加

表面に凹凸パターンを有する磁気転写用マスター担体とスレーブ媒体とを密着させて磁気転写を行う場合において、スレーブ媒体に転写される磁気情報の信号抜けの発生を防止するとともに、転写後のスレーブ媒体との剥離を容易とする。 - 特許庁

The method manufactures the magnetic card which has a pattern/character-printed layer 4 formed on the sheet of an adhesive layer face of an adhesive sheet with a separator made of a film or the like, and a magnetic layer 3 capable of magnetically recording formed on the surface of the separator of the adhesive sheet 2 with the separator.例文帳に追加

フィルム等で形成されるセパレーター付き粘着シートの粘着層面のシート上に図柄、文字の印刷層４があり、また前記セパレーター付き粘着シート２のセパレーター表面に磁気記録可能な磁性層３が形成された磁気カードの製造方法とする。 - 特許庁

This working condition optimization system is provided with a means for working a semiconductor wafer under predetermined working conditions based on a designed working pattern, a means for evaluating the worked semiconductor wafer, and a means for generating analytic information based on the result of evaluation corresponding to the position in the wafer surface.例文帳に追加

設計された加工パターンに基づき、所定の加工条件により前記半導体ウエハを加工する手段と、加工された前記半導体ウエハを評価する手段と、前記ウエハ面内の位置に対応する前記評価の結果に基づいて解析情報を生成する手段を備える。 - 特許庁

The information recording medium is obtained by sequentially stacking a hiding layer (14) and a pattern printed layer (15) on an information recording layer (13) disposed in at least part of one surface of a substrate (12) and further transferring the transfer layer (16) of the transfer sheet.例文帳に追加

それを用いた、少なくとも基材（１２）片面の少なくとも一部に設けられた情報記録層（１３）上に、隠蔽層（１４）、絵柄印刷層（１５）を順次積層し、さらに転写シートの転写層（１６）を転写してなることを特徴とする情報記録媒体である。 - 特許庁

A moving vector detecting part 24 detects moving vectors in the respective areas of the image on the basis of these frame image data and car speed data and a moving vector processing part 25 evaluates the pattern of the moving vector on a reference horizontal line and finds a distance and road width up to the wall surface of a road end.例文帳に追加

移動ベクトル検出部２４では、これらのフレーム画像データと車速データに基づき画像の各領域の移動ベクトルを検出し、移動ベクトル処理部２５では、基準水平ライン上の移動ベクトルのパターンを評価して、道路端の壁面までの距離と道幅を求める。 - 特許庁

To provide a precoating steel sheet formed with a coating film having a rugged pattern which is uniform, and has excellent designability and flaw resistance and to provide a method for manufacturing the precoating steel sheet formed with the designability rugged coating film which can efficiently form the coating film on the surface of the steel sheet.例文帳に追加

均一で、意匠性、耐傷付き性に優れた凹凸模様を有する塗膜が形成されたプレコート鋼板、及び上記塗膜をを効率的に鋼板表面に形成することができる意匠性凹凸塗膜が形成されたプレコート鋼板の製造方法を提供することである。 - 特許庁

Hard synthetic resin 29 having easy cuttability and pressing property and wear resistance not inferior to those of the metal is used only for a cutting surface of the press die, and the hard synthetic resin layer is cut to realize the pattern by a machining center 32 at high speed rotation and feed.例文帳に追加

プレス型の切削される部分のみに、切削が容易で且つ金属に劣らないプレス成形性、耐摩耗性を有する硬質合成樹脂２９を切削加工表面に用い、この硬質合成樹脂層をマシニングセンター３２で高速回転、高速送りで模様を切削する。 - 特許庁

The gas containing a solvent delivered to a reflow processing space S forms a unidirectional flow toward the solvent suction port 75 and when the solvent in the atmosphere of the reflow processing space is sucked to a resist on the surface of the substrate G, the resist is softened and fluidized, thus forming a deformation resist pattern.例文帳に追加

リフロー処理空間Ｓへ吐出された溶剤を含む気体は、溶剤吸入口７５へ向かう一方向の流れを形成し、基板Ｇ表面のレジストにリフロー処理空間の雰囲気中の溶剤が吸収されることにより、レジストが軟化して流動化し、変形レジストパターンが形成される。 - 特許庁

To provide a game machine with excellent maintainability capable of removing tar or the like stuck to its pattern display surface during a game at all times and keeping excellent visibility of patterns without the need of complicated cleaning work requiring labor even in a game hall with much cigarette smoke and dust, etc.例文帳に追加

たばこの煙や埃などの多い遊技ホールにおいても、人手がかかる煩雑な清掃作業を要することなく、その図柄表示面に付着したヤニなどを常時遊技中に除去でき、図柄の視認性を良好に保持してメンテナンス性に優れた遊技機を提供する。 - 特許庁

To provide a sliding door, on which a colorful variation shape or pattern can be expressed on the surface of a sliding door body as a shadow picture when light is irradiated from the rear-side direction of the sliding door body in spite of a profound main sliding door normally having the taste of a tradition.例文帳に追加

通常では伝統の味わいを有する重厚な本襖であるが、襖本体の裏面側方向から光を照射すると襖本体の表面に多彩なバリエイションの形状ないしパターンを影絵のように浮かび上がらすことができるようにした襖とその製造方法を提供する。 - 特許庁

While the pattern is formed on a surface of a substrate W, a scanning electrode 16 is controlled according to a correction signal generated, based on deviation information removing the frequency component which is low, correlated with a secondary electronic signal of components of the deviation information by a signal adjusting circuit 72c.例文帳に追加

基板Ｗの表面にパターンが形成されている間に、信号調整回路７２ｃによって、偏差情報の成分のうちの２次電子信号と相関の低い周波数成分が除去された偏差情報に基づいて生成された補正信号によって走査電極１６を制御する。 - 特許庁

To obtain a granular resin-containing coating material and a decorative inorganic fiber molded plate which is endowed with a rugged pattern on its surface by the coating material and hardly allows the granular resin to come loose and fell off by handling in use or by an exerted external force including seismological vibrations or the like after use.例文帳に追加

粒状樹脂を含む塗料を得るとともに、その塗料により表面に凹凸模様が付与され、かつ使用時のハンドリンクや使用後の地震などによる振動を始めとする外力が加わっても粒状樹脂の剥がれ落ちが少ない化粧無機繊維成形板を得る。 - 特許庁

The magnetic transfer master (1) for transferring a magnetic pattern to a magnetic recording medium (2) having a lubricant (3) on the surface is periodically exposed in ozone atmosphere in a magnetic transfer apparatus (20), and the lubricant (3) and contaminating particles attached to the magnetic transfer master (1) are chemically decomposed for cleaning.例文帳に追加

表面に潤滑剤（３）を有する磁気記録媒体（２）に、磁気パターンを転写する磁気転写マスタ（１）を、磁気転写装置（２０）内で、定期的に、オゾン雰囲気中に曝し、磁気転写マスタ（１）に付着した潤滑剤（３）や汚染粒子を、化学分解し、クリーニングする。 - 特許庁

The thermal flow sensor 10 is formed as a card-shaped sensor comprising a rectangular resin film piece 12, a conductive film 14 formed by a predetermined wiring pattern on one surface 12a of the resin film piece 12, and a protective film 16 which partially covers the conductive film 14.例文帳に追加

熱式流量センサ１０を、矩形状の樹脂フィルム片１２と、この樹脂フィルム片１２の片面１２ａに所定の配線パターンで形成された導電膜１４と、この導電膜１４を部分的に被覆する保護膜１６とからなるカード状センサとして構成する。 - 特許庁

An element isolation region 21 is formed on a main surface of a semiconductor substrate SUB1, a n-type well NW2 is formed in an active region defined by the element isolation region 21, and a silicon film pattern SP1 is formed on the n-type well NW2 through an insulating film 22a.例文帳に追加

半導体基板ＳＵＢ１の主面に素子分離領域２１が形成され、素子分離領域２１で規定された活性領域にｎ型ウエルＮＷ２が形成され、ｎ型ウエルＮＷ２上に絶縁膜２２ａを介してシリコン膜パターンＳＰ１が形成されている。 - 特許庁

The thin film resistor 5 is formed on a thermal oxidation film 3 formed on a semiconductor substrate 1 and a BPSG/NSG multiplayer film 7, a plasma CVD film 9, an organic SOG film 11, a plasma CDV film 13 and a resist pattern 19 are formed on the entire surface of the semiconductor substrate (A).例文帳に追加

半導体基板１上に形成した熱酸化膜３上に薄膜抵抗体５を形成し、半導体基板１上全面にＢＰＳＧ／ＮＳＧ積層膜７、プラズマＣＶＤ膜９、有機ＳＯＧ膜１１、プラズマＣＶＤ膜１３、レジストパターン１９を形成する（Ａ）。 - 特許庁

On a surface of a flexible porous body 22 using a resin film and the like such as PET, in the PTC sheet heating element 21, flexible conductive paste including silver and the like is printed with a prescribed pattern to form paired flexible electrodes disposed at an interval.例文帳に追加

ＰＴＣ面状発熱体２１は、ＰＥＴ等の樹脂製フィルム等を用いた柔軟性多孔質体２２の表面に、銀等を含む柔軟性のある導電性ペーストが所定のパターンで印刷され、間隔を置いて対をなして配置された柔軟性電極２３を形成している。 - 特許庁

To provide an in-mold foam molded body of a thermoplastic resin which easily makes a mud-crack pattern resulting from a fusion mark of preexpanded particles sufficiently inconspicuous in almost the same molding method as conventionally performed without in-mold foam molding under excess molding conditions and shows an excellent surface profile.例文帳に追加

過剰な成形条件で型内発泡成形することなく、ほぼ従来と同様の成形方法にて容易に、予備発泡粒子の融着痕に起因する亀甲模様を十分に目立たなくさせ、表面性良好な熱可塑性樹脂型内発泡成形体を得ること。 - 特許庁

To provide a method and apparatus for rotary spraying electrostatic coating, which shows improved coating efficiency and improved color on a coated surface, and to average the distribution of coating pattern by preventing the interference of a coating material in the rotary spraying electrostatic coating apparatus having a plurality of bell cups.例文帳に追加

塗装効率の向上を図り、塗装面の色味の良くする回転霧化静電塗装方法及び回転霧化静電塗装装置を提供し、複数のベルカップを有する回転霧化静電塗装装置において、塗料の干渉を防いで塗装パターン分布を平均化する。 - 特許庁

In a polishing method to polish a metal film 32, which is formed on a surface of a wafer, where a concave-convex pattern is formed, and to embed the recess, the polishing of the metal film 32 is conducted by performing the electrolytic polishing and the chemical mechanical polishing or chemical buffing by turns.例文帳に追加

ウエハ表面に凹凸のパターンが形成され、その凹部を埋め込むように該ウエハ表面に形成された金属膜３２を研磨する研磨方法において、前記金属膜３２の研磨を電解研磨と化学的機械研磨もしくは化学的バフ研磨とを交互に行うことを特徴とする。 - 特許庁

In the method for manufacturing the embossed sheet 60 by applying emboss processing to a thermoplastic resin sheet 50 on the metal endless belt 14 trained over a plurality of rolls 11,12, a heat-resistant easy peel resin layer having an uneven embossed pattern is applied to the surface of the metal endless belt 14.例文帳に追加

複数のロール１１、１２に巻装された金属製エンドレスベルト１４上で熱可塑性樹脂シート５０にエンボス加工を施すエンボスシート６０の製造方法において、金属製エンドレスベルト１４の表面に、凹凸のエンボスパターンを有する耐熱性、易剥離性樹脂層をコーティングする。 - 特許庁

To improve an yield due to variations in film thicknesses and film qualities among wafers by enabling measurement of surface roughness of the wafer with a pattern having fine irregular patterns in a midway of wafer working, in a method for obtaining roughness of a substrate and a device for obtaining the roughness of the substrate.例文帳に追加

基板の粗さを得る方法、及び基板の粗さを得るための装置において、ウェハ加工途中の微細な凹凸のパターンを有するパターン付きウェハの表面粗さを測定することを可能にすることで、ウェハ間の膜厚や膜質のばらつきによる歩留まりを向上させることを目的とする。 - 特許庁