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pattern systemの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 3674件
To provide an exposure method, and exposure apparatus, a method of manufacturing a device, and a device, where a pattern having a line width larger than resolution limit is transferred in desired contrast to secure desired resolution when a projection optical system clearing in midsection and a phase shift mask are used.例文帳に追加
本発明は、中抜けのある投影光学系と位相シフトマスクを使用した場合に、限界解像よりも大きな線幅のパターンを所望のコントラストで転写して所望の解像度を確保する露光方法及び装置、並びにデバイス製造方法及びデバイスを提供する。 - 特許庁
Therefore, the system automatically recognizes the shape of a pattern 33a after the OPC process by recognizing the coordinates of each vertex and sets candidates [1] to [5] for a dimension measurement window which is a candidate for a region where the dimension measurement is done, in a space between coordinates of vertexes.例文帳に追加
そこで、システムが自動で、OPC処理後のパターン33aに対して、例えば、頂点座標を認識するなどでパターン33aの形状を認識し、各頂点座標の合間の空間に寸法測定を行う領域の候補となる寸法測定ウインドウの候補[1]〜[5]を設定する。 - 特許庁
To provide a vehicle position retrieving system for overcoming communication delay and communication failure, increasing the speed of a retrieval time and accurately retrieving the position of a vehicle when a vehicle is not provided with a database in which a retrieval table to be used for collation with an array pattern is stored.例文帳に追加
配列パターンとの照合に用いられる検索テーブルが記憶されたデータベースを車両側に持たない場合に、通信遅延、通信障害を克服しつつ検索時間のスピードアップを図りつつ車両の位置検索を正確に行うことができる車両位置検索システムを提供する。 - 特許庁
The vehicle operation supporting system 1 comprises a beam irradiation device 5 for irradiating the road surface with a visible light beam B in a predetermined pattern, and an optical filter 13 for transmitting reflected light of the visible light beam B reflected from the road surface to the vehicle at a predetermined transmittance characteristic.例文帳に追加
車両運転支援システム1は、道路路面上に所定のパターンで可視光ビームBを照射するビーム照射装置5と、道路路面から車両に対して反射してくる可視光ビームBの反射光を所定の透過率特性で透過させる光学フィルタ13と、を備えている。 - 特許庁
A pattern inspection system 1A generates a difference image U between an image to be inspected S and a reference image R and converts the pixel value of each pixel in the difference image U into an error probability value Er using a standard deviation σ concerning to the pixel value of the difference image U.例文帳に追加
パターン検査装置1Aは、被検査画像Sと参照画像Rとの間の差分画像Uを生成し、当該差分画像Uの画素値に関する標準偏差σを用いて当該差分画像Uにおける各画素の画素値をエラー確率値Erに変換する。 - 特許庁
To provide an exposure system capable of effectively cooling an optical material without vibration, a detrerioration in positional stability, response to a positional control, or the like to decrease a failure rate of the wafer by precisely exposure transcribing a circuit pattern, which manufactures a high performance device.例文帳に追加
光学部材を、振動・位置安定性・位置制御の応答性の悪化等を伴わずに効果的に冷却することができ、その結果、高精度に回路パターンを露光転写することができてウエハの不良率を低減し、また高性能のデバイスを作成することができる露光装置を提供すること。 - 特許庁
To provide a tire slip ratio measuring system for a construction vehicle allowing the most advantageous tire type to be selected from a plurality of tire types having the same TKPH based on quantitative prediction in a tire abrasion life, and to provide a tire tread pattern selection method for a construction vehicle using this.例文帳に追加
同じTKPHを有する複数のタイヤ種の中から、タイヤ摩耗ライフにおいて、最も有利なタイヤ種を定量的な予測に基づいて選択することを可能にする建設車両用タイヤスリップ率測定システム、および、これを用いた建設車両用タイヤトレッドパターン選定方法を提供する。 - 特許庁
To provide a technique of replacing the space approximately closed by an original plate and a pellicle film with inert gas with an exposure device for replacing the interior of the device with the inert gas and irradiating a photosensitive substrate with the pattern of the plate across a projection optical system using UV light as exposure light.例文帳に追加
露光光として紫外光を用い、装置内を不活性ガスで置換し、原版のパターンを投影光学系を介して感光基板に照射する露光装置において、原版とペリクル膜で略閉じられた空間を不活性ガスで有効に置換する技術を提供する。 - 特許庁
When the wafer 5 is placed on the stage 6, a control part 7 moves the stage 6, so that the wafer 5 can come to the prescribed position and while the number of openings is changed on the illumination system by controlling the opening number adjusting part 2, multiple exposures of the pattern on the reticle 3 to the wafer 5 is performed.例文帳に追加
制御部7は、ウエハ5がステージ6上に載置された場合には、ウエハ5が所定の位置にくるようにステージ6を移動させるとともに、開口数調節部2を制御することにより照明系の開口数を変えながら、レチクル3上のパターンをウエハ5に多重露光する。 - 特許庁
This working condition optimization system is provided with a means for working a semiconductor wafer under predetermined working conditions based on a designed working pattern, a means for evaluating the worked semiconductor wafer, and a means for generating analytic information based on the result of evaluation corresponding to the position in the wafer surface.例文帳に追加
設計された加工パターンに基づき、所定の加工条件により前記半導体ウエハを加工する手段と、加工された前記半導体ウエハを評価する手段と、前記ウエハ面内の位置に対応する前記評価の結果に基づいて解析情報を生成する手段を備える。 - 特許庁
To provide an apparatus and a system for liquid droplet discharging, which can form (draw) a pattern with discharged liquid droplets with high precision and improve the throughput (production efficiency), an electrooptical device, a method for manufacturing the electrooptical device, a method for forming a metal wire, and electronic equipment.例文帳に追加
吐出液滴によるパターンの形成(描画)を高い精度で行うことができるとともに、スループット(生産能率)の向上が図れる液滴吐出装置、液滴吐出システム、電気光学装置、電気光学装置の製造方法、金属配線形成方法および電子機器を提供すること。 - 特許庁
The positive type photosensitive composition for a thermal flow pattern forming system contains (a) a compound which generates an acid when irradiated with active light or radiation and (b) a resin or a mixture which is decomposed by the action of the acid to increase it solubility in an alkali developing solution.例文帳に追加
(a)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(b)酸の作用により分解しアルカリ現像液に対する溶解性が増大する樹脂又は混合物、を含有することを特徴とするサーマルフローパターン形成方式用ポジ型感光性組成物。 - 特許庁
A sapphire substrate is used as a different kind of substrate 11, then a buffer layer (not shown in figure) having a film thickness of ≤300 Å and composed of GaN is formed on the sapphire substrate by using a MOCVD system, and a catalyst layer 12 is formed in a pattern form on the different kind of substrate 11 (a).例文帳に追加
異種基板11としてサファイア基板を使用し、MOCVD装置を用いて前記サファイア基板上に300Å以下の膜厚でGaNからなるバッファー層(図示せず)を形成した後、前記異種基板11の上に触媒層12をパターン形成する(a)。 - 特許庁
In an error recovery print system function of a printer for reprinting a printed page including such a page as print is interrupted due to occurrence of a trouble during print after that trouble is recovered, reprint is executed after printing an optional pattern at first in error recovery print.例文帳に追加
印刷中に障害が発生し、その障害から回復後に、障害発生により印刷が中断したページを含む印刷済みページを再び印刷する印刷装置のエラーリカバリ印刷方式機能において、エラーリカバリ印刷の最初に任意のパターンを印刷した後に、再印刷を実行する。 - 特許庁
The tire information recognition system comprises a transmission unit 12 to transmit the question signal to the transponder 9 of the car tire, a reception unit 13 to receive the data signal from the transponder 9, and a tire information recognition unit 14 to recognize the category of the tread pattern based on the data signal.例文帳に追加
一方、自動車用タイヤのトランスポンダ9に質問信号を送信する送信部12と、トランスポンダ9からのデータ信号を受信する受信部13と、そのデータ信号に基づいてトレッドパターンのカテゴリーを認識するタイヤ情報認識部14とを備えたタイヤ情報認識システムを構成する。 - 特許庁
To enhance security in a printing system 100 having a host PC 1-1 for sending print data and a printer 1-6 connected to the host PC 1-1 via a network 2 to print the print data received from the host PC 1-1 over a predetermined tint pattern.例文帳に追加
印刷データを送信するホストPC1−1と、ホストPC1−1にネットワーク2を介して接続され、ホストPC1−1から受信する印刷データを所定の地紋パターンに重ね合わせ印刷可能なプリンタ1−6とを有する印刷システム100に於いて、セキュリティを向上させること。 - 特許庁
To provide a system and a method to support setting of a record unit which makes an analysis resulting in a desired analysis result possible by presenting a pattern and a rule acquired from inputted data and a record number by various units of record for the inputted data before starting the analysis.例文帳に追加
分析開始前に、入力されたデータに対する様々なレコードの単位でのレコード数及び該データから得られるパターンとルールを提示することによって、求めたい分析結果に結び付く分析が可能となるレコードの単位の設定を支援するシステム及び方法を提供する。 - 特許庁
A system controller 24 controls an on-vehicle camera 12 to perform imaging to sequentially acquire image data, pattern-recognizes road signs 44 and 45 with reference to image data for reference, and determines whether the road signs 44 and 45 are on the right side of the lane.例文帳に追加
システムコントローラ24は、車載カメラ12を制御して撮像を実行させ、画像データを逐次取得するとともに、参照用画像データを参照して道路標識44,45をパターン認識して、道路標識44,45が走行車線に対して右側にあるか否かを判定する。 - 特許庁
To relate to novel methods for affecting, controlling and/or directing various crystal formation, structure formation or phase formation/phase change reaction pathways or systems by exposing one or more components in a crystallization reaction system to at least one spectral energy pattern.例文帳に追加
少なくとも1つのスペクトル・エネルギー・パタンに結晶化反応系の1つ以上の成分を曝露することによって、いろいろな結晶形成、構造形成又は相形成/相変化の反応経路又はシステムに影響を及ぼし、コントロールし、及び/又は導く新しい方法に関する。 - 特許庁
To provide a visual inspection system of agricultural products capable of simply and inexpensively performing maintenance work by reducing the adjustment of brightness and replacing frequency by using a light source wherein a plurality of infrared LEDs, red LEDs and green LEDs are arranged in a predetermined pattern.例文帳に追加
赤外LED、赤色LED及び緑色LEDを複数個所定パターンで配置した光源を使用することにより、輝度調整や交換頻度を低減させてメンテナンス作業を簡単かつコスト安価に行うことができる農産物の外観検査装置を提供する。 - 特許庁
The imaging module 10 in one embodiment includes a printed circuit board 14A, an image sensor electrically connected to the printed circuit board, a support assembly 80 for supporting at least one optical element, and an illumination system for generating an illumination pattern onto a target.例文帳に追加
ある実施例の撮像モジュール(10)は、プリント回路基板(14A)と、該プリント回路基板に電気的に接続された画像センサと、少なくとも1つの光学素子を支持するための支持アセンブリ(80)と、対象上に照射パターンを生成するための照射システムとを具備している。 - 特許庁
The imaging system for photographing the periphery of the vehicle by a camera 2 and detecting a detection target by pattern-matching in the photographed image detects a posture state of the vehicle when traveling is stopped and sets a detection area in the photographed image according to the posture state.例文帳に追加
カメラ2により車両の周囲を撮像し、その撮像画像内をパターンマッチングによって検出対象物を検出する撮像システム1であって、走行停止時に車両の姿勢状態を検出し、その姿勢状態に応じて撮像画像内の検出領域を設定する。 - 特許庁
The thin photodetector module 1 is constituted by mounting an integrated circuit component 13 and a photoelectric converter 14 on an organic film 11, by connecting to a wiring pattern 12 and forming a focusing optical system having a Fresnel band 23 and a lens on a predetermined surface of the film 11.例文帳に追加
有機フィルム11に配線パターン12に接続して集積回路部品13及び光電変換素子14を取り付けると共に、有機フィルム11の所定表面にフレネル帯体23やレンズによる結像光学系を形成して薄型の受光モジュール1に構成する。 - 特許庁
The head detection part 88 detects a predetermined fixed pattern from the code system of the modulation code, thereby detecting the position of the head of the code equivalent to one operation unit of a trellis state transition including a plurality of channel symbols and generating head information indicating the position.例文帳に追加
先頭検出部88は、変調符号の符号系列から、予め定められた固定パターンを検出することで、複数のチャネルシンボルからなるトレリスの状態遷移の1動作単位分の符号の先頭の位置を検出し、その位置を示す先頭情報を生成する。 - 特許庁
A processing device updates the travel position of an own train each time it passes the absolute position ground member, reads the data corresponding to the travel position from the on-vehicle database on receipt of signal information from the ground member, and generates a speed check pattern which is supplied to the control system.例文帳に追加
処理装置は、各絶対位置地上子を通過するたびに自列車の走行位置を更新し、地上子から信号情報を受信したときは、車上データベースから走行位置に対応するデータを読み出して速度照査パターンを発生して制御装置に与える。 - 特許庁
An illumination optical system 20A of this pattern inspection device guides incoherent light emitted from an emission face F of an optical fiber array 21 toward a long and narrow illumination region R formed on the surface of a printed circuit board 7 by using nonaxisymmetric image formation elements such as a cylindrical lens 22 or the like.例文帳に追加
パターン検査装置の照明光学系20Aは、オプティカルファイバーアレイ21の出射面Fから出射されるインコヒーレント光を、シリンドリカルレンズ22などの非軸対象結像要素を用いて、プリント基板7の表面に形成される細長形状の照明領域Rに対して導く。 - 特許庁
The printing density of a part of a specific pattern can be replaced with the printing density of the other part within the page without changing printing resources at the side of a host 40 and a command system and without changing a bit map development process and a bit map development density of a printer controller.例文帳に追加
ページ内で特定パターンの部分の印刷密度を、他の部分の印刷密度と変えることができ、ホスト40側の印刷資産やコマンド体系を変更することなく、しかもプリンタコントローラのビットマップ展開処理やビットマップ展開密度を変更することなく実現できる。 - 特許庁
To prevent adverse effect on the product quality by preventing the line width of a conductive convex pattern layer formed by the "drawing primer system intaglio printing method" from becoming thicker when the print speed is increased in order to highly reconcile the electromagnetic wave shielding performance and the optical transparency of an electromagnetic wave shielding material.例文帳に追加
電磁波遮蔽材の電磁波遮蔽性能と光透過性を高度に両立させる為に、「引抜プラマイ方式凹版印刷法」で形成した導電性凸状パターン層の線幅が印刷速度を高速化した時に太るのを防いで製品品質への悪影響を防ぐ。 - 特許庁
To provide a system analyzing a document file (a document) including text boxes modifying text, managing causation between a layout pattern of the respective text boxes and a category, and adding a comment to notify a lacking text box and the like for performing creation support and quality management of the document.例文帳に追加
テキストを装飾するテキストボックスを含む文書ファイル(ドキュメント)の分析を行い、各々のテキストボックスの配置パタン及びカテゴリの因果関係を管理し、不足するテキストボックス等を報知するためのコメントを付与することでドキュメントの作成支援、品質管理を行うシステムを提供する。 - 特許庁
The system for supporting office relocation plan has a desk arrangement pattern DB 103, a regulation DB 104, a standard construction work cost DB 105, a standard construction schedule DB 106, a relocation source DB 107, and a move-in plan DB 108, and manages information regarding office relocation in an integrated manner and outputs various data.例文帳に追加
デスク配置パターンDB103と、法規DB104と、基準工事費用DB105と、基準工期DB106と、移転元DB107と、入居計画DB108と、を備え、オフィス移転に関する情報を一元管理して各種データを出力する。 - 特許庁
In accordance with the screen transition pattern to be shown by the screen transition information given by the menu display determination part, the system control part effects the transition of a screen to be displayed on a video display device (15) based on the program a part of which is developed in a RAM (2d) as a volatile memory.例文帳に追加
システム制御部は、メニュー表示決定部より与えられた画面遷移情報で示される画面遷移パターンに従って、揮発性メモリであるRAM(2d)に一部が展開されたプログラムに基づいて、映像表示装置(15)に表示させる画面を遷移させる。 - 特許庁
In the hydraulic transfer apparatus 2 of the residual recovery system 1, a body 200 to be transferred is pushed from the above and a printing pattern layer and a curable resin layer are transferred onto the surface of the body 200 to be transferred under hydraulic pressure while the transferring film 100 floats on the water surface 12 of the transferring tank 11.例文帳に追加
残滓回収システム1の水圧転写装置2では、転写槽11の水面12に転写フィルム100を浮かべた状態で、その上方から被転写体200を押し付け、水圧によって被転写体200の表面に印刷模様層及び硬化性樹脂層を転写する。 - 特許庁
When detecting that the failure occurs in the computer, a failure information extraction part 132 extracts a failure pattern including an error number, a message ID, an object, and an event from a system log 141 and an operation information log 142 in reference to an extraction condition table 145.例文帳に追加
コンピュータに障害が発生したことを検出すると、障害情報抽出部132が、システムログ141及び稼働情報ログ142から、抽出条件テーブル145を参照して、エラー番号、メッセージID、オブジェクト、及びイベントからなる障害パターンを抽出する。 - 特許庁
To provide an optical imaging device making the light quantity of a measurement light constant independently of a modulation pattern by a compensation optical system using a spatial light modulation means, and improving the SN ratio of a tomographic image, and to provide a method for imaging an optical tomographic image.例文帳に追加
空間光変調手段を用いた補償光学系により、変調パターンに依らず、測定光の光量を一定とすることができ、断層画像のSN比を向上させることが可能となる光画像撮像装置および光断層画像の撮像方法を提供する。 - 特許庁
To provide a cogeneration system and its control method, including a learning control function for: setting a power generation start time and a power generation stop time to maximize target functions (primary energy reduction, heating and lighting cost reduction, CO_2 reduction, and the like); calculating an operation pattern; and taking design life into consideration.例文帳に追加
目的関数(一次エネルギー削減量、光熱費削減量、CO_2削減量等)が最大となる様に、発電開始時刻と発電停止時刻を設定し、運転パターンを計算し、設計寿命をも考慮した学習制御機能を具備するコージェネレーションシステム及びその制御方法の提供。 - 特許庁
The wet etching system includes: an exposure means for exposing a copper-containing material having a surface on which a pattern of a positive type photosensitive resist has been formed, to light; and a wet etching means for wet-etching the copper-containing material exposed to light by the exposure means.例文帳に追加
本発明は、ポジ型感光性レジストのパターンが表面に形成された銅含有材料を露光する露光手段と、前記露光手段により露光された銅含有材料をウエットエッチングするウエットエッチング手段とを有することを特徴とするウエットエッチングシステムである。 - 特許庁
The computer system further includes a processor, a data storage device coupled to the processor, a computer-implementable code for specifying the tooth movement patterns using the two-dimensional array, and a computer-implementable code for generating the treatment paths to move the teeth in accordance with the specified pattern.例文帳に追加
さらに、プロセッサと、プロセッサに結合されたデータ格納デバイスと、2次元アレイを用いて歯の移動パターンを特定するコンピュータ実行可能コードと、特定されたパターンに従って歯を移動させるための処置経路を生成するコンピュータ実行可能コードとを備える、コンピュータシステムが提供される。 - 特許庁
In the sound field control system 100, a signal processing part 300 is equipped with a BPF 310 which divides a sound signal into a plurality of frequency bands and an APF 320 which corrects the sound signal by adding reflected sound pattern to the sound signal by the divided bands.例文帳に追加
音場制御システム100において、信号処理部300は、音響信号を複数の周波数帯域に分割するBPF310と、分割された帯域毎に、音響信号に反射音パターンを付加することによって音響信号を補正するAPF320を備える。 - 特許庁
To provide a building material having a surface patter having continuity in a texture straddling an adjacent building material by allowing an appearance to be visible as arrangement of a random texture pattern as a whole after constructing the building material; a building material design support system of the building material; and a program.例文帳に追加
建築材を施工後の外観は全体としてランダムなテクスチャパターンの配列に見えるとともに、隣接建築材にまたがるテクスチャに連続性がある表面柄を有する建築材並びに該建築材の建築材設計支援システム及びプログラムを提供すること。 - 特許庁
To achieve a more stable printing operation by improving the ability to follow a temperature change, even in a fixing power control system that obtains a desired input power by using a plurality of successive half waves of a commercial power supply as one power input pattern.例文帳に追加
商用電源の連続する複数の半波を一つの電力投入パターンとして所望の投入電力を実現する定着電力制御方式においても、温度の変動に対して追従性を良くし、より安定したプリント動作を実現することを目的とする。 - 特許庁
In the method of manufacturing the color filter provided with a laminate photospacer including a color pixel of at least ≥3 layers and a color pattern of at least one or more layers on a glass substrate, the color pixel and the laminate spacer are formed using a small-sized mask continuous exposure system.例文帳に追加
ガラス基板上に、少なくとも3レイヤー以上の着色画素と、少なくとも1レイヤー以上の着色パターンを含む積層フォトスペーサを設けるカラーフィルタの製造方法において、前記着色画素と前記積層スペーサとを小型マスク連続露光方式を用いて形成する。 - 特許庁
To provide a processing system for efficiently processing information entered by an electronic pen by allocating dot patterns to be printed on a pair of electronic pen copying forms from one dot pattern area and forming a bar code for identifying each electronic pen copying form.例文帳に追加
1組の電子ペン用複写帳票に印刷されるドットパターンを1つのドットパターン領域から割り当てると共に、各電子ペン用複写帳票を識別するバーコードを設けることで、電子ペンにより記入された情報を効率的に処理する処理システムを提供する。 - 特許庁
In the aligner having a movable stage in holding the mask substrate to expose a pattern formed on the mask substrate on a photosensitive substrate by a projection optical system, the stage holds the mask substrate through an elastic member being elastically deformable according to deformation of the mask substrate.例文帳に追加
マスク基板を保持して移動可能なステージを備え、前記マスク基板に形成されたパターンを投影光学系によって感応基板上に露光する露光装置において、そのステージは、マスク基板をそのマスク基板の変形に応じて弾性変形可能な弾性部材を介して保持するようにした。 - 特許庁
After a wettability pattern comprising a high wettability region which is high in wettability relative to an ink for a conductive film and a low wettability region having low wettability is formed on a substrate, the ink for the conductive film is coated by an ink jet system to form the conductive film on the high wettability region.例文帳に追加
基板の上に、導電膜用インクに対する濡れ性が高い高濡れ性領域と、濡れ性が低い低濡れ性領域とからなる濡れ性パターンを形成した後、インクジェット方式によって導電膜用インクを塗布して高濡れ性領域の上に導電膜を形成する。 - 特許庁
To provide a printing system for discriminating a position encoding pattern corresponding to a print format even when a print format is different, and for associating positional relations between written content with an electronic pen and application data including an original text or graphics.例文帳に追加
印刷形式が異なる場合においても、印刷形式に対応する位置符号化パターンを区別し、電子ペン等での書き込み内容と元のテキストや図形等を含むアプリケーションデータとの位置関係を対応付けることが可能な印刷システムを提供することを目的とする。 - 特許庁
The lithographic method includes using an illumination system to provide a radiation beam having an illumination mode, using a patterning device to impart the radiation beam with a pattern in its cross-section, and projecting the patterned radiation beam onto a plurality of substrates.例文帳に追加
リソグラフィ方法が提供され、同方法は、照明システムを使用して照明モードを有する放射ビームを供給すること、パターニングデバイスを使用して放射ビームに断面においてパターンを与えること、複数の基板上に前記パターニングされた放射ビームを投影すること、を含む。 - 特許庁
To allow a second base station to calculate an appropriate value indicating the usage situation of a protection sub-frame group in the second base station in a communication system in which a protection sub-frame group is set in a first base station, and the second base station is notified of pattern information indicating the protection sub-frame group.例文帳に追加
第1の基地局で保護サブフレーム群が設定され、保護サブフレーム群を示すパターン情報が、第2の基地局に通知される通信システムにおいて、第2の基地局が、第2の基地局での保護サブフレーム群の使用状況を示す適切な値を算出する。 - 特許庁
To provide a control method of a card game AI which makes a game AI be played by flexibly applying a play model which exceeds the limit of the game AI only played according to a pattern formerly set by a game producer and reflects the modern game tendency, and a control system of the card game AI.例文帳に追加
本発明は、従来にゲーム製作者が設定したパターン通りにのみプレイされたゲームAIの限界を超え、近来のゲーム性向を反映するプレイモデルをゲームAIが柔軟に適用してプレイされるようにするカードゲームAI制御方法およびカードゲームAI制御システムに関する。 - 特許庁
The condensing/diverging element (3) converts light fed from the lighting system (2) to light having a light intensity distribution of a concave pattern showing that the light is reduced to a minimum in intensity at the phase-shifting part or its vicinity and increases in intensity toward its periphery, and irradiates the phase shifting mask (1) with the above light.例文帳に追加
集光発散素子は、照明系から供給された光を、位相シフト部またはその近傍において光強度が最も小さく且つその周囲に向かって光強度が増加する凹型パターンの光強度分布を有する光に変換して位相シフトマスクに照射する。 - 特許庁
On a reference mark plate FM, four reference marks WM_1, WM_2, WM_3, WM_4 for measuring the base line of an alignment system ALG are disposed in such a layout that the mean position of these marks aligns with the position of a measuring pattern ST for detecting a reticle alignment mark RM.例文帳に追加
基準マーク板FMには、アライメント系ALGのベースライン計測用の4つの基準マークWM_1,WM_2,WM_3,WM_4の平均位置が、レチクルアライメントマークRMを検出する計測用パターンSTの位置と一致するような配置で形成されている。 - 特許庁
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