「surface flow」に関連した英語例文の一覧と使い方(71ページ目) - Weblio英語例文検索

This blade structure includes a front edge part installing area 3b being part of the installation surface of a blade 4 of the platform 3, the installing a front edge part 4a of the blade 4 and falling in downward further than the wall surface F of a flow passage wall, and a front end part cutting-down area 3c formed in the front edge part installing area 3b.例文帳に追加

プラットフォーム３の翼４の設置面の一部であって翼４の前縁部４ａが設置されると共に流路壁の壁面Ｆよりも下方に向けて落ち込む前縁部設置領域３ｂと、前縁部設置領域３ｂに形成される前端部切落し領域３ｃとを備える。 - 特許庁

At the same time, a second gas V containing VOC (Volatile Organic Compounds) is made to flow through a second introduction port 76 which is formed, along the bottom surface of the first partition wall 71, on the partition walls 70 making up the bottom surface of the mixing space M, and introduced to the inside of the mixing space M along the first partition wall 71.例文帳に追加

同時に、ＶＯＣを含む第２気体Ｖは、第１区画壁７１下端に沿って混合空間Ｍ下面を構成する区画壁７０に形成された第２導入口７６を介し、第１区画壁７１に沿って混合空間Ｍ内に導入される。 - 特許庁

The means for generating the pressure difference comprises a vacuum pump 70 generating vacuum on the lower surface 50 of the image receiving medium 30 or a pneumatic pump for passing an air flow over the lower surface 50 of the image receiving medium 30 to generate 'Bernoulli effect'.例文帳に追加

その圧力差を生じさせる手段は、受像媒体３０の下部面５０に真空を発生させるようにした真空ポンプ７０を、又は「ベルヌーイ効果」を生じさせるように受像媒体３０の下部面５０にわたり空気流を通過させるようにした空気ポンプを具有する。 - 特許庁

When a temporary stop mode is selected by a selecting means 51, the number of sections 10 for producing hydrogen fluoride is decreased and the treatment gas is passed through the ejection channels 23-25 at a flow rate lower than that when surface treatment is performed and with the substantially same concentration of hydrogen fluoride as that when surface treatment is performed.例文帳に追加

選択手段５１にて一時停止モードを選択すると、フッ化水素を生成する生成部１０の数を減らし、表面処理実行時より小さい流量で、かつ表面処理実行時と略同じフッ化水素濃度の処理ガスを噴出路２３〜２５に通す。 - 特許庁

When the insulation material is laid on the inside surface of the lower case consisting of a unit case of an air conditioning unit, ribs extending approximately along the surface facing the air flow of the heat exchanger are formed interposing the heat exchanger to the insulation material by projecting toward the outside of the unit case.例文帳に追加

空調ユニットのユニットケースを構成するロアーケースに対し、その内側面に断熱部材を敷設するにあたり、この断熱部材に、ユニットケース内側に向けて突出させることにより、熱交換器を挟んで、当該熱交換器の空気の流れと対峙した面にほぼ沿って延びるリブを形成する。 - 特許庁

In the refrigerant flow passage 3, the inner surface at the side close to the heat source 4 consists of a lyophilic material 14 and forms a contact angle of less than 90° to the refrigerant and the other parts of the inner surface consists of lyophobic material 16 and form a contact angle of equal to or larger than 90 to the refrigerant.例文帳に追加

冷媒流路３は、熱源４に近い側の内表面が前記冷媒に対する接触角９０°未満の親液性材料１４からなり、該内表面の他の部分が前記冷媒に対する接触角９０°以上の疎液性材料１６からなる。 - 特許庁

The carrier tool 3 for carrying the printed board 2 includes a supporting plate 3a for supporting the board 2 on one of surfaces and equipped with an aperture 5 for exposing part of the printed board 2 on the other surface, and a flow straightening plate 4 provided on the other surface of the supporting plate 3a to surround the aperture 5 from three sides.例文帳に追加

プリント基板２を搬送する搬送治具３が、プリント基板２を一方の面側で支持し、プリント基板２の一部を他方の面側に露出する開口部５を設けた支持板３ａと、支持板３ａの他方の面側に設けられ、開口部５を３方から囲む整流板４とを備える。 - 特許庁

A regenerating agent in a packing body becomes a solid phase when heat is emitted from a heat absorption surface of a Peltier element in an on-state through a heat radiation surface, and condenses water in air when the air passing through an air flow passage comes in contact with the packing body.例文帳に追加

包装体内の蓄冷剤はペルチェ素子のオン状態でペルチェ素子の吸熱面から放熱面を通して熱が放出されることで固相となるものであり、通風路内を通過する空気が包装体に接触した場合に空気中の水分を凝縮させる。 - 特許庁

In regard to drying of the honeycomb molded body constituted mainly of the ceramic containing the moisture, air is so sent as to flow uniformly on the outer surface of the molded body and on the inner surface of through holes, in the present method and equipment.例文帳に追加

水分を含有するセラミックスを主成分とするハニカム状成形体の乾燥において、ハニカム状成形体の外表面および貫通孔内表面を空気が均一に流れるように送風することを特徴とするハニカム状成形体の乾燥方法およびその乾燥装置。 - 特許庁

The upper surface side of the solar energy collector 14 is utilized as a solar heat collecting unit 15 and the rear surface side of the solar heat collecting unit 15 is utilized as an atmospheric heat collecting unit 18, while the refrigerant is conducted to flow into a direction from the atmospheric heat collecting unit 18 into the solar heat collecting unit 15.例文帳に追加

集熱器１４は上面側を太陽熱集熱部１５とし、その太陽熱集熱部１５の裏面側を大気熱集熱部１８とするとともに、冷媒の流れ方向を前記大気熱集熱部１８から太陽熱集熱部１５へと流れるようにする。 - 特許庁

A dynamic filter body 3 has a support, the filter cloth provided along the outer surface of the support and having a mesh size permitting suspended particles to substantially pass and a flow channel 5 of filtered water transmitted through the filter cloth and collects suspended particles by the dynamic filter layer formed on the surface of the filter cloth.例文帳に追加

支持体と、この支持体の外面に沿って設けられた、実質的に懸濁粒子を通過させる目開きを有する濾過布と、この濾過布を透過してきた濾過水の流通路５とを備え、濾過布の表層にダイナミック濾過層を形成して懸濁粒子を捕捉するダイナミック濾過体３。 - 特許庁

When the thickness of such polyethylene resin layer is 0.05 mm or less, performing sheeting is made difficult at first, and the workability of winding it on the external surface of the rubber hose is deteriorated. Moreover, even if winding it on the external surface of the rubber hose, flow can easily occur during rubber vulcanization, which makes the film thickness uneven. 例文帳に追加

かかるポリエチレン樹脂層の厚さが０．０５ｍｍ以下であると、第１にシーテイングが困難となり、ゴムホースの外表面への巻きつけ作業性が悪くなる。更にはゴムホース外表面へ巻きつけた場合でもゴムの加硫中に流れを起こしやすく膜厚が不均一となってしまう。 - 特許庁

To perform surface treatment with high quality where, in the case a workpiece is dipped into a treatment liquid such as an electrodeposition liquid while being carried and is subjected to surface treatment such as electrodeposition coating, the treatment liquid is uniformly stirred so as to prevent the occurrence of a reverse flow and turbulence in a treatment liquid tank.例文帳に追加

ワークを搬送しながら電着液等の処理液に浸漬して電着塗装その他の表面処理を行う場合に、処理液槽内に逆流や乱流を起こさないように処理液を均一に攪拌して、高品質の表面処理を行うことができるようにする。 - 特許庁

Water dropped between a rack side plate 102 and a water introducing guide 105 flows in a hole 106c through a groove 106e as shown by the arrow and further flow in a very small gap between a bearing inner peripheral surface 106a and the outer peripheral surface of the shaft 103a of the outer liquid roller 103.例文帳に追加

ラック側板１０２と誘水ガイド１０５との間に滴下された水は、矢印のように溝１０６ｅをつたって孔１０６ｃに流れ込み、更に、軸受内周面１０６ａと液外ローラ１０３の軸１０３ａの外周面との間の僅かな間隙に流れ込む。 - 特許庁

Laser is irradiated on a surface 2S of the mask 2 for the organic EL, the deposition VM is fractured, formed liberated products are scattered upward, and the liberated products are removed by a transportation air flow CF formed at a position separated from the surface of the mask 2 for the organic EL.例文帳に追加

有機ＥＬ用マスク２の表面２Ｓにレーザを照射して蒸着物質ＶＭを破砕して生じる遊離生成物を上方に飛散させて、有機ＥＬ用マスク２の表面から離間した位置に形成した搬送空気流ＣＦにより遊離生成物を除去させる。 - 特許庁

The oil application roller is provided with a fiber sheet mainly consisting of anisotropic polymer fiber with one part or the whole of it fibrillated by the effect of fluid flow on its surface or provided with a fiber sheet mainly consisting of liquid crystal polyester fiber with one part or the whole of it fibrillated on its surface.例文帳に追加

本発明のオイル塗布ローラは、流体流の作用によって一部又は全部がフィブリル化した異方性ポリマー繊維を主体とする繊維シートを、表面に備えているか、一部又は全部がフィブリル化した液晶ポリエステル系繊維を主体とする繊維シートを、表面に備えている。 - 特許庁

The end part 54 of the part 52 being the bottom part of the filter 50 is made hemispheric and the cross-sectional area of a flow passage formed between the outer peripheral surface of the part 52 and the inner peripheral surface of the hole 42 is made larger gradually as it goes to the end 54 side so that the pressure loss can be made low.例文帳に追加

底部となる小径部５２の端部５４は半球面状としてあり、その外周面と装着穴４２の内周面との間に形成される流路の断面積が閉鎖端側へ向けて徐々に拡大するように形成されることで、圧力損失を小さくする効果がある。 - 特許庁

Input ends a, b of the guide vane 22 are set on the surface of the cylinder 30 in which the inlet angle coincides with the flowing angle of fluid from the impeller vane 18, and outlet ends c, d are set on the surface of the cylinder 30 at the specified output angle so as to eliminate turning components in the flow of fluid.例文帳に追加

案内羽根２２の入口端ａ、ｂを入口角が羽根車羽根１８からの流体の流れ角に一致する円筒３０の面上で設定し、また流体の流れに旋回成分がなくなるよう出口端ｃ、ｄを所定の出口角となる円筒３０の面上で設定する。 - 特許庁

In the particle classifying mechanism in which the basket-shaped classifier rotor 1 having a plurality of blades on the outer periphery is installed in the casing 2, a guide blade 5 is provided to the inner wall surface of the casing 2, so that the swirl flow generated on the outer periphery of the classifying rotor 1 is made to descend along the inner wall surface.例文帳に追加

外周に複数のブレードを備えたかご形の分級ロータ１をケーシング２の中に設けた粒子の分級機構において、ケーシング２の内壁面に案内羽根５を設けて、分級ロータ１の外周に発生する旋回流を内壁面に沿って下降するようにした。 - 特許庁

A grease reservoir moulding 3 has: a body part 14 fitted to a spacer 2; and a hollow clearance forming piece 15 extended from the body part 14 to a stepped surface 5b side and forming a flow passage between its peripheral wall and an outer ring 5 by being opposed to the stepped surface 5b at its tip end via a clearance δ1.例文帳に追加

グリース溜まり形成部品３は、間座２に嵌合する本体部１４と、本体部１４から段差面５ｂ側へ延びて、先端面が段差面５ｂに隙間δ１を介して対面し周壁で外輪５との間に流路を形成する中空の隙間形成片１５とを有する。 - 特許庁

To improve toner charging performance, improve relative humidity insensitivity, improve hydrophobic surface characteristics, reduce surface energy on the particle surfaces, improve flow properties, reduce particle-to-particle cohesion, and reduce blocking, particularly when ambient temperatures rise.例文帳に追加

トナーの荷電性を改善し、相対湿度に対するトナーの感受性を改善し、またトナーの表面をより疎水性にして、またトナー粒子表面の表面エネルギーをより低くし、またトナー流動性を改善して、トナー粒子の凝集性を低くし、特に周囲温度におけるトナーのブロッキングを低減する。 - 特許庁

Here, a groove 32 for opening to the side is provided in the detection surface 31 of the element 30, and so excess ultrasonic transmission medium can smoothly flow from the detection surface 31 to the side and the ultrasonic transmission medium becomes a constant thickness in a short time.例文帳に追加

ここで、素子３０の検出面３１には、側方に開放する溝３２が設けられているから、その溝３２に沿って余分な超音波伝導媒質が検出面３１より側方にスムーズに流れることができ、短時間で超音波伝導媒質が一定の厚さになる。 - 特許庁

To improve energy saving performance while preventing dew condensation on a surface of a floor material 18 and obtaining a stable floor surface temperature, in a heat pump type floor cooling device supplying cold water cooled by a heat pump device 30 to a water flow channel 16 of a floor material 18.例文帳に追加

ヒートポンプ装置３０で冷却した冷水を床材１８の水流路１６に供給するヒートポンプ式の床冷房装置において、床材１８表面に結露が発生せずかつ安定した床表面温度が得られるようにしつつ、その省エネルギー性を高める。 - 特許庁

In the method of washing the inside of the piping, a spiral element molded into the shape of spirally twisting a plate is inserted into the piping, the flow speed of washing liquid on a wall surface inside the piping is increased and thus deposit on the wall surface inside the piping is washed.例文帳に追加

配管内に、平板を螺旋状に捻った形状に成形した螺旋状エレメントを挿入し、配管内壁面における洗浄液の流速を高めることにより配管内壁面の付着物を洗浄することを特徴とする配管内の洗浄方法である。 - 特許庁

The sample retaining tray used in a tissue sample treatment system includes a reagent reservoir which defines a reagent retaining recess, a sample retaining part which defines a platen including a reagent surface, and a fluid flow part adapted to attain fluid connection of the reagent retaining recess with the reagent surface.例文帳に追加

組織サンプル処理システムにおいて用いられるサンプル保持トレイであって：試薬保持凹部を規定する試薬保持部分；試薬表面を含むプラテンを規定するサンプル保持部分；および該試薬保持凹部を該試薬表面と流体連絡に置くような形態である流体流れ部分を備える、サンプル保持トレイ。 - 特許庁

In addition, the water vapor component generated by the sublimation is removed from the substrate surface Wf together with the flow of the nitrogen gas for freeze dry, whereby the water vapor component can securely be prevented from returning to the liquid phase and the solid phase and reattaching to the substrate surface Wf.例文帳に追加

また、昇華により発生した水蒸気成分は凍結乾燥用窒素ガスの気流に乗って基板表面Ｗｆから取り除かれるため、水蒸気成分が液相や固相に戻り基板表面Ｗｆに再付着するのを確実に防止することができる。 - 特許庁

In this blower having an impeller 1 formed of the plurality of solid resin or metal blades 3, a plurality of independent through holes 7 generating the leak flow for reducing noise are formed in the blades 3 of the impeller 1 starting at the pressure surface 5 to the negative pressure surface 6 thereof.例文帳に追加

複数枚の翼３が中実の樹脂又は金属で構成される羽根車１を有する送風機において、上記羽根車１の翼３には、その圧力面５から負圧面６にかけて、騒音低減用の漏れ流れを発生する独立した貫通孔７を複数設けたものである。 - 特許庁

To provide a method and an apparatus for cleaning a reverse osmosis membrane module, capable of effectively removing dirt sticking to the upstream surface of a reverse osmosis membrane element into which crude water flows, by allowing a cleaning liquid to flow over the upstream surface of the element without allowing the cleaning liquid to pass therethrough.例文帳に追加

逆浸透膜エレメントに対して原水が流入する上流側の表面部に付着する汚れを、該エレメントに洗浄液を透過させずに表面部分だけに流して汚れを効果的に取り除く逆浸透膜モジュールの洗浄方法および装置を提供することを課題とする。 - 特許庁

The semiconductor layer 20 has a p-n junction that prevents flow of leakage current from the lower electrode 8 to the surface electrode 7, and the semiconductor layer 20 constitutes a reverse preventing means for preventing the flowing, of the leakage current, from the lower electrode 8 to the surface electrode 7.例文帳に追加

半導体層２０は、下部電極８から表面電極７へリーク電流が流れるのを阻止するｐｎ接合を有しており、半導体層２０が、下部電極８から表面電極７へリーク電流が流れるのを阻止する逆阻止手段を構成している。 - 特許庁

In this case, since the underwater agitating device 8 is positioned at the position nearer to water surface by the positioning device 32, the flow rate near the water surface is increased at anaerobic treatment at which aeration is not performed and the sticking of the floating scum on the inner wall of the treating tank is sufficiently prevented.例文帳に追加

この場合、位置決め装置３２により水中攪拌装置８がより水面付近の位置に位置決めされるので、曝気を行わない嫌気処理時において水面付近の流速を大きくすることが可能となり、処理槽内壁への浮遊スカムの付着を十分に防止できる。 - 特許庁

To provide a wood powder compounded resin molded body which can reduce a flow rate difference between the resin of a surface layer portion and the resin of a base material and mold a desired molded body in a wood powder compounded product in which only a part of the base material is coated with the surface layer.例文帳に追加

基材部の一部分のみを表層によって被覆するような木粉配合製品において、表層部の樹脂と基材部の樹脂との間の流速差を低減し、所望の成形体を成形することが可能である木粉配合樹脂成形体を提供する。 - 特許庁

One end (cathode end) of each of separation flow channels 12 is connected to each of small capacity reservoirs 14a being sample reservoirs respectively opened to the surface of a substrate and a large capacity reservior 16a having a size enough to include all of the small capacity reservoirs 14a is surrounded by a wall 8 to be formed on the surface of the substrate.例文帳に追加

各分離流路１２の一端（カソード端）は、基板表面に開口したそれぞれのサンプルリザーバである小容量リザーバ１４ａに接続され、基板表面には全ての小容量リザーバ１４ａを含む大きさの大容量リザーバ１６ａが壁８で囲まれて形成されている。 - 特許庁

A baffle plate 1 protruding from a wall surface 6 of the passage 4 toward the side of the inner diameter is arranged, and the spraying outlet 5 is arranged in the wall surface 6 of the passage 4 facing the feedback area which is formed by the baffle plate 1 downstream of the baffle plate 1 and where the flow heads toward upstream.例文帳に追加

流通路４の壁面６から内径側に突出して形成される邪魔板１を設けるとともに、邪魔板１により当該邪魔板１の下流側に形成され、流れが上流方向に向かう帰還領域に面する流通路４の壁面６に、噴出口５を設ける。 - 特許庁

By applying voltage from a power supply 5 before electrons 6 and holes 7 are recoupled, that is, simultaneously with irradiation with light, electrons 6 flow to the positive pole of the power supply 5 and holes 7 remain on the surface 4 of the photocatalyst and the lowering of the density of the holes 7 on the surface 4 of the photocatalyst can be prevented.例文帳に追加

電子６と正孔７は再結合する前に、即ち、光照射と同時に電源５により電圧を印加させることで、電子６は電源５の正極に流れ、正孔７が光触媒表面４に残ることとなり、光触媒表面４の正孔密度の低下を防止できる。 - 特許庁

A mammography apparatus 10 is provided with a cold air supply unit 46 for making cooling air flow from the back surface side of the radiation detector 32 to the front surface side through a narrow-width space 78 formed between the end part 32a of the radiation detector 32 and the side face 80 of a case body 30.例文帳に追加

マンモグラフィ装置１０は、放射線検出器３２の端部３２ａと筐体３０の側面８０との間に形成された幅狭な空間７８を介して、放射線検出器３２の背面側から正面側へと冷却空気を流す冷風供給ユニット４６を備える。 - 特許庁

In applying interior carbon on the inner surface of the funnel of the cathode ray tube (1) by the flow coat mode when or after the interior carbon (5) poured on the inner surface of the funnel (1) passes an area where the getter container of the funnel (1) is provided, air is sprayed on a spot.例文帳に追加

陰極線管のファンネル（１）内面にフローコート方式にて内装カーボンを塗布するに際し、ファンネル（１）内面に注入された内装カーボン（５）が、ファンネル（１）のゲッター容器が設けられる領域を通過する際かまたは通過した後に、スポット的にエアーを吹き付ける。 - 特許庁

In the dual-wavelength semiconductor laser light source device 1, one semiconductor laser chip 11 is fixed on an upper surface 3a of a submount 3, the other semiconductor laser chip 12 is mounted on an upper surface 3a of the submount, small currents are made to flow in both of the semiconductor laser chips 11, 12, and lights are generated.例文帳に追加

２波長半導体レーザ光源装置１において、サブマウント３の上面３ａに一方の半導体レーザチップ１１を固着し、次に、他方の半導体レーザチップ１２をサブマウント上面３ａに載せて、双方の半導体レーザチップ１１、１２に小電流を流して発光させる。 - 特許庁

This polishing method is characterized by guiding a jet so as to flow along the processing surface 10 of the workpiece, by sucking the jet, by generating the jet of the abrasive by injecting the abrasive into the processing surface 10 of the workpiece together with a compressed fluid.例文帳に追加

被加工物の加工表面１０に対して圧縮流体と共に研磨材を噴射して研磨材の噴流を生じさせると共に、前記噴流を吸引して、該噴流が前記被加工物の加工表面１０に沿って流れるよう誘導することを特徴とする。 - 特許庁

To provide a technology for a spark plug which can attain both roles of accepting spark discharge made to flow from a proper discharge gap in order to restrain cutoff of the spark discharge, and effecting surface discharge for burning off carbon adhered on the surface of an insulator.例文帳に追加

点火プラグにおいて、副接地電極に、火花放電の切断を抑制するために正規放電ギャップから流された火花放電を受け止める役割と、絶縁碍子表面に付着したカーボンを焼失させるために沿面放電を行わせる役割と、を両立させる技術を提供する。 - 特許庁

The slider is provided with a negative pressure cavity 44 defined by a recess to generate a negative pressure, and a pad part 50 positioned on the downstream side of the air flow with respect to the negative pressure cavity and having a projected surface 50a disposed to project from the opposite surface and to face the recording medium.例文帳に追加

スライダは、凹所により規定され負圧を発生させる負圧キャビティ４４と、負圧キャビティに対して空気流の下流側に位置し、対向面に突出して設けられているとともに記録媒体に対向する突出面５０ａを有したパッド部５０と、を有している。 - 特許庁

To provide a drawer type heating cooker capable of facilitating observation of the inside of a heated object storage part from outside through a door glass by preventing steam generated from an object to be cooked during heating from coming into contact with the inner surface of a door due to a descending air flow flowing along the inner surface of the door.例文帳に追加

ドア内面に沿って流れる下降気流によって加熱の際に調理物から発生した水蒸気がドア内面に触れるのを防止することにより、ドアガラスを通して外部から加熱物収容部内の観察を容易とすることができる引出し型加熱調理器を提供する。 - 特許庁

At this time, the desulfurization reaction can be proceeded more efficiently by further blowing the carrier gas from the top-blowing lance toward the surface of the molten pig iron after the addition of the desulfurizing agent has been completed, and by setting a flow rate of the carrier gas which collides with the bath surface of the molten pig iron at 10 m/second or more.例文帳に追加

その際に、前記脱硫剤の添加完了後、更に、上吹きランスから搬送用ガスを溶銑表面に向けて吹き付けること、及び、溶銑の浴面に衝突する搬送用ガスの流速を１０ｍ／秒以上とするなどにより、脱硫反応を効率良く行うことができる。 - 特許庁

In the bonded article 1 made of the resin, a ridge 22 for constituting the flow channel 13 is formed on the surface side, to which a second resin member 3 is bonded, of a first resin member 2, and the first resin member 2 and the second resin member 3 are bonded by the upper end surface 220 of the ridge 22.例文帳に追加

樹脂製接合品１において、第１樹脂部材２において第２樹脂部材３と接合された面側には、流路１３を構成するための突条部２２が形成され、突条部２２の上端面２２０で第１樹脂部材２と第２樹脂部材３とが接合されている。 - 特許庁

A bottom surface 116 of a recess 111 includes: an opening 114a of an ink flow path communicating with an ink supply port; a groove 116 extending along an electrical connection non-formed surface 118b between a primary plane 124 and a sidewall of the recess.例文帳に追加

凹部１１１の底面１１６は、インク供給口と連通するインク流路の開口１１４ａと、インク流路の開口の周囲を延びる主平面１２４と、主平面と凹部の側壁との間を電気接続部非形成側面１１８ｂに沿って延びる溝部１１６と、を含んでいる。 - 特許庁

A separation distance between the gas distribution plate 13 and the annular holder 16 is set such that a film forming gas 21 which flows downward from the gas supply port 12 through the gas distribution plate 13 is in a laminar flow state on a surface of the semiconductor wafer W or a surface of the annular holder 16.例文帳に追加

ガス整流板１３と環状ホルダー１６の離間距離は、ガス供給口１２からガス整流板１３を通り流下する成膜用ガス２１が半導体ウェーハＷ面上あるいは環状ホルダー１６面上で整流状態になるように設定されている。 - 特許庁