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underlying layerの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 368件
This device has an opening 32 formed on an underlying substrate 10, an insulating barrier layer 34 for prevention of Cu diffusion, and an electrically conductive layer 36 comprising a Cu layer formed inside the opening 32, wherein the insulating barrier layer 34 is either of a silicon base insulating layer containing carbon and fluorine, an organic film, or a C-axis-oriented BN(boron nitride) film.例文帳に追加
下地基板10上に形成され、開口部32を有し、Cuの拡散を防止するバリア絶縁層34と、開口部32内に形成されたCu層より成る導電層36とを有し、バリア絶縁層34は、炭素とフッ素とを含むシリコン系絶縁層、有機膜、又はC軸方向に配向されたBN膜のいずれかである。 - 特許庁
Embodiments of MEMS devices includes a conductive movable layer spaced apart from a conductive fixed layer by a gap, and supported by rigid support structures, or rivets, overlying depressions in the conductive movable layer, or by posts underlying depressions in the conductive movable layer.例文帳に追加
MEMSデバイスの実施形態は、導電性の移動可能層を含み、該移動可能層は、ギャップによって導電性の固定層から隔てられ、導電性の移動可能層内のくぼみの上にある剛性の支持構造もしくはリベットによって、または導電性の移動可能層内のくぼみの下にある柱によって支持される。 - 特許庁
It is possible to form an electrode pattern of any given shape with high precision equivalent to scanning precision of laser beam, and thanks to the existence of the intermediate layer, it is possible to secure protection of a DAE underlying layer, shape maintenance and improvement of emission efficiency, or the like.例文帳に追加
任意の形状の電極パターンをレーザー光の走査精度と同等の精度で高精度に形成することができ、中間層の存在で、DAE下地層の保護、形状保持、発光効率向上などが可能となる。 - 特許庁
To provide a method for producing a conductive rubber roller in which the cell distribution of a foamed rubber layer is uniform and which has uniform hardness and resistance and a roller for an electrophotographic device which is produced by the method and makes the rubber roller an underlying layer member.例文帳に追加
発泡ゴム層のセル分布が均一で且つ、硬度、抵抗ムラの無い導電性ゴムローラーの製造方法およびこの方法で製造した導電性ゴムローラーを基層部材とする電子写真装置用ローラーを提供する。 - 特許庁
The manufacturing process for the semiconductor has applying, after forming a resist pattern on an underlaying layer, the thickening material to the surface of the resist pattern to be thickened, and patterning the underlying layer by etching, the pattern as a mask.例文帳に追加
下地層上にレジストパターンを形成後、該パターン表面に前記厚肉化材料を塗布し該パターンを厚肉化する工程と、該パターンをマスクとしてエッチングにより下地層をパターニングする工程とを含む半導体装置の製造方法。 - 特許庁
An end portion 17-2 of the gate electrode 17 is formed on an underlying metal 18 formed by a metal containing Ti via an insulating film 14 on a GaN buffer layer 12 surrounding the undoped AlGaN layer 13.例文帳に追加
このゲート電極17は、その端部17−2がアンドープAlGaN層13の周囲のGaNバッファ層12上に絶縁膜14を介してTiを含む金属で形成された下地金属18上に形成されている。 - 特許庁
A first layer STO film 17a composed of a metal oxide having perovskite structure and becoming the underlying dielectric film 16a of the capacitor dielectric film 16 is formed to cover the exposed surface of the Sr oxide layer 15.例文帳に追加
Sr酸化物層15の露出表面を覆うように、キャパシタ誘電体膜16の下層誘電体膜16aとなる、ペロブスカイト型結晶構造を有する金属酸化物からなる第1層目のSTO膜17aを成膜する。 - 特許庁
The method includes bringing the coated super alloy article into contact with a preselected chemical stripping solution for a preselected period of time sufficient to remove only the outer aluminide layer (14), without substantially affecting the diffusion layer (16) underlying the outer aluminide layer (14).例文帳に追加
この方法では、被覆された超合金物品を、外側のアルミ化物層(14)の下の拡散層(16)には実質的に影響を及ぼすことなく、外側のアルミ化物層(14)のみを除去するのに十分な所定時間所定の化学ストリッピング溶液に接触させる。 - 特許庁
A semiconductor device 15 is created by partially cooling the device regions 6 partitioned by the separating grooves 7 while holding the device regions by an absorption member 8 having a cooling mechanism, and by separating the semiconductor device constituting layer 3 from the substrate 1 using the low-intensity underlying layer 2 as the peeling layer.例文帳に追加
分割溝7で区画された素子領域6を、冷却機構を有する吸着部材8で保持しつつ局所的に冷却することにより、低強度下地膜2を剥離層として半導体素子構成層3を基板1から分離して半導体素子15を作製する。 - 特許庁
To provide manufacturing method of a gas discharge type display apparatus being able to restrain generation of air bubble in a dielectric layer formed in simple process without much energy required when burning, in forming the dielectric layer, barrier rib underlying layer or a barrier rib.例文帳に追加
グリーンシートを用いて誘電体層や隔壁下地層或は隔壁を形成する上で、工程が簡素で、焼成時に多くのエネルギを要することなく、形成される誘電体層などに気泡が生じるのを抑制することのできるガス放電型表示装置の製造方法を提供する。 - 特許庁
As the dips in the bumps and dips due to the underlying layer metal wiring are utilized, the noise shield wiring can be formed with a number of designing man-hours and a number of manufacturing man-hours smaller than those in the conventional art.例文帳に追加
下地メタル配線による凹凸形状の凹部を利用することで、従来技術に比べて少ない設計工数、製造工数でノイズシールド配線の形成が可能となる。 - 特許庁
To provide a semiconductor device in which a thermosensitive element can be disposed in a state where the element is electrically separated from a semiconductor substrate without being limited by the diffusing structure of a semiconductor layer underlying the thermosensitive element.例文帳に追加
感熱素子下の半導体層の拡散構造に制限されることがなく、感熱素子を半導体基板と電気的に分離して配置できる半導体装置を提供する。 - 特許庁
To restrain a junction leakage from occurring by decreasing over- etching on the surface of an underlying diffusion layer in amount so as to prevent damage and erosion when a contact hole with a high aspect ratio is provided by etching.例文帳に追加
アスペクト比の大きいコンタクトホールエッチング時に、下地拡散層の表面に施されるオーバーエッチング量を低減し、ダメージ・浸食を抑えることで接合リークの発生を抑制する。 - 特許庁
To provide compositions useful as an underlying antireflective coating composition (ARC) employed with an overcoated photoresist layer in the manufacture of microelectronic wafers and other electronic devices.例文帳に追加
マイクロエレクトロニックウェハおよび他の電子デバイスの製造において、オーバーコートされたフォトレジスト層とともに用いられる下層反射防止コーティング組成物(ARC)として有用な組成物を提供する。 - 特許庁
Subsequently, a silicon nitride film is formed on a semiconductor substrate 10 using a single wafer low pressure thermal CVD system where the thickness of a film to be formed depends on the coarseness of an underlying layer.例文帳に追加
続いて、下地の疎密により形成される膜の膜厚が異なる枚葉式の減圧熱CVD装置を使用して、半導体基板10上に窒化シリコン膜を形成する。 - 特許庁
As a result, before abnormal film formation takes place in W nuclei, W nuclei 16 can be uniformly formed on the entire surface of the TiN film 13 as an underlying adhesion layer.例文帳に追加
これにより下地密着層としてのTiN膜13の表面には、W核において異常成膜が発生する前に、W核16が全体に渡って均一に形成される。 - 特許庁
Separation grooves 7 are subsequently formed on the substrate 1 having the semiconductor device constituting layer 3 in accordance with the plurality of device regions 6 such that at least the low-intensity underlying film 2 is cut.例文帳に追加
次いで、少なくとも低強度下地膜2が切断されるように、半導体素子構成層3を有する基板1に複数の素子領域6に応じて分割溝7を形成する。 - 特許庁
To improve the corrosion resistance of electroconductive particles comprising substrate particulates and a metallic coating layer arranged on the substrate particulates, and to inhibit the elusion and corrosion of an underlying metal.例文帳に追加
基材微粒子、および基材微粒子上に設けられた金属被覆層を有する導電性粒子において、耐蝕性を向上させ、下地金属の溶出や腐食を抑制する。 - 特許庁
To provide the forming technology of multi-layers wiring capable of preventing the generation of pin holes on an etching stopper film upon forming a wiring, and suppressing the dissolution of Cu (copper) in an underlying wiring layer.例文帳に追加
配線形成時において、エッチングストッパー膜にピンホールが発生することを防止して下層配線層Cuの溶解を抑制できる多層配線形成技術を提供する。 - 特許庁
After an underlying layer 13 with a film thickness of 3 μm made of GaN is formed on a substrate 11 made of sapphire having a C plane as a main surface, the temperature of the substrate 11 is decreased to 810°C.例文帳に追加
C面を主面に持つサファイアからなる基板11の上に、GaNからなり、膜厚が3μmの下地層13を形成した後、基板11の温度を810℃にまで降温する。 - 特許庁
The capacitor is formed by forming a lower metal layer of at least one kind of valve metal selected from aluminum, tantalum, niobium, tungsten, vanadium, bismuth, titanium, zirconium or hafnium, a dielectric layer composed of an oxide of valve metal in the lower metal layer, an intermediate layer of solid state electrolyte, and an upper metal layer of electrode metal sequentially on an underlying wiring layer in a circuit board.例文帳に追加
回路基板の内部で、下方の配線層の上に、アルミニウム、タンタル、ニオブ、タングステン、バナジウム、ビスマス、チタン、ジルコニウム又はハフニウムから選ばれた少なくとも1種類のバルブ金属からなる下部金属層、下部金属層のバルブ金属の酸化物からなる誘電体層、固体電解質からなる中間層及び電極金属からなる上部金属層をこの順に積層することによって、キャパシタを形成する。 - 特許庁
To provide a plasma treatment method capable of preventing the depletion of a wiring layer by removing a mask, while maintaining even thickness of an underlying film by preventing the generation of reaction active species of fluorine caused by a by-product due to etching when removing the mask, and reducing subsequent underlying film overetching time.例文帳に追加
マスクを除去する時にエッチングによる副生成物に起因するフッ素の反応活性種の生成を防止して下地膜の膜厚を均一に保ちながらマスクを除去して、その後の下地膜のオーバーエッチングの時間を少なくして配線層の減少を抑制することができるプラズマ処理方法を提供する。 - 特許庁
In the color organic EL display 100 in which the color filter layer 13, the gas barrier layer 20 and the organic EL structure 30 are laminated in the order on a substrate 11, an underlying part of the gas barrier layer 20 is one subjected to degasification treatment, and is formed by the atomic layer growth method at a temperature equal to or lower than the decomposition initiating temperature of the color filter layer 13.例文帳に追加
基板11上にカラーフィルタ層13、ガスバリア層20、および有機EL構造体30が順次積層されてなるカラー有機ELディスプレイ100において、ガスバリア層20の下地部分は、脱ガス処理を施されたものであり、ガスバリア層20は、カラーフィルタ層13の分解開始温度以下の温度にて原子層成長法を行うことにより形成されたものである。 - 特許庁
The polishing pad comprises a hard layer (2) having a face for polishing the surface of a substrate to be polished and supplied with an abrasive, and an underlying high heat conductivity layer (3) having a thermal conductivity of 0.3 w/(mdeg) or above.例文帳に追加
研磨剤が供給され、被処理基板の被研磨面を研磨する研磨面を有する硬質層(2)と、この硬質層の下に配置された熱伝導率0.3w/(m・deg)以上の高熱伝導性層(3)とを具備することを特徴とする。 - 特許庁
Since an overhung portion exists, a carbon nanotube which began to grow from the pattern region of one catalytic function metal layer can be prevented drastically from touching the underlying insulating layer or substrate and crosslinking can be carried out effectively.例文帳に追加
オーバーハング部の存在により、一方の触媒機能金属層のパターン領域から成長を開始したカーボンナノチューブが、下層の絶縁層や基板との接触するのを大幅に防ぐことが可能となり、架橋を効果的に行うことができる。 - 特許庁
Selected portions of the oxide layer have been removed to reveal the underlying carbon steel material so as to provide indicia on the surface of the blade by virtue of a color contrast between the colored oxide layer and the revealed carbon steel material.例文帳に追加
前記酸化被膜の選択された部分は前記下層の炭素鋼材料が露出されるように除去されて、当該酸化被膜と前記露出された炭素鋼材料との間の色の対比によって前記刃の表面に印章が提供される。 - 特許庁
A silicon oxide film is formed on the surface of a silicon substrate 101, ions are implanted in a region on the lower layer side than the silicon oxide film, and then heat treatment is performed to form an underlying layer 102 made of single crystal silicon subjected to the ion implantation.例文帳に追加
シリコン基板101の表面にシリコン酸化膜を形成し、その後、前記シリコン酸化膜よりも下層側の領域にイオン注入を行い、次いで熱処理して、イオン注入された単結晶のシリコンからなる下地層102を形成する。 - 特許庁
Since a III nitride compound semiconductor element thus obtained has hexagonal prisms on the surface, strain is relaxed between the III nitride compound semiconductor layer and the substrate including the underlying layer.例文帳に追加
このように構成されたIII族窒化物系化合物半導体素子によれば、その表面が六角錐台の凸部を有する形状とされることにより、III族窒化物系化合物半導体層と下地層を含めた基板との間の歪みが緩和される。 - 特許庁
In the welding method which performs welding cladding layer (welding layer) by PTA on the surface of a underlying layer 11 or mother material 10 being a substrate, anticipating the content of the substrate 10, 11 which is melted into the content of welding powder by dilution in the cladding layer 20 after welding, the percent composition of the welding powder and the substrate are predetermined.例文帳に追加
下地部材である母材10または下盛層11の表面に、PTAにより肉盛層(溶接層)20を溶接する方法において、溶接後の肉盛層20において、溶接用パウダーの成分に対して希釈により溶け込む下地部材10、11の成分を見込んで、溶接用パウダーの成分比と下地部材の成分比を予め設定する。 - 特許庁
The thin film electronic component comprises a supporting substrate 1, a thin film capacitor element A provided on the supporting substrate 1 while having electrode layers 5a and 7a and a dielectric layer 3, and a protective layer B covering the thin film capacitor element A wherein an underlying insulator layer 9 of the same component as the dielectric layer 3 is formed on the supporting substrate 1.例文帳に追加
支持基板1と、該支持基板1上に設けられ、電極層5a、7aと誘電体層3とを有する薄膜コンデンサ素子Aと、該薄膜コンデンサ素子Aを被覆する保護層Bを有する薄膜電子部品であって、該誘電体層3を構成する同一成分の下地絶縁体層9を該支持基板1上に形成した。 - 特許庁
Pervious concrete pavement of the two-layer structure of the underlying layer section and the surface layer section using 79.38% of silica rocks (0-2.5 mm), 15% of cement (normal Portland cement or white cement), 0.02% of a binder, 5% of pigment cement and 6% of water as the surface-layer-section pervious concrete is manufactured and laid.例文帳に追加
表層部透水性コンクリートとして珪石(0〜2.5mm)79.38%、セメント(普通ポルトランドセメント又はホワイトセメント)15%、結合剤0.02%、顔料セメント比5%、水6%として、基層部および表層部からなる二層構造の透水性コンクリート舗装を製造打設することにより課題解決を提供することが出来た。 - 特許庁
Subsequently, electroformating is carried out using the underlying layer 8 for plating in the groove 6 of the glass original plate 4 as an electrode and the nozzle substrate body 2 is stripped from the glass original plate 4 thus producing a nozzle plate.例文帳に追加
次いで、ガラス原板4の溝6内のメッキ用下地8を電極にして電鋳し、電鋳後にガラス原板4からノズル基板本体2を剥離することにより、上記構成のノズル基板をつくる。 - 特許庁
Even if the authenticity determining medium 1 is peeled from a peeling boundary 11, the security nature can be maintained by the polarization effect of the color variable printing layer 3a or 3b of the underlying hologram.例文帳に追加
万が一、真贋判定用媒体1が剥離界面11より剥がされたとしても、下地のホログラムの色彩可変印刷層3aもしくは3bの偏光効果により、セキュリティ性を保持できる。 - 特許庁
The element main body is held by a holding member 38 wherein a holding hole 36 for holding detachably the element main body 10 is formed so that the underlying layer formed at the end of the element main body 10 may be exposed.例文帳に追加
素子本体10の端部に形成された下地層が露出するように、当該素子本体10を着脱自在に保持する保持孔36が形成された保持部材38で素子本体を保持する。 - 特許庁
To provide a waterproof underlying sheet which eases the level difference and unevenness of a surface of a heat insulating material and enables the installation of a waterproof layer on the smooth surface, and to provide a waterproof structure and a waterproofing method using the same.例文帳に追加
断熱材表面の段差や凹凸を緩和して平坦な面上に防水層を設けることができる防水下地シート、及びこれを用いた防水構造と防水工法の提供。 - 特許庁
To provide a method for etching and removing an underlying dielectric film from a via bottom so that the decrease of an upper layer insulating film is eliminated, and no etching residue is left remained on the inner wall surface of the via.例文帳に追加
ビアボトムの下地誘電体膜を、上層絶縁膜の膜減りをなくし、また、ビアの内壁面にエッチング残さを残さないでエッチング除去する方法及び半導体装置の製造方法の提供。 - 特許庁
A second insulating film is formed on the underlying electrode pad layer, and a resist mask having a plurality of openings is formed in each region belonging to the first and second regions on the second insulating film.例文帳に追加
下層電極パッド層の上に第2の絶縁膜を形成し、第2の絶縁膜上の第1および第2領域に属する各領域に複数の開口部を有するレジストマスクを形成する。 - 特許庁
To reduce the defects caused by recessed and projecting sections formed when contact holes are formed by relieving the recessed and projecting sections even when the diameters of openings forming contacts with an underlying layer has large diameters (≥1 μm).例文帳に追加
本発明では、下層とのコンタクトを形成する開口部の直径が大きく(1μm以上)ともコンタクトホール起因の凹凸を緩和し、それが原因でなる不良を低減することを目的とする。 - 特許庁
In a wiring pattern forming method where an underlying layer is formed on a base by a liquid containing a cationic compound and conductive ink having a zeta potential of -100 to 0 mV is injected onto the underlying layer by an inkjet recorder, the cationic compound contains a cationic surfactant or at least one of cationic polymers having a molecular weight of 100 to 100,000.例文帳に追加
基材にカチオン性化合物を含む液体により下引き層を形成し、その上にゼータ電位が−100mV以上、0mV以下である導電性インクをインクジェット記録装置で射出する配線パターン形成方法において、カチオン性化合物としてカチオン性界面活性剤または分子量が100以上100000以下のカチオン性ポリマーの少なくとも一つを含むことを特徴とする配線パターン形成方法。 - 特許庁
In a MIS-type GaN-FET, a conductive nitride, in which oxygen is not included on a surface layer 5 being a nitride semiconductor layer, here, an underlying layer 9 made of TaN, is arranged so as to cover the lower face of a gate insulating film 11, made of Ta_2O_5, at least immediately under a gate electrode 12.例文帳に追加
MIS型のGaN−FETにおいて、少なくともゲート電極12直下におけるTa_2O_5からなるゲート絶縁膜11の下面を覆うように、窒化物半導体層である表面層5上に酸素を含有しない導電性窒化物、ここではTaNからなる下地層9を配する。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing a multi-junction photoelectric conversion device which restrains current leakage from an intermediate contact layer by dividing the intermediate contact layer without affecting an underlying layer so as to suppress deterioration in power generation efficiency and reduces an ineffective area generating no electric power so as to enhance power generation efficiency.例文帳に追加
下側層に影響せずに中間コンタクト層を分割し、中間コンタクト層からの電流漏れを抑制し、発電効率の低下を抑制できるとともに発電を行わない無効領域を小さくし、発電効率を向上させることができる多接合型光電変換装置の製造方法を提供する。 - 特許庁
Subsequently, a light absorbing antireflective coating material is deposited on the interlayer insulating layer to form a light shield and is followed by another planarized IMD layer so as to reduce the transmission of the incident light toward the underlying active devices.例文帳に追加
その後、本発明の実施形態では、光吸収反射防止コーティング材料を層間絶縁層の上に析出し、光シールドを形成し、それに他のプレーナ処理したIMD層が続き、下に存在する能動デバイスに向かう入射光の透過を低減するようにする。 - 特許庁
The coating composition can provide enhanced resolution of a patterned overcoated photoresist layer and includes the use of a low-activation temperature thermal acid generator, as well as, multiple thermal treatment to process a layer of the underlying coating composition.例文帳に追加
本発明の好ましいコーティング組成物および方法は、パターン化されたオーバーコートしたフォトレジスト層の解像度の向上を提供することができ、下地のコーティング組成物の層を処理するため、多重の熱処理と共に低活性化温度熱酸発生剤の使用を含む。 - 特許庁
Since the part of the lower- layer wiring 3 underlying the upper-layer wiring 4 is made larger in thickness, the wiring 3 becomes larger in thickness and the resistance of the wiring 3 becomes smaller, and in addition, since the interlayer insulating film 2 becomes smaller in thickness in the overlapped part, the electrostatic capacitance between the wiring 3 and 4 becomes larger and power supply noise is reduced.例文帳に追加
下層配線3の上層配線4との重なり部分を厚くすることで、配線が太くなるため、抵抗が小さくなり、また、層間絶縁膜2がその部分で薄くなるので、静電容量が大きくなり、電源ノイズの低減が実現する。 - 特許庁
In the thin film semiconductor device 10, a semiconductor film 13, a gate insulating film 18, and a gate electrode 21 are formed in a planar shape without being provided with patterns or the like, and underlying layers of the semiconductor layer 13 and gate insulating layer 18 are not formed with layers that cause level differences.例文帳に追加
薄膜半導体装置10は、半導体膜13、ゲート絶縁膜18、ゲート電極21まではパターンなどを設けないで平坦なまま形成され、さらに半導体層13、ゲート絶縁膜18の下層には段差を生じさせる層が形成されていない。 - 特許庁
By using enhancements to the standard ATM SPVC/SVC signaling messages, a layer 3 IP path-specifying processes on multi-service switches at the opposite ends of the network allow a traffic to flow in transparent manner via an underlying layer 2 virtual connection.例文帳に追加
標準ATM SPVC/SVC信号送信メッセージに対する強化を使用して、ネットワークの反対側エンドのマルチサービススイッチでのレイヤ3IP経路指定プロセスは、トラフィックが、下にあるレイヤ2仮想接続を介してトランスペアレントに流れることを可能にする。 - 特許庁
To provide a metal fine particle-containing resin particle, a metal fine particle-containing resin layer and a method for forming the metal fine particle-containing resin layer by which an efficient electroless plating is made possible and a more uniform metal conductive pattern layer is formed by forming a layer which allows an easy control of the etching thickness on the surface of an underlying pattern layer forming a pattern.例文帳に追加
パターンを形成する下地パターン層の表面にエッチングする厚さを容易にコントロールすることができる層を形成することにより、効率的な無電解めっき処理が可能となり、より均一な金属導体パターン層を形成することができる金属微粒子含有樹脂粒子、金属微粒子含有樹脂層および金属微粒子含有樹脂層の形成方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
The wiring board having a glass layer 2 deposited to the upside of an insulation board 1 and a plurality of wiring conductors 3 deposited to the glass layer 2 comprises many trenches 1a approximately parallel underlying the wiring conductors 3, in the transverse direction on the upside of the board 1 and an air layer 4 between the inner surfaces of the trenches 1a and the glass layer 2.例文帳に追加
絶縁基板1の上面にガラス層2を被着させるとともに、該ガラス層2上に複数個の配線導体3を被着させてなる配線基板において、前記絶縁基板1は、その上面に、前記配線導体3の直下を横断する方向に略平行に配された多数の溝1aを有し、且つ該溝1aの内面とガラス層2との間に空気層4を設ける。 - 特許庁
A pair of excitation electrodes 13, formed on the opposite sides of a crystal oscillating element 11 and a lead electrode 14 extending to one end thereof comprise an electrode film of three layer structure, including an underlying metal layer 18a of Cr, Ni, Ti, Al or Ag exhibiting high affinity to crystal, an Au layer 18b formed thereon, and a Cr surface layer 18c formed further thereon.例文帳に追加
水晶振動片11の両面に形成した1対の励振電極13及びその一端に延出させた引出電極14は、水晶との馴染みが良いCr、Ni、Ti、Al又はAg等の下地金属層18a、その上にAu層18b及び更にその上にCr表面層18cを積層した3層構造の電極膜から構成される。 - 特許庁
Direction B of a resonator is set in the <11-20> direction of the underlying layer 3 and differentiated by 90° from the extending direction A of mask opening and a pair of resonator edges 16, 17 are formed in the direction B of the resonator.例文帳に追加
共振器方向Bを下地層3の<11−20>方向としてマスク開口延長方向Aと90度異ならせ、共振器方向Bに一対の共振器端面16,17をそれぞれ形成する。 - 特許庁
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