「upper surface」に関連した英語例文の一覧と使い方(515ページ目) - Weblio英語例文検索

A shutter plate 21, moving between the opening position opening the through hole 31b and a closing position that closes the through-hole 31b, is provided, and a downward depressed circular recessed part 21a is formed to the upper surface of the shutter plate 21 and a pressure-sensitive adhesive sheet 23 is provided on the bottom base of the circular recessed part 21a.例文帳に追加

貫通孔３１ｂを開く開位置と貫通孔３１ｂを閉じる閉位置との間で移動するシャッター板２１を備えるとともに、そのシャッター板２１の上面には下方に窪む円形凹部２１ａが形成され、かつ円形凹部２１ａの底面に粘着シート２３が設けられている。 - 特許庁

Holding portions (11 and 13) for elastically receiving and supporting outer peripheral side faces of the hard disk 10 to limit fore-and-aft and right- and-left movement of the hard disk 10 in the case body 1 are integrally molded on the internal surface of at least one of the upper and lower cases 1a and 1b.例文帳に追加

上下ケース１ａ・１ｂの少なくとも一方の内面には、ハードディスク１０の外周側面を弾性的に受け止め支持して、ケース本体１内におけるハードディスク１０の前後左右方向への遊動を規制する保持部（１１・１３）が一体に成形されている。 - 特許庁

The swivel base has a first rotating plate 10 supported on a tabular substrate 4 freely rotatably around a revolving shaft 8 and has a spur gear 30 to which a driving force for rotating the first rotating plate 10 around the revolving shaft 8 is transmitted in the outer peripheral part thereof and has first attaching parts 40a and 40b to a TV receiver on the upper surface thereof.例文帳に追加

平板状の基板４に第１回転板１０が、回転軸８の回りに回転自在に支持され、回転軸８の回りに回転させる駆動力が伝達される平歯車３０を外周部に有し、テレビ受像機への第１取付部４０ａ、４０ｂを上面に有している。 - 特許庁

An upper opening end part of the hollow part 16 is watertightly blocked as the caulking material is filled and a blocking end surface of a blocking wall 21 of the blocking member 20 and guide parts 26, 27 of fitting parts 22, 23 roughly make contact with inner surfaces of an outdoor side wall 13 and a partition wall 14.例文帳に追加

コーキング材３１の充填と、塞ぎ部材２０の塞ぎ壁２１の塞ぎ端面２１ａ，２１ｂと嵌め込み部分２２、２３のガイド部２６，２７が室外側壁１３と仕切り壁１４との内面に略接することで、ホロー部１６の上開口端部は水密に塞がれる。 - 特許庁

An enlarging display unit main body 1 includes an opening 10 in which the camera equipment 4 equipped with a lens for photography 40 is attachably/detachably fit on its upper surface, and includes an enlarging lens 11 opposed to the lens for photography 40 inside the opening 10, and the enlarging lens 11 is opposed to a subject on an opposite side to the lens for photography 40.例文帳に追加

拡大表示器本体1は、撮影用レンズ40を具えたカメラ機器4が着脱可能に嵌まる開口10を上面に開設し、該開口10の内側に撮影用レンズ40と対向する拡大レンズ11を具え、該拡大レンズ11は撮影用レンズ40とは反対側で被写体に対向する。 - 特許庁

In the organic EL display device, a TFT 6, a lower electrode 22, an insulating member 7, an organic luminous medium 21, an upper electrode 23, a sealing layer 3, a stress relaxation layer 9, a flattening layer 8, and a coloring layer 4 are formed on a support substrate 1, and a transparent substrate 5 is provided on the uppermost surface.例文帳に追加

本発明の有機ＥＬ表示装置は、支持基板１上に、ＴＦＴ６、下部電極２２、絶縁部材７、有機発光媒体２１、上部電極２３、封止層３、応力緩和層９、平坦化層８及び着色層４が形成され、最上面に透明基板５が設けられている。 - 特許庁

In this reserver tank of pressurization type, the upper tank of non-pressurization type is furnished internally with a main part 21 in the shape of a deep pan and the baffler 20 consisting of an introducing part 22 to introduce the fluid changed in its direction by the baffle plate into the main part from the tangential direction and produce a swirling stream flowing on the inside circumferential surface.例文帳に追加

加圧式リザーバタンクは、非加圧式の上部タンクの内部に、鍋状の主部２１と、整流板により向きに変えられた流体を主部内に接線方向より導入してその内周面に沿った回流を生成する導入部２２よりなるバッフラ２０を設ける。 - 特許庁

The box-shaped case 16 is housed in the box-shaped space 9, and either one or both of the deck 2 and the side frames 7 and 8 are constituted so as to be capable of seeing through the inside of the box-shaped space 9 from either one or both of the table upper surface side or the outer peripheral side.例文帳に追加

そして上記箱状のスペース９内に箱状のケース１６を収容し、上記甲板２と側枠７，８のいずれか一方又は両方を、テーブル上面側又は外周側のいずれか一方若しくは両方より箱状のスペース９内を透視することが可能な構成としている。 - 特許庁

In a linear guide (linear motion guide device) 10, a protrusion 22 which is protruded toward the side of an under seal 16 is provided to the bottom face of a side seal 20, and the protrusion 22 is brought into contact with the upper surface 16b of a lip section 16a of the under seal 16 without gap by elastic deformation.例文帳に追加

このリニアガイド（直動案内装置）１０は、サイドシール２０の底面に、アンダーシール１６側に向けて突出する突出部２２が設けられており、この突出部２２が、アンダーシール１６のリップ部１６ａの上面１６ｂと弾性変形によって隙間なく接触している。 - 特許庁

In a toilet where a western style toilet bowl is arranged in a toilet bowl receiving overlay mounted on an upper surface of a manhole opening 2, the assembling type toilet for emergency with the use of the manhole has a western style toilet bowl 4 composed of two materials divided lengthwise and a bowl receiving overlay 3 composed of two divided materials into a semi-arcuate shape.例文帳に追加

マンホールの入口２上面に載置される便器受け蓋に洋式便器が配置されるようなトイレにおいて、洋式便器４が縦方向に２分割体に構成されると共に便器受け蓋３が半円弧状に二分割体で構成されている防災用組立式マンホールトイレ。 - 特許庁

To obtain a molded product such as a high precision optical element (e.g. glass lens) extremely high in eccentricity precision, thickness precision, and surface precision by effectively suppressing mainly the tilting of an upper mold and a lower mold when press molding a molding raw material disposed inside a mold by pressing the mold.例文帳に追加

成形型を押圧することにより、成形型の内部に配置した成形素材をプレス成形するにあたり、主として、上下型のティルトを効果的に抑制して、偏心精度、肉厚精度、面精度が極めて高い高精度の光学素子（例えば、ガラスレンズ）などの成形体を得る。 - 特許庁

The melt stored in the melt reservoir 8 of the upper member 6 is injected into the growth chambers 3 in an electric furnace heated up to a prescribed temperature and the temperature of the interior of the electric furnace is reduced to thereby grow the crystal on the epitaxial growth surface of the semiconductor substrate 1.例文帳に追加

そして、一定温度に昇温された電気炉内で、上部部材６の融液溜め８に貯溜されている融液を成長室３内に注入した後、電気炉内を降温することによって半導体基板１のエピタキシャル成長面に結晶を成長させる。 - 特許庁

A reflective surface 20a of the reflector 20 is provided with a downward deflection reflective area 20a1 for reflecting light incident on its own lane side reflective area 20aR after passing near the right upper end edge 18cR of the shade 18c from the filament 18a as downward deflection light.例文帳に追加

また、リフレクタ２０の反射面２０ａに、フィラメント１８ａからシェード１８ｃの右側上端縁１８ｃＲ近傍を通過して自車線側反射領域２０ａＲに入射した光を下向き偏向光として反射させる下向き偏向反射領域２０ａ１を設ける。 - 特許庁

An optical sensor 40 determines whether a sealing material applied on the upper surface W1a of a lower substrate W1 exists or not on a measurement position S1 by irradiating the measurement position S1 of a distance sensor 30 above the lower substrate W1 with light L2 and by receiving the reflected light L2.例文帳に追加

光学センサ４０は、下基板Ｗ１上の距離センサ３０の測定位置Ｓ１に光Ｌ２を照射し、その反射された光Ｌ２を受光することで、測定位置Ｓ１において下基板Ｗ１の上面Ｗ１ａ上に塗布されたシール材が存在するか否かを判断する。 - 特許庁

In the method for coating the surface of the refractory in the furnace with the slag by splashing the slag by blowing gas to the upper part of the slag existing in the furnace after tapping off molten metal from the molten metal furnace, this method is performed by blowing the gas so as not to blow off the slag with the gas.例文帳に追加

溶融金属炉から溶融金属を出湯後、炉内に存在するスラグに、上方からガスを吹きつけることによって前記スラグを飛散させて炉内耐火物の表面をスラグでコーティングする方法において、前記ガスがスラグを吹き抜けない様にガスを吹きつける様に操業する。 - 特許庁

The surface friction coefficient of the cellular plastic blocks 1b used for at least one layer including a lowermost part is larger than that of the cellular plastic blocks 1a used for the upper part, and no binding metal fitting is used for the mutual connection of the blocks in the layer of the cellular plastic blocks 1b.例文帳に追加

最低部を含む少なくとも一層に用いる発泡プラスチックブロック１ｂの表面摩擦係数が、その上方部に用いる発泡プラスチックブロック１ａの表面摩擦係数よりも大きく、上記発泡プラスチックブロック１ｂの層においては、ブロック同士の連結に緊結金具を用いない。 - 特許庁

A 1.7-3.0 μm thick silicon oxide film layer 2 is formed on the single crystal silicon substrate 1, and on the silicon oxide film layer 2 on the front surface side of the silicon substrate 1, a Pt lower electrode 3, a piezoelectric thick film 4 of barium titanate zirconate, and an Au upper electrode 5 are sequentially laminated.例文帳に追加

単結晶のシリコン基板１に、厚み１．７〜３．０μｍの酸化シリコン膜層２が形成され、シリコン基板１の表面側の酸化シリコン膜層２に、Ｐｔ下部電極３、チタン酸ジルコン酸バリウム系圧電体厚膜４、およびＡｕ上部電極５が順次積層されている。 - 特許庁

By the photographing lens 100 of the constitution, by using one lens, spherical aberration, sine conditions, astigmatism and image surface curvature are arranged, a sufficient ambient light quantity is secured, then an upper light beam and a lower light beam are arranged at the position of a pupil and the color aberration of magnification is removed.例文帳に追加

この構成の撮影レンズ１００によれば、１枚のレンズを用いて、球面収差、正弦条件、非点収差、像面湾曲を整え、充分な周辺光量を確保した上で、上光線と下光線とを瞳の位置で整えて倍率の色収差を除くことが可能になる。 - 特許庁

This cooling bag having an insulation material 4 having cushioning properties at the outside of an inner case 3 made from a plastic at the upper face opening has a convex part 6 for engaging the insulation material 4 at the outer surface of the inner case 3 to prevent the position of the insulation material 4 from being moved.例文帳に追加

上面開口のプラスチック製の内ケース３の外側に、クッション性を有する断熱材４を備えた保冷バックにおいて、内ケース３の外面には、断熱材４の位置ずれを抑制すべく、断熱材係止用凸部６が設けられていることを解決手段とする。 - 特許庁

A substrate plate 4 is provided at the upper end of a downstairs exterior wall panel 2; a lower insertion metal 5 is mounted on the outdoor side surface portion of the substrate plate 4; and the throating plate 3 between floors is mounted by having its lower end inserted between the substrate plate 4 and the lower insertion metal 5.例文帳に追加

階下の外壁パネル２の上端部に下地板４が備えられ、該下地板４の屋外側の面部に下部差し込み金物５が取り付けられ、階間水切り板３は、その下端部が、下地板４と下部差し込み金物５との間に差し込まれて取り付けられている。 - 特許庁

An inside body 41 in which the display 42 for characters, numerals, etc., in a form having the surrounding part 43 is partially formed on the upper surface, and a pair of gate holes 44 is bored in the inner and outer parts of a display 42a forming the surrounding part 43 is primarily molded by injecting a resin.例文帳に追加

囲繞部４３を有する形態の文字や数字等の表示体４２を上面に部分的に突設し、その囲繞部４３を形成する表示体４２ａの内外部位に一対のゲート孔４４を穿設した内側体４１を樹脂の射出により一次成形する。 - 特許庁

This arm motion support device has a support body that supports an upper arm part and a forearm part of the user and has a shape of "U" of alphabet, and the support body of the forearm part has a semicylindrical sensor having a surface made of a slippery material.例文帳に追加

本発明は、利用者の上腕部分および前腕部分を支える、アルファベッドの「Ｕ」のような形などをした支持体を有し、前記前腕部分の支持体に、かまぼこ型状でありその表面が滑りやすい材質からなるセンサーを備えた腕運動支援装置である。 - 特許庁

The light emitting diode is provided with a supporting part serving also as an electrode, a light emitting diode chip connected onto the supporting part, and a translucent resin body which seals the light emitting diode chip on the supporting part and is provided with a grooved prism cut from an upper surface.例文帳に追加

発光ダイオードは、電極を兼用する支持部と、前記支持部上に接続された発光ダイオードチップと、前記発光ダイオードチップを前記支持部上で封止する透光性樹脂体であって、上面から切り込んだ溝型プリズムを有する透光性樹脂体とを有する。 - 特許庁

A sliding contact 6 has an annular upper surface driver plate 6a, a dished part 6c folded from an outer edge to the back side of the driver plate 6a, and a semi arcuate contact arm 6d formed on the outer edge opposite side of the folded part of the part 6c.例文帳に追加

摺接子６は、環状の上面部であるドライバプレート６ａと、ドライバプレート６ａの外縁部から裏面側へ折り畳まれる皿状部６ｃと、皿状部６ｃの折り畳み部と反対側の外周縁部に形成された半円弧状の接点アーム部６ｄとを有している。 - 特許庁

Also on the surface of the game board 4 the guide rail 8 to lead game balls discharged by the shooting device to the upper part of the game board 4 is prepared upright in a circular arc, and by the guide rail 8 the playfield 10 of an approximately round shape is partitioned.例文帳に追加

また、遊技盤４の表面には、発射装置によって発射された遊技球を遊技盤４の上方まで導くためのガイドレール８が円弧状に立設されており、当該ガイドレール８によって、略円形の遊技領域１０が区画された状態になっている。 - 特許庁

A push plate 25 to be pushed down for contracting an air-pump 26 and a lid open/close lever 45 to be operated when the lock condition of a lid 2 is released to open the lid are mounted on the upper surface of the lid 2 with the adjacent regions overlapped.例文帳に追加

蓋体２の上面に、エアーポンプ２６を収縮させるために押下操作される押し板２５と、蓋体２のロック状態を解除してこの蓋体２を開ける際に操作される蓋開閉レバー４５とを、相互に隣接する領域をオーバーラップさせた構造として設ける。 - 特許庁

The pilot operated valve for switching the selector valve for feeding the pressure oil to the hydraulic cylinder for the angle by the pilot pressure is accommodated in the cylindrical operation lever stand having the operation lever mounted at a front right side of the floor surface of the cab of the upper structure of an excavator.例文帳に追加

掘削作業機の上部旋回体の運転席の床面の前方右側に設置した操作レバーを有する円筒形の操作レバースタンド円筒形の操作レバースタンドに、アングル用油圧シリンダーへの圧油を送油するセレクターバルブをパイロット圧によって切換えるパイロット操作バルブを収納する。 - 特許庁

It is made impossible to pull out the connector member of the connector with the harness for main body connection from a main body connection connector member 805 for outputting at least the start signals to the outside by a connector cover 808 undetachably provided on the upper surface of a housing case cover 803.例文帳に追加

少なくとも始動信号を外部に出力する対本体接続コネクタ部材８０５からの対本体接続用ハーネス付きコネクタのコネクタ部材の引き抜きを、収納ケースカバー８０３の上面に取り外し不可能に設けられたコネクタカバー８０８によって不可能とする。 - 特許庁

By a method of manufacturing transistor elements, the source electrode 120 and the drain electrode 130 made of metal are formed on a transparent glass substrate 110, a transparent semiconductor oxide channel layer 140 made of InGaZnO_4 is formed on the source and drain electrodes, and a transparent insulating layer 150 is formed on the upper surface (Fig. 8(a)).例文帳に追加

透明ガラス基板１１０上に金属からなるソース電極１２０，ドレイン電極１３０を形成し、その上に、ＩｎＧａＺｎＯ_４からなる透明な酸化物半導体チャネル層１４０を形成し、その上面に透明な絶縁層１５０を形成する（図８(a) ）。 - 特許庁

After filling the liquid sample into a sample holding hole comprising the through hole and the bottom surface part in the state where the first face of the sampler is faced upward, the lid part is placed, to thereby hold the liquid sample, and measuring light is irradiated from the upper direction or the lower direction to the liquid sample.例文帳に追加

サンプラの第１の面を上に向けた状態で貫通孔と底面部とから成る試料保持孔中に液体試料を充填した後、蓋部を載置することにより液体試料を保持させ、その液体試料に対して上方向又は下方向から測定光を照射する。 - 特許庁

The present invention provides the sheet-like separation membrane having a plurality of protrusions 1 as islands separated from each other on the permeation side or the feed side, wherein in each of the protrusions 1, the shortest length D2 passing the gravitational center of its upper surface is larger than the shortest distance D3 between the adjoining protrusions 1.例文帳に追加

本発明のシート状分離膜は、相互に島状に離間した複数の凸部１を透過側面又は供給側面に有し、前記凸部１は上面の重心を通過する最短長さＤ２が、隣接する前記凸部１同士の最短距離Ｄ３より大きいことを特徴とする。 - 特許庁

A substrate W is carried into a cooling plate and is supported and placed on the upper surface of a cooling plate 240 of the cooling plate, a cover 230 and an air guide 220 descend for forming a substantially closed space DS on the cooling plate 240, and then the cooling process for the substrate W is started.例文帳に追加

基板ＷがクーリングプレートＣＰに搬入され、基板ＷがクーリングプレートＣＰの冷却プレート２４０上面に支持載置され、カバー２３０、エアガイドカバー２２０が下降し、冷却プレート２４０上にほぼ閉じた空間ＤＳを形成した後、基板Ｗの冷却工程が開始される。 - 特許庁

To provide an input key structure enabling an operator to visually recognize a key top of an input key and a key assignment character printed on an upper surface thereof well under a dim environment without causing increase of the size, cost and electric power consumption of an electronic apparatus provided with input keys.例文帳に追加

入力キーが設けられる電子機器の大型化、高コスト化、消費電力の増大に繋がらない構成で、薄暗い使用環境のもとでも操作者が入力キーのキートップとその上面に印刷されたキー割り当て文字を良く視認できる入力キーの構成を提供する。 - 特許庁

A semiconductor laser element array 8 mounted on the sub-mount 6 has a structure of laminating a semiconductor layer 2 having two ridge parts 13 on a substrate 11, and an Au plating layer 14 is formed on a surface of a (p) type electrode 3 formed in an upper part of the respective ridge parts 13.例文帳に追加

サブマウント６に実装された半導体レーザ素子アレイ８は、基板１１上に２個のリッジ部１３を有する半導体層２が積層された構造を有し、各リッジ部１３の上部に形成されたｐ型電極３の表面にはＡｕメッキ層１４が形成されている。 - 特許庁

A high-density and highly reliable coreless printed board is manufactured by transferring circuit patterns to a resin insulating layer and embedding the circuit patterns therein by utilizing the carrier member for transferring circuit patterns constructed with a barrier layer and circuit patterns on which unevenness is formed only at outer upper ends, on one surface of the carrier layer.例文帳に追加

キャリア層の一面に、バリア層と、外側上端にだけ凹凸が形成されている回路パターンとを有するように構成された回路転写用キャリア部材を利用して回路パターンを樹脂絶縁層に転写して埋め込めることで、高密度、高信頼度のコアレスプリント基板を製作する。 - 特許庁

Anodic oxidation is then performed using the lower electrode 13x as anode to transform an aluminum film 17x containing nitrogen into an aluminum oxide film 18x and to form tantalum oxide films 14y and 14z containing nitrogen, as an insulating layer 14x, at the upper surface portion and the side face portion of the lower electrode 13x.例文帳に追加

次に、下電極１３ｘを陽極にして陽極酸化を行い、窒素含有アルミニウム膜１７ｘをアルミニウム酸化膜１８ｘとするとともに、下電極１３ｘの上面部および側面部に窒素含有タンタル酸化膜１４ｙ、１４ｚを形成し、絶縁層１４ｘとする。 - 特許庁

When erecting a precast girder 14 to an erection span S0, by a bridge crane 110 installed on an upper surface of a bridge pier 12A, in the state of hoisting and supporting the precast girder 14 through a girder hoisting nose 50, it is hoisted and moved to an erection scheduled position in a bridge axis orthogonal direction.例文帳に追加

架設径間Ｓ０にプレキャスト桁１４を架設する際、橋脚１２Ａの上面に設置された橋形クレーン１１０により、桁吊りノーズ５０を介してプレキャスト桁１４を吊り支持した状態で、これを吊り上げて架設予定位置まで橋軸直交方向に移動させる構成とする。 - 特許庁

A head light 21 is mounted on an upper front part of an engine bonnet 12 arranged on a front part of a tractor body, and a side light 22 is provided on a forward part of front wheels at right and left side faces of the engine bonnet 12 located below the head light 21 along an outer surface of the bonnet.例文帳に追加

機体前部に配備したエンジンボンネット１２の上方前部にヘッドライト２１を装備するとともに、エンジンボンネット１２における左右横側面の前輪５より前側箇所に、ヘッドライト２１より下方に位置してサイドライト２２をボンネット外面に沿って装備してある。 - 特許庁

The substructure 17 is joined to superstructures 18A, 18B, by which the multiple-wavelength surface emitting laser diode 1 is constituted, wherein the superstructures are formed by spacers 15A, 15B which are different in thickness according to luminescent wavelengths in the light emitting layers 14A, 14B, and upper DBR16A, 16B.例文帳に追加

この下部構造体１７に、発光層１４Ａ，１４Ｂにおける発光波長に応じて厚さの異なるスペーサ１５Ａ，１５Ｂと上部ＤＢＲ１６Ａ，１６Ｂによる上部構造体１８Ａ，１８Ｂが接合されることにより、多波長面発光レーザ１が構成される。 - 特許庁

In the molten magnesium supplying device, an inserting pipe is dipped and arranged to the molten metal supplying pipe positioned between the top plate and a base plate so as to be faced in the vertical direction to the upper surface of the molten magnesium liquid stored in the melting furnace, and a heater for heating the molten magnesium is inserted in the inserting pipe.例文帳に追加

前記マグネシウム給湯装置おいて、トッププレートとベースプレート間に位置する給湯パイプに溶融炉に貯溜された溶融マグネシウム液の上面の上下方向に対向して挿入管を浸漬して配設し、前記挿入管内に前記溶融マグネシウムを加熱するためのヒータを挿入した。 - 特許庁

To provide a motorcycle having high combustion efficiency of fuel, capable of ensuring a large storage space and also having sufficient countermeasures against foreign matter such as mud water, in the motorcycle mounted with a unit swing type engine formed with an intake passage connected to an upper surface of the engine and extending to a rear side.例文帳に追加

エンジンの上面に接続され後方に延びる吸気通路が形成されたユニットスイング式のエンジンを搭載した自動二輪車において、燃料の燃焼効率が高く、大きな収納スペースを確保でき、かつ泥水などの異物に対する対策も十分な自動二輪車を提供すること。 - 特許庁

The tube for supplying water to plants has small water-supply holes formed for supplying water or liquid fertilizer to plants, and is provided with a light-blocking hose main body and a reflection layer to reflect heat or light from outside formed at a part corresponding to an upper surface when the tube is set up.例文帳に追加

灌水用チューブには植栽物に向けて水乃至液肥を供給する潅水用小孔が形成されるとともに、遮光性を有するホース本体と、灌水用チューブが設置されたときに上面となる部分に、外方からの熱若しくは光を反射させる反射層を設けた。 - 特許庁

The vibration-isolation transport pallet for carrying objects 23 includes a base frame 1, an elastic member 14 provided on the base frame and a mount member 15 which is supported by the elastic member to allow elastic displacement and on whose upper surface the objects are mounted.例文帳に追加

搬送物２３を搬送する輸送用免振パレットにおいて、ベースフレーム１と、このベースフレーム上に設けられた弾性部材１４と、この弾性部材によって弾性的に変位可能に支持されるとともに上面に上記搬送物が載置される載置部材１５とを具備する。 - 特許庁

Since an insulation film containing hydrogenation polysiloxane is employed as the interlayer insulation film 103 and etching is carried out using etching gas containing at least fluorocarbon gas and oxidation based gas, such a structure as the deterioration layer 105 of hydrogenation polysiloxane on the processing surface is thick at the upper part and thin at the lower part is obtained.例文帳に追加

水素化ポリシロキサンを含む絶縁膜を層間絶縁膜１０３として用い、エッチングガスとしてフロロカーボンガスと酸化系ガスを少なくとも含むエッチングにより加工するため、水素化ポリシロキサンの加工面での変質層１０５が上部で厚く、下部で薄い構造が得られる。 - 特許庁

The coupling member 16 includes a mechanism for correcting the bending of the susceptor support shaft, so that a processing gas flow, between a susceptor ring and the susceptor, can be reduced in being disturbed by correcting the eccentricity and the inclination of the upper surface of the susceptor, and hence the planarity of an epitaxial film can be improved.例文帳に追加

連結部材１６は、サセプタ支持軸の曲がりを補正する機構を有するため、サセプタ上面の偏芯と傾きを補正することで、サセプタリングとサセプタとの間での処理ガス流れの乱れを低減することができ、エピタキシャル膜の平坦度を向上させることができる。 - 特許庁