| 例文 |
width depth whichの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 192件
To provide a method of manufacturing semiconductor device which can reduce an isolation width on the occasion of electrically isolating in distance between wells and between well and source or drain and thereby can reduce the size not only in the lateral direction but also in the depth direction.例文帳に追加
本発明は、ウェルとウェルとの間またはウェルとソースまたはドレインとの間を距離的、電気的に分離するに際し、その分離幅を縮小することができ、その結果、横方向のみならず深さ方向の寸法の縮小を可能にする半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a device and a method for automatically inserting and fixing a thin multi-layered film filter having a thickness as small as 15 μm and a large warpage into a fine groove having 20-25 (μm) width which is formed so as to cut the waveguide of a PLC element without creating flaws at a stable depth in a short time.例文帳に追加
厚さ15μmと薄く反りの大きい多層膜フィルタをPLC素子の導波路を分断するように形成した20〜25(μm)巾の微細な溝にキズを付けず安定した深さで短時間に自動挿入固定する装置及び吸着把持挿入方法を提供する。 - 特許庁
At least parts of upper surfaces of the first and second regions 2a and 2b are recessed from an upper surface of the element formation region 1 to a depth which is ≥5% of a channel width W, and the gate electrode 4 is partially present in each of the recesses 7.例文帳に追加
第1領域2a及び第2領域2bの上面の少なくとも一部分ずつは、素子形成領域1の上面よりも下に、チャネル幅Wの5%以上の深さに凹んでおり、それら凹み7内にもゲート電極4の一部分ずつが存在している。 - 特許庁
To provide a diffraction grating having an almost sine waveform in a cross section thereof and a method for producing the diffraction grating, in which the diffraction grating having a groove of stabilized width and depth and the uniform and almost sine waveform in the cross section thereof is formed.例文帳に追加
断面形状が略正弦波形状の回折格子と、この回折格子を形成するに際し、溝の幅や深さが安定しており、断面形状が略正弦波形状の均一な回折格子を形成することができる回折格子の製造方法を提供する。 - 特許庁
This antenna is provided with a first choke 34 having a connection portion 26 allowing a connection to communication equipment and an inside portion 30, which is connected to the connection portion, having a depth for extension practically parallel to the lengthwise central axial line of the antenna and a width for extension in the radial direction of the antenna.例文帳に追加
アンテナは、通信装置への接続を許容する接続部分26を有し内側部分30は接続部分に接続され、アンテナの長手方向中心軸線に対して実質的に平行に伸長する深さと、アンテナの半径方向に伸長する幅とを有する第一チョーク34を備える。 - 特許庁
The cellulose acylate film is formed by the melt film-forming process which is characterized in that the total number of projections having a height of 0.1-100 μm and a length of ≥1 mm and recesses having a depth of 0.1-100 μm and a length of ≥1 mm is 10 or less per 10 cm width of the film.例文帳に追加
高さ0.1μm〜100μmで長さ1mm以上の凸部の数と、深さ0.1μm〜100μmで長さ1mm以上の凹部の数との合計が、フィルムの幅10cmあたり10本以下であることを特徴とする、溶融製膜によって形成されたセルロースアシレートフィルム。 - 特許庁
On the outer circumferential surface 1x of an outer ring 1, two eccentric grooves 1a and 1b of which diametric groove depth and axial groove width are continuously varied are formed in such a way that eccentricity centers O_1 and O_2 of the eccentric grooves are point-symmetric to the center O of the outer ring.例文帳に追加
外輪1の外周面1xに、径方向の溝深さおよび軸方向の溝幅が連続的に変化する2本の偏心溝1a,1bを、これらの偏心溝の偏心中心O_1,O_2が、外輪中心Oに対して互いに点対称となるように形成する。 - 特許庁
First, after a surface side element structure part of a semiconductor element is formed on the surface of a semiconductor wafer 100, a rib structure is formed by removing the rear surface of the semiconductor wafer 100 on which the surface side element structure part is formed to a prescribed depth with a prescribed width from an outer peripheral end remained.例文帳に追加
まず、半導体ウエハー100の表面に半導体素子の表面側素子構造部を形成した後、表面側素子構造部が形成された半導体ウエハー100の裏面を、外周端部から所定幅を残して所定深さまで除去してリブ構造を形成する。 - 特許庁
By arranging the plurality of ball guide passage 105A, 105B, smooth discharge of balls is enabled, and by interposing a rotation regulating mechanism (rotation regulating gear 86) between the plurality of cut disks 84, 85, a compact discharging device which is small in a width direction and in a depth direction can be formed.例文帳に追加
玉の案内通路105A、105Bを複数配列することで、スムーズな玉の払い出しを可能にし、複数の切欠円盤84、85の間に回動規制機構(回動規制歯車86)を挟装することで幅方向および奥行き方向に狭小な小型の排出装置とする。 - 特許庁
The light emitting element 100 has its light extraction efficiency improved as compared with a configuration wherein only fine unevenness 109 is provided since a surface of an n-type layer 106 on the side of n-type electrodes 107 is subjected to unevenness processing in two stages of recessed portions 108 and fine unevenness 109 which differ in depth and width.例文帳に追加
発光素子100は、n型層106のn電極107側の面に、凹部108と微細な凹凸109とによる、深さ、幅の異なる2段階の凹凸加工が施されているため、微細な凹凸109のみを施した場合に比べて光取り出し効率が向上している。 - 特許庁
To provide an optical disc inspecting instrument which accomplishes an inspection to determine whether the width and depth of a track groove of an inspection disc meet an allowable range or not based on the results obtained from the detection of primary to higher order diffraction light by a photo detector as generated when the inspection disc is irradiated with an inspection laser.例文帳に追加
検査レーザーを検査ディスクに照射したことにより生じる1次乃至高次回折光を1の受光素子で受光した結果から、検査ディスクのトラック溝幅及び深さが許容範囲を満たすものであるか否かを検査する光ディスク検査装置を提供する。 - 特許庁
This is the nonaqueous electrolytic solution battery wherein a bending in which the electrolytic solution is circulated from the short part to the center part in the width direction at least at one of a separator, a positive electrode plate and a negative electrode plate, and wherein the bending is formed preferably in the depth of 1 μm to 1 mm in the thickness direction.例文帳に追加
セパレータ、正極板及び負極板の少なくとも一つには、幅方向の短部から中央部にかけて電解液が流通する撓み、好ましくは1μm〜1mmの厚み方向の深さで形成されている撓みが形成されている非水電解液電池。 - 特許庁
A water pipe and drainage pipe are disposed in an existing cabinet and a washer pan for installing a small washer with dimensions not larger than 450 mm width, 710 mm height, and 450 mm depth, which includes a plurality of casters or rolls evenly placed for being drawn out forward or housed backward the small size washer, is set in the existing cabinet.例文帳に追加
既存キャビネットの中に給水および排水配管を配置すると共に、巾450MM、高さ710MM、奥行き450MM以下の小型洗濯機を載置し、前後に引き出しまた収納するため複数のキャスタ又はロールを平均的に配置した洗濯機パンをキャビネット内に設置する。 - 特許庁
To provide a method for adjusting the condition of a heat treatment by which a desired hardness layer can continuously and stably be formed by minimizing the variations of hardness depth, hardness width, hardening/tempered hardness in the hardening layer caused by the wearing of a chip member for laying a coil.例文帳に追加
コイル載置用チップ部材の摩耗による焼入硬化層の焼入深さ,焼入幅,焼入・焼戻硬さの変化を極力低減せしめて、所望の焼入硬化層を継続して安定的に形成することが可能な熱処理条件調整方法を提供する。 - 特許庁
To provide a display casing having a simple configuration in which doors can be actually arranged to a closing position when moving one or more of doors 3 of glass plates arranged in the opening portion of the case body in parallel in its width direction and then moving them in parallel in the direction of door depth to closing the display casing.例文帳に追加
簡単な構成で、ケース本体の開口部に配置された少なくとも一枚以上のガラス板等の扉3を、その幅方向に平行移動したのち、その厚さ方向に平行状に移動させて閉止するとき、密閉位置に正確に配置できるようにする。 - 特許庁
In a house building 1 which is formed with a narrow width W and a long depth D so as to be erected in a site 2 having a narrow frontage 21, an earth-floor 11b is provided adjacent a living room 11a on a first floor 11, the earth-floor 11b facing a garden 22 provided at the frontage 21 in the site 2.例文帳に追加
狭小間口21の敷地2に立設するように間口Wが狭く奥行きDが長く形成されてなる住宅建物1であって、一階11の居間11aに隣接して土間11bが設けられ、この土間11bが敷地2の間口21に設けられた庭22に面するようになされたもの。 - 特許庁
By fixing an architrave material 11 to the depth surface on a width direction inner side of an upper architrave, a floor material and a vertical architrave 8 which are interior materials and fixing an inner window frame 12 to the architrave material 11, the projection amount to the indoor side of an inner window 10 is reduced, and the indoor space is effectively utilized.例文帳に追加
内装材である上額縁や床材、縦額縁8の見付け方向内側の見込み面に額縁材11を固定し、この額縁材11に内窓枠12を固定することで、内窓10の屋内側への突出量を小さくすることができ、屋内空間の有効利用を図ることができる。 - 特許庁
A tool for forming the end face of the incense stick bundle 13 is a bottomed cylindrical body 14 having an upper face aperture to which the incense stick bundle 11 is inserted, and a circumferential grooved part 17 with a predetermined depth and width for housing the incense stick is formed on the peripheral part of the bottom face 16 of the cylindrical body 14.例文帳に追加
更に、線香束端面形成具13は、線香束11を挿入可能な上面開口を有する有底筒状の筒状本体14からなり、該筒状本体14の底面16の周縁部に、線香1本を収容する溝幅Wの周溝部17が所定深さで形成されているものである。 - 特許庁
It is desirable that the pitch of the embossed parts 4 be different from that of discrete components which are punched on the lead frame 1, and that the side walls of the embossed parts 4 that face the inside of the spacer tape 3 be aligned and the depth of the embossed parts 4 be identical while the embossed parts 4 vary in width and length at a given frequency.例文帳に追加
好ましい形態としては、エンボス部のピッチはリードフレーム1に打抜き加工された個々の部品のピッチとは異なり、エンボス部のスペーサーテープ内側に向く側壁は同一直線上に配置され、エンボス部の深さは同一であるが一定の周期をもって異なった幅寸法、長さ寸法を有するスペーサーテープである。 - 特許庁
The fissuring is photographed by an optical cutting method in a narrow visual field at every previously regulated spacing along the fissuring in accordance with the fissuring rough position information and this narrow-visual-field image is subjected to image processing, by which the position, width and depth of the fissuring are determined at every previously regulated spacing and are used as fissuring point sequence data.例文帳に追加
次に、亀裂粗位置情報に基づいて亀裂に沿って予め規定された間隔毎に亀裂を狭視野で光切断法によって撮像して狭視野画像を得て、この狭視野画像を画像処理して、予め規定された間隔毎に亀裂の位置、幅、及び深さを求めて亀裂点列データとする。 - 特許庁
The information recording medium B is constituted by stacking at least a recording layer 5 on a base 1A, which has a land 2 and a groove 3 formed alternately as a fine track pattern and is provided with a Dc clevis 4 deeper than the depth Dg of the groove 3 in the groove 3 nearby one width- directional edge part 3a of the groove 3.例文帳に追加
支持体1A上に、少なくとも、記録層5が積層されてなる情報記録媒体Bであって、支持体1Aは、微細トラックパターンとしてランド2とグルーブ3とが交互に形成されており、かつグルーブ3の幅方向の一端縁部3a近傍には、グルーブ3の深さDgよりも深いDcクレビス4が設けられている。 - 特許庁
As a whole width of the gear body 17 is engaged by constant elastic force of the flat spring 18, wearing of the gear body 17 is very little and depth of engagement hardly changes even after the electronic device is used for long time, and a display section 6 which is tilted in an arbitrary angle by a user is always stably held.例文帳に追加
噛合いは、板バネ18の一定した弾性力によってギヤ体17の幅全体でなされるので、ギヤ体17の摩耗が僅少に抑えられ、当該電子機器を長期間使用しても噛合いの深さはほとんど変化せず、ユーザによって任意の角度に傾斜された表示部6が常に安定して保持される。 - 特許庁
To provide a structure for a treatment apparatus for rainwater etc., which is easily and quickly manufactured, has excellent mechanical strength, ensures a wide area for storing rainwater etc., has freely changeable width, depth, and length, and can easily follow the difference in area and capacity, and to provide the treatment apparatus for rainwater etc. using the structure.例文帳に追加
製造加工を容易、且、迅速に実行し得るとともに、優れた機械的強度と、雨水等の貯留空間を広く確保し、且、幅、深さ、及び、長さを自在に変更し、平面積、及び、容積の違いに容易に追従し得る雨水等処理設備用構造体、及び、これを用いた雨水等処理設備を提供する。 - 特許庁
To provide a repairing work method for an undersurface of an end of a concrete floor slab, which ensures a repairing effect by chipping the undersurface of the end of the concrete floor slab up to required depth and width, and properly securing a space for infilling repairing cement mortar, so as to uniformly and densely infill the repairing cement mortar into a chipped zone, without producing a cavity etc.例文帳に追加
本発明はコンクリート床版の端部下面を所要の深さと幅に亘りハツリ、補修セメントモルタルの充填スペースを適切に確保して補修セメントモルタルをハツリ帯域内へ空洞等を生成することなく均密に充填し、補修効果を確保するコンクリート床版の端部下面の補修工法を提供する。 - 特許庁
To provide a heat exchanger with a fin capable of remarkably improving its heat exchanging capacity and being efficiently manufactured at low cost by storing the heat exchanger in which heat transfer pipes as much as possible, of at least two kinds of outer diameters, in an indoor unit of an air conditioner in a state of reducing its depth width.例文帳に追加
空気調和機の室内ユニットに、できるだけ多くの伝熱管を挿入した少なくとも2種類以上の異なる伝熱管の外径をもつフィン付き熱交換器を奥行き幅を小さく収納し、熱交換能力の大幅な向上をはかるとともに、フィン付き熱交換器を効率的に安価に製造し、提供する。 - 特許庁
The stamper is provided with an optical disk substrate shaping transfer surface 11 and heat insulating material 7 having a heat insulating property which is provided in the part other than the transfer surface along the transfer surface 11, and also the shape of the guide groove is changed successively (the depth is gradually deepened or the width is gradually widened) from the inner periphery toward the outer periphery).例文帳に追加
光ディスク基板成形用の転写面11と、転写面11に沿わせて転写面以外の部分に設けられた断熱性を有する断熱材7とを有するとともに、内周から外周に向けて案内溝の形状を順次変化(深さを徐々に深くまたは幅を徐々に広く)している。 - 特許庁
On the sliding base 3, an apparatus 4 is placed, above which a roller-shaped cable hanging device 5 capable of being rotated by even a slight external force is disposed in the width direction of the rack 1, and another cable hanging device 5 is disposed, in parallel with spacing retained relatively for the cable hanging device 5 in the depth direction of the rack 1.例文帳に追加
このスライド式台板3には機器4が設置され、機器4より上方に僅かな外力でも回転自在なローラー状のケーブル懸架装置5がラック1の幅方向に設けられ、このケーブル懸架装置5に対してラック1の奥行き方向に間隔を設けてもう一つのケーブル懸架装置5を並設している。 - 特許庁
In this U-shaped hook provided with a inward opening coming- off stopper, a deep portion is made in a size with which a virtual circle having a diameter longer than the opening width of the opening portion when the coming-off stopper is fully opened can be inscribed, and in a depth where the virtual circle does not interfere with a locus of the coming-off stopper.例文帳に追加
内開きの外れ止めを設けた鈎型フックにおいて、ふところ部は外れ止めを全開したときにおける開口部の口幅よりも長く設定される直径の仮想円が内接可能な大木さとし、且つ、仮想円が外れ止めの軌跡と干渉しない位置までふところ部を深くとった。 - 特許庁
To provide a depletion layer capacitance calculation apparatus and a C-V characteristic measuring apparatus of a semiconductor which accurately calculate capacitance of a depletion layer in the semiconductor for actually extending in all directions from an applying electrode in a width corresponding to an applied voltage on the assumption that the depletion layer extends in the depth direction only.例文帳に追加
半導体内で実際には印加電極から印加電圧に応じた幅で全方向に拡がる空乏層の容量を、空乏層が深さ方向のみに拡がると仮定した仮想状態での容量として正確に算出することを可能とする半導体の空乏層容量算出装置及びC−V特性測定装置を提供する。 - 特許庁
In the ordering system 10, an ordering-side terminal 12 includes an input means 12A for input of orderer ID information and setting place information including information for the height, width or depth of a setting place for a commodity to be ordered, and an ordering-side transmitting means 12B which transmits the input information to an order receiving-side terminal 14.例文帳に追加
発注システム10の発注側端末12は、発注者ID情報、及び発注を行う商品の設置場所の高さ、幅、又は奥行の情報等を含む設置場所情報を入力する入力手段12Aと、入力された情報を受注側端末14に送信する発注側送信手段12Bを備える。 - 特許庁
In the light separation element 1 comprising a grating which divides an incident light beam into a plurality of beams depending on the wavelength, the refractive index n of the grating material and the grating depth d of the grating, the width w of the grating part 4 in one period, and the grating period p satisfy the condition of n×d×w/p≥0.670 (μm).例文帳に追加
入射する光束を波長に応じて複数の光束に分離する回折格子により構成された光分離素子1において、回折格子の格子材料の屈折率をn、格子深さをd、1つの周期の格子部分4の幅をw、格子周期をpとするとき、 n・d・w/p≧0.670 (μm) なる条件を満足する。 - 特許庁
The depth of thin grooves 25 which constitutes a branched flow path part provided to a nozzle plate 20 is larger more than the width of the thin grooves, and a groove part 30 that is a clearance for an adhesive agent for adhering a cavity substrate to the nozzle plate 20 is provided in at least either the cavity substrate or the nozzle plate 20, in the corresponding area between the divided flow path parts provided in parallel.例文帳に追加
ノズルプレート20に設けられる分流路部を構成する各細溝25の深さがその幅よりも深くなっており、且つキャビティ基板及びノズルプレート20の少なくとも何れか一方に、並設された各分流路部間に対応する領域に、キャビティ基板とノズルプレート20とを接着するための接着剤の逃げとなる溝部30を設ける。 - 特許庁
The manufacturing method of the substrate for the optical recording medium is characterized to shape so that the W/D variation of a guide groove (W: width of groove of the guide groove, D: depth of groove of the guide groove) in whole recordable area remains within 5% by using a stamper on which a groove is incised and becomes deeper toward the outer periphery from the inner periphery.例文帳に追加
スタンパに刻まれた溝が内周から外周に向かって深くなっているスタンパを用いて、記録可能領域全面における案内溝のW/D(W:案内溝の溝幅、D:案内溝の溝深さ)変化量が5%以内となるように成形することを特徴とする光記録媒体用基板の製造方法。 - 特許庁
To provide a frame assembly to be used as an outer casing of a liquid crystal display panel apparatus or the like, the frame assembly having a frame made of aluminum or the like and having a certain width along the depth which can be easily manufactured, and the frame assembly structured in such a manner that the corners are assembled essentially free from positional misalignments and fastening screws and rivets are concealed from the outside.例文帳に追加
液晶ディスプレイパネル装置などの外筐などとして用いられる枠組み装置で、アルミニウムなどからなる奥行方向に一定の幅を有する枠体を容易に製造することができ、各コーナー部の組立て位置ずれをほとんど生じないとともに、外観に締結用のネジやリベットなどが見えない構造とすることができるようにする。 - 特許庁
The builders of the Daigokuden of Heian-jingu Shrine and the designers in charge of the reconstruction of the Daigokuden of Heijo-kyu referred to "Nenju Gyoji Emaki" (a picture scroll of yearly events), which was created under the order of Cloistered Emperor Goshirakawa during the Heian period, and clearly depicts the Daigokuden of irimoya-zukuri style (building with a half-hipped roof) architecture that measured 20 meters from east to west in width and four ken 7.3 meters from north to south in depth, and had red painted pillars and tiled roofs with a pair of golden Shibi (ornamental ridge-end tiles). 例文帳に追加
平安時代、後白河法皇の命で作られた『年中行事絵巻』には東西11間、南北4間で、朱塗りの柱と瓦葺屋根入母屋造の屋根に金色の鴟尾を戴く大極殿が鮮やかに描かれており、平安神宮大極殿や平城宮跡の大極殿復元事業でも参考とされた。 - Wikipedia日英京都関連文書対訳コーパス
At the front end of plate type louvers 4 provided in an opening part of a reflector 2, grooves 5 are provided which gradually decrease in width and depth from the front end to the rear end and slits (light passing part) are provided partially in the grooves 5 to irradiate the part before the signal lamp with the direct light from an electric bulb 1 or part of the light reflected by a reflecting surface.例文帳に追加
反射鏡2の開口部に設けられた板状の複数のルーバ4の前端に前端から後端に向けて幅および深さが徐々に小さくなる溝5を設けるとともに、その溝5の一部にスリット(光通過部)を設けて、電球1からの直接光または反射面で反射された反射光の一部を、このスリットを通過させて信号灯器の前方へ照射する。 - 特許庁
The semiconductor device 100 includes a transistor with a substrate 102 on which source and drain regions 112 and 113, both of a first conductivity type, and a channel region 108 of a second conductivity type between the source and drain are formed, and a gate electrode 122 formed in the channel region 108 to bury a trench 162 formed so the depth thereof changes intermittently in the width direction of the gate.例文帳に追加
半導体装置100は、第1導電型のソース領域112およびドレイン領域113、これらの間に第2導電型のチャネル領域108が形成された基板102と、チャネル領域108において、ゲート幅方向に断続的に深さが変化するように形成されたトレンチ162を埋め込むように形成されたゲート電極122とを有するトランジスタを含む。 - 特許庁
This semiconductor device 100 includes: a first transistor 200 of n=1 and a second transistor 202 of n=2 or more each of which is a transistor having n trench(es) 162 each formed so that the depth discontinuously changes in a gate width direction; and an element isolation insulation film 110 formed around regions where the respective transistors are formed and isolating the regions where the transistors are formed.例文帳に追加
半導体装置100は、ゲート幅方向に断続的に深さが変化するように形成されたn個のトレンチ162を有するトランジスタであって、n=1の第1のトランジスタ200とn=2以上の第2のトランジスタ202と、各トランジスタが形成された領域の周囲に形成されて当該トランジスタが形成された領域を区分けする素子分離絶縁膜110と、を含む。 - 特許庁
The radiation inspecting device includes a flat panel detector, which has a plurality of radiation detectors for detecting radiation from an object to be inspected in the directions of height, width, and depth, and signal processors connected with the radiation detectors, respectively, and processing the radiation detection signals detected by the radiation detectors.例文帳に追加
フラットパネルディテクタを備え、フラットパネルディテクタは、高さ方向,幅方向及び奥行き方向に被検体からの放射線を検出する複数の放射線検出器を有し、前記放射線検出器にそれぞれ接続され、前記放射線検出器によって検出された放射線検出信号を処理する信号処理装置を備えていることを特徴とする放射線検査装置。 - 特許庁
This thin film recording head 10 consists of a coil 3 disposed at least apart from the lower magnetic pole 1 and the upper magnetic pole 2 which have their tips 1A, 2A to form the sliding surfaces 1B, 2B fitting the recording track width, and rear parts 1C, 2C formed back the depth zero line 2D(Dp 0).例文帳に追加
少なくとも下部磁極1及び上部磁極2から離間してコイル3が配置され、下部磁極1及び上部磁極2が記録トラック幅に形成されたヘッド摺動面1B,2Bを有する先端部分1A,2Aを有し、この先端部分1A,2Aの両側に、ヘッド摺動面1B,2Bから磁気ギャップのデプスゼロライン2D(Dp0)よりも奥まで後退した部分1C,2Cが形成されている薄膜磁気ヘッド10を構成する。 - 特許庁
To provide a simple method for manufacturing a thermal inkjet recording head which can improve a printing speed without causing a degradation of durability, even if making a protective film thickness less by preventing the film thickness from reducing due to a large dishing and giving a flat polished face even if the depth of the part needing the embedding of a metal and the wiring width are largely different.例文帳に追加
金属を埋め込む必要のある部分の深さ、および、配線幅が大きく異なっていても、大幅なディッシングによる膜厚の減少を防止して平坦な研磨面を与えることで、保護膜の厚みを小さくしても耐久性の劣化を招かずに印字速度を向上させることが可能となる熱インクジェット記録ヘッドの簡便な製造方法を提供することを目的とするものである。 - 特許庁
The method inspects the surface of a single-crystal substrate for use as a semiconductor substrate for manufacturing a semiconductor device for defects which are strip-shape or groove-shape defects ≥0.3 μm in length with the width ≥3 times the length, or shallow pit-shape defects or mound-shape defects ≥0.5 μm in diameter with the depth or height ≥10 times the diameter.例文帳に追加
半導体デバイスを作製するための半導体基板として使用する単結晶基板表面において、長さ0.3μm以上でありかつ長さが幅の3倍以上であるライン状の凹凸欠陥あるいは短冊状の形状を有した凹形状欠陥、あるいは直径が0.5μm以上でありかつ直径が深さあるいは高さの10倍以上であるシャローピットあるいはマウンド状欠陥を検査することを特徴とする検査方法およびこれらの欠陥のない半導体基板の製造方法。 - 特許庁
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