「in process processing」に関連した英語例文の一覧と使い方(52ページ目) - Weblio英語例文検索

The execution control part controls the navigation device to interrupt the predetermined processing in process when transmission of the position information is requested from the mobile terminal during the execution of the predetermined processing using the communication part, and to execute processing necessary in route finding based on the position information by the route finding part.例文帳に追加

前記実行制御部は、前記通信部を使用する所定の処理の実行中に、前記携帯端末から前記位置情報の送信要求がある場合、該実行中の所定の処理を中断し、前記経路探索部による前記位置情報に基づく経路探索に必要な処理が実行されるように該ナビゲーション装置を制御する。 - 特許庁

In this removal method for removing a silicon oxide film formed on a surface of a processing object W in a processing vessel 4 capable of being vacuumed, a removal process of removing the silicon oxide film by using HF gas and NH_3 gas and setting a set range of processing temperature to 150-200°C is executed.例文帳に追加

真空引き可能になされた処理容器４内にて、被処理体Ｗの表面に形成されているシリコン酸化膜を除去するための除去方法において、ＨＦガスとＮＨ_３ ガスとを用いると共に、処理温度の設定範囲として１５０〜２００℃の範囲内に設定することによりシリコン酸化膜を除去する除去工程を行うようにした。 - 特許庁

A process monitor device 30 transmits an IP address acquisition request to make an inquiry about whether a virtual IP address is set in an information processing server 20 by defining the actual IP address of each information processing server 20 as designation, and receives MIB information to be transmitted from the information processing server 20 in response to the IP address acquisition request.例文帳に追加

プロセス監視装置３０は、情報処理サーバ２０のそれぞれの実ＩＰアドレスを宛先として、情報処理サーバ２０に仮想ＩＰアドレスが設定されているかどうかを問い合わせるＩＰアドレス取得要求を送信し、ＩＰアドレス取得要求に応じて情報処理サーバ２０から送信されるＭＩＢ情報を受信する。 - 特許庁

The processing flow in a business process is modeled in a tree structure by connecting icons 34a, 25a, a structure line 36 and a control line 37 on a canvas domain 32 of a tool screen 30 to combine plural processing elements (a base control element, a custom processing element, a regular execution order element and a special execution order element).例文帳に追加

ツール画面３０のキャンバス領域３２上でアイコン３４ａ，３５ａ、構造線３６および制御線３７をつなぎ合わせることにより、複数の処理要素（基本制御要素、カスタム処理要素、正規実行順序要素および特別実行順序要素）を組み合わせて、業務プロセス内部の処理フローをツリー構造としてモデリングする。 - 特許庁

To properly associate a production plan with the results so that the delay/progress of processing is accurately grasped in each working process, in a production management system in which a plurality of workpieces are successively processed for each lot in a plurality of working processes.例文帳に追加

複数の加工品が各ロット毎に複数の加工工程にわたって順次加工処理される生産管理方式において、生産計画と実績との関連付けを適正なものとし、各加工工程での処理の遅れ進みを的確に把握できるようにする。 - 特許庁

To satisfactorily continue machining while generating a tool path in an in-process in a milling control system by achieving the high speed operation of processing by an interference calculation method in virtual copying machining, a tool path generation method and a virtual stylus control method.例文帳に追加

仮想倣い加工における干渉計算方法、工具経路生成方法、及び仮想スタイラス制御方法において処理の高速化を実現し、フライス加工制御システムにおいてインプロセスで工具経路を生成しつつ良好に加工を継続可能とする。 - 特許庁

The processing method includes a process which receives an original set of data related to an image in a form of an array where blocks are adjacent to each other and a process which prepares each block of converted data where a block boundary artifact does not exist essentially by processing data of each block together with data of block adjacent to each block in the array according to a prescribed conversion algorithm.例文帳に追加

ブロックが隣接し合うアレーの形態で、画像に関するデータの元のセットを受信する工程、および、所定の変換アルゴリズムに従って、それぞれのブロックのデータを、アレー内のそれぞれのすぐ隣のブロックのデータと一緒に処理することにより、ブロック境界人工物が実質的にない変換されたデータのそれぞれのブロックを作成する工程、を包含する。 - 特許庁

A method and system for vapor deposition on a substrate that disposes a substrate in a process space of a processing system that is isolated from a transfer space of the processing system, processes the substrate at either of a first position or a second position in the process space while maintaining isolation from the transfer space, and deposits a material on the substrate at either the first position or the second position.例文帳に追加

基板上の蒸着のための方法およびシステムであって、処理システムの移送空間から分離（アイソレーション）された処理システムの処理空間に基板を配置し、移送空間から分離が維持されている間、処理空間の第１の位置または第２の位置のいずれかで基板を処理し、前記第１の位置または第２の位置のいずれかで前記基板に材料を堆積させる。 - 特許庁

To provide a cup-like grinding stone for semiconductor wafer rear surface rough grinding which can enhance the grinding efficiency by improving sharpness without requiring specially complicated manufacturing process and restrain generation of grinding damage which is an obstacle in finishing grinding in a following process, and to provide a suitable grinding processing method that uses rough grinding processing by such a rough grinding cup-like grinding stone.例文帳に追加

特別複雑な製造加工を要することなく、切れ味を向上させることで研削能率を高め、かつ次工程の仕上げ研削での障害になるような研削ダメージの発生を抑制できる半導体ウェーハ裏面粗研削用のカップ型砥石、及びそのような粗研削用カップ型砥石による粗研削加工を利用した好適な研削加工方法を提供する。 - 特許庁

To provide a system using services, image handling apparatus, external processing apparatus, state change sending method and state change sending program in which a change of a state in executing an image handling process being performed by a function of a present apparatus can be speedily sent to a destination when performing at least part of the image handling process for a service by the external processing apparatus.例文帳に追加

サービスに掛かる画像取扱処理の少なくとも一部を外部処理装置で行わせるときに、自機の機能により行っている画像取扱処理の実行時の状態の変化を迅速に通知先へ通知できるサービス利用システム、画像取扱装置、外部処理装置，状態変化通知方法および状態変化通知プログラムを提供することを目的とする。 - 特許庁

The chemical substance total management system produces records in the middle of process in an arithmetic processing section, and when the arithmetic processing section produces the records, the system produces link information correlating each record with a source record from which the record has been produced, and stores these records and link information in a result database of a storage unit, thereby performing reverse retrieval processing.例文帳に追加

本発明による化学物質総合管理システムは、途中経過であるレコードを演算処理部が作成し、また、演算処理部がレコードを作成する時点で、そのレコードとそのレコードが作成される元となったレコードとを関係付けるリンク情報を作成してこれらレコードとリンク情報を記憶部の結果データベースに保存しておくことにより、逆検索処理を行う構成とした。 - 特許庁

To provide an image forming device which prevents the productivity from being degraded by process speed switching processing to improve the productivity especially at the time of outputting black-and-white and color pictures in the case of process speed switching between a black-and-white picture and a color picture.例文帳に追加

白黒画像とカラー画像とでそのプロセススピードを変える場合、特に白黒、カラー画像の混交出力を行う場合に、プロセススピードの切り替え処理による、生産性の低下を起こさせることなく、生産性を上げることができる画像形成装置を提供する。 - 特許庁

A process (a) for depositing a first insulating film on a substrate and forming recessed parts arriving at the substrate while penetrating a first insulating film, and another process (b) for depositing a second insulating film on the substrate, are carried out in parallel by a device having a plurality of processing chambers.例文帳に追加

基板上に第１絶縁膜を堆積し、第１絶縁膜を貫通して基板に到達する凹部を形成する工程（ａ）と、基板上に第２絶縁膜を堆積する工程（ｂ）とをそれぞれ、複数の処理チャンバーを有する装置で並行して実施する。 - 特許庁

The reception-side device 2 receives the electronic mail via a communication part 21, and a processing part 22 executes various kinds of the processes such as the transfer process of the electronic mail according to the process command described in the one or more parts from the multipart electronic mail.例文帳に追加

受信側装置２では、通信部２１を介して電子メールを受信し、処理部２２でマルチパートの電子メール中から１ないし複数のパートに記述されている処理コマンドに従って、例えば当該電子メールの転送処理等の各種の処理を行う。 - 特許庁

The substrate processing apparatus 1 is employed in the process of manufacturing a printed wiring board, holds the printed wiring board E with a conveyer 2 having a group of vertically grooved wheels 5, and executes each process by conveying the board without the printed circuit formed face J contacting with the wheels.例文帳に追加

この基板処理装置１は、プリント配線基板の製造工程において用いられ、上下の溝型ホイール５群を備えたコンベヤ２にて、プリント配線基板材Ｅを保持し、その回路形成面Ｊに無接触状態で搬送しつつ、各種処理を行う。 - 特許庁

To provide an injection-molded article having a hollow part molded using a gas injection process, and to improve working efficiency by eliminating a cutting process of a spill-out boss after a molded article is demolded in a method for spill-out processing adapted when the injection-molded article is molded.例文帳に追加

ガスインジェクション工法を使用して成形した中空部を有する射出成形品及び射出成形品を成形する際のスピルアウト処理方法であって、成形品の脱型後のスピルアウトボスのカット処理工程を廃止して、作業能率を高める。 - 特許庁

In the paper processing device 3 of an image forming system 1, a stapler 40 and a stapleless binder 60 are arranged to make conveyance distance of the paper bundle after a stapleless binding process shorter than conveyance distance of the paper bundle after a binding process by the stapler 40.例文帳に追加

画像形成システム１の用紙処理装置３において、ステープラ４０による綴じ処理の後の用紙束の搬送距離よりも針無綴じ処理の後の用紙束の搬送距離が短くなるように、ステープラ４０と針無綴じ装置６０が配置されている。 - 特許庁

The vacuum processing apparatus 1 includes: two process chambers PC1, PC2 and three load-lock chambers LL1, LL2, LL3 which are alternately connected in series; and a transferring device which transfers a plurality of carriers, only between the process chamber PC1(PC2) and the load-lock chambers LL1(LL2, LL3) which are adjacent to each other.例文帳に追加

真空処理装置１は、２つのプロセスチャンバＰＣ１，ＰＣ２と３つのロードロックチャンバＬＬ１，ＬＬ２，ＬＬ３が交互に直列に連結されており、隣り合うプロセスチャンバＰＣ１（ＰＣ２）とロードロックチャンバＬＬ１（ＬＬ２，ＬＬ３）との間でだけ複数のキャリアを搬送する搬送装置を備えている。 - 特許庁

In response to identifying a request to process an electronic document, which is issued to the first imaging device or an imaging device other than the first imaging device, the first imaging device updates its own current configuration for processing electronic documents to reflect the request to process electronic documents.例文帳に追加

第１の画像処理装置は、第１の画像処理装置またはそれ以外の画像処理装置に出された電子文書の処理要求を識別すると、自分自身の電子文書処理用の現在設定を更新して、その電子文書処理要求を反映させる。 - 特許庁

To solve the problem such that the size of an array type processor is in creased and its processing performance is limited since processes having different properties such as a process based upon a computing element and the process of a random logic circuit need to be actualized by each processor element when all processes are performed by an array part.例文帳に追加

アレイ型プロセッサは、全ての処理をアレイ部で行おうとすると、各プロセッサエレメントにおいて、演算器ベースの処理とランダムロジック回路の処理という、異なった性質の処理を実現させる必要があり、大型化や処理性能が限定されてしまう。 - 特許庁

To provide an arithmetic device capable of continuously carrying out a process for executing different computation depending on an input condition, of preventing an useless processing in the case where the process is interrupted when a condition is satisfied, and of improving transfer efficiency.例文帳に追加

入力条件によって異なる演算を行うような処理を連続して行うことが可能で、条件を満たせば途中で処理を中断するような場合の無駄な処理を抑止でき、また、転送効率の向上を図れる演算装置を提供する。 - 特許庁

By the process of an experience knowledge processing part 13 based on the information stored in the experience knowledge database 12, a binary table of the total number of the knowledge which defines the activities and the knowledge creating process as two axes, a graph of knowledge propagation status, and the like are displayed and outputted.例文帳に追加

そして、経験知識データベース１２に蓄積された情報に基づいた経験知識処理部１３の処理により、活動及び知識創造プロセスを２軸とした知識総数の二元表や、知識の伝播状況グラフなどが表示出力される。 - 特許庁

This method for processing a nanotube is characterized in that the method comprises a first process for bringing the nanotube 2 into contact with a first substance to form a reaction product 3 obtained by the reaction between the nanotube 2 and the first substance 1 and a second process for separating the nanotube 2 from the reaction product 3.例文帳に追加

ナノチューブ２を第１の物質１と接触させ、ナノチューブ２と第１の物質１が反応してなる反応生成物３を生成する第１の工程と、ナノチューブ２を反応生成物３から分離する第２の工程とを含むことを特徴とする。 - 特許庁

The management terminal device carries out an input reception process (as shown in the figure) for processing inputs from an authentication process for determining an authentication state and an input means such as a monitoring button 103 and an input key 107, by separate programs.例文帳に追加

管理端末装置では、認証状態とするかを判定している認証処理及び、監視ボタン１０３、入力キー１０７等の入力手段からの入力を受け付け、処理を行う入力受付処理（図２１参照）が別々のプログラムで実施されている。 - 特許庁

To provide an information processing system capable of checking the range of the other management system which receives the influence of the change of a process, and notifying a management department concerned of that an adjusting activity is necessary, thereby reducing confusion in a job site where the process is executed.例文帳に追加

プロセスの変更時にその変更の影響を受ける他のマネジメントシステムの範囲を調査し、関わるべき管理部門に調整活動が必要であることを通知し、プロセスを遂行する現場での混乱を低減させる情報処理システムを提供する。 - 特許庁

During a process period, from when the pedestal 12 approaches a processing region on this circular orbit to when is separates away from the process region, a rotation mechanism causes the pedestal 12 to rotate in the opposite direction of the revolution direction, so that the holding face of the pedestal translationally moves along the circular orbit.例文帳に追加

台座が、その円軌道上の処理領域に差し掛かり、該処理領域から離れるまでの処理期間中に、自転機構が、台座の保持面が円軌道に沿って並進移動するように、台座を、公転の向きとは反対の向きに自転させる。 - 特許庁

The vacuum processing apparatus 100 is characterized in that a 1st vacuum processing chamber 10 and a 2nd vacuum processor 30 which process a work are longitudinally connected in a freely linked state and a load lock chamber 509 equipped with a carrying mechanism 52 for carrying in and out the work between the vacuum processing chambers 10 and 30 is longitudinally coupled with the 2nd vacuum processors 30 in a free linked state.例文帳に追加

真空処理装置１００は、被処理体を処理する第１の真空処理室１０と第２の真空処理装置３０とが連通自在且つ縦列に連結されており、さらに、被処理体を真空処理室１０，３０のそれぞれの間で搬入し、搬出する搬送機構５２を備えたロードロック室５０が第２の真空処理装置３０に連通自在に縦列に連結されている。 - 特許庁

When the determination unit determines that the processing device is in an idle state in which no process is executed and a predetermined condition is not met, the control unit registers the interruption request received by the reception unit in the storage unit, and controls the transmission unit to transmit the interruption request stored in the storage unit to the processing device when the predetermined condition is met.例文帳に追加

制御部は、判定部により、処理装置が処理を実行していないアイドル状態であると判定され、所定の条件が成立しない場合は、受信部で受信した割り込み要求を記憶部に登録し、所定の条件が成立したときに、記憶部に記憶された割り込み要求を処理装置へ送信するように送信部を制御する。 - 特許庁

To provide an image processing method and apparatus, capable of acquiring uniform smoothing effect irrespective of magnitude in size of a face image, and capable of processing in high speed without deterioration in quality, regardless of the size of the facial image in a smoothing process for correcting a wrinkle, spots, etc. within the face image, such as, ID photo.例文帳に追加

証明写真のような顔画像の中のシワ、シミなどを修正するためのスムージング処理において、顔画像のサイズの大小にかかわらず、均質なスムージング効果が得られるとともに、大サイズの顔画像であっても、品質劣化が少なく、かつ高速にて処理可能であるような画像処理方法および装置を提供することを課題とする。 - 特許庁

To enable a terminal which operates a common file to quickly let a terminal of a next processor of completion information of a previous work and to enables a group work little in processing stop by setting terminal information of the previous work and the next work in the common file in the job in which a non-routine job and a processing process are short.例文帳に追加

本発明の目的は、非定型業務および処理過程の短い業務において、共有ファイルに先行作業と次作業の端末情報を設定しておくことにより、その共有ファイルを操作した端末が、先行作業の完了情報を迅速に次処理者の端末に知らせ、処理停滞の少ない共同作業を可能にすることにある。 - 特許庁

When component mounting is not completed in a component adsorption processing or a component mounting processing, a CPU informs the electronic component mounting device in a downstream process of information that component mounting is not completed in accordance with a substrate identification number or information is stored in an external storage region.例文帳に追加

ＣＰＵは、部品吸着処理または部品装着処理で、部品装着が完了しなかったときに、下流工程にあたる電子部品装着装置に、基板識別番号と対応付けて、部品装着が完了しなかった旨の情報を、それ以降の工程の電子部品装着装置に通知する、あるいは、外部の記憶領域に記憶する。 - 特許庁

Even though deceleration processing and acceleration processing are repeated in the process of maintaining a vehicle speed in this way, this repeating can be stopped at an earlier stage than when the intervention of the deceleration increase control is allowed, for example, during the vehicle speed adjustment control so that the fluctuations in a vehicle speed and torque can be converged in a short period of time.例文帳に追加

これにより、車速を維持する過程において減速処理と加速処理とを繰り返すようになるものの、その繰り返しを、例えば車速調節制御中に減速度増加制御の介入を許容する場合に比べて早期に終了することが可能になって、車速やトルクの変動を短期間で収束することが可能になる。 - 特許庁

To provide a substrate processing apparatus that simultaneously forms thin films on or applies heat treatment to a plurality of substrates, and more particularly, a substrate processing apparatus that can uniformly process a plurality of substrates by uniformly heating the substrates stacked on a boat disposed in a processing chamber.例文帳に追加

本発明は、複数の基板に同時に薄膜を形成したり熱処理するための基板加工装置に関し、加工工程のために加工チャンバーに搬入されるボートに積載された複数の基板が均一に加熱されるようにすることによって、複数の前記基板を均一に加工することができる基板加工装置に関する。 - 特許庁

The plurality of graphics processing units, respectively process the image signal in the image memory, the image processing controller controls the video signal generating module, to perform image modulation to the image signal according to operation results of the graphics processing units, and the video signal generating module generates and outputs a video signal.例文帳に追加

複数のプロット処理器で、それぞれ、画像メモリにある画像信号を処理し、画像処理制御器は、当該プロット処理器の演算結果に基づいて、画像信号生成モジュールが画像信号に対して画像変調処理をすることを制御し、画像信号生成モジュールは、ビデオ信号を生成して出力する。 - 特許庁

An image processing means 121 changes a method of processing an image (such as changing the mask pattern used in the edge emphasizing process as the image processing) for a read image obtained by a microfilm scanner 110 based on the information on the optical system (such as about the type or the zoom magnification of a projection lens, etc.), of the microfilm scanner 110.例文帳に追加

画像処理手段１２１は、マイクロフィルムスキャナ１１０が有する光学系に関する情報（投影レンズのタイプ又はズーム倍率等）に基づいて、マイクロフィルムスキャナ１１０で得られた読取画像に対する画像処理方法を変更（画像処理としてのエッジ強調処理で使用するマスクパターンの変更等）する。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a brass-plated steel wire capable of improving quality of the steel wire obtained by enhancing lubricating performance between the steel wire and a tool during processing in a final wire drawing process and reducing processing electric power by reduction of work amount required for processing.例文帳に追加

最終伸線工程での加工時における鋼線と工具との間の潤滑性を向上することで、得られる鋼線の品質を向上するとともに、加工に要する仕事量の低減により加工電力の低減についても図ることができるブラスめっき鋼線の製造方法を提供する。 - 特許庁

This card processor is suitable for automatic process as the tool holding part 400 to hold a plural number of kinds of the processing tools 410 is furnished and the proper processing tools can be automatically installed on the processing head 320 in accordance with a control signal from a computer 100 for control.例文帳に追加

複数種類の加工治具４１０を保持する治具保持部４００を備え、制御用コンピュータ１００からの制御信号に基づき、加工対象物である厚紙の特性や加工工程に応じて適切な加工治具を自動的に加工ヘッド３２０に装着させることができるため、自動加工に適している。 - 特許庁

To provide a plasma processing apparatus that achieves high processing accuracy and high reliability by preventing adverse effects on the next process and mixing of gasses, which should not be mixed with each other, by surely removing a residual gas inside a vacuum container and that of in processing-gas supply piping, and a method for operating the same.例文帳に追加

真空容器内及び処理ガス供給配管内の残留ガスを確実に除去することにより、次の工程への悪影響と混合させてはならないガス同士の混合を防止し、加工精度と信頼性の高いプラズマ処理装置及びその運転方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

The ozone water processing method and the ozone water processing apparatus process the object to be processed using ozone water containing ozone air bubbles of superfine size produced by a method in which no additive is contained, especially the ozone water containing the ozone air bubbles of superfine size is heated to improve processing efficiency of the object to be processed.例文帳に追加

添加物を含めない方法によって生成された超微細粒径のオゾン気泡を含有するオゾン水を用いて被処理物を処理するオゾン水処理方法及びオゾン水処理装置で、特に、超微細粒径のオゾン気泡を含有するオゾン水を加熱して被処理物の処理効率を向上させる。 - 特許庁

The processing stations are partitioned into a processing block B1 comprising a processing unit for applying and developing a resist as well as a second cooling part 3, and a transfer block B2 comprising a wafer transfer means MA, heating part, first cooling part, while the process block B1 is in a high-precision adjusted atmosphere for controlling a temperature.例文帳に追加

これら処理ステ−ションは、レジストの塗布処理や現像処理を行う処理ユニットＵと第２の冷却部３と備えた処理ブロックＢ１と、ウエハ搬送手段ＭＡと加熱部と第１の冷却部とを備えた搬送ブロックＢ２とに区画され、処理ブロックＢ１は温度の制御を行う高精度調整雰囲気となっている。 - 特許庁

Meanwhile, a picture image obtained by photographing a scene in the electric wave arrival direction is inputted into an image processing part 16 to correctively process a parallax caused by an offset between the center of the antenna and the camera position, and thereafter, is superimposed on a result of processing made by the processing part 15 and displayed on a display device 17.例文帳に追加

一方、カメラ１２により電波到来方向の景色を撮影された画像は、映像処理部１６に入力され、アンテナ中心とカメラ位置のオフセットから生ずる視差を補正処理をした後、電波発射源可視化処理装置１５との処理結果と重ね合わせて表示装置１７に表示する。 - 特許庁

To provide a color proof creation system which dispenses with the designation of each of the pieces of color printing plate data each time a user creates a color proof and does not waste a color proof under process of creation when a trouble occurs in the system and requires no processing time as well as an information processing method, an information processing device and an information recording medium.例文帳に追加

本発明は、ユーザーがカラープルーフ作成の度に、各色版データの指定を行うことなく、しかも、システム内でトラブルが発生した場合に、作成途中のカラープルーフを無駄にすることなく、処理時間を要しないカラープルーフ作成システム、情報処理方法、情報処理装置及び情報記録媒体を提供する。 - 特許庁

The signal processing method or the like is provided, which includes: a procedure when processing signals, for referencing data for managing relations of a signal number provided to a structure for managing a process to a priority and a procedure for processing the signals on the basis of the data, and processes the signals in order of arbitrary priority.例文帳に追加

シグナルを処理する際に、プロセスを管理する構造体に備わったシグナル番号と優先度との関係を管理するデータを参照する手順と、前記データに基づき前記シグナルを処理する手順とを備え、任意の優先度順に前記シグナルを処理することを特徴とするシグナル処理方法等、を提供する。 - 特許庁

For a second lot to be processed using a recipe in which an alternative processing unit is designated for a priority processing unit having an abnormality, a control unit 25 changes a schedule so that the processor is changed to the alternative section to process the second lot, and the control unit 25 continuously executes the processing of the second lot with the changed schedule.例文帳に追加

異常が発生した優先処理部に代替処理部が指定されているレシピによって処理される第２ロットについては、代替処理部に乗り換えて第２ロットの処理を行うように制御部２５がスケジュールを変更するとともに、制御部２５がその変更したスケジュールで第２ロットの処理を継続的に実行する。 - 特許庁

To provide an apparatus capable of uniformly supplying processing liquid to a surface of a substrate even when the flow rate of the processing liquid supplied to an end on the high-order side in the tilting direction of the substrate is a little when the substrate is supported slantingly and the processing liquid is supplied to the substrate surface to process the substrate.例文帳に追加

基板を傾斜姿勢に支持し基板表面へ処理液を供給して基板の処理を行う場合に、基板の、その傾斜方向における上位側の端辺部へ供給される処理液の流量が少なくても、基板の表面へ処理液を均一に供給できる装置を提供する。 - 特許庁