「surface step」に関連した英語例文の一覧と使い方(76ページ目) - Weblio英語例文検索

Also, a step 283 is provided in the standby flow path 221 to regulate the number of game balls standing on the downstream side of a step surface 284, and a game ball detection means (fraudulent ball detection sensor 282) is disposed so as to detect the game ball positioned on the most upstream side of the regulated game balls.例文帳に追加

また、待機流路２２１に段差２８３を設け、段差面２８４よりも下流側に待機する遊技球の数を規制するとともに、該規制された遊技球の最上流に位置する遊技球を検出可能に遊技球検出手段（不正球検出センサ２８２）を配設する。 - 特許庁

The coating film on the edge part is efficiently removed in this way and total treating time is reduced because a linear film formed on the substrate surface of the edge part in the first removing step is removed in the second removing step.例文帳に追加

この手法では、第１の除去工程にて縁部の基板表面に線状の薄い塗布膜が発生するが、この線状の塗布膜が第２の除去工程にて除去されるので、トータルの処理時間が短縮され、効率良く前記縁部の塗布膜を除去することができる。 - 特許庁

This manufacturing method of electronic component 1 comprises a step of having warping a metal plate 2 of oxygen-free copper warped previously toward the side of upper surface 2b to be brazed with a ceramic plate 6, and a step for brazing the warped metal plate 2' with an alumina ceramic plate 6 through a brazing material 4.例文帳に追加

無酸素銅からなる金属板２をセラミックス板６がロウ付けされる上表面２ｂ側に予め反らせる工程と、該反った金属板２′にロウ材４を介してアルミナからなる上記セラミックス板６をロウ付けする工程とを含む、電子部品容器１の製造方法。 - 特許庁

The method of manufacturing the flanged developer carrying member has a process step of manufacturing the developer carrying member 1 by forming the film on the surface of the cylindrical substrate and a process step of adhering the flange 2 to the end of the developer carrying member 1 by using the anaerobic adhesive 5.例文帳に追加

また、円筒基体の表面に被膜を形成し、現像剤担持体１を作製する工程と、該現像剤担持体１の端部に、嫌気性接着剤５を使用してフランジ２を接着する工程とを有することを特徴とするフランジ付き現像剤担持体の製造方法である。 - 特許庁

Further, in the battery pack in one embodiment, the coupling between the first case and the second case can be guided smoothly in an initial step in which a surface part facing an upper step part of the rib formed in the coupling hole of the first case is opened and the coupling protrusion and the coupling hole are coupled.例文帳に追加

また、本発明の一実施の形態によるバッテリーパックは、第１ケースにおいて結合ホールの形成されたリブの上段部と向き合う表部を開放して結合突起と結合ホールとに結合する初期ステップにて、第１ケースと第２ケースとの間の結合を円滑に誘導できる。 - 特許庁

The catalyst for decomposing hydrogen peroxide comprises a catalyst electrode 3 which has undergone an electrolysis step, wherein the electrolysis step is carried out by: dipping the catalyst electrode 3 having a surface made of platinum etc. and a counter electrode 4 into an electrolyte solution 2; and applying an electric current to the catalyst electrode 3 and the counter electrode 4 serving as a cathode and an anode, respectively.例文帳に追加

過酸化水素分解触媒は、表面が白金等からなる触媒用電極３と、対極４とを電解質溶液２中に浸漬し、該触媒用電極３をカソード、該対極４をアノードとして電流を流す電解工程を経た後の触媒用電極３からなる。 - 特許庁

In the case of driving a DC motor and a stepping motor simultaneously, a code disk previously provided on the outer peripheral surface of a rotary barrel is detected and the stepping motor is driven so that a focus lens may be moved by a moving amount corresponding to the range of the detected code disk (step 212 to step 226).例文帳に追加

ＤＣモータ及びステッピングモータを同時に駆動する際に、予め回転筒の外周面に設けたコード板を検出し、検出されたコード板の範囲に対応する移動量分フォーカスレンズが移動するようにステッピングモータを駆動する（ステップ２１２からステップ２２６）。 - 特許庁

The mounting method includes a step of placing a droplet 20 including a dispersion medium 21 and a single element chip 22 in the dispersion medium 21 on one main surface of a board 10, and a step of placing the element chip 22 on the board 10 by eliminating the dispersion medium 21 from the droplet 20.例文帳に追加

分散媒２１と分散媒２１に入れられた１つだけの素子チップ２２とを含む液滴２０を、基板１０の一主面上に配置する工程と、液滴２０から分散媒２１を除去することによって、素子チップ２２を基板１０上に配置する工程とを含む。 - 特許庁

The method for producing the absorbent cotton with the nonwoven fabric comprises a first step ST4 of laminating the nonwoven fabric to the absorbent cotton and a second step ST5 of jetting water on the surface on the side of the nonwoven fabric in the laminate and interlacing fibers of the nonwoven fabric with fibers of the absorbent cotton.例文帳に追加

脱脂綿及び不織布を積層する第１の工程ＳＴ４と、前記積層体のうち不織布側の面に水を噴射して、前記不織布の繊維を前記脱脂綿の繊維に交絡させる第２の工程ＳＴ５と、を有することを特徴とする不織布付き脱脂綿の製造方法である。 - 特許庁

The method for analyzing the cell includes a step (a) of measuring the intensity values of reflected light being caused by the cell immobilized on the plate by using a surface plasmon resonance imaging method, and a step (b) of calculating parameters relating to the cell from the intensity values of the reflected light.例文帳に追加

細胞を分析する方法であって、（ａ）表面プラズモン共鳴イメージングを用いてプレート上に固定された細胞に起因する反射光強度を測定する工程；および（ｂ）該反射光強度から、該細胞に関するパラメータを算出する工程、を包含する、方法。 - 特許庁

After ending the step for forming a nozzle hole, electrolytic plating is performed using the substrate as an electrode while immersing the substrate into nickel plating liquid containing fine particles of fluororesin thus forming an eutectoid plating film containing fluorine, as a water repellent film 17, on the surface of the substrate (step for forming a water repellent film).例文帳に追加

また、ノズル孔形成工程終了後には、フッ素樹脂の微粒子を含むニッケルめっき液に基板を浸しつつ、基板を電極として、電解めっき処理を施すことにより、基板表面に、フッ素含有の共析めっき膜を、撥水膜１７として形成する（撥水膜形成工程）。 - 特許庁

A cleaning method of a substrate processing apparatus comprises a step for conveying a cleaning member having a contamination collection capability which is different from contamination collection capability by mirror surface conveyance of a silicon wafer, and a step for performing mirror side conveyance of a silicon wafer, after the transfer of the cleaning member.例文帳に追加

本発明の基板処理装置のクリーニング方法は、シリコンウェハのミラー面搬送による異物捕集能力とは異なる異物捕集能力を有するクリーニング部材を搬送すること、および、該クリーニング部材の搬送の後、シリコンウェハのミラー面搬送を行うことを含む。 - 特許庁

A method for manufacturing a patterned body is provided, which includes: a preparation step of preparing a substrate 10, having a photoresist layer 20 that allows a shape change in a heat mode on the surface; and an exposure step of irradiating the photoresist layer 20, with a laser beam to partially remove the photoresist layer 20.例文帳に追加

表面にヒートモードによる形状変化が可能なフォトレジスト層２０を有する基板１０を用意する準備工程と、フォトレジスト層２０にレーザ光を照射してフォトレジスト層２０の一部を除去する露光工程と、を有するパターン形成体の製造方法である。 - 特許庁

The method for improving the under-floor section contains a step of manufacturing the bamboo-charcoal paints by mixing a solvent containing alcohol with a species of thick-stemmed bamboo baked and crushed in proper sizes, and the step of spraying and permeating the bamboo-charcoal paints uniformly on the ground surface of the under-floor section of the building.例文帳に追加

本発明の床下改善方法は、焼成し、適当な大きさに砕いた孟宗竹にアルコールを含んだ溶剤を混合して竹炭塗料を製造する段階と、竹炭塗料を建築物の床下の地面に均一に散布して浸透させる段階とを含むことを特徴とする。 - 特許庁

A rubbing apparatus 11 for performing rubbing an LCD substrate 12 is a step for rubbing the surface of the LCD substrate (substrate) 12 using a rubbing roll 13 so that, in the case of an LCD substrate 12 where a wiring pattern is printed or sintered on the substrate in a preceding step, static electricity is easily generated as it is.例文帳に追加

ＬＣＤ基板１２にラビング処理を行なうラビング装置１１は、ＬＣＤ基板（基板）１２の表面をラビングロール１３で擦る工程であるため、前工程で基板に配線パターンの印刷や焼成を行なったＬＣＤ基板１２の場合、そのままでは静電気が発生し易い。 - 特許庁

The devised drive device is capable of step-by-step positioning by combining a pump capable of controlling a force with the channel in which a plurality of obstructions capable of trapping a moving interface by surface tension are arranged, forming them on the same chip, and releasing the trapping by a pulsating force exceeding the force of the trapping.例文帳に追加

移動する界面を表面張力でトラップできるような障害を複数配置した流路に、力が制御できるようなポンプを組み合わせて同じチップ上に形成し、トラップ力を超えるパルス的な力でトラップをはずし、ステップ的な位量決めが可能な駆動装置を考案した。 - 特許庁

A packaging method of a semiconductor device includes a step for forming a through hole (12) in a base substrate (10) and a step for forming a conductive layer (18) by depositing a conductive material (14) on a first surface (16) of the base substrate (10) so that the through hole (12) is filled with the conductive material (14).例文帳に追加

半導体デバイスのパッケージング方法は、ベース基板（１０）にスルーホール（１２）を形成する工程と、導体材料（１４）がスルーホール（１２）を充填するようにベース基板（１０）の第１の面（１６）に導体材料（１４）を堆積して導体層（１８）を形成する工程と、を含む。 - 特許庁

In a powder adhering process step, powder is applied to a slot rod 1 to adhere the powder to the inside surface of grooves 3 and the slot rod 1 is sent to a coated fiber housing process step where the respectively plural coated optical fiber ribbons 4 are laminated and housed in the grooves 3 and the slot type optical fiber cable is manufactured.例文帳に追加

粉体付着工程では、スロットロッド１に粉体を塗布して粉体を溝３の内面に付着させ、このスロットロッド１を心線収納工程に送って、その溝３内にそれぞれ複数のテープ状光ファイバ心線４を積層して収納し、スロット型光ファイバケーブルを製造する。 - 特許庁

This piston rod comprises a body part in which the hollow part is formed and open at both ends, a step part formed apart to the inside a predetermined distance from one end of the hollow part and having a screw part formed in the inner surface, and a guide part screwed to the step part and closing the open hollow part.例文帳に追加

内部に中空部が形成され、両端が開口した胴体部と、中空部の一端から所定の長さだけ内側に段差付きに形成され、内側面にねじ部が形成された段差部と、段差部に螺合され、開口した中空部を塞ぐガイド部と、を備える。 - 特許庁

In the surface shape measuring method, an error distribution contained in fringe order computation is estimated in the determination of fringe order of each position in two-wavelength phase-shifting interferometry (Step S21-S24), and the fringe order is determined by subtracting specified errors from the error distribution (Step S25 and S26).例文帳に追加

本発明の表面形状測定方法によれば、２波長位相シフト干渉法における各位置の縞次数の決定において、縞次数の計算に含まれる誤差分布が推定され（ステップＳ２１〜Ｓ２４）、その誤差分布から特定した誤差を差し引いて縞次数が求められる（ステップＳ２５，Ｓ２６）。 - 特許庁

The image forming method has a step in which an electrostatic latent image on a photoreceptor is developed with a toner containing a bonding resin to form a toner image and this toner image is transferred to a recording material to obtain a recorded image and a step for removing the residual toner on the surface of the photoreceptor.例文帳に追加

画像形成方法は、感光体上の静電潜像を結着樹脂を含むトナーを用いて現像してトナー像を形成し、トナー像を記録材に転写して記録画像を得る工程と、感光体の表面に残存したトナーを除去する工程とを備えている。 - 特許庁

Further, this inspecting method includes an energizing step of energizing a primary coil 31 from an external power supply, and a potential measuring step of measuring the potential of a bridge terminal 60 electrically connected to a central electrode 22 by bringing into contact with at least a part of the discharge surface 221 of the central electrode 22.例文帳に追加

また，この検査方法は，外部電源から１次コイル３１に通電する通電ステップと，中心電極２２の放電面２２１の少なくとも一部との当接により中心電極２２と電気的に接続したブリッジターミナル６０の電位を計測する電位計測ステップとを有してなる。 - 特許庁

The method for forming the oxide film on the surface of the material to be treated made mainly of the valve metal by anodizing the material comprises: the first anodizing step of anodizing the material at low current density; and the second anodizing step of anodizing the material at high current density.例文帳に追加

陽極酸化により、バルブ金属を主成分とする被処理材の表面に酸化物皮膜を形成するに当たり、低電流密度で陽極酸化を行う第１陽極酸化工程と、高電流密度で陽極酸化を行う第２陽極酸化工程とを行う。 - 特許庁

The method for manufacturing the hard foamed molding 1 comprises the step of casting a resin raw material containing an isocyanate as a base in a mold and molding the material, and the step of releasing the molding 1 before completing curing after molding from the surface 22 of the mold by elastically deforming the molding 1.例文帳に追加

硬質発泡成形体１の製造方法であって、イソシアネートをベースとする樹脂原料を成形型に注入して成形する工程と、成形後であって硬化完了前の成形体１を弾性変形させて成形型表面２２から剥離する工程、とを備えることを特徴とする。 - 特許庁

In this sleeve drive-in type mechanical anchor bolt installed in a hole cut and bored in existing concrete, an engaging step part is formed on the circumferential surface of a taper part 11 of the bolt body, and a circumferential stripe engaging part gearing with the engaging step part is formed between the inside surfaces of an expansion part 23 of a sleeve 20.例文帳に追加

既存コンクリートに削孔された孔内に設置されるスリーブ打ち込みタイプのメカニカルアンカーボルトにおいて、ボルト本体のテーパ部１１の周面に係合段部を設ける一方、スリーブ２０の拡張部２３の内周面間に係合段部と噛み合う円周縞係合部を形成する。 - 特許庁

To provide a method for producing an optical fiber capable of further prolonging the survival length of an optical fiber as an index of the probability of breaking in a screening step which is carried out after a drawing step by making the surface condition of an optical fiber preform suitable for drawing immediately before drawing.例文帳に追加

線引き直前に光ファイバプリフォームの表面状態を線引きに好適な状態にすることにより、線引工程後に実施されるスクリーニング工程での破断確率の指標である光ファイバの生存長をさらに延長させることが可能な光ファイバの製造方法を提供する。 - 特許庁

The process for producing a substrate for solar cell comprises (i) a step for forming an insulation layer 12 of first insulating material on a metal plate 11 by sol-gel method, and (ii) a step for forming an insulation portion 14 of second insulating material on the surface of the metal plate 11 at a part facing the pinhole portion of the insulation layer 12.例文帳に追加

（ｉ）金属板１１上に、ゾル・ゲル法で第１の絶縁材料からなる絶縁層１２を形成する工程と、（ii）絶縁層１２のピンホール部分に面する金属板１１の表面に、第２の絶縁材料からなる絶縁部１４を形成する工程とを含む。 - 特許庁

In the method for processing the silicon substrate, a hydrogen stabilization treatment in which silicon elements on at least one main surface of a p-type silicon substrate are coupled with hydrogen, is applied, a thin film is formed a mask thin film formation step, and the thin film in a partial area of the thin film is removed in a mask thin film partial removal step.例文帳に追加

ｐ型のシリコン基板の少なくとも一主面表面のシリコン元素が水素と結合する水素安定化処理がなされ、マスク薄膜形成工程において薄膜が形成され、マスク薄膜部分除去工程において薄膜のうち一部領域にある薄膜部分が除去される。 - 特許庁

Provided is the BOD coating method for carrying out a polymerizable functional group introducing step of introducing the polymerizable functional group into the surface of the BOD molecule, and a copolymerizing step of initiating copolymerization of the polymerizable functional group with a polymerizable monomer at ≤17°C.例文帳に追加

ビリルビンオキシダーゼ（ＢＯＤ）分子の表面に重合性官能基を導入する重合性官能基導入工程と、該重合性官能基と重合性モノマーが共重合をおこす共重合工程と、を１７℃以下で行うビリルビンオキシダーゼ（ＢＯＤ）の被覆方法を提供する。 - 特許庁

The method for producing a porous titanium-titanium oxide composite body comprises: a step where the surface of titanium or an alloy composed essentially of titanium is smoothed; and a step where the titanium or alloy composed essentially of titanium is subjected to electrolytic oxidation in an electrolytic solution comprising halogen atom-containing ions.例文帳に追加

チタンもしくはチタンを主成分とする合金の表面を平滑にする工程、および前記チタンもしくはチタンを主成分とする合金をハロゲン原子を含有するイオンを含む電解質溶液中で電解酸化する工程から成る多孔質チタン−チタン酸化物複合体の製造方法。 - 特許庁

The method for making a carbon nanotube composite material includes: a first step of providing a carbon nanotube structure comprising a plurality of carbon nanotubes; and a second step where at least one conductive coating layer is covered on the surface of respective carbon nanotubes in the carbon nanotube structure.例文帳に追加

本発明のカーボンナノチューブ複合物の製造方法は、複数のカーボンナノチューブを含むカーボンナノチューブ構造体を提供する第一ステップと、前記カーボンナノチューブ構造体における各々のカーボンナノチューブの表面に、少なくとも一つの導電性層を被覆する第二ステップと、を含む。 - 特許庁

Such a toner can be produced by a method including a polymerization step of forming polymerization microparticles as a by-product besides suspension polymerization particles by suspension polymerization, and a fixing step of depositing the polymerization microparticles on the surface of the suspension polymerization particles.例文帳に追加

このようなトナーは、懸濁重合により、懸濁重合粒子を生成させるとともに、重合微粒子を副生させる重合工程と、前記懸濁重合粒子の表面に、前記重合微粒子を固着させる固定化工程とを有する方法により製造できる。 - 特許庁

This method of manufacturing magnet includes the step of forming an alkaline silicate coating film on the surface of the main body of the magnet containing a rare-earth element and a step of treating the alkaline silicate coating film with an acidic aqueous solution containing at least one acid selected from among a boric acid, oxalic acid, and sulfurous acid.例文帳に追加

希土類元素を含む磁石本体の表面にアルカリ珪酸塩被膜を形成する工程と、前記アルカリ珪酸塩被膜を、ホウ酸、シュウ酸および亜硫酸から選ばれる少なくとも一つを含む酸性水溶液で処理する工程とを有する磁石の製造方法。 - 特許庁

A hexagonal boron nitride powder containing oxygen not only on the surface of the powder but also insde thereof is pressure formed to make a preformed body (preformation step), and the preformed body is sintered in a non-oxidizing gas or in vaccum at ≥600°C and <1,100°C (sintering step).例文帳に追加

粒子の表面のみならず内部にも酸素が含まれている六方晶系窒化ホウ素粉末を圧力成形してプレ成形体とし（プレ成形工程）、プレ成形体を非酸化性ガス雰囲気中又は真空中において６００℃以上１１００℃未満で焼結する（焼結工程）。 - 特許庁

The oxide film formation method includes: a step of generating a plasma from a gas mixture containing an inert gas and an oxidizing gas whose mixing ratio to the inert gas is ≥0, and is ≤0.007; and a step of forming the oxide film on a surface of a silicon substrate by using the plasma.例文帳に追加

酸化膜の形成方法は、不活性ガスと、前記不活性ガスに対する混合割合が０よりも大きく且つ０．００７以下である酸化ガスと、を含む混合ガスからプラズマを生成する工程と、前記プラズマを用いてシリコン基板の表面に酸化膜を形成する工程と、を含む。 - 特許庁

Then, a surface side of the flat-shaped substrate 15 is opposed to the inner wall step portion of the container main body 7 fixing the IC chip 1, and a first junction terminal 5a of the inner wall step portion and a second junction terminal 5b of the flat-shaped substrate 15 are connected by a solder.例文帳に追加

次に、ＩＣチップ１が固着された容器本体７の内壁段部に前記平板状基板１５の表面側を対向させ、内壁段部の第１接合端子５ａと前記平板状基板１５の第２接合端子５ｂとを半田によって接続した構成とする。 - 特許庁

In the method of manufacturing the semiconductor device having the step of flattening the semiconductor substrate front surface by buffing on the way of the wafer process, the shape of a hole-like marker for the alignment formed before the above flattening step inverse tapered shape-like cross-sectional shape.例文帳に追加

ウエハプロセスの途中で半導体基板表面をバフ研磨により平坦化する工程を有する半導体装置の製造方法において、前記平坦化工程の前に形成されるアライメント用ホール状マーカーの形状を逆テーパー状断面形状にする半導体装置の製造方法とする。 - 特許庁

The generated coordinate planes are displayed in given order of priority, where a selection of coordinate points on the displayed coordinate surface (Step S105, S107) allows the display of further coordinate planes or checks on document contents (Step S111, S110), until a target document is acquired.例文帳に追加

つづいて、生成した座標平面を所定の優先度順に表示し、表示された座標表面上の座標点を選択することで（ステップＳ１０５，Ｓ１０７）、さらなる座標平面の表示や文書内容の確認を行い（ステップＳ１１１，Ｓ１１０）、最終的に目的の文書を取得する。 - 特許庁

The stairs climbing wheel 2 climbs up while placing a slope plate 4 between the step difference of the stairs, carries the slope plate 4, and places the slope plate 4 across the front step difference before climbing up, and a gear 3 is meshed with a rack 5 on a top surface of the slope plate 4, and the wheel 2 climbs up.例文帳に追加

階段を上昇する車輪２は階段の各段差にスロープ板４をかけながら登板するもので、スロープ板４を携帯させて順次車輪２の登板に先立って前方の段差に橋渡しし、スロープ板４上面のラック５に歯車３が噛み合い登坂する。 - 特許庁

When the push button 12 is pushed in further, the step 11f comes to the dead end at the ground plate 6 and so the touching part 6a becomes a fulcrum, the tip end surface 12a pushes the touching part 11g of the step 11f as a site of force and the couple of forces shown with arrows A and B work on the switch spring 11e.例文帳に追加

更にプッシュボタン１２が押込まれると、段部１１ｆが地板６で行き止まるので、その当接部６ａが支点となり、先端面１２ａは段部１１ｆとの当接部１１ｇを力点として押すことになり、スイッチバネ１１ｅに矢印Ａ、Ｂで示す偶力がはたらく。 - 特許庁

The silicon ring having an inner step 14 for supporting a material under etching opposite to an upper electrode plate in a plasma etcher has an etch-durable film 24 formed on at least the supporting surface 21 of the inner step 14 of the ring.例文帳に追加

プラズマエッチング装置内で上部電極板と相対向する位置に設置される被エッチング物を支持するための内段１４を有するシリコン製リングにおいて、前記シリコン製リングの内段１４の少なくとも支持面２１に耐エッチング性被膜２４を形成したことを特徴とする。 - 特許庁

A protruded part 13 forming a plural number of steps of step parts 14-16 having thickness T2 less than thickness t1 of the plate-like objects W in stages is provided on the carrier surface 10, and surfaces 14b-16b in the upstream in the carrying direction of each of the step parts are inclined relative to the carrying direction A.例文帳に追加

搬送面１０上に、板状物体Ｗの厚みｔ_1 以下の厚みｔ_2を持つ段部１４〜１６を階段状に複数段形成した凸部１３を設け、各段部の搬送方向上流側の面１４ｂ〜１６ｂを搬送方向Ａに対して傾斜させる。 - 特許庁

The method for controlling hydrophilic property and hydrophobic property of surface of the synthetic resin molded article comprises a first step for bringing the synthetic resin molded article into contact with a supper critical carbon dioxide containing a specific surfactant and a second step for retaining the synthetic resin molded article after contacting for a definite time under definite environmental conditions.例文帳に追加

合成樹脂成形品を特定の界面活性剤を含有する超臨界二酸化炭素に接触させる第１工程、及び接触させた後の合成樹脂成形品を一定の環境条件下で一定時間保持する第２工程からなる親水性疎水性制御法である。 - 特許庁

The method of cutting the graphite thin film includes the stages of: providing the graphite thin film 2 on the surface of a substrate 1 having a plurality of step portions 1a; and heating the substrate 1 provided with the graphite thin film 2 in an oxygen-containing atmosphere and cutting the graphite thin film 2 at positions of the step portions 1a.例文帳に追加

複数の段差部１ａを有する基板１の表面に、グラファイト薄膜２を設ける工程と、グラファイト薄膜２が設けられた基板１を、酸素含有雰囲気下で加熱して、グラファイト薄膜２を段差部１ａの位置で切断する工程とを含む、グラファイト薄膜の切断方法。 - 特許庁

A surface on which an organic film containing silicon formed on a semiconductor wafer substrate is removed is processed by a method at least including a first step of carrying out a cleaning process with ammonia aqueous solution, and a second step of carrying out a cleaning process with diluted hydrofluoric acid aqueous solution.例文帳に追加

半導体ウェハー基板上に形成されたシリコン含有有機膜を除去した表面を、アンモニア水溶液により洗浄処理を行う第１のステップと、希釈フッ酸水溶液により洗浄処理を行う第２のステップを少なくとも有する方法で処理する。 - 特許庁