「surface- roughness」に関連した英語例文の一覧と使い方(76ページ目) - Weblio英語例文検索

Further by providing a rough face of surface roughness over 25a on the back of the impeller, the peripheral speed of fluid between the impeller 12 and the casing 14 is raised, the flow condition is changed, and the disc friction is reduced.例文帳に追加

また、羽根車背面に表面粗さ２５ａ以上の粗面を設けることにより、羽根車１２とケーシング１４の間の流体の周速を高め、流れの状態を変化させ、円板摩擦を低減させる。 - 特許庁

To provide a protective film which is transparent and thus allows an optical inspection to be carried out without the need for a separator, in a state wherein the film is pasted with an article to be protected, and besides, brings about no roughness onto the tack surface at the time of winding off.例文帳に追加

セパレータを必要とせず、被保護体と貼合したままで光学検査を行うことができる透明性を有し、しかも巻出し時に粘着表面が粗れることのない保護フィルムを提供する。 - 特許庁

In the member for the semiconductor manufacturing device arranged at the semiconductor manufacturing device treating a semiconductor wafer, the member for the semiconductor manufacturing device is an alumina base material having a 4-10 μm surface roughness Ra.例文帳に追加

半導体ウエハを処理する半導体製造装置に配置される半導体製造装置用部材において、表面粗さＲａが４μｍ〜１０μｍのアルミナ基材である半導体製造装置用部材。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a group III-V compound semiconductor photo diode which can control the depth of a p-type diffusion region with high precision and does not generate roughness on a semiconductor light receiving surface.例文帳に追加

ｐ型拡散領域の深さを高い精度で制御することができかつ半導体受光表面の荒れを生じることのないＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体フォトダイオードの作製方法を提供する。 - 特許庁

To provide a grinding work method capable of manufacturing a non- axisymmetric aspherical mirror having high shape precision and excellent surface roughness and capable of precisely reflecting or converging light in a short period of time and with high precision.例文帳に追加

高い形状精度と優れた表面粗さを有し光を正確に反射又は収束させることができる非軸対称非球面ミラーを短時間に高精度に製作できる研削加工方法を提供する。 - 特許庁

To provide a graphite electrode for electric discharge machining composed of isotropic graphite for reducing the electrode consumption ratio, reducing roughness of a processing object surface, and useful for finishing processing; and its economically advantageous manufacturing method.例文帳に追加

電極消耗比が低く、被加工面の粗さが小さい、仕上げ加工用に有用な等方性黒鉛からなる放電加工用黒鉛電極および経済的に有利なその製造方法を提供すること。 - 特許庁

To reduce relative friction between a cylinder and a piston by causing surface roughness of the cylinder to be proper and by improving wear resistance of a piston ring in a cylinder-piston sliding structure and a piston-cylinder sliding structure.例文帳に追加

シリンダ・ピストン摺動構造及び該ピストン・シリンダ摺動構造において、シリンダの表面あらさを適正にし、ピストンリングの耐摩耗性を改善することにより、シリンダ、ピストン間の相対的なフリクションを低減する。 - 特許庁

The indium oxide sintered compact substantially consists of indium oxide and germanium, and has a relative density of ≥97% and surface roughness (Rmax) of ≤3.0 μm.例文帳に追加

実質的に酸化インジウム及びゲルマニウムからなる焼結体であって、相対密度が９７％以上であり、かつ表面粗さ（Ｒｍａｘ）が３．０μｍ以下であることを特徴とする酸化インジウム焼結体によって提供。 - 特許庁

The mechanical strength of the piezoelectric ceramics is improved by reducing the difference of surface roughness between a pair of surfaces whereon vibrating electrodes are to be formed.例文帳に追加

圧電セラミックスの表面粗さに着目したところ、振動電極が形成される一対の面の表面粗さの差が小さい場合に機械的強度を向上することができることを確認して本発明を完成するに至った。 - 特許庁

To provide an ion implantation annealing method for single crystal silicon carbide (SiC) which has good electric activity of ion doping, can reduce surface roughness due to annealing processing and has good throughput.例文帳に追加

単結晶炭化ケイ素（ＳｉＣ）に対するイオン注入アニール方法において、イオンドープの電気的活性度が良好であると同時にアニール処理による表面粗れを低減でき、且つスループットが良好な方法を提供する。 - 特許庁

The film winding method for winding the continuous band-shaped film in the shape of the roll and the film roll thus obtained is provided by using a core comprising paper, resin or metal having an average surface roughness of 2.0 μm or less.例文帳に追加

平均表面粗さが２．０μｍ以下であるような紙や樹脂、金属などからなるコアを用いて連続した帯状のフイルムをロール状に巻くフィルムの巻き取り方法およびこのようにして巻いたフィルム原反。 - 特許庁

Especially the roughness and shape of the contact surface related to the belt is adapted to attain hydrodynamic lubricating conditions, and the lubricating oil is determined to meet the requirements of the bush belt with improved efficiency.例文帳に追加

特に、ベルトの関連のある接触表面の粗度と形状は、流体力学的潤滑条件を達成するよう適合され、一方、潤滑油は改良された効率のプッシュベルトの要求に合うように定められる。 - 特許庁

To provide a magnetic laminated film which reduces surface roughness in film formation of a magnetic film to form an upper electric pole, etc. with high precision, to provide a manufacturing method thereof, and to provide a magnetic head using the magnetic laminated film.例文帳に追加

磁性膜の成膜時の表面粗さを低減し、上部磁極等を高精度に形成することを可能にする磁性積層膜およびその製造方法、ならびに磁性積層膜を用いた磁気ヘッドを提供する。 - 特許庁

Also, the die which has been formed to have the edge roughness being 30 nm or lower and an object to be processed are pressed, and by transferring the pattern of the die to the surface to be molded of the object to be processed, this microfabricated article is formed.例文帳に追加

また、このようにエッジラフネスが３０ｎｍ以下に形成された型と加工対象物とを押圧し、型のパターンを加工対象物の被成型面に転写することにより微細加工品を形成する。 - 特許庁

The apparatus (4) for annealing the stainless steel sheet comprises: a means (2) for heating the stainless steel sheet in the reductive atmosphere; a means (2) for cooling the stainless steel sheet; and a means (23) for transcripting the roughness onto the surface of the stainless steel sheet.例文帳に追加

ステンレス鋼帯の焼鈍装置（４）は、ステンレス鋼帯を還元性雰囲気中で加熱する手段（２）、ステンレス鋼帯を冷却する手段（２）、ステンレス鋼帯の表面に粗さを転写する手段（２３）を含む。 - 特許庁

On the contrary, the surface roughness of an inner ring raceway track 5a is set to become larger from an outward flange 6a provided at one axial end of the inner ring raceway track 5a corresponding to the other axial end of the outer ring raceway track 7a toward the other axial end of the inner ring raceway track 5a.例文帳に追加

反対に、内輪軌道５ａの表面粗さを、この内輪軌道５ａの軸方向他端部に設けられた外向鍔部６ａ側から、軸方向一端側に向かう程大きくなる様に規制する。 - 特許庁

In the secondary battery wherein a negative electrode and a positive electrode for occluding and discharging lithium are faced with each other via a separator and a nonaqueous electrolyte including a nonaqueous solvent and lithium salt is prepared, either of arithmetic average roughness Ra, maximum height Ry, and ten-point average roughness Rz on the negative-electrode side surface and the positive-electrode side surface of the separator is different between both surfaces.例文帳に追加

リチウムを吸蔵・放出することが可能な負極及び正極がセパレータを介して対向させてなり、非水系溶媒及びリチウム塩を含有する非水系電解質を備えた二次電池であって、前記セパレータの負極側表面と正極側表面の算術平均粗さＲａ、最大高さＲｙ、十点平均粗さＲｚのうちのいずれかを両側表面間で異ならせていることを特徴とする非水系リチウム二次電池からなる。 - 特許庁

A method for producing the hydrophilic member includes applying a hydrophilic composition containing at least one hydrophilic polymer onto the base including metal or resin, performing heat treatment to the base with the hydrophilic composition in a coil shape or roll shape, and setting the surface roughness Ra of the hydrophilic coating after the heat treatment to 80-150% to the surface roughness Ra of the hydrophilic coating before the heat treatment.例文帳に追加

金属又は樹脂を含む基材上に、少なくとも一種の親水性ポリマーを含有する親水性組成物を塗布し、該親水性組成物を塗布した基材をコイル状又はロール状にして、加熱処理を行い、該加熱処理後の親水性塗膜の表面粗さＲａを、該加熱処理前の親水性塗膜の表面粗さＲａに対して８０％〜１５０％とすることを特徴とする親水性部材の製造方法。 - 特許庁

To provide a material to be plated which can make such an electroless-plated film as to show superior adhesiveness even to the surface with low surface roughness, formed adequately on the whole surface, and can be preferably used for manufacturing a printed wiring board; solutions therefor; and a printed wiring board produced by using them.例文帳に追加

プリント配線板の製造等に好適に用いることができるめっき用材料であり、該材料表面の表面粗度が小さい場合にも、該表面に形成した無電解めっき皮膜との接着性に優れ、また該表面全面に良好に無電解めっきを形成することが可能なめっき用材料と溶液、それを用いてなるプリント配線板を提供する。 - 特許庁

The fluororesin tube 1 with the marking section is a tube whose material is constituted of a fluorine resin and which is extrusion-molded, having a marking section 7 which is a part of the surface 1a of the tube surface-treated and whose surface roughness Rz is 45 to 165 nm, which allows marking on the fluororesin tube 1 with the marking section.例文帳に追加

材質がフッ素樹脂で構成されてなり、押出成形法で成形されたチューブと、前記チューブの表面１ａに表面粗さＲｚの値が４５ｎｍ以上１６５ｎｍ以下とする表面処理がされたマーキング部７と、を有することを特徴とするマーキング部付きフッ素樹脂チューブ１を用いることにより、上記課題を解決できる。 - 特許庁

Then, the miniaturization of the optical element 5 is attained, and also, in the case of forming the optical deflection element 12 on the small-sized optical element 5, the optical deflection element 12 can be manufactured with high accuracy in surface angle, surface size and surface roughness, then, the deflection efficiency by the optical deflection element 12 is enhanced, and also, the optical signal transmission efficiency is enhanced.例文帳に追加

これにより、光素子５の小型化を図ることができるとともにそのような小型部品の光素子５に光偏向素子１２を形成する場合には、光偏向素子１２の面角度、面の大きさ、面粗さ等を高精度に作製でき、光偏向素子１２での偏向効率が高くなるとともに光信号の伝送効率も高くなる。 - 特許庁

A protective film essentially comprising gallium oxide and/or indium oxide and having a surface roughness of not more than 5 nm in terms of a square mean value is formed on the surface of a nitride semiconductor substrate by heat treating the nitride semiconductor substrate in an atmosphere containing air or oxygen or by exposing the surface of the nitride semiconductor substrate to oxygen plasma.例文帳に追加

窒化物半導体基板を空気または酸素を含む雰囲気中で熱処理するか、あるいは、窒化物半導体基板の表面を酸素プラズマに暴露することにより、窒化物半導体基板表面に、主成分が酸化ガリウムおよび/または酸化インジウムで、表面粗さの２乗平均値が5nm以下である保護膜が形成される。 - 特許庁

To provide a transfer medium for inkjet recording which has good transfer properties on printing papers as various materials to be transferred different in surface roughness, gloss, thickness and surface treatment on the surface of the paper and provides a high approximating property on the gloss to the printing paper even on a non-imaging part, and a method for recording an image using this transfer medium.例文帳に追加

表面粗さ、光沢、厚さ、紙表面の表面処理などが異なる様々な被転写材としての印刷用紙に対して転写性が良く、非画像部においても印刷用紙と光沢の近似性が高い画像が得られるインクジェット記録用転写媒体、及びこの転写媒体を用いた画像記録方法を提供する。 - 特許庁

The polyester film consisting of polyester A and polyetherimide B is characterized in that the film has 0.1-15 nm surface average roughness Ra and ≤50 nm undulation index of the surface respectively about at least one surface of the film and 1,000-10,000 sec interface air flow time measured by overlapping two sheets of films.例文帳に追加

ポリエステル（Ａ）とポリエーテルイミド（Ｂ）とからなるポリエステルフィルムであって、フィルムの少なくとも片面について、表面平均粗さＲａが０．１〜１５ｎｍであり、表面のウネリ指数が５０ｎｍ以下であり、かつ２枚のフィルムを重ねて測定される層間空気流動時間が１０００〜１００００秒であることを特徴とする磁気記録媒体用ポリエステルフィルムである。 - 特許庁

The reflective mask blank substrate is obtained by polishing the principal surface of a light-transmitting substrate essentially comprising glass to a predetermined surface roughness and then subjecting the substrate to ion beam irradiation while the substrate is placed to allow the ion beam to be incident to the principal surface of the substrate at an incident angle of 20° or more and less than 90° and the substrate is rotated.例文帳に追加

ガラスを主成分とする透光性基板の主表面を所定の表面粗さとなるように研磨した後、イオンビームが透光性基板の主表面に対して入射角度２０度以上９０度未満で入射するように配置し、且つ、透光性基板を回転させながらイオンビーム照射を行い、反射型マスクブランク用基板を得る。 - 特許庁

To provide an inexpensive method for manufacturing a mask blank substrate with a high yield, by which even when a surface defect occurs in the mask blank substrate, the surface defect of the mask blank substrate can be easily corrected without adversely influencing a flatness degree and surface roughness of the substrate, and to provide a method for manufacturing a mask blank and a transfer mask.例文帳に追加

マスクブランク用基板に表面欠陥が発生した場合でも、簡便にかつ基板の平坦度及び表面粗さに悪影響を及ぼすことなくマスクブランク用基板の表面欠陥を修正することのできる、低コストかつ高い歩留まりのマスクブランク用基板の製造方法、並びにマスクブランク及び転写用マスクの製造方法を提供する。 - 特許庁

The electrostatic chuck 10 includes an insulating plate 11 having the suction surface 13 for sucking and fixing the body to be sucked, and an electrostatic electrode 12 provided in the insulating plate 11, wherein the insulating plate 11 is formed of ceramic having a Young's modulus of 100 to 200 GPa and surface roughness (Ra) of the suction surface 13 is 1 to 2 μm.例文帳に追加

被吸着物を吸着固定するための吸着面１３を有する絶縁板１１と、絶縁板１１の内部に設けられた静電電極１２とを備えた静電チャック１０であって、絶縁板１１は、ヤング率が１００〜２００ＧＰａのセラミックからなり、かつ吸着面１３の表面粗さ（Ｒａ）が１〜２μｍである。 - 特許庁

In the developing roll, a base rubber layer 2 on an outer peripheral surface of a shaft body, an intermediate layer 3 formed immediately on the outer periphery of the base rubber layer 2 or with another layer in between and a surface layer 4 formed on the outer periphery of the intermediate layer 3 are provided and particles 1 for formation of surface roughness are only dispersed in the intermediate layer 3.例文帳に追加

軸体の外周面にベースゴム層２と、上記ベースゴム層２の外周に直接もしくは他の層を介して形成された中間層３と、上記中間層３の外周に形成された表面層４とを備えた現像ロールであって、上記中間層３のみに表面粗さ形成用の粒子１を分散している。 - 特許庁

The laminated polyester film consists of polyester containing 5 to 30 ppm titanium element and 0.1 to 2.5 wt.% diethylene glycol component and is formed by laminating at least one polyester layer B whose surface has 30 to 300 nm ten-point average surface roughness (WRzB) on one surface of a polyester layer A having 70 to 180°C crystallization parameter ΔTcm.例文帳に追加

チタン元素を５〜３０ｐｐｍ含有し、ジエチレングリコール成分を０．１〜２．５重量％含有するポリエステルからなり、更に結晶化パラメータΔＴｃmが７０〜１８０℃の範囲にあるポリエステル層Aと、該層Aの片面に表面の十点平均粗さ（ＷＲｚB）が３０〜３００ｎｍであるポリエステル層Ｂを少なくとも一層積層してなる積層ポリエステルフィルム。 - 特許庁

The imaging apparatus comprises a laser light source having three channels or more, and a drum having surface roughness of 0.05-1 μm provided with pressure reducing suction holes being distributed at the non- imaging part of an imaging material wherein laser beam exposure is carried out by outer surface scanning system while bringing the imaging material into tight contact with the drum surface through pressure reduction.例文帳に追加

３チャンネル以上のレーザー光源、及び、画像形成材料の非画像形成部に分布するように設けられている減圧吸引孔を有し、表面の表面粗さが０．０５μｍ〜１μｍのドラムを備え、画像形成材料をドラム上に減圧密着させて外面走査方式でレーザービーム露光を行なう画像形成装置。 - 特許庁

In the inkjet image forming method, in which the image is formed with ink on a recording medium including a thermoplastic resin in an outer surface, a processing sheet is peeled off after the recording medium is heated under the state that the processing sheet having the surface roughness Ra of not more than 150 nm is brought into contact with the surface of the recording medium, on which the image is formed.例文帳に追加

表層に熱可塑性樹脂を含有する記録媒体に、インクで画像を形成するインクジェット画像形成方法において、画像形成した該記録媒体の面に表面粗さＲａが１５０ｎｍ以下の処理シートを接触した状態で該記録媒体を加熱した後、該処理シートを剥離することを特徴とするインクジェット画像形成方法。 - 特許庁

The belt temperature control means controls the temperature of the belt 15 while the roll temperature control means controls the temperature of the peripheral surface 131, and the nip pressure control means controls the linear pressure between belt 15 and the third cooling roll 13, and therefore, the sheet having the small residual phase difference, surface roughness, and high surface smoothness is stably obtained.例文帳に追加

そのため、ロール温度制御手段が周面１３１の温度を制御しつつ、ベルト温度制御手段がベルト１５の温度を制御し、さらに、ニップ圧力制御手段がベルト１５および第三の冷却ロール１３間の線圧も制御するので、残留位相差および表面粗さが小さく、表面平滑性が高いシートが安定的に得られる。 - 特許庁

In the intermediate transfer member 1 produced by laminating at least a surface printing layer 3 on a support layer 2, the surface printing layer 3 comprises a thermosetting material containing an isocyanate and a carbinol-modified siloxane terminated at both ends, having a mean surface roughness (Rz) of not greater than 1 μm and a tensile strength of not less than 10 MPa.例文帳に追加

支持体層２上に少なくとも表面印刷層３を積層してなる中間転写部材１であって、表面印刷層３がイソシアネートおよび両末端カルビノール変性シロキサンを含有する熱硬化性材料からなり、かつ表面粗さ（Ｒｚ）が平均１μｍ以下とし、かつ、引張強度を１０ＭＰａ以上としている。 - 特許庁

In the composite material for the substrate, the surface-treated copper foil having a roughened surface 2.5-4.0 μm in surface roughness Rz and 25 or below in brightness by bonding roughening particles to at least one side of the copper foil and the insulating substrate containing at least 50% of a thermoplastic liquid crystal polymer are laminated.例文帳に追加

本発明は、少なくとも銅箔の片面に粗化粒子を付着して、その表面粗さＲｚが２．５〜４．０μｍであり、明度値が２５以下である粗化処理面とした表面処理銅箔と、５０％以上が熱可塑性液晶ポリマーからなる絶縁基板とが積層されてなることを特徴とする基板用複合材およびそれを用いた回路基板である。 - 特許庁

The polyolefin resin crosslinked foam for gaskets is a sheet-like crosslinked resin foam using a polyolefin resin composition as a resin matrix component, and has a thickness of 0.1-1.0 mm, 25% compressive hardness of 25-100 kPa, average surface roughness of at least one surface of 10-30 μm, and a surface wetting index of ≥40 mN/m.例文帳に追加

ポリオレフィン樹脂組成物を樹脂マトリックス成分とするシート状架橋樹脂発泡体であり、厚みが０．１ｍｍ〜１．０ｍｍ、２５％圧縮固さが２５〜１００ｋＰａ、少なくとも片面の平均粗さが１０μｍ〜３０μｍ、かつ表面濡れ指数が４０ｍＮ／ｍ以上であることを特徴とするガスケット用ポリオレフィン樹脂架橋発泡体。 - 特許庁

This information recording medium is an information recording medium successively laminated with at least a reflection layer, a protective layer and/or a printing layer on a transparent substrate and is characterized in that the surface roughness Ra of the protective layer or printing layer exposed on the surface of the medium is ≤0.25 μm and the chromaticity of the surface satisfies -6<b value <+6 at Lab.例文帳に追加

透明基板上に、少なくとも反射層、保護層及び／又は印刷層を順次積層した光情報媒体であって、該媒体表面に露出する保護層又は印刷層の表面粗さＲａが、０．２５μｍ以下であり、表面の色度が、Ｌａｂにおいて、−６＜ｂ値＜＋６を満たすことを特徴とする光情報媒体。 - 特許庁

The top plate glass for an image scanner comprises a glass substrate and a transparent layer formed on the glass substrate, and has recesses and protrusions in a surface of the transparent layer, wherein an average pitch S between the protrusions in the surface of the transparent layer is 20-70 μm, and a surface average roughness R_a is 0.10-0.30 μm.例文帳に追加

ガラス基板と、該ガラス基板上に形成された透明層とを有する画像読取装置用天板ガラスであって、該透明層の表面に凹部および凸部を有し、該透明層の表面における凸部間の平均ピッチＳが２０〜７０μｍであり、表面平均粗さＲ_ａ が０．１０〜０．３０μｍである画像読取装置用天板ガラス。 - 特許庁

In a wet grinding wheel grinding method, processing is applied, by setting the relative positional relationship between a gear processing condition, the gear and a barrel tank, by selecting a processing parameter related to the surface strength such as a surface roughness parameter of the gear, a shape lubricating parameter, and a surface shape parameter, in response to a purpose, by using a rotary barrel or gyro system.例文帳に追加

湿式砥石研削法の中で、回転バレルまたはジャイロ方式を用い、歯車の表面粗さパラメータ、形状潤滑パラメータ、表面形状パラメータ等の表面強度に関係する加工パラメータを目的に応じ選定し、且つ歯車加工処理条件と歯車とバレル槽との相対位置関係を設定して処理を施す。 - 特許庁

The super-water-repellent material is characterized in that it is obtained by forming a water-repellent layer having a structure with isotropic surface irregularities at intervals of 10 nm to 200 nm on a base material having a surface shape in which unidirectional continuous grooves are formed at intervals of surface irregularities of 20 μm to 2 mm and with a roughness factor of 1.4 or greater.例文帳に追加

表面形状が、凹凸の周期が２０μｍ以上２ｍｍ以下、ラフネスファクターが１．４以上である一方向のみに溝が連続して形成された基材に、周期が１０ｎｍ以上２００ｎｍ以下の等方的な凹凸構造が形成された撥水層を形成することを特徴とする超撥水材を提供する。 - 特許庁

The thermally sprayed film depositing method comprises a roughening step of chemically roughening the surface of a brittle material and a thermal spraying step of thermal-spraying a protective film on the surface of the brittle material, and in the roughening step, the arithmetic mean roughness (Ra) of the roughened surface of the brittle material is set to 1-10.例文帳に追加

脆性材料の表面を化学的に粗面化する粗面化工程と、前記脆性材料表面に保護膜を溶射する溶射工程を備えた溶射膜形成方法において、前記粗面化工程において、粗面化した脆性材料の表面の算術平均粗さ（Ｒａ）を、１〜１０とすることを特徴とする溶射膜形成方法である。 - 特許庁

To provide a development device for image formation which will not deteriorate the charging properties of toner by preventing field concentration due to surface roughness, is free from filming phenomenon on the surface of a toner bearing member even on a long-term basis, excels in toner transport property, as well as in image uniformity, and can suppress voltage drop on the surface of a developing roller.例文帳に追加

本発明は、表面凸凹に起因する電界集中の発生を防止することにより、トナーの帯電性を低下させず、長期的にもトナー坦持体表面のフィルミング現象がなく、画像均一性に優れると共にトナー搬送性に優れ、現像ローラ表面での電圧降下を抑制しうる画像形成用現像装置の提供する。 - 特許庁

In a method for producing a polymer sheet, an ultraviolet curable resin composition is applied or laminated on a polymer sheet, and the sheet is adhered to a roll having a smooth surface whose maximum surface roughness (Rmax) is ≤0.1 μm while the resin composition is softened and irradiated with ultraviolet rays, and the smooth surface of the roll is transferred for molding.例文帳に追加

分子シート原反上に紫外線硬化性樹脂組成物を塗布またはラミネートし、該紫外線硬化性樹脂組成物が軟化した状態で表面粗さの最大（Ｒｍａｘ）がＲｍａｘ≦０．１μｍの平滑面を有するロールに密着させて紫外線を照射し、ロール平滑面を転写、成形する高分子シートの製造方法。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a semiconductor device and an apparatus for manufacturing the semiconductor device where the surface of a copper film is etched precisely, in a short time with few steps, while the surface roughness of the copper film is not progressed in the etching process of the surface of the copper film that includes oxidation of the copper film and removing the oxide thereof, with an acid or alkali.例文帳に追加

銅膜を酸化させその酸化物を酸もしくはアルカリなどで除去することにより銅膜の表面をエッチングする方法において、エッチング処理を行った後の銅膜表面が荒れてしまうことが少なく、少ない工程で短時間に精度良く行うことができる半導体装置の製造方法及び半導体製造装置を提供する。 - 特許庁

A method for manufacturing an antireflection structure includes steps of: preparing a substrate 27 having a rough surface 27p with a surface roughness larger than a predetermined wavelength; and forming a plurality of finely rugged portions 29 having an average pitch equal to or less than the predetermined wavelength on the rough surface 27p of the substrate 27 by lithography using an electron beam or a proton beam.例文帳に追加

本発明の製造方法は、所定の波長よりも大きい表面粗さの粗面２７ｐを有する基板２７を準備する工程と、電子ビーム又は陽子ビームを用いたリソグラフィによって、所定の波長以下の平均ピッチを有する複数の微小凹凸部２９を基板２７の粗面２７ｐに形成する工程とを含む。 - 特許庁

The polyimide film for forming metallic thin film by evaporation method on a surface treated with a vacuum discharge treatment is provided, wherein at least one surface of the polyimide film is treated with the vacuum discharge treatment and has concavo-convex form of the treated surface having 0.03-0.1 μm Ra (average roughness).例文帳に追加

ポリイミドフィルムの減圧放電処理面に蒸着法により金属薄膜を形成するためのポリイミドフィルムであり、ポリイミドフィルムの少なくとも一方の表面に減圧放電処理を行ない、減圧放電処理した面のＲａ（平均粗さ）が０．０３〜０．１μｍの凹凸形状であることを特徴とする蒸着法による金属薄膜形成用のポリイミドフィルム。 - 特許庁