「吐出しノズル」に関連した英語例文の一覧と使い方(8ページ目) - Weblio英語例文検索

ノズルから液滴を吐出して発光層形成材料含有液を塗布する塗布装置を用いて発光層を形成する製造装置および製造方法において、発光層の厚みが概ね均一な、発光ムラの少ない表示装置を製造する。例文帳に追加

To manufacture a display device generally uniform in the thickness of a luminescent layer, with little emission unevenness, in a manufacturing device and a manufacturing method of forming a luminescent layer by using an application device applying a luminescent layer formation material-containing liquid by discharging droplets from a nozzle. - 特許庁

注入ノズル１２は、前回の塗布動作終了時から今回の塗布動作開始時までの経過時間が所定の時間以上の場合は、塗布動作の前に、塗布液を少なくとも塗布ローラ６に吐出して、液体塗布初期処理を行う。例文帳に追加

In case the lapse of time from the termination of the previous coating operation to the start of the present coating operation, is longer than specified, the injection nozzle 12 performs an initial treatment for application of the coating liquid by discharging the coating liquid to at least the coating roller 6 prior to coating operation. - 特許庁

機能性材料を含む塗布液１４を連続して加圧して、環状吐出ヘッド１２のノズル１２３から液柱状の塗布液１４を吐出させ、その吐出した液柱状の塗布液１４を液滴化して、被塗布物１０へ塗布する。例文帳に追加

A liquid columnar coating liquid 14 is ejected from a nozzle 123 of an annular ejection head 12 and the ejected liquid columnar coating liquid 14 is atomized into liquid droplets, by continuously pressurizing the coating liquid 14 containing the functional material, to apply to an article 10 to be coated. - 特許庁

薬液ポンプ２０は、操作アダプタ３０を身体に押し付けてノズル２２を軸方向に押し操作することにより、容器本体１０からの薬液を凹部３３内に吐出し、薬液の飛散を凹部３３の開口範囲内に制限することができる。例文帳に追加

The liquid medicine pump 20 discharges the liquid medicine from the vessel body 10 into the recessed part 33 by pressing the operation adapter 30 against a body, and pressing the nozzle 20 in the axial direction, and scattering of the liquid medicine can be limited in an opening range of the recessed part 33. - 特許庁

記録ヘッドからインク滴を吐出し、記録媒体上に画像を形成するインクジェット記録方法に用いた際に、記録ヘッドのノズルの目詰まりが抑制され、良好な吐出安定性が得られるインクを低い製造コストで製造する製造方法の提供。例文帳に追加

To provide a production method by which ink which, when used for an inkjet recording method by ejecting ink droplets from a recording head to form an image on a recording medium, suppresses clogging of a nozzle of the recording head and ensures good ejection stability is produced at a low production cost. - 特許庁

構造が簡潔、低コストで、印刷媒体が搬送ベルトの所定位置に搭載又は付着されなくても、当該印刷媒体に対してインクジェットノズルから適切な位置にインク滴を吐出して印刷を行うことが可能なインクジェットプリンタ及びその制御装置を提供する。例文帳に追加

To provide an inkjet printer which has a simple structure, can be made at low cost, and can deliver ink droplets at an appropriate position on a printing medium from an inkjet nozzle to perform printing even when the printing medium is not carried or attached at a specified position of a conveyor belt, and an apparatus for controlling it. - 特許庁

インクジェットプリンタは、印刷媒体２を支持するバキュームテーブルと、印刷媒体２表面に向けてインクを吐出してインクを吐着させるノズルと、印刷媒体２表面に吐着されたインクに紫外線を照射して、インクを硬化させるＵＶＬＥＤユニット７０とを備えている。例文帳に追加

The inkjet printer includes a vacuum table for supporting a printing medium 2, a nozzle for applying a jet of ink to the surface of the printing medium 2, and a UVLED unit 70 for radiating ultraviolet rays to the ink applied to the surface of the printing medium 2 to cure the ink. - 特許庁

アレイ基板１９の板面にスペーサ２１を形成する工程では、インクジェット装置４０に備えられたノズル４２からスペーサ２１を含有する液滴４４Ａを順次に吐出してアレイ基板１９の板面に所定の間隔を空けて着弾させる。例文帳に追加

In a process of forming the spacers 21 on the plate surface of the array substrate 19, droplets 44A including the spacers 21 are successively discharged from nozzles 42 disposed on an inkjet device 40 and are struck leaving a prescribed spacing onto the plate surface of the array substrate 19. - 特許庁

スリット状吐出口１５から現像液を基板１００上に吐出しながら減速開始位置Ｐ２１まで移動した現像液吐出ノズル１１は減速開始位置Ｐ２１から減速し始め、基板端縁位置Ｐ２３より手前の位置Ｐ２２で低速の走査速度Ｖ１となる。例文帳に追加

The developing solution discharge nozzle 11 that moves to a deceleration start point 21 discharging a developing solution onto a substrate 100 from a slit-shaped discharge opening 15 starts decelerating from the deceleration start point 21, and reaches a low scanning speed V1 at a position P22 before a substrate edge point 23. - 特許庁

切屑や砥粒の一部がジャバラカバー２９をすり抜けるが、ジャバラカバー２９とテレスコピックカバーの間に設けられたテレスコピックカバー用クーラント吐出ノズル３７がクーラント液をテレスコピックカバーの外表面に向かって吐出し、切屑や砥粒を洗い流す。例文帳に追加

Therein a part of cutting chips and the abrasive grains flows through the bellow cover 29, but the coolant liquid is discharged toward the outside surface of the telescopic cover by a coolant discharging nozzle 37 for the telescopic cover installed between the bellow cover 29 and the telescopic cover, so as to flush away the cutting chips and the abrasive grains. - 特許庁

保護液ノズル６は、保護液が基板Ｗの上面に沿って噴射領域Ｔ１の方に流れるように基板Ｗの上面に対して斜めに保護液を吐出し、噴射領域Ｔ１が保護液の液膜で覆われている状態で処理液の液滴を噴射領域Ｔ１に衝突させる。例文帳に追加

The protection liquid nozzle 6 discharges the protection liquid at a tilt to the upper surface of the substrate W such that the protection liquid flows down the upper surface of the substrate W toward the jet region T1, whereby the droplets of the treatment liquid impinge on the jet region T1 while the jet region T1 is covered with a liquid film of the protection liquid. - 特許庁

そして、ノッチ部Ｗｎを溶液ノズル７より少しずらした状態から、例えばシンナ４０を５０ｍｌ／ｍｉｎで吐出しながら、１０ｒｐｍの低速回転でウエハＷを２回転、より好ましくは１回転させることにより、べベル部Ｂのみのレジスト除去を行う。例文帳に追加

Then, from a state in which the notch section Wn is shifted slightly from the solution nozzle 7, for example, and while the thinner 40 discharged at 50 ml/min, a wafer W is rotated two times, more preferably once at a low speed rotation of 10 rpm, thus removing resist of only a bevel section B. - 特許庁

車両の高速走行時には、洗浄液をモータポンプ１２によって高圧で吐出して流速の速い液粒を高速時用ノズル１６から噴射し、気流の影響による着水エリアの移動量（目標着水点からの着水変移量）を低減させる。例文帳に追加

At the time of a high speed traveling of the vehicle, the washing fluid is discharged by high pressure by the motor pump 12 to inject liquid particles having high flow rate from a nozzle 16 for a high speed time, and moving amount (transition amount from a target watering point) of the watering area by an influence of air current is reduced. - 特許庁

また、転動ローラ４０が走査方向Ｓに沿って転動するが、転動ローラ４０の回転軸４０Ａを、ノズル２３の吐出し口と外部の被印刷物Ｐとの隙間間隔Ｃを適正に保つように、ヘッドユニット１９に取り付ける。例文帳に追加

Also, a rolling roller 40 rolls in the scanning direction S, and the rotating shaft 40A of the rolling roller 40 is attached to the head unit 19 in such a manner that a clearance gap C between the discharging port of a nozzle 23 and the article P to be printed on the outside may properly be kept. - 特許庁

ノズルに形成されたスリット状の吐出口から処理液を被処理基板に吐出し膜形成する際に、前記吐出口と被処理基板との距離を、周辺温度環境の変化に拘らず所定間隔にすることのできる塗布膜形成装置及びその制御方法を提供する。例文帳に追加

To provide a coating film forming apparatus in which the distance between a slit like discharge port formed on a nozzle and a substrate to be treated is controlled to a prescribed interval regardless of the change of ambient temperature environment in the case of forming the film by discharging a treating liquid from the discharge port to the substrate, and to provide its control method. - 特許庁

有機化されたクレイを含有し、ポリフッ化ビニリデン系樹脂を貧溶媒に加熱溶解した製膜原液を、芯液と共に二重管ノズルから吐出しながら、空間を通過後に、相分離温度以下の冷却浴で凝固させる中空糸多孔質膜の製造方法。例文帳に追加

In this production method of the hollow fiber porous membrane, membrane-producing raw liquid containing organized clay and formed by heating and dissolving polyvinylidene fluoride-based resin in a poor solvent is discharged from a double-tube nozzle together with a core liquid, and is solidified in a cooling bath at a temperature lower than a phase separation temperature, after passing the space. - 特許庁

吐出装置１０１及び制御装置１８０を備え、粘性材料１０９を連続してノズル１０６から吐出しながら回路基板１２１へ線状に上記粘性材料を塗布する第１塗布動作（Ｓ１０３）の終了時付近にて上記粘性材料の塗布量を調整するようにした（Ｓ１０５）。例文帳に追加

This apparatus is provided with a discharge unit 101 and a control unit 180. - 特許庁

粘度平均分子量が５〜６０万の生体内分解吸収性ポリマーを溶媒に溶解し、このポリマー溶液をノズルより繊維状に吐出し、該繊維を絡み合わせて溶着して積み重ね、溶媒を気化して固化させることで、長繊維層状体を得ることができる。例文帳に追加

The filament laminar body is obtained by the following processes: an in-vivo degradable absorbable polymer having a viscosity average molecular weight of 50,000-600,000 is dissolved in a solvent; the polymer solution is discharged from nozzles into filaments; the resulting filaments are piled up by entangling and fusing; and the solvent is vaporized to solidify the piled filaments. - 特許庁

ノズルは二つの吐出口２３を軸対称に有し、これを回転するとともに、シース５の軸線方向に往復動をしながら高圧水を吐出し、切削された骨材等を切削口内から排出しながら効率よく限定された範囲を切削する。例文帳に追加

The nozzle, wherein two discharge ports 23 are provided in an axially symmetrical manner, turns the discharge ports, ejects high-pressure water while reciprocating in the axial direction of the sheath 5, and efficiently cuts the limited range while discharging cut aggregate etc. from inside a cutting port. - 特許庁

薬液供給源からパーティクルろ過装置を経て供給される薬液を吐出ノズルより吐出してウエハー表面に塗布し、薄膜を形成する薄膜塗布装置において、薬液中に含まれる気泡等による塗布膜の欠陥を防止する。例文帳に追加

To prevent the defect of a coating film due to air bubbles contained in chemical in a thin film coating device in which the chemical supplied from a chemical supply source through a particle filtering unit is discharged from a discharge nozzle and coated on the surface of a wafer to form a thin film. - 特許庁

吹付機１は、現地発生植物のチップ材８及び現地発生土９を少なくとも含有する乾燥状態のリサイクル資材を、緑化用の吹付材料７として圧縮空気により吐出し、搬送管２を通じてノズル３へ搬送する。例文帳に追加

A spraying machine 1 discharges a recycling material in a dry condition containing at least chips 8 of plants growing at site and the soil 9 generated at site as a spray material 7 for seeding and planting by the compressed air, and carries it to a nozzle 3 through a carriage pipe 2. - 特許庁

複数の床材（１）の突き合わせにより形成された目地溝（３）内に目地ノズル（４）の開口面が、目地溝の長手方向の開口部と対向あるいは、斜め上向きに挿入位置させ、その状態で目地溝内にモルタルポンプから圧送されてきたモルタル（７）を吐出し目地を形成する。例文帳に追加

The opening surface of a joint nozzle 4 is inserted and positioned oppositely to an opening section in the longitudinal direction of a joint groove or in the oblique upward direction to the opening section in the joint groove 3 formed by abutting a plurality of floorings 1, and mortar 7 squeeze-pumped from a mortar pump is discharged into the joint groove under the state, thus forming a joint. - 特許庁

酸性水溶液及び油性溶液を各個別に吐出した直後に圧縮空気により混合霧化した状態で噴霧間欠するように構成された噴霧装置の２液混合噴霧ノズルを無窓畜舎内に１個乃至複数個配置する。例文帳に追加

One or a plurality of two-liquid mixing and spraying nozzles of the apparatus for spraying composed so as to intermittently spray an acidic aqueous solution and an oil-based solution kept in such a state that the solutions are mixed and atomized with compressed air just after separate and individual discharge thereof are arranged in the windowless barn. - 特許庁

コントローラ６は、静電気センサ７に向けて離型剤を吐出した後に、静電気センサ７によって計測した離型剤の帯電量が予め定められた規定帯電量以上となるように、塗布ノズル２に印加する電圧を調整する。例文帳に追加

The controller 6 regulates the voltage to be applied to the coating nozzle 2 so that the charging amount of the release agent measured by the electrostatic sensor 7 is equal to or more than a defined charging amount provided beforehand after the release agent is discharged toward the electrostatic sensor 7. - 特許庁

簡易な手法によりノズル間での液滴の吐出量のばらつき及び吐出した液滴の画素への着弾位置のばらつきを調整することが可能な塗布装置の調整方法及びこのような調整機構を備えた塗布装置を提供することを目的とする。例文帳に追加

To provide an adjusting method for a coater which can adjust the dispersion of the amount of discharged droplets between nozzles, and the dispersion of positions where the discharged droplets land on pixels, and a coater equipped with such an adjusting mechanism. - 特許庁

ノズルからインクを吐出して記録を行う記録ヘッドと、メインタンクからのインク３６が貯留される貯留室３２ａ、および貯留室３２ａに面して形成されて記録ヘッドへと向かうインク３６が流出する流出口３２ｂを備えた予備タンク３２とを有している。例文帳に追加

This apparatus comprises a recording head for recording by ejecting an ink from a nozzle, and a preliminary tank 32 having a storage chamber 32a for storing the ink 36 supplied from a main tank and an outflow opening 32b formed facing the storage chamber 32a for an outflow of the ink 36 provided toward the recording head. - 特許庁

ノズル部は、有機ＥＬ液を吐出しつつテープ７１２の上方を主走査方向に通過するが、テープ７１２の側辺が湾曲されているため、テープ７１２の側辺からテープ７１２の下面側への有機ＥＬ液の侵入は抑制される。例文帳に追加

A nozzle part passes above the tape 712 while discharging an organic EL liquid, and the intrusion of the organic EL solution to the back surface side of the tape 712 from the side of the tape 712 is suppressed since the side of the tape 712 is bent. - 特許庁

多値の画像データを、前記多値の画像データにより表される画像の解像度より高い解像度の画像を表す２値の画像データへと変換し、２値の画像データに基づき記録ヘッドに配列された複数のノズルからインクを吐出して記録を行う。例文帳に追加

Multi-value image data is converted into binary image data showing the image having resolution higher than that of the image shown by the multi-value image data and ink is ejected from a plurality of nozzles arranged in the recording head, and recording is performed based on the binary image data. - 特許庁

基板Ｗ上に現像液を液盛りしてから所定時間経過後に、基板Ｗの上方を通過するようにリンス液供給ノズル４０を所定の順走査方向Ｌａに移動させつつ、基板Ｗ上にリンス液を吐出して、基板Ｗ上における現像反応を停止させる。例文帳に追加

After predetermined time progresses from forming liquid peak of developer on the substrate W, rinse liquid is spouted on the substrate W while moving a rinse liquid supply nozzle 40 to a predetermined forward scanning direction La so that it may pass through an upper part of the substrate W, and development reaction on the substrate W is stopped. - 特許庁

これにより、第１及び第２のノズル６，７から吐出した気体量よりも多くの気体がヒートシンク出口から排出されることとなり、極力噴出体積を抑制して騒音の発生を抑え、発熱源から発せられる熱を効果的に放熱することができる。例文帳に追加

Consequently, a larger quantity of gas than that ejected from the first and second nozzles 6, 7 is discharged from an outlet of the heat sink, and the generation of the noise is suppressed by suppressing the ejected volume as much as possible, and consequently the heat generated from the heat generation source can be effectively dissipated. - 特許庁

一印刷周期内に複数のインク滴を吐出し、これらインク滴を飛翔中に合体させてから記録紙に着弾させるインクジェットヘッドにおいて、ノズル間の吐出速度のばらつきを少なくすることにより、記録の品質の向上を図る。例文帳に追加

To improve quality in recording by reducing variation in ejection speeds of nozzles in an inkjet head wherein a plurality of ink drops are ejected in one printing cycle and the ink drops are united to be adhered to a recording paper. - 特許庁

ノズル先端に形成された小径の吐出口から有機ＥＬ材料を吐出し、基板上に有機ＥＬの薄膜を形成する装置において、有機ＥＬ材料の粘度が高いため、吐出口から液柱状（直線棒状）に吐出することが困難である。例文帳に追加

To solve the problem that an organic EL material is difficult to be discharged liquid-columnar (linear rod like) from a discharge port because of the high viscosity in a device for forming a thin film of an organic EL on a substrated by discharging the organic EL material from a small diameter discharge port formed on the chip of a nozzle. - 特許庁

クリーニングによって不安定なノズルがあっても、フラッシング中にインクを完全に吐出しない不良状態（不動作状態）に移行するか、あるいはまたインクを良好に吐出する状態に移行するため、インク滴吐出検査の後に、その状態が変化することがない。例文帳に追加

Even if unstable nozzles caused by cleaning are produced, the state remains unchanged after inspecting the jetting of the ink drop because it shifts to a defective state (a motionless state) without jetting the ink perfectly in the middle of flushing, or it shifts to a good state where the ink is jetted well. - 特許庁

メレンゲ菓子において、連続起泡した同じ、又は異なる配合のメレンゲ生地を２個以上の独立したノズル開口より離して吐出して焼成することである程度の表面膜が出来上がってからメレンゲ同士を接合させ、シャープな輪郭とユニークな形状のメレンゲ菓子を製造する。例文帳に追加

The meringue confectionery having a sharp outline and a unique form is obtained through the following process: separately discharging open-celled meringue dough having the same or different formulation through at least two independent nozzles baking the dough so that a certain level of surface envelope is formed; and making at least two pieces of the meringue join to one another. - 特許庁

１．ピッチ系炭素繊維製造に際しメルトブロー法において使用するピッチ紡糸装置であって、ピッチ吐出ノズル列の両側にスリット状の気体噴出孔を設け、噴出孔から噴出した気体流を吐出したピッチに接触させる様にしたピッチ紡糸装置。例文帳に追加

(1) This apparatus for spinning a pitch is used in a melt blowing method when producing pitch-based carbon fibers and is obtained by installing slitlike gas jetting holes on both sides of a nozzle row for discharging the pitch so as to bring a gas stream jetted from the jetting holes into contact with the discharged pitch. - 特許庁

インクを吐出する印字ノズルが複数、設けられている印字ヘッドを具備し、印字ヘッドを搭載するキャリッジが主走査方向に往復移動しながらインクを吐出し、用紙搬送ローラで記録媒体を搬送し、画像印字するインクジェットプリンタである。例文帳に追加

The inkjet printer is equipped with a print head provided with a plurality of print nozzles discharging ink, and print images by discharging ink while moving a carriage equipped with the print head forward and backward in a main scanning direction, and transferring the recording medium by paper transfer rollers. - 特許庁

ノズルから溶融ポリマーを吐出して紡糸する工程を有する三層複合中空糸膜の製造方法において、中間層用のポリマーの吐出を先に開始し、その後、支持層用のポリマーの吐出を開始することを特徴とする三層複合中空糸膜の製造方法。例文帳に追加

In the method for manufacturing the three-layer composite hollow fiber membrane having a step for delivering a melted polymer from a nozzle and spinning, delivering of the polymer for the intermediate layer is previously started and thereafter, delivering of the polymer for a support layer is started. - 特許庁

インクジェット方式の画像成形装置１は、記録紙Ｐを記録部１０に送る供給ローラ５と、記録媒紙Ｐを記録部１０から送り出す排出ローラ６と、記録部１０において、記録紙Ｐに対し複数のノズルからインクを吐出して記録する記録ヘッド２を備えている。例文帳に追加

The inkjet type image forming apparatus 1 is equipped with a feeding roller 5 for feeding a recording paper P to a recording part 10, a discharging roller 6 for feeding the recording paper P from the recording part 10, and a recording head 2 for delivering inks from a plurality of nozzles to the recording paper P and recording on the recording paper P in the recording part 10. - 特許庁

有無判定方法は、配管２内の液体１１を分注ノズル３から吐出し、配管内における圧力変化を検出する工程と、検出した圧力変化から圧力変化波形の山の数を演算する工程と、演算した山の数に基づいて配管内における気泡の有無を判定する工程とを含む。例文帳に追加

The dispensing device 1 is also disclosed. - 特許庁

その後、振動体を溶液が応動可能な相対的に低い周波数ｆ２で動作させて、溶液を該タンクから外部に押し出し、吐出ノズル１３からマイクロカプセルを含む微量の溶液１６ａを吐出して対象体にマイクロカプセルを塗布する。例文帳に追加

After that, the vibrator (12) is operated with a relatively low frequency (f2) possible to make the solution respond with and move to push out from the tank to the outside to discharge a fine quantity of solution 16a containing the microcapsule from a discharge nozzle 13 to apply the microcapsule on an objective material. - 特許庁

本発明は、リソグラフィー技術を用いて電気光学装置用の基板を製造する電気光学装置の製造方法であって、前記基板にレジストを塗布するレジスト塗布工程と、前記基板の端部に沿ってノズルから溶剤を吐出し、前記端部の前記レジストを除去するエッジリンス工程と、を有し、前記エッジリンス工程において、前記ノズルを前記基板の内側方向及び外側方向へ揺動させることを特徴とする。例文帳に追加

The method for manufacturing the electrooptical device for manufacturing a substrate for the electrooptical device using the lithography technology includes: a resist application process of applying the resist to the substrate; and an edge rinse process of discharging a solvent from a nozzle along the edge of the substrate to remove the resist on the edge, and oscillates the nozzle to the inside and outside directions of the substrate in the edge rinse process. - 特許庁

空圧式のディスペンサによってペーストを吐出しながら、ペーストを描画塗布して基板にチップをボンディングするチップのボンディング装置において、ディスペンサの吐出圧設定に際し、チップ形状・サイズデータ２１ａ、ペースト形状データ２１ｂおよび描画パターンデータ２１ｃ、描画塗布におけるノズルの基板に対する相対移動速度およびノズルからペーストを吐出する際の吐出特性データ（ペースト粘度等）に基づいて、吐出圧を吐出圧算出部４６によって算出する。例文帳に追加

The bonding apparatus of a chip bonds a chip to a board by drawing and applying paste while discharging paste with a pneumatic dispenser. - 特許庁

薄膜の圧電素子を有するアクチュエータを備え、当該圧電素子の圧電効果によりインクを吐出するインクジェット式記録装置において、一印字周期内に同一ノズルから複数のインク滴を吐出し、これらインク滴を記録紙に着弾する前に合体させ、一つのインク滴として記録紙に着弾させる。例文帳に追加

To provide an ink jet recorder comprising an actuator having a thin film piezoelectric element and ejecting ink through piezoelectric effect of the piezoelectric element in which a plurality of ink drops are ejected from the same nozzle in one print period and combined into one ink drop before hitting a recording sheet. - 特許庁

原料セルロースと単層カーボンナノチューブとＮ−メチルモルホリンーオキシドとを含む分散液を調整する分散液調整工程と、紡糸ノズルを通して押出し吐出した後、空気層および凝固浴を通して凝固させて単層カーボンナノチューブを含むセルロース再生繊維を得る紡糸工程と、を含む製造方法である。例文帳に追加

The method for producing the composite fiber includes a dispersion-preparing step for preparing a dispersion comprising raw material cellulose, monolayer carbon nanotubes, and N-methylmorpholine-oxide, and a spinning step for extruding and ejecting the dispersion through a spinning nozzle, and then coagulating the extruded fiber through an air layer and a coagulation bath to obtain the regenerated cellulose fiber containing the monolayer carbon nanotubes. - 特許庁

塗布処理方法は、ウェハを加速回転させた状態で、そのウェハの中心部にノズルからレジスト液を吐出して、ウェハ上にレジスト液を塗布する塗布工程Ｓ３と、その後、ウェハの回転を減速し、ウェハ上のレジスト液を平坦化する平坦化工程Ｓ４と、その後、ウェハの回転を加速して、ウェハ上のレジスト液を乾燥させる乾燥工程Ｓ５と、を有する。例文帳に追加

A coating method includes: a coating step S3 of applying a resist liquid on a wafer by discharging the resist liquid from the nozzle to a central portion of the wafer while acceleratingly rotating the wafer; a flattening step S4 of then decelerating the rotation of the wafer to flatten the resist liquid on the wafer; and a drying step S5 of drying the resist liquid on the wafer by accelerating rotating the wafer. - 特許庁