In Formの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 49947件
Range spacers 9 in a form such as pin and web are formed between the operating elements 8 and the outer cover cap 6, thereby providing a roughly constant clearance at least over the whole operating range of the outer cover cap between the operating elements 8 and the outer cover cap 6.例文帳に追加
ピン、ウェブ、等の形態のレンジスペーサ(9)が作動エレメント(8)と外カバーキャップ(6)との間に設けられており、作動エレメント(8)と外カバーキャップ(6)との間に少なくとも外カバーキャップの全作動領域に亘ってほぼ一定の離間距離を提供する。 - 特許庁
To provide a simple and economical balcony, stable in a structure, and without requiring a special form and complicated design, by rationally realizing a request of both of a large opening part and a large balcony, by making the most of its structural characteristic, by using a flat beam.例文帳に追加
扁平梁を利用し、その構造的な特徴を活かすことで、大きな開口部と大型のバルコニーという両者の要求を合理的に実現し、構造的にも安定し、特殊な形態、複雑な設計を必要としないシンプルで経済的なバルコニーを提供する。 - 特許庁
Communication information such as unattended incoming call of a transmission or incoming call history is made to be decidable at a glance by changing partially or entirely the display form of the transmission or incoming call history in order to solve the problem of being difficult to confirm the communication information.例文帳に追加
発信又は着信履歴の不在着信等の通信情報を確認しづらいという課題を解消する為に、発信又は着信履歴の一部又は全ての表示態様を変更することにより、一目で判断できるようにすることを目的とする。 - 特許庁
The branch wires that are branched from two locations or more are connected between the main wire by mutually crossing each other at the splice parts that are established so as to form a space for incorporating a lifting component 18, and the lifting component 18 is incorporated in this space.例文帳に追加
2カ所以上から分岐する枝線は、これらが互いに交差して主電線との間に、引き上げ用部品18を組む込むスペースを形成するようにスプライス部が設定されて接続され、このスペースに引き上げ用部品18が組み込まれている。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing semiconductor devices to form IPO capacitors, bipolar transistors and CMOSFETs on a substrate, in which a thermal oxide film of the polycrystal silicon film as a lower side electrode is formed as an insulating layer of the IPO capacitor to reduce the number of manufacturing processes.例文帳に追加
IPOキャパシタとバイポーラトランジスタとCMOSFETを一つの基板上に形成する半導体装置の製造方法において、下側電極をなす多結晶シリコン膜の熱酸化膜をIPOキャパシタの絶縁層とし、製造工程数を少なくする。 - 特許庁
Fine glass particles are supplied from a tubular nozzle 3 having a tip part 3b with a fine inner diameter to plasma flame 2, and the glass particles are directly melted in the plasma flame 2 and deposited on a quartz glass rod 1 as transparent glass so as to form a transparent quartz glass preform.例文帳に追加
内径が細い先端部3bを有する管状ノズル3からプラズマ炎2へガラス微粒子を供給し、プラズマ炎2中でガラス微粒子を直接溶融し、透明ガラスとして石英ガラス棒1に堆積させて透明石英ガラス母材を作製する。 - 特許庁
To provide a liquid composition which can give good printing quality images and can further achieve the elongation of an ink jet recording head life, in an ink jet recording method for adhering the liquid composition to a colored ink to form records on a medium to be recorded.例文帳に追加
液体組成物と着色インクとを付着させて被記録媒体上に記録を行うインクジェット記録方法において、良好な印字品位の画像を与え、更に、インクジェット記録ヘッドの長寿命化を達成できる液体組成物を提供すること。 - 特許庁
It is further provided with a second storage means in which at least one piece of first icon information corresponding to at least one piece of the displayed, data, and at least one piece of second icon information with a different display form from that of the first icon information are stored.例文帳に追加
さらに、少なくとも一つの前記表示データに対応した少なくとも一つの第1のアイコン情報と、前記第1のアイコン情報とは異なる表示形態の少なくとも一つの第2のアイコン情報と、が記憶される第2の記憶手段を有する。 - 特許庁
The method for producing the carbon fiber comprises the following process: After a precursor fiber is formed from the thermoplastic carbon precursor, the precursor fiber is heat-treated to form a stabilized precursor fiber, which is then baked so as to result in that the spectrum line width of the electron spin resonance of the baked fiber decrease at least once and then increase.例文帳に追加
熱可塑性炭素前駆体から前駆体繊維を形成した後、熱処理して安定化前駆体繊維を形成し、ついで安定化前駆体繊維の焼成で、電子スピン共鳴のスペクトル線幅が少なくとも一回は減少して増加させる。 - 特許庁
A wind load reducing device for a cable has an annular rubber wire 1 which is wound around an external surface of a cable to form a protrusive streak in a circumferential direction on the external surface of the cable and an S-shaped hook 2 with which the annular rubber wire 1 is mounted on the external surface of the cable.例文帳に追加
ケーブルの外表面に巻き回してケーブルの外表面に周方向の突条を形成する環状ゴム線1と、環状ゴム線1をケーブルの外表面に装着するためのS字フック2とを有するケーブルの風荷重低減装置である。 - 特許庁
Moreover, since the scanner driver processes data acquired from the scanner then the stamp or the like is synthesized, after application of various kinds of processing such as crop, inclination correction and rotation to an image, the additional information can be synthesized in a form appropriate for the image resulting from the various kinds of processing.例文帳に追加
また、スキャナから取得したデータをスキャナドライバで加工してからスタンプ等を合成するため、クロップ、傾き補正、回転などの各種処理を施した後に、それらの処理結果の画像に適切な形態で付加情報を合成することが可能となる。 - 特許庁
A lower layer formation solution 25L is produced by mixing a surface active agent 26 having a lower-layer functional group 26a and an upper-layer functional group 26b in a lower-layer solvent, and lower-layer droplets 25D formed of the lower-layer formation solution 25L are dried to form a hole transportation layer.例文帳に追加
下層溶媒に下層官能基26aと上層官能基26bを有する界面活性剤26を混和して下層形成溶液25Lを生成し、同下層形成溶液25Lからなる下層液滴25Dを乾燥して正孔輸送層を形成した。 - 特許庁
The electric wire conductor 1 is obtained by applying the copper plating 4 of 10 μm in thickness to the outer circumference of the carbon steel 3 having a diameter of 0.1 mmφ to form the raw wire 2 having a diameter of 0.12 mmφ, binding and twisting the seven raw wires 2, and making them pass through a drawing die.例文帳に追加
この電線導体1は、直径0.1mmφの炭素鋼3の外周に、厚さ10μmの銅メッキ4を施して直径0.12mmφの素線2を得、その素線2を7本束ねて撚り合わせ、ダイスを通して引き抜くことで得られる。 - 特許庁
The mold assembly is equipped with the submarine gate 15 piercing a movable mold 12 to communicate with a cavity 13 and the runner lock part 16 provided to the movable mold 12 and continuing to a runner 14 to form an undercut shape in a mold opening/closing direction and the cavity 13 is filled with a resin R from the submarine gate 15.例文帳に追加
可動型12の内部を貫通してキャビティ13に通じるサブマリンゲート15と、可動型12に設けられランナー14に連続して型開閉方向に対してアンダーカット形状をなすランナーロック部16とを備え、サブマリンゲート15から樹脂Rをキャビティ13に充填する。 - 特許庁
When a spine cover is formed by binding the back end faces of the inside sheets piled up and arranged in a bundle-like manner, a book cover sheet of the same size as the inside sheets is divided into a plurality of pieces to form strip-like spine cover sheets.例文帳に追加
束状に部揃え集積した中綴じシートの背部端面を綴じ合わせて背表紙を形成する際に、中綴じシートと同一サイズの表紙シートを複数に分割して帯状の背表紙シートを作成し、この分割シートで背表紙を形成する。 - 特許庁
The image recording device 100 includes a console panel 110, an original table 130, a document cover 120, etc., and has a transmission mechanism which transmits rotation of the console panel 110 from a storage position to an exposure position in the form of an action of the document cover 120.例文帳に追加
この発明の画像記録装置100は、操作パネル110、原稿台130、原稿カバー120等から成り、操作パネル110の格納位置から露出位置への回動を原稿カバー120の開動作として伝達する伝達機構を備えている。 - 特許庁
A resin is coated on a glass fiber G1 drawn from an optical fiber preform G heated in a heating furnace 2 through a resin coating dies composed of a primary dies 8 and a secondary dies 9 to form the optical fiber G2 which is taken over by a capstan 16 through a direct lower roller 11.例文帳に追加
加熱炉2で加熱した光ファイバ母材Gから線引きしたガラスファイバG1にプライマリダイス8及びセカンダリダイス9からなる樹脂塗布用ダイスによって樹脂を被覆して光ファイバG2とし、直下ローラ11を介してキャプスタン16によって引き取る。 - 特許庁
Next, after feeding the drying container 1 at a fixed pitch, repeatedly, the treated sludge 4 is extruded from the extrusion port 6 by the extrusion operation member 7, thrown down so as to form a line with the low and small mountain-shaped heaps of treated sludge 4a in the drying container 1, and contained therein.例文帳に追加
次いで、乾燥用容器1を定ピッチ送りした後、再度、押出作動部材7により押出口6から処理汚泥4を押出して乾燥用容器1内の前記低くて小さい山状の処理汚泥山4aと並ぶよう落下収容する。 - 特許庁
In particular, linearity is secured, without causing deterioration of the sensitivity, by making the magnetic convergence plate hard to saturate, when the tapered angle α of the inside of the end face of the magnetic convergence plate 15, with respect to a surface of the semiconductor substrate 11, is an obtuse angle to form an inverted tapered shape.例文帳に追加
特に、半導体基板11の表面と磁気収束板15の端面の内側のテーパー角αが鈍角である逆テーパー形状である場合には、磁気収束板の飽和を生じづらくして感度の低下を招くことなしに線形性が確保できる。 - 特許庁
A segment sealant in the form of a strip comprises a principal part I made of water-swelling rubber and fitted into the grooved part of a segment, and an attached part II made of nonwater-swelling rubber and approximately radially connected to the principal part to serve as an open face side when the segments mate with each other.例文帳に追加
帯状のセグメントシール材であって、水膨張性ゴムからなり、セグメントの溝部に嵌合される主要部(I)と、非水膨張性ゴムからなり、主要部に略放射状に接続しセグメント会合時に開放面側となる付属部(II)とからなるセグメントシール材。 - 特許庁
To provide an image quality improving element, which is closely stuck onto the surface of a transparent substrate, absorbs reflected light by outer light by using an optical interference function, in a state where sufficient image quality is kept and which can form a film contributing to improving a contrast.例文帳に追加
透明基材の表面上に密着し、充分な画面品位を保持した状態で、外光による反射光を光学干渉機能を利用して吸収し、コントラスト向上に寄与する膜を形成できる画面品位向上エレメントを提供する。 - 特許庁
A comb base 40 of the comb body 36 has its longitudinal cross- sectional outer periphery form formed in an approximate arc, wherein when the comb 14 is drawn out of the container body 12 for use, excessive cosmetic attaching to an outer periphery of the comb base 40 can be wiped off.例文帳に追加
櫛本体36の櫛基部40は長尺方向断面外周形状がほぼ円弧に形成されており、使用に際して櫛14を容器本体12から引き抜くとき、櫛基部40の外周に付着した余剰の化粧料が払拭される。 - 特許庁
A pressurized water container body 1, a cooler box body 9 or a trunk-shaped transportation container body 14 is pressurized to heighten the water pressure to form fish preserve having the environment near to the one in which the fish live, and to enable the fish or the like to have a tightened flesh so as to be relished.例文帳に追加
1の水圧力容器本体、9のクーラーボックス本体、14のトランク型輸送容器本体に加圧し水圧を高めることにより、魚の生息環境に近い、いけすになり身のしまりがいい食感の魚等が、おいしく食べることが出来るようになる。 - 特許庁
The side surface 2b on an outer periphery of an upper end opening part of the battery container 2 is machined by cutting, grinding, or pressing or the like to cave to an inner side in a step shape and a taper shape and form a caved part 2c, and a cover plate 3 is fitted into the upper end opening part and welded.例文帳に追加
電池容器2の上端開口部の外周側面2bを、切削或いは研削或いはプレス等の加工によって、段状、テーパー状に内側に陥没させて陥没部2cを形成し、この上端開口部に蓋板3を嵌め込んで溶接する。 - 特許庁
This method is designed so that each of the layers made of conductive material (22, 23) is printed, in respectively-defined geometric form on mutually detached faces (211, 212) of a flat carrier (21), consisting of deep-drawable ceramics to deep-draw the printed carrier (21) into the shape of a finger.例文帳に追加
深絞り可能なセラミックから成る平坦な担体(21)が、互いに離反した担体面(211,212)に電気伝導性の材料より成る層(22,23)をそれぞれ規定された幾何学形状で印刷し、印刷された担体(21)を指形に深絞りするようにした。 - 特許庁
The frog comprises a main body part 1 provided with a group of needles on the upper surface and support parts 20 for supporting the main body part 1, wherein the support parts 20 project sideways from the main body part 1 in such a way as to form rings with the peripheral surface of the main body part 1 and themselves.例文帳に追加
上面に多数の針が群設された本体部1と、本体部1を支持する支持部20とを備える剣山において、支持部20は、支持部20と本体部1の周面とが環をなすように本体部1の側方に突出した構成とする。 - 特許庁
An opening of the common passage 22a of the Y-shaped passage 22 is applied as the sub-gas inlet 23, and the branch passages 22b, 22c of the Y-shaped passage 22 are respectively communicated to inlet ports of the switch valves 5, 6 to form the sub-gas flowing-in passage.例文帳に追加
Y字通路22の共通路22aの開口がサブガス入口23とされるとともに、Y字形通路22の各分岐路22b,22cがそれぞれ各開閉弁5,6の入口ポートに通じさせられることによって、サブガス流入通路が形成されている。 - 特許庁
A rocker arm Ra has a form having a pair of support parts 11 branching and extending in a cantilever style formed on an end part of an arm main body 10 and rotatably supporting a roller 20 arranged between the pair of support parts 11 by the pair of support parts 11.例文帳に追加
ロッカアームRaは、アーム本体10の端部に二股状に分かれて片持ち状に延出する形態の一対の支持部11を形成し、一対の支持部11の間に配置したローラ20を一対の支持部11によって回転可能に支持した形態である。 - 特許庁
In this case, the respective projecting parts 21 for preventing slip-off are provided to have a substantially fixed sectional form extending over the substantially full length of the plain ridge tile 13, whereby the cavity shape of the molding die for press-molding the plain ridge tile 13 is simplified to reduce the occurrence of molding failure.例文帳に追加
この場合、脱落防止用の各突部20,21を断面略一定形状でのし瓦13のほぼ全長に亘って設けることで、のし瓦13をプレス成形する成形型のキャビティ形状を簡単化して成形不良の発生を低減させる。 - 特許庁
Thus, it is possible to form the glass sealed part 4, which maintains the optical transparency for an objective wavelength, while having a coefficient of thermal expansion almost equal to that of an LED element 2, and to prevent the exfoliation and the occurrence of cracks, caused by a difference in the coefficients of thermal expansion.例文帳に追加
このことによって、対象波長に対する光透過性を維持しながらLED素子2の熱膨張率とほぼ同等の熱膨張率を有したガラス封止部4を形成でき、熱膨張率の差に起因する剥離やクラックの発生を防げる。 - 特許庁
Further, a first insert 31 for the intermediate pattern and a first insert 41 for the movable pattern are exchanged to form a second cavity 56 and a second runner 58, so that the die 1 with a two piece type structure in which the movable pattern 4 is moved to the intermediate pattern 3 is formed.例文帳に追加
また,中間型用第1入子31及び可動型用第1入子41を交換して,第2キャビティ56及び第2ランナー58を形成し,中間型3に対して可動型4を移動させる2枚型構造のダイカスト用金型1を形成する。 - 特許庁
To form an oxide film with improved quality on a semiconductor thin film containing silicon in a low-temperature process where a substrate temperature is at 600°C or lower, and to provide a reliable thin-film transistor with improved performance while keeping the substrate temperature at a low temperature.例文帳に追加
基板温度が600℃以下の低温プロセスにおいて、シリコンを含む半導体薄膜上に良質な酸化膜を形成すること、および基板温度を低温に保ったまま、性能の優れた信頼性の高い薄膜トランジスタを提供することを目的とする。 - 特許庁
To provide an embedded form excellent in durability, reducing is cross-sectional thickness and enabling great width and long dimensions by using a hardened body of the super high strength concrete type having excellent high strength characteristic, and high toughness, impact resistance and durability.例文帳に追加
優れた高強度特性、高靭性、耐衝撃性及び高耐久性を有する超高強度コンクリート系の硬化体を用いることにより、断面厚さを低減し、広幅で長尺寸法を可能とした、極めて耐久性に優れた埋設型枠を提供する。 - 特許庁
To provide an eye washing container capable of ejecting an almost definite amount of a liquid in a softened misty form reducing the irritation of an eye while mixing the ejected liquid with air by simple operation and also convenient to handle.例文帳に追加
簡単な操作により常時略定量の液の噴出が可能であるとともに、噴出液を空気と混合して眼に対する刺激の少ない、和らいだ霧状に噴出することができ、しかも取り扱いも便利な洗眼容器を提案するものである。 - 特許庁
Heat is distributed in a raw material substrate 10 composed of a metal catalyst such as iron (Fe) to melt a surface thereof, and the heat is radiated from a surface of the raw material substrate 10 to form the original board 15 having a pattern of projections 14 formed at positions corresponding to the distribution of the heat.例文帳に追加
鉄(Fe)などの金属触媒よりなる素材基板10に対して熱分布を与え、表面を溶融させたのち、素材基板10の表面を放熱させることにより、熱分布に応じた位置に突起14のパターンを有する原盤15を形成する。 - 特許庁
The conjugate fiber is composed of two kinds of polyoxymethylene copolymers (a) and (b) containing a specific amount of a specific oxymethylene unit in a polymer chain composed mainly of the repetition of oxymethylene units and having different crystal melting temperatures wherein the copolymers (a) and (b) form the core and the sheath of the fiber, respectively.例文帳に追加
主としてオキシメチレン単位の繰り返しからなるポリマー鎖中に特定のオキシメチレン単位を特定量含み、結晶融解温度の異なる2種のポリオキシメチレン共重合体(a)、(b)を、それぞれ芯および鞘として形成された複合繊維。 - 特許庁
The water side valve 48 and the hot water side valve 50 form the outer circumferential shape at the closing ends of the water side opening 52 and the hot water side opening 54 in a first tapered part 53 and a second tapered part 55 continuing to the first tapered part 53.例文帳に追加
その水側の弁部48及び湯側の弁部50は、水側の開口52及び湯側の開口54の締切側端の外周部形状を、第一テーパ形状部53と第一テーパ形状部53に続く第二テーパ形状部55とを有する形状となす。 - 特許庁
This apparatus is constituted so that form specifications and magnetic property specifications of the rugged magnetic layer of the perpendicular magnetic recording medium are set to overcome an anti-magnetic field accelerating thermal swing in the rugged structure required for respective functions of the servo area of the perpendicular magnetic recording medium.例文帳に追加
垂直磁気記録媒体のサーボ領域のそれぞれの機能に必要な凹凸構造に対して、熱揺らぎを加速する反磁界に打ち勝つため、垂直磁気記録媒体の凹凸磁性層の形態仕様および磁気特性仕様を設定するように構成する。 - 特許庁
To provide a method for the excellent form stabilization treatment of textile products and a system therefor, capable of highly easily and inexpensively subjecting textile products, in particular package-like ones to uniform treatment through fully diffusing and infiltrating high-temperature steam up to the interior of such textile products.例文帳に追加
非常に簡便、かつ安価に、繊維製品、特にパッケージ状の繊維製品の内部まで充分に高温水蒸気を拡散浸透させて均一処理を施すことのできる、優れた形態安定化処理方法およびそれに用いる装置を提供する。 - 特許庁
When the detecting cycle of the final color is longer than that of the second color because the cleaner 52 abuts on the belt 18, the device 15 delays timing to form the image of the final color in the next image forming.例文帳に追加
また、クリーナー52が中間転写ベルト18に当接することにより最終色の検出周期が2色目の検出周期よりも長くなる場合には、シーケンスコントロール装置15は、次の画像形成における最終色の画像形成のタイミングを遅くする。 - 特許庁
This detector 1 comprises a detection member 10 formed by carrying basic aqueous solution of a silver-ammonia complex compound having discoloring property by being reduced on the surface of a base material 12 such as a plastic sheet, a glass plate or the like in the form of a detection chemical (detection layer) 11.例文帳に追加
検出具1は、還元されて変色する性質を有する銀アンモニア錯体化合物の塩基性水溶液を、検出用薬剤(検出層)11の形でプラスチックシート、ガラス板等の基材12表面に担持させた検出部材10からなる。 - 特許庁
To sufficiently ensure brightness of a diffusion region of a light distribution pattern after reducing the longitudinal length of a lamp unit, in a vehicular headlamp which is structured to form a predetermined light distribution pattern by light irradiation from a projector type lamp unit.例文帳に追加
プロジェクタ型の灯具ユニットからの光照射により所定の配光パターンを形成するように構成された車両用前照灯において、灯具ユニットの前後長を短くした上で、配光パターンの拡散領域の明るさを十分に確保可能とする。 - 特許庁
The movable body such as a plane vibrator 3 or connection beams 4a and 4b that form an angular velocity sensor 1 is movably stored and sealed in a sensor storing space 28 formed with a substrate (glass substrate) 26 and a lid member (glass substrate) 27.例文帳に追加
角速度センサ1を構成する平面振動体3や連結梁4a,4b等の可動体は、基板(ガラス基板)26と蓋部材(ガラス基板)27によって形成されたセンサ収容空間部28内に可動可能な状態で収容封止されている形態と成している。 - 特許庁
This detergent composition is in the form of an assembly of nearly spherical granules with the average granular size set at 0.8-3.0 mm.例文帳に追加
(A)アルカリ金属塩、(B)金属イオン封鎖剤、(C)界面活性剤、(D)高分子電解質重合体を必須成分として含有し、平均粒径が0.8〜3.0mmに設定された略球状粒状体の集合体からなる衣料用粒状洗浄剤組成物である。 - 特許庁
A space between pump cases 38 and 39 of both the pump units 32 is used as a housing space 41 for housing a driven sprocket 40, and this housing space is opened upward, and joined with each other in lower parts thereof to form a partition wall for partitioning from the oil pan 20.例文帳に追加
そして、両ポンプユニット32のポンプケース38,39の間を被駆動スプロケット40を収容する収容空間41とし、該収容空間を、上方に開口し、下方で互に接合されてオイルパン20から仕切る仕切り壁を形成するものとする。 - 特許庁
There is developed a spreading agent for control and extermination of bacterial and viral diseases and insect pests by using a plant of family Polygonaceae without regard to natural plant or cultured plant in a form of dry powder instead of forms of extracted liquid and crushed liquid.例文帳に追加
ここでは天然産・栽培産を問わずタデ科の植物においてその抽出液や打砕液でなくその乾燥粉末をベ−スにした細菌性,ウィルス性の疾病や害虫の防除とそれらの駆除剤を撒布剤として開発して解決手段とした。 - 特許庁
Further, electrolytic plating of copper which uses the metal film for forming wiring 7a as a plating current path is carried out to form a column-shaped electrode 8 on the upper surface of the metal film for forming wiring 7a in an opening 24 of the plating resist film for forming column-shaped electrode 23.例文帳に追加
次に、配線形成用金属膜7aをメッキ電流路とした銅の電解メッキを行なうことにより、柱状電極形成用メッキレジスト膜23の開口部24内の配線形成用金属膜7aの上面に柱状電極8を形成する。 - 特許庁
To form a case part into structure suitable for the storage of smaller chip-like electronic components without altering the outer contour dimension of the case part and the shape thereof, concerning a case part to be provided in an electronic components storing case for storing chip-like electronic components having a specific size.例文帳に追加
特定の寸法を有するチップ状電子部品を収納する電子部品収納ケースに備えるケース部に関して、その外形の寸法および形状を変更することなく、より小型のチップ状電子部品を収納するのに適した構造を与える。 - 特許庁
To provide a semiconductor device having a semiconductor element and a circuit substrate jointed together, using Pb-free solder in the form of a flip chip, which can realize a highly reliable solder junction, eliminate thickness control of an electrode/barrier metal layer, and contribute to reduction of the manufacturing cost.例文帳に追加
Pbフリーはんだで半導体素子と回路基板をフリップチップ接合してなる半導体装置において、信頼性の高いはんだ接合を実現すると共に、電極/バリヤメタル層の膜厚の制御を不要とし、製造コストの削減に寄与することを目的とする。 - 特許庁
A sidewall member and lower electrode covers 1A, 14 in the chamber 1 are sputtered, sputtered out particles directly ride on the wafer or adhere to a susceptor 7 near the wafer 2 or the upper electrode 3 to form a film 25 and the film 25 drops on the wafer 2 as a foreign matter.例文帳に追加
反応室1内の側壁部材や下部電極カバー1A、14はスパッタを受けスパッタアウトされた粒子が直接ウエハ上に乗ったりウエハ2近辺のサセプタ7や上部電極3に付着して膜25を形成しウエハ2上へ落下して異物となる。 - 特許庁
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