「Scratch」に関連した英語例文の一覧と使い方(75ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide an extended tube for a spinning machine improving the airtightness of the extended tube for annealing installed under a heating furnace, and the fiber cutting performance under the heating furnace, controlling the dimension of the optical fiber with high accuracy and certainly preventing defects such as scratch, and the spinning machine.例文帳に追加

加熱炉の下に設置される徐冷用延長管の気密性及び加熱炉の下でのファイバ切断性を向上でき、光ファイバの寸法を高精度に制御しかつ光ファイバへの傷つき等の不具合を確実に防止できる紡糸機用延長管及び紡糸機を提供する。 - 特許庁

To provide an olefin-based adhesive sheet which prevents or eliminates air entrapments or blisters through through-holes and has good appearance by suppressing expansion of the inside diameter of the through-hole and also excellent scratch resistance, and further, which is free from such a problem as delamination or cracks when extended.例文帳に追加

貫通孔を介して空気溜まりやブリスターを防止又は除去することができ、かつ、貫通孔の内部径の拡大が抑制されて良好な外観を有するとともに、耐擦傷性に優れ、さらには延伸時に層間剥離やクラックの問題のないオレフィン系の粘着シートを提供する。 - 特許庁

To provide a decorative belt body with excellent fixability, capable of precisely preventing the dislocation of the belt body by sliding after being attached to a container for packaging, the wear of the belt body and the scratch damage of the container for the packaging, and to provide a production method by which the belt body can be produced by a simple process.例文帳に追加

包装用容器への装着後の滑動による帯体の位置ズレや、帯体の摩耗および包装容器の擦過損傷を確実に防止することができる定置性に優れた装飾帯体および、簡素な工程で作製することができる製造方法を提供すること。 - 特許庁

In the scratch resistance test, a metal foil 92 is mounted on a stainless steel plate 91 so as to come into contact with the mat surface 92b, and the mat surface 92b of the metal foil 92 is scratched with the surface of the stainless steel plate 91 by pulling the metal foil 92 in a fixed direction with a load being applied to the shiny surface 92a.例文帳に追加

耐擦傷試験では、ステンレス鋼板９１上にマット面９２ｂが接するように金属箔９２を載置し、シャイニー面９２ａに荷重を印加した状態で金属箔９２を一定方向に引っ張ることで、金属箔９２のマット面９２ｂをステンレス鋼板９１の面に擦る。 - 特許庁

To provide a cross copolymer (a segregated star copolymer) or a thermoplastic resin composition including the cross copolymer, each of which is excellent in cross-linking properties and each of which provides a cross-linked body or dynamically cross-linked body excellent in heat resistance, softness, oil resistance, fluidity, scratch/wear resistance and dynamic physical properties.例文帳に追加

本発明は、架橋特性が優れ、得られた架橋体または動的架橋体は、耐熱性、軟質性、耐油性、流動性、耐傷つき摩耗性、力学物性に優れる、クロス共重合体または本クロス共重合体を含む熱可塑性樹脂組成物を提供することである。 - 特許庁

Further, a first protective member 3 is interposed between the structure ST and a first member 6, a second protective member 4 is interposed between the structure ST and a second member 7, and it can be prevented that the first member 6 directly comes into contact with the second member 7 and the structure ST to scratch the surface.例文帳に追加

更に、第一保護部材３は構造物ＳＴと第一部材６との間に介在し、第二保護部材４は構造物ＳＴと第二部材７との間に介在し、第一部材６や第二部材７と構造物ＳＴとが直接接触し表面に傷がつくことを防止できる。 - 特許庁

To provide a method for forming a coating film, which is hardly peeled, has a scratch strength of 100 N or more without depending on the number of layers, has the controllable Young's modulus and controllable hardness and the like by changing intervals of layers or ratios of layers, and almost free from defects such as chipping and partial cracks.例文帳に追加

剥離し難く、かつ積層数に依存することなく、１００Ｎ以上のスクラッチ強度を有し、積層間隔ならびに層比率を変化させることで、ヤング率、硬度などを制御でき、チッピング、部分クラックなどの欠けはほとんど生じない被膜形成方法を提供する。 - 特許庁

To provide a laminated film which is excellent in both stored shape holding properties of a curable composition heated and cured provisionally and scratch resistance of a molded body produced by completely curing the curable composition with ionizing radiation, a molded body using the laminated film, and a method for producing the molded body.例文帳に追加

加熱仮硬化した硬化性組成物の保管形状保持性及び硬化性組成物を電離放射線で完全硬化した成形体の耐擦傷性の両方が優れた積層フィルム、当該積層フィルムを使用した成形体、及び当該成形体の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide an antiglare film that has few discoloration phenomenon (white blurring) when an illumination lamp, such as a fluorescent lamp, is reflected on the surface of the side provided with an antiglare layer while having moderate antiglare properties without generating highly technological subject in quality and which has high scratch resistance.例文帳に追加

品質的な高度な技術課題を発生させずに、適度な防眩性を有しながら、防眩層を備える側の表面に蛍光灯等の照明が映りこんだ際に防眩フィルムが白茶ける現象（白ボケ）が少なく、かつ耐擦傷性の高い防眩フィルムを提供する。 - 特許庁

To provide a fluorooxyalkylene group-containing polymer composition, in detail, of forming a coated film which is excellent in adhesivity to a substrate and is excellent in water-repellency and oil-repellency, low dynamic friction property, releasing property, scratch resistance and stain resistance, and to provide a surface treatment agent comprising the fluorooxyalkylene group-containing polymer composition.例文帳に追加

フルオロオキシアルキレン基含有ポリマー組成物に関し、詳細には、基材への密着性に優れ、撥水撥油性、低動摩擦性、離型性、耐擦傷性、汚れの拭き取り性に優れた被膜を形成するフルオロオキシアルキレン基含有ポリマー組成物、およびそれを含む表面処理剤を提供する。 - 特許庁

To provide an ink composition and an ink set that have good maintainability, obtain excellent effects on discharge stability even when discharge of the ink composition is stopped, left unoperated for a certain period of time, and then resumed, and also have excellent scratch resistance in an image part, and an image forming method using the same.例文帳に追加

メンテナンス性が良好であり、かつインク組成物の吐出を止めて一定の時間放置し、その後吐出を再開した場合でも吐出安定性において優れた効果が得られ、画像部の耐擦性にも優れたインク組成物、インクセット、及びこれを用いた画像形成方法を提供する。 - 特許庁

To provide an ink composition imparting excellent high hardness and scratch resistance to a decorated molded article and at the same time, imparting moldability that allows a molded article having a more complicated shape to be obtained, to provide a decorative sheet using the same, and to provide a decorated molded article using the decorative sheet.例文帳に追加

加飾成形品に優れた高硬度性及び耐スクラッチ性を付与すると同時に、より形状が複雑な成形品を得られる成形性を付与するインキ組成物及び該インキ組成物を用いた加飾シート、該加飾シートを用いた加飾成形品を提供する。 - 特許庁

To provide an ink composition imparting excellent high hardness and scratch resistance to a decorated molded article and at the same time, imparting moldability that allows a molded article having a more complicated shape to be obtained, to provide a decorative sheet using the same, and to provide a decorated molded article using the decorative sheet.例文帳に追加

加飾成形品に優れた高硬度性及び耐スクラッチ性を付与すると同時に、より形状が複雑な成形品を得られる成形性を付与するインキ組成物及び該インキ組成物を用いた加飾シート、該加飾シートを用いた加飾成形品を提供することを課題とする。 - 特許庁

To provide an optical sheet provided with relief which has excellent stability and is difficult to scratch, an active-energy-ray-curable resin composition for optical members which is suitable for forming the relief, and a surface light source device and a liquid crystal display device employing the optical sheet.例文帳に追加

優れた復元性を有し、かつ、傷付き難い凹凸形状を備えた光学シート、当該凹凸形状を形成するのに好適な光学部材用活性エネルギー線硬化性樹脂組成物並びに当該光学シートを備える面光源装置及び液晶表示装置を提供すること。 - 特許庁

To provide an image forming apparatus configured such that in matching the rotation phases of a plurality of photoreceptor drums of different drive motors, only a specific part of each photoreceptor drum is prevented from suffering from progress of friction and significant friction scratch, and nonuniform density and image scratches on an output image are prevented from becoming conspicuous.例文帳に追加

駆動モータが異なる複数の感光ドラムの回転位相を合わせる制御に際して、感光ドラムの特定位置に偏って摩耗が進行したり、摺擦傷が多く付いたりしないで済み、出力画像の濃度ムラや画像傷が目立たないで済む画像形成装置を提供する。 - 特許庁

To provide a new curable modified phenol resin which has reduced volume shrinkage when heat-cured or photo-cured, excellent strength and scratch resistance of its coated film, and is suitable to be used as a hard coat agent having excellent heat resistance and adhesiveness to a base material; and to provide a curable resin composition containing the same.例文帳に追加

熱硬化性又は光硬化性させたときの体積収縮が低減され、かつ塗膜の硬度や耐擦傷性に優れると共に、耐熱性、基材との密着性に優れた、ハードコート剤に適した新規な硬化性変性フェノール樹脂、及びそれを含有する硬化性樹脂組成物の提供。 - 特許庁

To provide a water-based one-pack coating composition which can well adhere and form a coating film excellent in scratch resistance and in inhibition of abnormal noises (creaking noises) generated by contact with the surface of the coating film and giving a soft good hand to a wide range of materials by one coating method, and does not cause environmental problems.例文帳に追加

塗膜表面への接触により生ずる異音（軋み音）の抑制や傷つき抵抗性に優れ、ソフトな好触感の塗膜を広範囲の素材に対して１コートで良好に付着、形成させることができ、かつ、環境問題を生じない水系１液塗料組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a photocurable coating composition having antistaticity, as well as scratch resistance and transparency sufficient for a hard coat, and excellent in durability coping with waterproofness; and to provide an antistatic film formed of an antistatic layer using this coating composition.例文帳に追加

帯電防止性を有すると共に、ハードコートとして十分な耐擦傷性、透明性を備え、防水性にも応える耐久性に優れた光硬化性のコーティング用組成物、およびこのコーティング用組成物を用いた帯電防止層を形成してなる帯電防止フィルムを提供すること。 - 特許庁

To provide a thermoplastic polyolefin skin material which is excellent in scratch resistance, abrasion resistance, chemical resistance and uniform matte effect and which, from a viewpoint of global environment, takes in carbon dioxide thereby contributing to reduction in greenhouse gas and is therefore an eco-friendly product.例文帳に追加

耐擦傷性、耐磨耗性、耐薬品性および均一な艶消し効果に優れるとともに、地球環境の観点からも二酸化炭素を取り入れることにより、温暖化ガス削減に寄与することによる環境対応製品としての熱可塑性ポリオレフィン樹脂表皮材を提供すること。 - 特許庁

To provide a curable coating material capable of forming, on a surface of a polycarbonate resin substrate, a cured film having excellent adhesion at high temperature and high humidity in addition to good transparency, scratch resistance, and antistatic property and well suppressing generation of crack when stress is applied.例文帳に追加

良好な透明性、耐擦傷性、帯電防止性に加え、高温高湿下における優れた密着性を有し、さらに応力が加えられた際のクラックの発生が良好に抑制された硬化被膜をポリカーボネート樹脂基板の表面に形成しうる硬化性塗料を提供すること。 - 特許庁

To provide a laminate of optical films having a hard coat layer with a good scratch resistance and abrasion resistance, and to provide a curable resin composition which is capable of obtaining the laminate, and a coating liquid containing the curable resin composition.例文帳に追加

耐擦傷性、耐摩耗性が良好なハードコート層を有する光学フィルム等の積層体を提供することを課題の一つとし、また、前記積層体を得ることができる硬化性樹脂組成物、前記硬化性樹脂組成物を含有するコーティング液を提供することを課題の一つとする。 - 特許庁

The nameplates 1 to be distributed to the visitors in an event are provided with field identification regions 13 which make the fields of the visiting purposes of the visitors to the event identifiable and these fields are made selectable by the visitors who scratch concealing layers 14 formed on the field identification regions 13.例文帳に追加

イベントにて来場者に配布される名札１０に、来場者のイベントへの来場目的の分野を識別可能な分野識別領域１３を設け、その分野を来場者が、分野識別領域１３上に形成された隠蔽層１４を引っ掻くことにより選択可能とする。 - 特許庁

The liquid crystal display utilizes an optical compensation sheet composed of a polymer film with an in-plane retardation value in 20-70 nm range, with a retardation value in the thickness direction in 70-400 nm range and with ≥1 g scratch hardness of at least one surface thereof.例文帳に追加

面内レターデーションの値が２０乃至７０ｎｍの範囲にあって、かつ厚み方向のレターデーションの値が７０乃至４００ｎｍの範囲にあるポリマーフイルムからなり、該ポリマーフイルムの少なくとも一方の表面の引掻き強度が１ｇ以上である光学補償シートを液晶表示装置に利用する。 - 特許庁

To provide a recording material for card excellent in abrasion resistance, scarcely causing a crease and having a proper stiffness and to provide various kinds of cards obtained by considering influences on the environment and using the recording material, e.g. a scratch card excellent in concealment performances of information.例文帳に追加

耐擦過性に優れ、折れジワが付きにくく、且つ適切な剛直度を有するカード用被記録材を提供すると共に、環境への影響を配慮した上でこの被記録材を用いてなる各種カード、例えば、情報の秘匿性能に優れるスクラッチカード等を提供すること。 - 特許庁

To provide a silica sol for a film which does not cause a local aggregation and excels in dispersion stability, to provide a composition capable of forming the film with good scratch resistance and chemical resistance, and to provide the film formed by curing the composition, and a resin laminate.例文帳に追加

局所的な凝集が発生せず分散安定性に優れた被膜用シリカゾルを提供し、また耐擦傷性、耐薬品性が良好な被膜を形成し得る組成物を提供し、さらに前記組成物を硬化させて形成する被膜、及び樹脂積層体を提供する。 - 特許庁

To provide an antireflection film which is improved in scratch resistance, cracking resistance, haze light resistance and coating evenness, to provide a method of manufacturing the antireflection film, and to provide a polarizer and a display device which are excellent in visibility by using the antireflection film.例文帳に追加

本発明の目的は、耐傷性、クラック、ヘイズ耐光性、塗布むらが改善された反射防止フィルム、反射防止フィルムの製造方法を提供することにあり、更に該反射防止フィルムを用いることにより視認性に優れた偏光板、表示装置を提供することにある。 - 特許庁

The ink for a jet printer having not only good adhesiveness but also good resistance to scratch, rubbing by hands, and alcohols and further having quick-drying properties is achieved by combining a chlorinated polyolefin resin with a vinyl chloride-vinyl acetate copolymer resin and also using a specific solvent.例文帳に追加

塩素化ポリオレフィン樹脂と塩化ビニル−酢酸ビニル共重合樹脂とを組み合わせるとともに、特定の溶剤を使用することで、付着性だけでなく、擦過および手もみ耐性、アルコール耐性が良好であり、さらに、速乾性も持つジェットプリンター用インクとすることができた。 - 特許庁

To provide a nonaqueous inkjet ink having print adaptability (scratch resistance, and resistance against alcohol wiping) to a recording medium made of plastic such as polyvinyl chloride, excellent safeness and no problem of odor in use, particularly excellent fast drying property, and to provide an inkjet recording method using the ink.例文帳に追加

ポリ塩化ビニルなどのプラスチック製の記録媒体に対する印字適性（耐擦性、アルコール拭き取り耐性）を有し、安全性に優れ、臭気の問題が無く使用でき、特に速乾性に優れる非水系インクジェットインクとそれを用いたインクジェット記録方法を提供する。 - 特許庁

To provide a touch panel with which the generation of scratch of a transparent electrode being manufactured and the release of the transparent electrode can be prevented by forming the transparent electrode in a partition wall of an extra transparent projection part and to provide a manufacturing method of the touch panel.例文帳に追加

別途の透明突出部を採用して透明電極を透明突出部の隔壁内に形成することにより、製造工程中の透明電極へのスクラッチ発生および透明電極の剥離を防止することが可能なタッチパネルおよびその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a polymer composition for an aqueous binder that is low viscous, exhibits good dispersibility of a filler and enhances binding properties of the filler to permit preparation of a filler dispersion such as an aqueous ink capable of forming a coating film excellent in scratch resistance and water resistance.例文帳に追加

低粘度であるとともにフィラーの分散性が良好であり、かつ、フィラーの結着性を向上させて耐擦性及び耐水性に優れた塗膜を形成可能な水系インク等のフィラー分散液を調製することのできる水系バインダー用ポリマー組成物を提供する。 - 特許庁

An aqueous copolymer containing a polyorganosiloxane with a hydroxyl group and modified with a specific kind of silane in combination with an inorganic nano-particles is suitable for manufacturing a coated material with remarkably improved anti-scratching properties, a superior gloss very low cloud (clouding degree) and thus having a remarkably improved scratch resistance.例文帳に追加

ヒドロキシル基を含有するポリオルガノシロキサンを含有し、特定の種類のシランで修飾されている水性コポリマーは、無機ナノ粒子との組み合わせで、優れた光沢および非常に低い曇り（曇り度）での著しく向上した耐引掻性を有する被覆物の製造に適していることを見出した。 - 特許庁

To provide a slot-in type disk device in which scratch on the signal recording surface of a disk during insertion and ejection of the disk is prevented, excessive load being exerted on a disk carrying-out mechanism during disk ejection is especially prevented and the insertion and ejection operations of the disk are facilitated.例文帳に追加

スロットイン方式のディスク装置において、ディスクの挿入・排出時にディスクの信号記録面が傷付くことを防止し、特にディスクの排出時にディスク搬出機構に過大な負荷がかかることを防止して、ディスクの挿入・排出を容易にしたディスク装置を提供する。 - 特許庁

To obtain a composition for polishing, capable of polishing a material having a high hardness such as a glass substrate material or a semiconductor substrate material at a high polishing rate, and providing no problem in the smoothness of the polishing, the uniformity, the generation of scratch wound and the residue of abrasive grains of the polishing agent.例文帳に追加

ガラス基板材料又は半導体基板材料等の硬度の大きい材料に対する研磨速度が高く、かつ研磨の平滑性、均一性、スクラッチ傷の発生、被研磨物の表面に研磨剤砥粒が残留する等の問題のない研磨用組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a inexpensive spinning nozzle enduring a continuous use at a high temperature and under a high pressure for a long time without leaking a resin, having rigidity for enduring a grinding an mirroring finish at the ejecting hole of the nozzle and having a hardness for enduring a scratch by wiping.例文帳に追加

安価でありながら樹脂を漏出させずに長時間の高温高圧下での連続使用に耐え、ノズルと口金の噴出孔側の研磨と鏡面仕上加工に耐える固定力があり、ワイピングによって傷が付かない硬さがある紡糸口金とその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a lithographic printing method which uses the same lithography support for a plurality of printing jobs, does not need an alkaline chemical for treating an image recording layer, gives a high operation length, and meets such requests for a lithographic printing material as scratch resistance and chemical resistance.例文帳に追加

複数の印刷ジョブに同じ平版支持体を使用し、像記録層がアルカリ性化学品による処理を必要とせず、高い運転長さを与え、引っかき抵抗及び耐薬品性の如き平版印刷版材料の要求を適える平版印刷の方法を提供する。 - 特許庁

To provide an aqueous inkjet ink, which provides an image excellent in image uniformity, void resistance, glossiness of printed matter and scratch resistance with a wide selection range of applicable recording media, and is also improved in emission stability and storage stability of ink, and to provide an inkjet recording method using the inkjet ink.例文帳に追加

適用可能な記録媒体の選択範囲が広く、画像均一性、白抜け耐性、印刷物の光沢及び耐擦性に優れた画像が得られ、かつインクの出射安定性及び保存性が向上した水系のインクジェットインクと、それを用いたインクジェット記録方法を提供する。 - 特許庁

To provide a decorative sheet that can be used in laminate processing on a flat substrate as a matter of course, can resist to three-dimensional formation such as wrapping process or vacuum forming process on a three-dimensional substrate, and that is made of a biomass material excellent in surface physical property such as scratch resistance.例文帳に追加

平面状基材へのラミネート加工は勿論のこと、立体形状の基材へのラッピング加工や真空成形加工等の立体成形にも耐えることができ、しかも耐傷付き性等の表面物性にも優れたバイオマス原料から構成された化粧シートを提供することにある。 - 特許庁

To provide a low-temperature-curable silane-modified epoxy resin composition of long pot life, to provide a cured film therefrom excellent in color tone, transparency, adhesion to substrate, heat resistance, scratch resistance, etc., and to provide a laminate with the cured film included therein.例文帳に追加

ポットライフが長く、低温硬化が可能であるシラン変性エポキシ樹脂組成物を提供すること、色調、透明性、基材密着性、耐熱性、耐傷付き性などに優れる当該組成物から得られる硬化膜を提供すること、および当該硬化膜を介してなる積層体を提供すること。 - 特許庁

To provide an organic photoreceptor with compatibility of stable potential stability over a print run of multiple sheets and prevention of halftone nonuniformity via surface scratch prevention, wherein curing reaction of a protective layer is adequately allowed to proceed and deterioration of a photosensitive layer can be prevented.例文帳に追加

本発明の目的は、保護層の硬化反応を十分に進行させると共に、感光層の劣化も防止でき、多数枚の耐刷を通し、安定した電位安定性と、表面傷の防止によるハーフトーンムラ等の防止が両立できた有機感光体を提供することである。 - 特許庁

To provide an optical disk reproducing apparatus, an optical disk reproducing method, and an optical disk reproducing program which can reduce frequency of switching of a rotation direction even when an optical disk is made to rotate reversely because a scratch is detected on the optical disk, and a recording medium which stores the optical disk reproducing program.例文帳に追加

光ディスクの傷検出などによって光ディスクを逆回転させた場合でも、回転方向の切替頻度を少なくすることができる光ディスク再生装置、光ディスク再生方法、光ディスク再生プログラムおよび光ディスク再生プログラムを格納した記録媒体を提供する。 - 特許庁

To provide an image-forming device which uses a conductive brush, which contacts an intermediate transfer body, so as to scratch off an untransferred toner sticking to the intermediate transfer body and adequately controls a bias voltage applied to the conductive brush independently of an environmental variation so that the voltage may be kept constant.例文帳に追加

像担持体として感光体を用いる場合を考慮したものであり，抵抗変動の影響が感光体と較べて中間転写体でははるかに大きいので，ファーブラシが中間転写体と接する部分だけの電圧を一定にしても，クリーニングに必要な電流を得ることはできない。 - 特許庁

To provide a patch transfer medium by which a patch can easily be transferred to a body to be transferred and which has a hologram forming layer and a reflecting pattern layer by which authenticity can easily be decided in an addition to scratch resistance and solvent resistance for protecting the surface of the medium even though repeatedly used a large number of times.例文帳に追加

被転写体にパッチを容易に転写でき、多数回の繰り返し使用でも、媒体の表面と保護する耐擦傷性や耐溶剤性などに加えて、簡易な真正性判定が可能なホログラム形成層及び反射パターン層を有するパッチ転写媒体を提供する。 - 特許庁

To provide a lithographic printing plate material for a CTP style with good inking properties, superior in on-machine developing properties, and superior in printing wear, ground staining resistance during storing for a long period, scuff and stain resistance (scratch resistance) on non-imaging parts, its manufacturing method, and a printing method using the lithographic printing plate material.例文帳に追加

インキ着肉性が良好で機上現像性に優れ、かつ耐刷性、長期保存時の地汚れ耐性、非画像部のキズ汚れ耐性（耐傷性）に優れるＣＴＰ方式用の平版印刷版材料、その製造方法、及びその平版印刷版材料を用いた印刷方法を提供する。 - 特許庁

The liquid coating composition comprises a resin and particles, wherein the particles which have been modified to have a surface tension lower than that of the resin are used such that at least some of the particles rise to the surface of the cured coating, thus affording enhanced mar and/or scratch resistance.例文帳に追加

樹脂および粒子よりなる液体コーティング組成物において、樹脂よりも表面張力が低く改変された粒子を用いることにより、その粒子の少なくともいくつかは、硬化したコーティングの表面へと浮かび、従って、傷耐性および／または引っ掻き耐性を増強する。 - 特許庁

A wafer is irradiated with a laser irradiation beam from the lateral side of the wafer in parallel to the surface of the wafer and the laser irradiation beam is moved in a direction vertical to the surface of the wafer to measure and inspect the particles bonded on the surface of the wafer and the unevenness, scratch or the like on the surface of the wafer over the whole surface of the wafer.例文帳に追加

【解決手段】レーザー照射光をウエハー側方からウエハー面に対して平行に照射し、照射光をウエハー面に対して垂直方向に移動させ、ウエハー面上に付着する粒子、ウエハー面上の凹凸、スクラッチ等を全ウエハー面に亘って計測検査する。 - 特許庁