flatnessを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 3514件
To provide a chemical-mechanical polishing method without generating scratches, capable of quickly obtaining global flatness and reducing slurry consumption in a chemical-mechanical polishing method for smoothing the insulating layer or a surface of wiring formed on a semiconductor wafer by polishing.例文帳に追加
半導体ウェハの上に形成された絶縁層または金属配線の表面を研磨により平滑にする化学機械研磨方法において、スクラッチの発生がなく、より速くグローバル平坦性が得られ、スラリー消費量が少ない化学機械研磨方法を提供する。 - 特許庁
To prepare a cellulose ester film suitable for a polarizing plate-protecting film in a liquid crystal image-display device, and the like, which has a high elastic modulus, can suppress shrinkage of the polarizing plate and is excellent in flatness, and a manufacturing method therefor.例文帳に追加
液晶画像表示装置における偏光板用保護フィルムなどに好適なセルロースエステルフィルムの弾性率を高くすることができて、偏光板の収縮を抑制することができる、平面性に優れたセルロースエステルフィルム及びその製造方法を提供する。 - 特許庁
To secure high film flatness by forming a first dielectric thin film and a second dielectric thin film that is provided by applying a dielectric-forming composition onto the first dielectric thin film so that a dense layer is formed on the surface of the first dielectric thin film.例文帳に追加
第1の誘電体薄膜と、この誘電体薄膜の上に誘電体形成用組成物を塗布して第2の誘電体薄膜を形成して、第1の誘電体薄膜の表面に緻密な層を形成し、当該膜の高い平坦性を確保する。 - 特許庁
The Si layer 9-3 prevents deterioration of the flatness of the surface layer as the SiGe layer 9-4 in such a way that the SiGe mixed crystal structure of the SiGe layer 9-4 is moved away from the impurity layer 9-2 on the Si layer 9-1.例文帳に追加
第2Si層9−3は、SiGe層9−4のSiGe混晶構造を第1Si層9−1の不純物層9−2からSiGe層9−4を遠ざけていて、SiGe層9−4その表層の平坦性劣化を防止している。 - 特許庁
To provide a composite glass epoxy substrate, along with a metal multilayer substrate using the same, capable of satisfying such opposing demands for resin substrate flatness and wiring pattern adhesion strength, as required for fine wiring pattern formation using a rigid resin substrate.例文帳に追加
リジッド樹脂基板を用いた微細な配線パターン形成において要求される、樹脂基板の平坦性と配線パターンの密着強度の二律背反の問題を解決するための複合ガラスエポキシ基板及びそれを用いた金属積層基板を提供する。 - 特許庁
To provide an objective lens system for a parallel system stereomicroscope, the lens system which allows realization of excellent focusing performance by suppressing distortion aberration to a degree practically free of problem to secure flatness on an image plane and by appropriately correcting other various aberrations.例文帳に追加
歪曲収差を実用上問題の無い程度に抑え、像面の平坦性を確保するとともに、その他の諸収差も良好に補正することにより、優れた結像性能を実現することが可能な平行系実体顕微鏡用対物レンズ系を提供する。 - 特許庁
To provide a clearance adjustment type polishing tool not only performing polishing finishing with high accuracy in which extremely high smoothness and flatness are required and but also performing polishing without a difference of polishing characteristics in a central part and a peripheral part even in the case of a large sized workpiece.例文帳に追加
きわめて高度な平滑度および平坦度が求められる高精度の研磨仕上げを行うことはいうまでもなく、大型の工作物にあっても中心部と周辺部で研磨特性の差がなく研磨が行える隙間調整型研磨具を提供する。 - 特許庁
To provide an aqueous dispersion for chemical mechanical polishing and a chemical mechanical polishing method, for polishing a workpiece provided with a wiring layer containing tungsten at a high polishing speed to obtain flatness of high level while suppressing corrosion of a tungsten film surface.例文帳に追加
タングステンを含む配線層が設けられた被処理体を、大きな研磨速度で、しかも高度に平坦になるように、かつタングステン膜表面の腐食を抑制しつつ研磨するための化学機械研磨用水系分散体および化学機械研磨方法を提供すること。 - 特許庁
The coefficient optimization part sets a local area so that a pixel to be processed may be included, and computes "characteristics information of the local area", which includes at least one selected from averaged color information, averaged brightness information and flatness, based on the pixel signals of the local area.例文帳に追加
この係数適正化部は、処理対象の画素を含むように局所域を設定し、局所域の画素信号に基づいて、平均色情報、平均輝度情報、および平坦度の少なくとも一つを含む『局所域の特徴情報』を算出する。 - 特許庁
To provide a flexible printed board wherein a polyimide-based resin layer which results from polyamic acid is formed on a copper foil, boding strength between the copper foil and the polyimide layer is superior, proper flatness is ensured and a fine pattern of wiring can be realized.例文帳に追加
銅箔上にポリアミック酸由来のポリイミド系樹脂層が形成されたフレキシブルプリント基板であって、銅箔とポリイミド層との間の接着強度に優れ、良好なフラット性を有し、配線のファインパターン化が実現可能なフレキシブルプリント基板を提供する。 - 特許庁
To provide a wiring board where a conductor layer between insulating layers contains a conductor wiring layer and a plane conductor layer capable of improving the flatness of the surface of a resin insulating layer on the conductor layer and a method for manufacturing the wiring board.例文帳に追加
絶縁層間の導体層が導体配線層とプレーン導体層とを含む配線基板について、導体層上の樹脂絶縁層の表面の平坦性を向上させることができる配線基板及び配線基板の製造方法を提供すること。 - 特許庁
To provide the manufacturing method of a quantum wire, which enhances the flatness of the surface of a silicon film subsequent to the formation of the quantum wire and can form the quantum wire having a complete electron confinement region with good controllability, and a semiconductor element having the quantum wire.例文帳に追加
量子細線の形成後のシリコン表面の平坦性がよく、完全な電子の閉じ込め領域を有する量子細線を制御性よく形成できる量子細線の製造方法およびその量子細線を用いた半導体素子を提供する。 - 特許庁
To provide a nitride-based semiconductor light-emitting diode capable of restraining a manufacturing process from becoming complex, improving extraction efficiency of light from a luminescent layer, and improving flatness of a semiconductor layer; and to provide its manufacturing method.例文帳に追加
製造プロセスが複雑になるのを抑制するとともに発光層からの光の取り出し効率を向上させることが可能で、かつ、半導体層の平坦性をより向上させることが可能な窒化物系半導体発光ダイオードおよびその製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing a hot rolled steel strip which can prevent the edges of the steel strip across width from waving when the steel strip comes down to room temperature after being hot rolled and wound, and can improve the flatness of the steel strip, and to provide a winding device for the steel strip.例文帳に追加
熱間圧延、巻取完了後に、常温になった時に、鋼板の幅方向エッジ部に発生する鋼板波の発生を防止して、平坦度を向上させることができる熱延鋼板の製造方法およびその巻取り装置を提供する。 - 特許庁
To provide a titanium black dispersion composition for a solid state imaging element, wherein the storage stability of a dispersion composition containing titanium black is high, and to provide a black radiation-sensitive composition, in which roughness is not generated on the upper face of the pattern and flatness is excellent when forming a pattern.例文帳に追加
チタンブラックを含む分散組成物の保存安定性の高い固体撮像素子用のチタンブラック分散組成物、およびパターン形成したときに、パターン上面の荒れが発生せず、平坦性の良好な黒色感放射線性組成物を提供する。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing a composite roll in a simplified process, wherein the core material and outer layer material can be freely selected depending on required material characteristics and the thermal crown is small and the good flatness can be attained, and to provide the composite roll.例文帳に追加
芯材および外層材を要求材質特性に応じて自由に選択でき、かつ、サーマルクラウンが小さく良好な平坦度を実現することが可能な複合ロールを簡素化した工程で製造する方法とその複合ロールを提供することである。 - 特許庁
To provide a method for the finesse compensation of a Fabry-Perot device that can secure precision of movement and a tilt of a reflector in orthogonal comb-shaped structure, avoid curvature of a mirror surface, and maintain flatness by controlling the reflector with an independent voltage.例文帳に追加
独立電圧で直交型コーム状構造を有する反射鏡を制御することによって、反射鏡の移動及びチルトの精確度を確保し、鏡面の彎曲を避け、平たさを維持することができファブリーペロデバイスのフィネスを補う方法を提供する。 - 特許庁
To provide a dressing tool for an abrasive cloth improving the flatness of the abrasive cloth and stabilizing the deformation characteristics of the abrasive cloth while lengthening a service life by reducing the wear of grinding abrasive grains, and moreover shortening time required for the whole dressing work.例文帳に追加
研削砥粒の磨耗を減少させることができて長寿命化が図れ、研磨布の平坦性が向上し、研磨布の変形特性を安定させ、さらに、ドレッシング作業全体の時間を短縮することができる研磨布用ドレッシング工具を提供する。 - 特許庁
This polyester multifilament comprises polyethylene terephthalate filament as a main component and the cross section of the filament is in a spectacle form having two independent hollow parts and satisfies the following requirements (1)-(3): (1) a flatness of the section of filament: 1.3-3.0;例文帳に追加
ポリエチレンテレフタレートフィラメントを主成分とし、フィラメントの横断面は、独立した二つの中空部を有するメガネ型であって、以下の要件(1)〜(3)を満足することを特徴とするポリエステルマルチフィラメント、その製造方法及び前記マルチフィラメントを用いた編織物。 - 特許庁
To provide a thermosetting composition which enables a cured film with excellent flatness is to be formed while maintaining heat resistance possessed by a cured product of a polyesteramide acid-based thermosetting composition, and to provide a thermosetting composition with excellent low-temperature curability.例文帳に追加
ポリエステルアミド酸系熱硬化性組成物の硬化物の持つ耐熱性を維持しつつ、平坦性の良い硬化膜を形成することができる熱硬化性組成物を提供すること、ならびに低温硬化性に優れた熱硬化性組成物を提供すること。 - 特許庁
To provide a dielectric film having high flatness secured by forming a first thin film and a second thin film comprising a crystal particle having average particle diameter smaller than that in the first thin film to form a dense film on the first thin film.例文帳に追加
第1の薄膜と、この第1の膜の上に第1の薄膜の平均粒径よりも平均粒径が小さい結晶粒子からなる第2の薄膜を形成して、第1の薄膜の表面に緻密な層を形成し、当該膜の高い平坦性を確保すること。 - 特許庁
To provide a surface treatment method and an apparatus for a film-like object, capable of preferably providing flatness by a fine cutting operation without unevenness for the film-like object while maintaining a state of no external force applied thereto.例文帳に追加
フィルム状の対象物に対して、外力が加わらない非接触の状態を保持し、微細な削り作用をムラなく行えて平坦度を良好に得ることができ、表面処理を効率よく行えるフィルム状の対象物の表面処理方法を提供する。 - 特許庁
By projecting (overhanging) the outer peripheral art of the semiconductor wafer 3 from the outer peripheral edge of the abrasive cloth, the grinding of the outer peripheral part is delayed, and the excessive grinding quantity of the outer peripheral part of the semiconductor wafer is canceled to prevent the degradation of the accuracy in flatness.例文帳に追加
このように、半導体用ウエハ3の外周部を研磨布の外周縁からはみ出させる(オーバーハングさせる)ことにより、外周部の研磨を遅らせて半導体用ウエハの外周部の過分の研磨量を相殺し、平坦度の精度低下を防止する。 - 特許庁
To provide a solid state imaging device in which the occurrence of distortion due to an imaging element extending along the surface of a substrate is suppressed even when the imaging element is bonded to the surface of a substrate having insufficient flatness, and an influence of distortion on the electric characteristics or the like is lessened.例文帳に追加
平坦度が不十分な基板面に撮像素子が接合された場合でも、撮像素子が基板面に沿うことによる歪みの発生が抑制され、歪みによる電気的特性等への影響が軽減された固体撮像装置を提供する。 - 特許庁
To provide a method for evaluating a damage of a bent portion of a steel pipe which is a nondestructive method without requiring pipe drawing or fine polishing and performs accurate inspection and evaluation by an easy evaluation method that is only to measure the outer diameter, pipe thickness and flatness of the bent portion of the steel pipe.例文帳に追加
抜管や精密研磨を必要としない非破壊方法であって、鋼管の曲げ部の外径、管厚、扁平率を計測するだけの簡単な評価方法で以って、高精度の探傷評価が可能な鋼管の曲げ部の損傷評価方法を提供する。 - 特許庁
To provide a pressure bonded heat pipe superior in heat radiation performance capable of being bonded without increasing the number of members to be used and in a state of storing an operating liquid, and maintaining flatness of a surface of a plate-like member on which an element to be cooled is mounted.例文帳に追加
使用する部材数を増やすことなく、作動液を収納した状態で、接合することができ、被冷却素子が取り付けられる板状部材の面の平坦性を維持することができる、放熱性能に優れた圧接接合式ヒートパイプを提供する。 - 特許庁
This is the separator for the battery composed of wet-laid nonwoven fabic whose liquid-retaining property of electrolytic solution is 100% or more having fibers whose monofilament fineness is 0.005 to 0.5 dtex, cross sectional flatness is 2.0 to 50.0 as the main constituent component, and which is composed of polyamide synthesized from terephthalic acid and 1,9- nonanediamine.例文帳に追加
テレフタル酸と1,9-ノナンジアミンとから合成されるポリアミドからなる単繊維繊度0.005〜0.5dtex、断面偏平度2.0〜50.0である繊維を主な構成成分とし、電解液保液率が100%以上である湿式不織布からなる電池用セパレータ。 - 特許庁
To provide an insulating coating glass material and sealing glass material, which are excellent in flatness and wear resistance and with which an insulating protective coating can be formed in the form of a single layer and the generation of bubbles caused by a reaction with an electrode can be suppressed, in the development of electronic material substrates represented by thermal print heads.例文帳に追加
サーマルプリントヘッドに代表される電子材料基板開発で、絶縁保護被膜を単層で形成でき、電極反応泡が抑制され、かつ平坦性および耐磨耗性の優れた絶縁性被膜ガラス材料及び封着ガラス材料が望まれている。 - 特許庁
In a slit device, two block gauges 1B and 1C are fixed to a substrate 2B with measurement faces 11 thereof facing downward, and another block gauge 1A to an auxiliary substrate 3 with a measurement face thereof facing upward, in which the flatness and parallelism of these measurement faces are assured.例文帳に追加
平坦性、平行性が保証された測定面11を下向きとして2個のブロックゲージ1B、1Cを支持体2Bに固定し、他の1個のブロックゲージ1Aを平坦性、平行性が保証された測定面11を上向きとして補助支持体3に取り付ける。 - 特許庁
To provide both a base fabric for an air bag of circular weave solving a problem of conventional base fabric of air bag of circular weave, especially problems related to thickness unevenness in the width direction and tension unevenness of warp by paying attention to flatness of a base fabric, and an air bag of circular weave.例文帳に追加
従来の袋織エアバッグ基布の問題点、特に基布のフラット性に着目し、幅方向での厚みむらと経糸テンションむらに関する問題点を解決する袋織エアバッグ基布および袋織エアバッグを提供することを目的とする。 - 特許庁
To provide a target conveying device which can suppress generation of uneven drying of a target subjected to recording processing through adhesion of a liquid while executing suction for securing a flatness of the target in a conveyance process of the target, and to provide a recording apparatus.例文帳に追加
ターゲットの搬送過程において、ターゲットの平面性を確保するための吸着を実行しつつ、液体の付着により記録処理が施されたターゲットの乾燥ムラの発生を抑制することができるターゲット搬送装置及び記録装置を提供する。 - 特許庁
As the shelves of transparent color of high optical transparency and flatness of high light reflectivity are used inside, and the light of LED lamp of high directional characteristic is unified by combining its diffusion, reflection and amplification, the visibility of foods inside is improved.例文帳に追加
また光透過性の高い透明色で光反射性の高い平面度を兼ね備えた棚を庫内に用い指向性の高いLEDランプ光を拡散・反射・増幅を組み合わせることで均光させて庫内食品の視認性を高めることができる。 - 特許庁
To provide a method of inspecting a semiconductor wafer, in which it is accurately determined whether even a semiconductor wafer which has a complicatedly curved measurement surface has good quality based upon flatness of the semiconductor wafer by accurately obtaining a tendency for the whole measurement surface to curve.例文帳に追加
測定面が複雑に湾曲した半導体ウェーハであっても、測定面全体の湾曲の傾向を的確に把握し、半導体ウェーハの平坦性に基づく良否判定を正確に行うことが可能な半導体ウェーハの検査方法を提供する。 - 特許庁
To provide an electro-optic device which can suitably be used for mobile phones and mobile computers or the like, which has excellent flatness and joining performance of an end of a reflecting plate to an uneven layer, in which sufficient orientation processing can be realized and which has enhanced contrast in a display, and to provide its manufacturing method.例文帳に追加
携帯電話機、モバイルコンピュータ等に好適に用いられる、反射板の端部の、平坦性及び凹凸層との接着性に優れ、十分な配向処理が可能で、表示のコントラストを向上させた電気光学装置及びその製造方法を提供する。 - 特許庁
To implement an optical fiber which allows prescribed flatness and surface roughness to be obtained on an upstream light-reflecting surface of at least a notched part and is capable of achieving stabilization of a refractive index and improvement of mechanical strength of the notched part and to provide an optical power monitor which is inexpensive and can be miniaturized.例文帳に追加
少なくとも切欠き部の上流側光反射面に所定の平坦度や面粗さが得られ、また屈折率の安定と切欠き部の機械的強度の向上が得られる光ファイバーを実現し、安価で小型化が可能な光パワーモニターを提供する。 - 特許庁
To provide a method for producing an Fe-Ni based alloy thin sheet which can solve the problem particularly on heating shrinkage, can realize excellent flatness even in the case of a wide width of ≥60 mm for example, and is used as the stock for a lead frame, the stock for a lead or the like.例文帳に追加
特に加熱収縮の問題を解決でき、例えば60mm以上の広い幅であっても優れた平坦性を実現できるリードフレーム用素材やリード用素材等に用いられるFe−Ni系合金薄板材の製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a tension leveler capable of easily giving even the difference of tensile force of a small amount and capable of forming an optional tensile force distribution and to provide a method for leveling by using thereof in flatness straightening executed by giving a width direction tensile force distribution to a metallic strip.例文帳に追加
金属ストリップに幅方向の張力分布を付与しておこなう平坦矯正において、小さな量の張力差でも容易に付与でき、かつ任意の張力分布の形成が可能なテンションレベラならびにそれを用いた矯正方法を提供する。 - 特許庁
To provide a printer using a curled print paper capable of ensuring the flatness of the print paper at a print part and enhancing the degree of versatility of the design of the printer by straightening the curl of the print part during the conveyance.例文帳に追加
カールしたプリントペーパを用いるプリンタにおいて、プリントペーパのカールを搬送中に矯正することによってプリント部におけるプリントペーパの平面性を確保できるようにすると共に、プリンタの設計自由度を向上させることができるようにすることにある。 - 特許庁
To provide a production method and a production apparatus for a functional film which, when depositing an inorganic film on a coating film by means of a vacuum deposition device, prevent a deterioration in flatness of the coating film causing a defect such as cracking/omission of the inorganic film and which assure high producibility.例文帳に追加
真空成膜装置によりコーティング膜上に無機膜を成膜する際に、無機膜の割れ/抜け等の欠陥を引き起こすコーティング膜の平滑性悪化を防止し、生産性の高い機能性フィルムの製造方法、及び製造装置を提供する。 - 特許庁
A method for manufacturing a semiconductor device comprises the step of predicting flatness of polishing in the case of using a stopper film by using two parameters of a value of a pattern density in a first area representing a processing pressure, and a value of a pattern density in a second area representing a selection ratio.例文帳に追加
加工圧力を代表する第1の領域内のパターン密度の値と、選択比を代表する第2の領域内のパターン密度の値の2つのパラメータを用いることにより、ストッパ膜を用いる場合における研磨の平坦性予測を行う。 - 特許庁
The soft-magnetic powder 1 has a flatness of 10 or above, and the content in the composite sheet S is 20 vol.% or above, and a film 1a consisting of a compound with a phosphoric acid mixture containing powder, boric acid, and magnesia is formed on the surface thereof.例文帳に追加
ここで、前記軟磁性粉末1は、偏平度が10以上とされその含有率が20体積%以上とされるとともに、その表面に粉末と硼酸とマグネシアとを含有する燐酸混合物との化合物からなる皮膜1aが形成されている。 - 特許庁
A regular step which is arrayed in the direction of m-axis is formed on the surface of the MgxZn1-xO substrate 1 in such a manner where a phenomenon, called as step bunching, can be prevented and the flatness of the film of semiconductor layer laminated on the substrate 1 can be improved.例文帳に追加
このようにして、MgxZn1−xO基板1の表面に、m軸方向に並ぶ規則的なステップを形成することで、ステップバンチングと呼ばれる現象を防ぎ、基板1上に積層される半導体層の膜の平坦性を向上させることができる。 - 特許庁
To provide a pad body, retaining the flatness even in the case of filling the inside of a side cloth with easily movable granular substance, dispersing the body pressure from its initial working state, being hardly set to be used for a long period of time, having high moisture releasing property of sweat of the human body, and manufactured at a low cost.例文帳に追加
動き易い粒状物体を側地内に充填しても平坦性を保持でき、初期の使用状態から体圧分散が可能となり、へたりにくく長期使用でき、人体の汗の放湿性が高く、製造コストも安価な詰め物体を提供する。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing glass substrates which is capable of shortening a processing stage, reducing the thickness of the glass substrates to the max. possible extent and drastically saving a raw material cost, processing equipment cost, processing time, etc., by controlling the flatness and warpage of the glass substrates with high accuracy.例文帳に追加
ガラス基板の平面度及び反りを高精度に制御することにより、加工工程を短縮し、ガラス基板の肉厚を極限まで薄くでき、原材料費、加工設備費、加工時間等の大幅な節減を可能とするガラス基板の作製方法を提供する。 - 特許庁
Each surface of an object to be machined is sequentially divided and positioned according to a program, each surface is machined and molded using a standard wire electrode 23 in a given high speed discharge machining condition, and normally finally, forming machining of tip lower surface size and flatness is performed, thereby machining with the standard wire electrode 23 is finished.例文帳に追加
標準ワイヤ電極と細線ワイヤ電極の各ワイヤガイド間加工部を加工槽内テーブル上に、水平一軸方向に互に平行に形成し、予め両ワイヤ電極を切換選択して張架走行させる得るようにセットしておく。 - 特許庁
As a result, these mixtures were roughly equal with the mixture prepared by the conventional techniques in the flatness of an etching surface, but the smell of acetic acid disappeared and it has been found that the working environment for manufacturing the etching liquid can be improved because of it and at the same time, recycling becomes easy to promote also about the disposal of the waste fluid of the etching liquid.例文帳に追加
その結果、エッチング面の平滑度ではほぼ同等であったが、酢酸臭が全くなくなり、そのために作業環境が改善出来ることがわかったこと、同時にエッチング液の廃液処理についても再利用が進めやすくなった。 - 特許庁
This shading fabric uses multifilaments which comprise a filament-forming thermoplastic polymer having a carbon black content of 0.5 to 5 wt.% and whose each filament cross section is a flat cross section having two or more constricted portions and having a cross section flatness degree of 2 to 6.例文帳に追加
フィラメントの断面形状が2個所以上のくびれ部を有する断面扁平度2〜6の扁平断面であり、カーボンブラックの含有量が0.5〜5重量%である繊維形成性熱可塑性ポリマーからなるマルチフィラメントを用いた遮光用布帛を得る。 - 特許庁
To provide plastic corrugated cardboard which has a structure such that a large number of ribs (2) parrarelly running mutually are connected to the inner surfaces of liners (1) comprising two flat sheets produced using a plastic as a material, and to provide a product improved in flatness and warpage in the lateral direction of the flat sheets.例文帳に追加
プラスチックを材料として製造した、2枚の平板からなるライナー(1)の間を、互いに平行に走る多数のリブ(2)が接続した構造のプラスチック段ボールにおいて、板の横方向における平坦性と反りを改善した製品を提供すること。 - 特許庁
Before heating to cross-link a polymer film 17, a shower head 31 of a press member having a high-flatness surface presses the surface of the polymer film 17 to planarize it, while a solvent is supplied to the surface of the polymer film 17.例文帳に追加
高分子材料膜17を加熱架橋する前に、高分子材料膜17の表面に溶剤を供給しながら、平坦性の高い表面を有する押圧部材であるシャワーヘッド31を用いて、高分子材料膜17の表面を押圧して平坦化する。 - 特許庁
To obtain a silica glass suitable as a material for an optical member constituting an optical system used for EUVL, which has a low coefficient of thermal expansion within a range of 0 to 100°C, and on which the formation of concave defects is suppressed in a polishing step to achieve a high level of flatness.例文帳に追加
0〜100℃での熱膨張係数が小さく、高平坦度を達成するための研磨工程において凹欠陥の生成が抑制されていることで、EUVLに使用される光学系を構成する光学部材の材料として好適なシリカガラスを得る。 - 特許庁
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