「method process」に関連した英語例文の一覧と使い方(613ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide a method capable of achieving improvement of productivity by comprehending completion of calcination without wasting manufacturing energy by sensing a physical change occurring in a calcination process of an oxide semiconductor particle film and by feeding back this to a heat control circuit.例文帳に追加

酸化物半導体粒子膜の焼成工程中に起こる物理的な変化をセンシングし、熱制御回路にフィードバックすることにより、製造エネルギーの浪費無しに焼成の完了を把握することで生産性の向上を図ることが可能な方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a method for producing toner particles by which the drying of wet toner particles obtained by a polymerization process and the addition of an external additive are continuously carried out in a short time in a single step and toner particles having superior characteristics are easily obtained by the uniform drying and addition.例文帳に追加

重合法によって得られた湿潤状態のトナー粒子を短時間で、しかも連続的に、更には単一工程内で乾燥・外添を行い、均一にムラ無く乾燥・外添させることによって優れた特性のトナー粒子が容易に得られるトナー粒子の製造方法を提供することにある。 - 特許庁

In a process of decomposing dioxins for treating wastes containing dioxins by the melt method, high temperature exhaust gas generated during the high temperature treatment is cooled to below a temperature lower than the resynthesizing temperature of dioxins in a cooling chamber of steam atmosphere or inactive gas atmosphere such as nitrogen.例文帳に追加

ダイオキシン類含有廃棄物を溶融方式で処理するダイオキシン類分解処理方法において、溶融の際に発生する高温の排ガスを、水蒸気雰囲気あるいは窒素ガス等の不活性ガス雰囲気とした冷却室内でダイオキシン類の再合成温度以下の温度に冷却する。 - 特許庁

A method of treating an α-chemokine mediated disease in mammals comprises a process of administering to a patient in need of such treatment a therapeutically effective amount of the compound of formula (I) or a pharmaceutically acceptable salt or solvate thereof.例文帳に追加

本発明の別の局面は、哺乳動物においてα−ケモカイン媒介性の疾患を処置する方法であり、この方法は、治療的有効量の式（Ｉ）の化合物またはその薬学的に受容可能な塩もしくは溶媒和物を、この処置を必要とする患者に投与する工程を包含する。 - 特許庁

This method for producing the malt alcoholic liquor is characterized by adding a solution containing a saccharide capable of being fermented with yeast at least once per one to three days, in a process for fermenting a wort prepared from only malt or a wort prepared from the malt and auxiliary materials.例文帳に追加

麦芽のみから調製した麦汁又は麦芽および副原料から調製した麦汁の発酵工程において、酵母が発酵可能な糖類を含む溶液を、１〜３日間の間隔で少なくとも１回添加して発酵を行なうことを特徴とする麦芽アルコール飲料の製造法。 - 特許庁

To provide a resist underlayer film forming material which is effective as an antireflection film material used in microfabrication in a production process of a semiconductor device or the like, and a resist pattern forming method using the same and suitable for immersion lithography with ArF excimer laser light (193 nm).例文帳に追加

半導体素子などの製造工程における微細加工に用いられる反射防止膜材料として有効なレジスト下層膜形成材料及びこれを用い、ＡｒＦエキシマレーザー光（１９３ｎｍ）を用いた液浸リソグラフィーに好適なレジストパターン形成方法の提供。 - 特許庁

A method for magnetic separation of catalysts for fluid catalytic cracking enables the introduction of the catalysts into a magnetic separation apparatus after the water content of the catalyst taken out from a fluid catalytic cracking apparatus is adjusted to 5 mass% or lower in a fluid catalytic cracking process provided with the magnetic separation apparatus.例文帳に追加

磁気分離装置を具備する流動接触分解プロセスにおいて、流動接触分解装置から抜き出された触媒の水分量を５質量％以下に調整したのち磁気分離装置に導入することを特徴とする流動接触分解触媒の磁気分離方法。 - 特許庁

To provide a method capable of reducing occurrence of burr caused by a gap of a metal generated in a pad at dicing, and executing probe inspection via a process controlling monitor without problems.例文帳に追加

ダイシングの際に発生するパッド部分の金属のめくれ上がりによるバリを低減することができるとともに、プロセスコントロールモニタを通じてのプローブ検査を問題なく実行することができる半導体ウエハおよび半導体チップの製造方法および半導体ウエハプローブ検査方法を提供する。 - 特許庁

This method for producing the collagens comprises at least a process for setting a fibrous sheet containing a calcium phosphate in a cylindrical incubator and rotating the cylindrical incubator to continuously culture in a state that are adhered to the fibrous sheet.例文帳に追加

リン酸カルシウム類を含有する繊維状シートを筒状培養器内に設置し、前記繊維状シートにコラーゲン産生細胞を付着させた状態で前記筒状培養器を回転させ、連続培養を行う手順を少なくとも含むコラーゲン類生産方法を提供する。 - 特許庁

The method for preparing the oxide thin film transistor having a substrate, a gate electrode, a gate insulating film, a source electrode, a drain electrode, and a semiconductor thin film includes a step for patterning the gate insulating film or the semiconductor thin film through the helicon plasma dry etching process.例文帳に追加

基板とゲート電極とゲート絶縁膜とソース及びドレイン電極と半導体薄膜とを含む酸化物薄膜トランジスタの製造方法において、ゲート絶縁膜又は半導体薄膜は、特定エッチングガスを使用するヘリコンプラズマ乾式工程を通じてパターン化されるステップを含んでいる。 - 特許庁

The oxidative desulfurization method comprises the following process: an ozone-containing gas is contacted with the sulfur-containing liquid petroleum product to oxidize the sulfur components in the petroleum product and the resultant oxidized sulfur compounds is separated by extraction, or the like, using a solvent containing a lower alcohol such as methanol.例文帳に追加

液状石油製品の酸化脱硫方法は、オゾンを含むガスを、硫黄分を含む液状石油製品と接触させることにより、液状石油製品中の硫黄分を酸化し、生成した酸化硫黄化合物をメタノールなどの低級アルコールを含む溶媒を用いた抽出等により分離する。 - 特許庁

To provide a decorative belt body with excellent fixability, capable of precisely preventing the dislocation of the belt body by sliding after being attached to a container for packaging, the wear of the belt body and the scratch damage of the container for the packaging, and to provide a production method by which the belt body can be produced by a simple process.例文帳に追加

包装用容器への装着後の滑動による帯体の位置ズレや、帯体の摩耗および包装容器の擦過損傷を確実に防止することができる定置性に優れた装飾帯体および、簡素な工程で作製することができる製造方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a gas barrier film with such advantages that an environmental impact by incineration disposal is insignificant, the process to make the film thin and lightweight is provided, the processing procedures of the film during its manufacturing are fewer in number, while ensuring a beautiful gloss, and the manufacturing cost is reduced, and also to provide a gas barrier film thereof.例文帳に追加

焼却処理時の環境負荷が小さく、フィルムの薄膜化や軽量化が可能であるとともに、美しい光沢が得られ、しかも製造時の加工工程が少なく、製造コストを削減することが可能であるガスバリア性フィルムの製造方法及びガスバリア性フィルムを提供すること。 - 特許庁

To provide an adhesive sheet, which requires a small amount of water to be used for sticking, has excellent water retaining property in an initial stage of a sticking process and excellent water discharging property when pressed to adhere the adherend, and has an excellent appearance with hardly visible through holes, and to provide a method for producing the adhesive sheet.例文帳に追加

貼付時に使用する水の量が少量で済み、貼付工程初期段階における水の保持性および被着体への圧着時における排水性に優れ、かつ、貫通孔が目立たず外観に優れた粘着シート、および当該粘着シートの製造方法を提供する。 - 特許庁

The inspection method for inspecting the internal state of the optical material OM has a process for irradiating the optical material OM with diffused light from a light source 21, and inspecting the internal state of the optical material OM based on transmitted light transmitted through the optical material OM.例文帳に追加

本発明に係る光学材料ＯＭの内部状態を検査する検査方法は、光源２１からの拡散光を光学材料ＯＭに照射し、この光学材料ＯＭを透過した透過光に基づいて光学材料ＯＭの内部状態を検査する工程を有する。 - 特許庁

The method for manufacturing the noncombustible material includes a process where raw materials whose main components are plants are impregnated in a noncombustible liquid agent containing ammonium sulfate (NH_4)_2SO_4, ammonium phosphate (NH_4)_3PO_4 and water H_2O as components, or the noncombustible liquid agent is sprayed to the raw materials.例文帳に追加

植物を主成分とする原材料を、硫酸アンモニウム（ＮＨ_4 ）_2 ＳＯ_4、リン酸アンモニウム（ＮＨ_4 ）_3 ＰＯ_4 および水Ｈ_2 Ｏを成分とする不燃液剤に含浸させ、又は原材料に不燃液剤を噴霧する工程を含むことを特徴とする不燃材の製造方法が提供される。 - 特許庁

To provide a method for producing a smoked meat product by which liquid accumulation caused inside a product is prevented without putting burden on the process for producing a smoked meat product, so as to make the appearance of the product favorable and prevent a reduction in yield and outflow of taste components.例文帳に追加

燻煙食肉製品の製造工程に負荷がかかることがなく、製品内部に発生する液溜りを防止することにより、外観上良好で、かつ、歩留り低下及び旨味成分の流出を防止することができる燻煙食肉製品の製造方法を提供する。 - 特許庁

The method of manufacturing the spark plug 100 includes a laser welding process in which an electrode chip 133 is arranged at an electrode base material 131 and by irradiating a pulsed laser beam LS on it, unit welding parts 135n1 to 135n10 are formed in the order corresponding to respective laser pulses N1 to N10.例文帳に追加

スパークプラグ１００の製造方法は、電極チップ１３３を電極母材１３１に配置し、これにパルス状のレーザ光ＬＳを照射することにより、各レーザパルスＮ１〜Ｎ１０に対応した単位溶接部１３５ｎ１〜１３５ｎ１０を順次形成するレーザ溶接工程を備える。 - 特許庁

To provide a grinding method of a workpiece, improving the machining precision more than the so-called indirect sizing grinding, and reducing a cycle time compared with that of the so-called post-process sizing, without using a sizing device for directly measuring the size or position of a machining point.例文帳に追加

加工個所の寸法あるいは位置を直接的に測定する定寸装置を用いることなく、いわゆる間接定寸研削よりも加工精度をより向上させることができ、いわゆるポストプロセス定寸よりもサイクルタイムを短縮化することができる、ワークの研削方法を提供する。 - 特許庁

To provide a suspender for a rolling bearing capable of suspending the bearing without causing trouble in designing the rolling bearing and also without requiring additional process for an inner ring and an outer ring being an orbit ring, and an assembling method of rolling bearing using this suspender.例文帳に追加

転がり軸受の設計に支障をきたすことなく、かつ軌道輪である内輪や外輪に追加の加工を必要としないで、転がり軸受を吊り上げることができる転がり軸受用吊り具およびこの吊り具を用いた転がり軸受の組み付け方法を提供することを課題とする - 特許庁

To provide a method of manufacturing a film antenna with which improvement in pattern accuracy and antenna element invisibility of a film antenna to be pasted or held on a window glass pane of an automobile or the like, simplification in a manufacturing process and work facilitation, improvement in efficiency of residual material discarding and the like can be achieved totally.例文帳に追加

自動車等の窓ガラスに貼着又は挟装されるフィルムアンテナのパターン精度とアンテナエレメントの不可視性の向上、製造工程の簡素化と作業の容易化、及び残余材料処分の効率化等を総合的に可能にするフィルムアンテナの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a roll forming method which facilitates machining, can reduce machining cost, forms fine holes in a metal foil at a prescribed pattern and an aperture ratio, and removes dust, machining wastes, and fines resulting from an environment or a machining process itself during machining, and also to provide the metal foil formed by the same.例文帳に追加

加工が容易であり、加工コストの低減が図れ、金属箔に所定の配置・開口率で微細孔明け加工を行い、該加工での、環境または加工そのものにより発生する塵・加工屑・微粉を排除するロール成形方法及びその方法で製造された金属箔の提供。 - 特許庁

To provide a method of fabricating an organic single crystal thin film that can be manufactured at low cost without using an expensive clean room and an expensive vacuum process apparatus, reduces the waste part to exhibit a superior environment property, and has a high crystal quality leading to, for example, a high semiconductor performance.例文帳に追加

本発明は、高価なクリンルームと高価な真空プロセス装置を使うことなく低コストで製造でき、廃棄部分も少なく環境性に優れ、かつ結晶品質が高いことによる例えば半導体性能の高い有機単結晶薄膜作成法を提供すること。 - 特許庁

To provide a photoreceptor having high wear resistance and satisfactory electric characteristics and preventing a cleaning blade from being deteriorated and keeping satisfactory cleaning property for a long period of time, and to provide an image forming method by use of the photoreceptor, an image forming device, and a process cartridge.例文帳に追加

感光体自体が高い耐摩耗性と良好な電気特性を有するともに、クリーニングブレードの劣化を抑制し、良好なクリーニング性を長期間にわたり持続できる感光体、及び該感光体を使用した画像形成方法、画像形成装置及びプロセスカートリッジを提供することを目的とする。 - 特許庁

To provide a raw material blending method allowing handling of mass of raw materials to be blended by discrete numerical values corresponding to mass packed in a container, a bag or the like and fractions not reaching the discrete numerical values, in a raw material blending process of blending a plurality of kinds of raw materials.例文帳に追加

複数種類の原料を配合する原料配合プロセスにおいて、容器や袋等に梱包された質量に対応する離散的な数値と、この離散的な数値に満たない端数とによって配合すべき原料の質量を扱うことができる原料配合方法を提供する。 - 特許庁

The method of constituting the metal material includes a step of preparing the substrate including a region formed from a first semiconductor material, and a second material containing germanium separated by a pattern formed from a dielectric material, a step of performing deposition (F2) of a metal layer, and a step of performing a first thermal process (F3).例文帳に追加

第１半導体材料から作られた領域と、誘電体材料から作られたパターンによって分離されたゲルマニウムを含む第２半導体材料から作られた領域と、を含む基板を準備し、金属層を堆積し（Ｆ２）、第１熱処理（Ｆ３）を行うことを含む。 - 特許庁

An apparatus and a method are provided for processing substrates and/or wafers in real-time using at least one direct current (DC)/radio frequency (RF) hybrid (DC/RFH) processing system, a related DC/RF hybrid (DC/RFH) procedure, and DC/RFH process parameters and/or DC/RFH models.例文帳に追加

本発明は、少なくとも1つの直流(DC)/高周波(RF)ハイブリッド(DC/RFH)処理システム並びに関連する直流(DC)/高周波(RF)ハイブリッド(DC/RFH)手順及びDC/RFH処理パラメータ及び/又はDC/RFHモデルを用いることによってリアルタイムで基板及び/又はウエハを処理する装置並びに方法を供することができる。 - 特許庁

To provide a reactor excelling in quality, a manufacturing efficiency property and a yield property because a bobbin for a coil is integrally formed of an insulation resin body simultaneously with a gap layer without subjecting magnetic cores to press work or the like in its manufacturing process, and to provide a method of manufacturing the same.例文帳に追加

その製造過程で磁性コア同士をプレス加工等することがなく、さらには、コイル用のボビンがギャップ層と同時に絶縁樹脂体にて一体に成形されることから、品質に優れ、製造効率性と歩留まり性に優れたリアクトルと、その製造方法を提供する。 - 特許庁

When a single crystal silicon carbide is grown by a sublimation recrystallization method using a seed crystal, silicon carbide powder is used as a raw material, which is subjected to high purification treatment by a high temperature process at from 1,800°C to about 2,200°C to control purity to 99.99% or more.例文帳に追加

種結晶を用いた昇華再結晶法により単結晶炭化珪素を成長させる際に、予め、摂氏１８００度から摂氏２２００度程度の高温処理により高純度化処理を施し、純度を９９．９９％以上にした炭化珪素粉末を原料として使用する。 - 特許庁

The method for manufacturing the sputtering target for a reflection layer of an optical medium includes a process for firing raw material powder having a composition that is mainly composed of Al and contains 1-10 at% of one or two species of elements selected from the group consisting of Ta and Nb, and 0.1-10 at% of Ag.例文帳に追加

光メディアの反射層用スパッタリングターゲットの製造方法は、Ａｌを主成分とし、Ｔａ及びＮｂからなる群より選択される１又は２種の元素を１〜１０ａｔ％、及び、Ａｇを０．１〜１０ａｔ％含む組成を有する原料粉体を焼成する工程を備える。 - 特許庁

To provide a disturbance observer, a feedback compensator, a positioning device, exposure device and a method for designing the disturbance observer which can stabilize a resonance phase using a phase lead compensator and a phase lag compensator which are based on a transfer function decided by a designer without a process of trial and error.例文帳に追加

設計者が試行錯誤することなく決定した伝達関数に基づく位相進み補償器と位相遅れ補償器により、共振の位相を安定化させることが可能な外乱オブザーバ、フィードバック補償器、位置決め装置、露光装置、及び外乱オブザーバ設計方法を提供する。 - 特許庁

To provide a reaction monitoring device capable of polyhedrally monitoring even physical properties other than viscosity by setting the viscosity as an essential monitoring item in a reaction process, a reaction solution manufacturing device equipped with the reaction monitoring device containing a viscosity detection means, and a reaction solution manufacturing method.例文帳に追加

粘度を反応工程における必須の監視項目とし、粘度以外の物性をも多面的に監視できる反応監視装置を提供すること、当該粘度検出手段を含む反応監視装置を備える反応液製造装置、並びに該反応液製造方法を提供すること。 - 特許庁

A sludge molded article obtained by using as raw material silicon sludge including metal impurities of ≥1×10^15 atoms/cm^3 from a silicon processing process, and a silicon lump including metal impurities at the same level as the silicon sludge are charged to a crucible, they are melted, and a silicon ingot is pulled by a Czochralski method.例文帳に追加

シリコン加工プロセスからの１×１０^１５ａｔｏｍｓ／ｃｍ^３以上の金属不純物を含むシリコンスラッジを原料としたスラッジ成形物と、同レベルの金属不純物を含むシリコン塊とをルツボに投入して溶融し、チョクラルスキー法でシリコンインゴットを引き上げる。 - 特許庁

To provide a liquid ejecting apparatus in which it is possible to improve MPBF by improving a discharge effect of thickened liquid or minute air bubbles in a liquid flow path of a liquid ejecting head and moreover, it is possible to shorten the time required for a maintenance process, and a control method thereof.例文帳に追加

液体噴射ヘッドの液体流路内の増粘液体や微小な気泡の排出効果を向上させてＭＰＢＦの向上を図ることが可能であり、尚かつ、メンテナンス処理に要する時間を短縮することが可能な液体噴射装置、及び、その制御方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a semiconductor device including a polishing process in which the remaining thickness of a wafer after polishing can be automatically adjusted to a predetermined set thickness with small variance without measuring the remaining thickness of the wafer in the middle of the polishing even when a plurality of wafers to be polished have variance in thickness.例文帳に追加

研磨前の複数のウエハ間に厚さのバラツキがあっても、研磨の途中でウエハの残り厚さを測定することなく、研磨後のウエハ残り厚さを所定の設定厚さにバラツキを小さく自動的に調整できる研磨工程を含む半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

The negative electrode carbon materials for the lithium secondary battery characterized by production of melting treatment object by heat-melting materials including a starch and inclusion of a process to carbonize the melting treatment object through baking, the method of manufacturing the same, as well as the negative electrode for the lithium secondary battery, and the lithium secondary battery.例文帳に追加

デンプンを含む材料を加熱溶融した溶融処理物を作製し、該溶融処理物を焼成して炭素化する工程を含むことを特徴とするリチウム二次電池用負極炭素材料、その製造法、リチウム二次電池用負極及びリチウム二次電池。 - 特許庁

In a method of manufacturing a semiconductor integrated circuit device, a plurality of test element areas are arranged with different pitches near chip areas on a wafer, and in a probe test, they are electrically measured, so that local process variations are monitored.例文帳に追加

本願の一つの発明は、半導体集積回路装置の製造方法において、ウエハ上のチップ領域の近傍に複数のテスト素子領域を異なるピッチで配列し、プローブテストにおいて、それらを電気的に計測することにより、プロセスの局所的ばらつきをモニタするものである。 - 特許庁

To provide a method of mounting a component capable of continuing production of a board even when component shortage occurs during execution of a component mounting process for one board while preventing increase of the length of a board production line; and to provide a component mounter.例文帳に追加

基板生産ラインの長さの増大を抑えつつ、一の基板に対する部品装着プロセスの実行中に部品切れが生じた場合であっても基板の生産を継続することができるようにした部品実装方法及び部品実装機を提供することを目的とする。 - 特許庁

The method for cleaning a coating gun is for cleaning the coating gun 110 in the case of color change, and includes a process of discharging the waste liquid containing a coating into a liquid while immersing the tip of the coating gun into a cleaning vessel 20 filled with a cleaning liquid.例文帳に追加

本発明による塗装ガンの洗浄方法は、色替えの際に塗装ガン１１０を洗浄する塗装ガンの洗浄方法であり、洗浄液が入った洗浄槽２０に塗装ガンの先部を浸して、塗料を含んだ廃液を液中に排出させる工程を含む。 - 特許庁

To provide a defect detection method can obtain existence or a kind of a defect of thread comprising a bundle of many continuous single fibers, on an online basis regardless of existence of twist of the thread, and performing speedily quality control of a thread package manufactured by a thread manufacturing process.例文帳に追加

多数の連続した単繊維の束からなる糸条の欠陥の有無や種類を、糸条の撚りの有無にかかわらずオンラインで把握できかつ糸条の製造工程により製造される糸条パッケージの品質管理を、迅速に行うことができる欠陥検出方法を提供する。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of a semiconductor device which dispenses with a patterning process of a lanthanum oxide film, relating to the semiconductor device in which a high-K gate insulating film is constituted by laminating a high-K dielectric film and a lanthanum oxide film, in an n-channel MOS transistor.例文帳に追加

ｎチャネルＭＯＳトランジスタにおいてｈｉｇｈ−Ｋゲート絶縁膜をｈｉｇｈ−Ｋ誘電体膜と酸化ランタン膜の積層により構成した半導体装置において、酸化ランタン膜のパターニングプロセスを不要とする半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

The method for manufacturing the fluorinated resin molding is characterized in that it includes a baking process of a preform containing fluorinated resin powder 2 and a plurality of reinforcing materials 3 which are embedded in the fluorinated resin powder 2 and which are connected with a joining pipe 4 with spaces apart from each other.例文帳に追加

フッ素樹脂成形品の製造方法は、フッ素樹脂粉末２と、前記フッ素樹脂粉末２中に埋め込まれ、互いに隙間を隔てた状態で接合パイプ４により連結された複数の補強材３とを含む予備成形品に、焼成を施す工程を具備することを特徴とする。 - 特許庁

To provide a user-friendly titanium clad steel cutter constituted of a titanium material, even if performing a quench hardening process for being used as a cutter steel, causing no delamination from clad joint parts and having superior lightweightness, corrosion resistance and durability; and to provide a method for manufacturing the same.例文帳に追加

刃物鋼として使用するための焼き入れ硬化処理を行なっても、クラッド接合部からの層間剥離を起こさず、しかも軽量性と耐食性及び耐久性に優れたチタン材料で構成した使い易いチタンクラッド鋼刃物及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide: an organic electroluminescent device having a first optical path length-adjusting layer made of an organic material and a second optical path length-adjusting layer made of an inorganic material, and with durability improved; a method of manufacturing the organic electroluminescent device with its manufacturing process simplified; and an organic electroluminescent display.例文帳に追加

有機材料からなる第１の光路長調整層及び無機材料からなる第２の光路長調整層を有し、耐久性が向上した有機電界発光装置、及び製造プロセスを簡易化する有機電界発光装置の製造方法、並びに有機電界発光ディスプレイの提供。 - 特許庁

To provide dry etching gas selectively etching a resist and underlying silicon while avoiding a reduction of an etching speed of a silicon oxide film, a silicon nitride film, and a silicon-containing film such as a silicon-containing low dielectric constant film in a manufacturing process of a semiconductor device; and to provide an etching method using the same.例文帳に追加

半導体デバイスの製造プロセスにおいて、シリコン酸化膜、窒化シリコン膜、シリコン含有低誘電率膜等のシリコン含有膜のエッチング速度の低下を防ぎ、レジストや下地のシリコンなどに対して、選択的にエッチングすることができるドライエッチングガス及びそれを用いたエッチング方法を提供する。 - 特許庁