patterningを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 3921件
At this moment, the planarization process is performed until the top electrode of the capacitor is exposed, then a conduction film for plate electrode is formed and a plate line directly contacting to the upper electrode is formed by patterning.例文帳に追加
この際、平坦化工程はキャパシタ上部電極が露出される時まで実施され、その後、プレート電極用導電膜を形成し、パターニングして上部電極に直接接触するプレートラインを形成する。 - 特許庁
An increase in the number of processes required for manufacturing a second gate electrode is reduced by forming a gate electrode to be provided at the upper part of an oxide semiconductor layer simultaneously when patterning the oxide semiconductor takes place.例文帳に追加
酸化物半導体層の上方に設けるゲート電極を形成するとき、酸化物半導体層のパターニングと同時に形成することで、第2のゲート電極の作製に要するプロセス数の増加を削減する。 - 特許庁
Consequently, the wasteful time of irradiating the portions to be removed by patterning with the laser beams can be eliminated and the crystallinity of the patterned semiconductor film can be improved further.例文帳に追加
上記構成により、半導体膜のうち、パターニングにより除去される部分に無駄にレーザー光を照射する時間を省くことができ、パターニング後に得られる半導体膜の結晶性をより高めることができる。 - 特許庁
In the method for patterning a chemically amplifying type resist by using an antireflection film containing a photoacid producing agent as a base layer, the antireflection film in the region where a sparse pattern is to be formed is preliminarily subjected to alkali treatment.例文帳に追加
光酸発生剤を含有する反射防止膜を下地層として用いた化学増幅型レジストのパターニング方法において、疎なパターンを形成する領域の反射防止膜に対しあらかじめアルカリ処理を行う。 - 特許庁
To ensure the high accuracy of patterning a solar battery substrate and largely improve conversion efficiency of a solar battery element even in machining a wavy solar battery substrate or a curved substrate.例文帳に追加
「うねり」のある太陽電池基板、または曲面状の太陽電池基板を加工する場合であっても、高い精度でパターン加工することができ、太陽電池素子の変換効率を大きく向上させることができる。 - 特許庁
The spot grid is attained by using a patterning device 204 which turns the patterned beam on a micro lens array 240 in which a spot is formed by Fourier transform of the beam patterned in the substrate.例文帳に追加
これは、基板でパターン形成されたビームのフーリエ変換されたスポットを形成するマイクロレンズ・アレイ240上に、パターン形成されたビームを向けるパターン形成デバイス204を使用することによって達成される。 - 特許庁
To suppress sufficiently the bleedout of an impurity of a cyclic dimethylsiloxane oligomer from the thin protection layer which is obtained by film-forming a photosensitive siloxane polyimide resin composition on a printed wiring board and by patterning and curing.例文帳に追加
感光性シロキサンポリイミド樹脂組成物をプリント配線板上に成膜し、パターニングし、硬化させて得た薄い保護層から、不純物である環状ジメチルシロキサンオリゴマーがブリードアウトすることを十分に抑制できるようにする。 - 特許庁
To provide a method and apparatus for fabricating a flat panel display element which reduce the process time and minimize pattern defects by executing a patterning process by a method of not executing a photolithographic process.例文帳に追加
本発明の目的は、フォト工程を行わない方法で、パターニング工程を実行し、工程時間を減らしてパターン不良を最小化するようにした平板表示素子の製造方法及び装置を提供することにある。 - 特許庁
Thus, in the case of patterning a conductive layer by the photolithography, a step of adjusting the tilt angle of the board 1 with respect to the exposure light source is not required so as to prevent cost increase attended with increase in man-hours.例文帳に追加
したがって、フォトリソグラフィにより導電層をパターン化する際に、露光用の光源に対して基板1の傾斜角を調整する工程が不要となり、工数の増加にともなうコストアップが防止できる。 - 特許庁
In a method of forming a dielectric, the first and second layers are formed on a glass substrate, the second layer is developed after receiving light for patterning, and the first and second layers are baked collectively.例文帳に追加
さらに、第1の層と第2の層とをガラス基板上に設け、第2の層を光照射後現像してパターニングした後、第1の層と第2の層を一括して焼成する誘電体の形成方法を提供する。 - 特許庁
To provide an active matrix array which has a structure eliminating in self-matching way an effect caused by parasitic capacitance between adjacent signal lines caused by a deviation of patterning in manufacturing, and eliminates difference in brightness.例文帳に追加
製造上のパターニングのズレに起因する隣接した信号線間の寄生容量によって生じる効果を自己整合的に解消する構造を有して輝度差を解消するアクティブマトリクスアレイを提供する。 - 特許庁
In a reticle contraction correction model for describing contraction amounts of two reticles used in a double patterning method, parameters relating to contraction (reticle contraction correction parameters (a time constant and a saturation value)) are optimized.例文帳に追加
ダブルパターニング法において使用される2つのレチクルのそれぞれの伸縮量を記述するレチクル伸縮補正モデルについて、伸縮に係るパラメータ(レチクル伸縮補正パラメータ(時定数と飽和値))を最適化する。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing the lower electrode of a thin film solar cell, which is capable of easily making a metal thin film into the lower electrode by patterning and hardly deteriorating the insulating properties of the lower electrode even if the insulating layer is formed on a board.例文帳に追加
金属薄膜のパターニングを容易に行うことができ、基板上に絶縁層が形成されていても絶縁性が損なわれることがない薄膜太陽電池用下部電極の製造方法を提供する。 - 特許庁
The fist material film 107 and the second material film 109 are subjected to patterning linearly so that each one end is fixed to a substrate 3, and the other end is disposed on the recessed part 3a through the sacrificial layer 105, thereby forming a driving electrode 7.例文帳に追加
一端が基板3に固定され他端が犠牲層105を介して凹部3a上に配置される帯状に第1材料膜107と第2材料膜109とをパターニングして駆動電極7を形成する。 - 特許庁
To provide a novel steering wheel and its manufacture, which has approximately the same wooden feel with excellent touch and excellent external appearance as natural wood by patterning a curly grain pattern such as a straight grain pattern and a cross grain pattern.例文帳に追加
触感上はもとより、外観上においても柾目模様や板目模様などの木目模様が施され、天然木とほぼ同等の木質感を具えた新規なステアリングホイール並びにその製造方法を提供する。 - 特許庁
A stage for discharging a resist from a slit and applying the resist to the flat panel display in such a manner that the dry film thickness of the resist attains 2.5 to 5 μm in order to form the color filter or patterning is included in a stage for manufacturing the flat panel display.例文帳に追加
フラットパネルディスプレイを製造する工程に、カラーフィルタやパターニングを形成するためのレジストの乾燥膜厚が2.5μm〜5μmとなるように、前記レジストをスリットから吐出させて塗布する工程を含ませる。 - 特許庁
To easily and reliably obtain a focalizing position, that is, the best focus position by a single exposure with high accuracy, to enable high-accuracy focus measurement in a very short time, and to rapidly perform high-reliability patterning.例文帳に追加
容易且つ確実に1回の露光で合焦位置、即ちベストフォーカス位置を精度良く求めることができ、極めて短時間で高精度の焦点計測を可能として、信頼性の高いパターニングを迅速に行う。 - 特許庁
After removal of the second resist pattern, a second light transflective film 17 is formed throughout the surface of the substrate, and third patterning is performed by etching at least the second light transflective film 17 with a third resist pattern formed on the film 17 as a mask.例文帳に追加
第2レジストパターンを除去後、基板全面に第2半透光膜17を形成し、その上に形成した第3レジストパターンをマスクとして少なくとも第2半透光膜をエッチングして第3のパターニングを行う。 - 特許庁
During the process of patterning a thin film resistor 28 in an SOG film 26 formed on a silicon substrate 20 as a base interlayer insulating film and a second TEOS film 27, moisture is left in the SOG film 26.例文帳に追加
シリコン基板20上に下地層である層間絶縁膜として成膜したSOG膜26および2ndTEOS膜27に薄膜抵抗体28をパターニングする過程で、水分がSOG膜26中に残留する。 - 特許庁
Fine rugged patterns are formed on the preliminary rolls and an offset is provided to the vertical joint positions of the emboss roll patterns, enabling patterning of vertical walls formally impossible heretofore to mold a metallic exterior material having a high-grade feel.例文帳に追加
また予備ロールに細かい凹凸模様を設け,エンボスロールの模様の縦目地部にオフセットを設けることで従来不可能であった縦壁の模様付けが可能となり高級感のある金属製外装材が成型できる。 - 特許庁
After providing a conductive layer over the whole surface of a transparent base material 11 comprising a polyester film, etc., by forming a photosensitive layer on the conductive layer, such a series of patterning treatments as pattern exposure and development are so performed as to form a resist pattern.例文帳に追加
ポリエステルフィルム等からなる透明基材11の全面に導電層を設け、導電層上に感光層を形成し、パターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、レジストパターンを形成する。 - 特許庁
The method for cleaning a transparent permanent film includes a step of supplying an acidic aqueous solution to a photosensitive resist film after being exposed and developed in a patterning step of the photosensitive resist.例文帳に追加
感光性レジストのパターニング工程において、露光及び現像処理した感光性レジスト膜に対して、酸性水溶液を供給して洗浄処理を行う工程を有する、透明永久膜の洗浄処理方法。 - 特許庁
The patterning method comprises a step for forming a barrier 30 on a substrate P, a step for forming a conductive layer 80 in a patterning region 30a surrounded by the barrier 30, a step for arranging plating nuclei 26 on the conductive layer 80, and a step for forming an anti-diffusion layer 82 on the conductive layer 80 by electroless plating method using the plating nuclei 26 as a catalyst.例文帳に追加
本発明のパターン形成方法は、基板P上に隔壁30を形成する隔壁形成工程と、隔壁30に囲まれたパターン形成領域30aに導電層80を形成する導電層形成工程と、導電層80上にめっき核26を配置するめっき核配置工程と、導電層80上に、無電解めっき法によりめっき核26を触媒として拡散防止層82を形成する拡散防止層形成工程と、を有する。 - 特許庁
The method for manufacturing semiconductor devices related to the present invention has processes of: forming a conductive membrane on a semiconductor substrate; forming a sacrificial membrane on the conductive membrane; patterning the sacrificial membrane; forming a side wall on the side of the patterned sacrificial membrane; removing the patterned sacrificial membrane; and patterning the conductive membrane by using the side wall as a mask and form wiring.例文帳に追加
半導体基板上に導電性膜を形成する工程と、前記導電性膜上に犠牲膜を形成する工程と、前記犠牲膜をパターニングする工程と、パターニングされた前記犠牲膜の側面に、サイドウォールを形成する工程と、パターニングされた前記犠牲膜を除去する工程と、前記サイドウォールをマスクとして用いて前記導電性膜をパターニングして、配線を形成する工程とを有する方法により、半導体装置を製造する。 - 特許庁
In this display panel, after the patterning of a tantalum film which is formed on a dielectric substrate 1 is processed and the electrode wiring 2 of the first layer being the lowermost layer of input lead wirings 21 is formed, an SiNx film is formed as a gate insulating film 3.例文帳に追加
絶縁性基板1上に成膜したタンタル薄膜をパターニング処理して、入力リード配線21の最下層である第1層の電極配線2を形成した後、ゲート絶縁膜3としてSiNx膜を形成する。 - 特許庁
In the patterning process of the thin film transistor 44, holographic exposure and a tracking focus system is employed, design rule of 1.0 μm or less is employed, and only a polysilicon layer 41 and a first metal layer 42 are employed as the interconnect lines of the element chip 45.例文帳に追加
薄膜トランジスタ44のパターニング工程で、ホログラフィック露光や追尾フォーカスシステムを用い、1.0μm以下の設計ルールを用い、素子チップ45の配線として、多結晶シリコン層41と第1の金属層42のみを用いる。 - 特許庁
The lithography system drives two programmable patterning means 11 and 12, using a control signal from a computer 10, in order to pattern two different beams 13 and 14 being projected to two substrates 19 and 20.例文帳に追加
このリソグラフィ装置は、二つの基板19、20上に投影するための二つの別々の投影ビーム13、14をパターン化するためにコンピュータ10からの制御信号を使って二つのプログラム可能パターニング手段11、12を駆動する。 - 特許庁
To provide a method for removing a resist for sufficiently suppressing damage of an insulating film consisting of a low dielectric constant material when removing a residual resist from a base substance to be treated after patterning in an etching process.例文帳に追加
エッチング工程においてパターニング後の被処理基体から残留レジストを除去するに際し、低誘電率材料からなる絶縁膜のダメージを十分に抑制することが可能なレジストの除去方法を提供すること。 - 特許庁
To provide a pattern verifying method, used in a double patterning method in which after a first pattern is formed in a film to be processed, a second pattern is formed in the film to be process, verifying a pattern in consideration of a superposition error.例文帳に追加
被加工膜に第1のパターンを形成してから被加工膜に第2のパターンを形成するダブルパターニング法に用いられ、重ね合わせ誤差を考慮してパターンを検証することができるパターン検証方法を提供する。 - 特許庁
The data manipulation device generates a control signal comprising spot exposure intensities to be generated by the patterning device, based on a direct algebraic least-squares fit of the spot exposure intensities to the frequency-clipped target dose pattern.例文帳に追加
データ操作装置は、周波数クリッピング目標線量パターンへのスポット露光強度の直接代数的最小二乗当てはめに基づいて、パターン形成装置により生成されるスポット露光強度を含む制御信号を発生する。 - 特許庁
An interlayer insulating film 3, a contact part 2, an counter- silicon diffused conductive layer 4, and a lower electrode layer 5 of Ru film are formed on a silicon substrate 1, and a hard mask layer 7 of SiO2, that is subjected to patterning, is formed on it using a photoresist 8.例文帳に追加
シリコン基板1上に、層間絶縁膜3、コンタクト部2、対シリコン拡散導電層4、Ru膜の下部電極層5を形成し、この上に、フォトレジスト8を用いてパターンニングしたSiO_2 のハードマスク層7を形成する。 - 特許庁
A pattern of an organic light emitting layer 4a is formed on a transcription substrate 12 by making a belt-shaped shadow mask 13 running synchronously with the transcription substrate 12 tightly contacting with the belt-shaped transcription substrate 12 running through a patterning part 22.例文帳に追加
パターニング部22にて走行する帯状の転写基板12に、この転写基板12と同期して走行する帯状のシャドウマスク13を密着させ、転写基板12上に有機発光層4aのパターンを形成する。 - 特許庁
A material film constituting a TFT is laminated and formed on an insulating film substrate, and then a resist mask, having a plurality of regions whose thickness of the film is different to one another, is formed at the uppermost layer of the material film by conducting patterning.例文帳に追加
TFTを構成する材料膜を絶縁膜基板上に積層して成膜してから、膜厚が互いに異なる複数の領域を有するレジストマスクを上記材料膜の最上層にパターニングして形成する。 - 特許庁
By doing so, since the tapered inclination spreading from the bottom part 18 toward the upper part 19 is make to decrease at the etching part 16 of the metal layer 12, fine pitch patterning can be easily realized.例文帳に追加
このようにしてパターンを形成すれば、金属層12のエッチング部分16における、底部18から上部19に向かって広がるテーパ状の傾斜を小さくして、ファインピッチでのパターン化を容易に実現することができる。 - 特許庁
The plurality of the holes 6a are arrayed on a substantially straight line along the tape width, and are disposed downward under the region in which the part of the copper layer 1 is eliminated by patterning at the copper wiring pattern layer forming time from the copper layer 1 or are disposed in the lower vicinity region.例文帳に追加
穴6aは、テープ幅に沿った略直線上に複数配列し、銅層1からの銅配線パターン層形成時のパターンニングにより銅層1の一部が無くなった領域の下方又は下方近傍領域に配置する。 - 特許庁
This matter has such a merit that the thickness of the second conductor layer is kept the same as before formation of the via hole even after formation of the via hole 17a, and a fine wiring layer in high density can be made during patterning of the second conductor layer.例文帳に追加
このことは、バイアホール17a形成後も第2導体層の厚みはバイアホール形成前の厚みが維持され、第2導体層をパターニング処理する際、微細な高密度の配線層を形成できるという利点を有する。 - 特許庁
The transparent conductive film 1 includes the conductive surface 5 on the upper surface of the transparent conductive layer 4 and the insulated surface 6 on the upper surface of the insulating color difference adjusting layer 3 that are formed by patterning the transparent conductive layer 4.例文帳に追加
透明導電性フィルム1は、透明導電層4をパターニングすることにより形成されている透明導電層4の上面の導電面5と絶縁色差調整層3の上面の絶縁面6と、を具備している。 - 特許庁
To provide a photopolymerizable composition which is cured with high sensitivity by light exposure, has excellent in-film curability and adhesion to a support, has a good pattern shape and can form a patterning cured film with less residues after development.例文帳に追加
露光に対し光感度で硬化し、優れた膜内部硬化性および支持体との密着性に優れ、パターン形状が良好であり、且つ、現像後に残渣が少ないパターニング硬化膜を形成可能な光重合性組成物を提供する。 - 特許庁
A first mask 31 is then arranged while aligned with the glass substrate 21 so that alignment marks 33 and 34 match the cut 22, and lithographic patterning is carried out on the front surface 21a of the glass substrate 21 according to a first mask pattern 32.例文帳に追加
次に、アライメントマーク33,34が切り欠き22に合致するように第1マスク31をガラス基板21に位置合わせして配置し、ガラス基板21のオモテ面21aに第1マスクパターン32に応じたリソグラフィパターンをパターニングする。 - 特許庁
A plate-like member 3 is stuck on a support base board 1 via an adhesive layer 2, and plural cross-sectional pattern members 31, 32 and 33 are collectively formed by performing patterning up to penetrating through the plate-like member 3 by using a photolithography method.例文帳に追加
支持基板1上に接着層2を介して板状部材3を貼り付け、フォトリソグラフィー法を用いて板状部材3を貫通するまでパターニングして複数の断面パターン部材31,32,33を一括して形成する。 - 特許庁
To provide an electron emission element which, while maintaining such an effect as lowering of a threshold voltage due to a patterning of a carbon group material and an electric field strength, has a high mechanical strength and stability, and provide its manufacturing method.例文帳に追加
炭素系材料をパターニングすることによる闘電圧の低下や電界強度の増加といった効果を維持しつつ、機械的強度が高い、安定した電子放出素子及びその製法を提供することを解決課題とする。 - 特許庁
With this method, first, the patterning device MA, a detector 43, and a projection system 42 are arranged so that images of the features are projected by the projection system on the detector 43 when the polarization sensitive features 44 are lighted.例文帳に追加
この方法では、先ず、偏光感応フィーチャ44の照明に際して、このフィーチャの像がディテクタ43上の投影システムによって投影されるように、パターニングデバイスMA、ディテクタ43および投影システム42が設けられる。 - 特許庁
At least one of the first and second support structures is comprised of a planar base, a movable stage for supporting the patterning means or the substrate that can be moved over said planar base, and an actuator for providing said movement of the stage.例文帳に追加
第1及び第2支持構造の少なくとも一方が、平面ベースと、パターン化手段又は基板を支持し、平面ベースの上を移動することができる移動可能なステージと、ステージの動きを与えるアクチュエータとを備える。 - 特許庁
To provide a laser processing device and a processing method of thin-film solar battery, capable of processing a patterning line for defining unit cells on a thin-film solar battery of large area at a high speed and high accuracy, and having an advantage of miniaturizing the device.例文帳に追加
大面積の薄膜太陽電池に単位セルを画成するパターニングラインを高速かつ高精度で加工できるとともに、装置を小型化するうえでも有利な薄膜太陽電池のレーザ加工装置および加工方法を提供する。 - 特許庁
To provide a semiconductor IC device capable of increasing a total memory capacity and in addition a higher speed operation without accompanying a fine patterning technology which requires a large amount of cost for a capital investment and has a definite limitation naturally.例文帳に追加
設備投資などに膨大な費用がかかり、おのずと一定の限界がある微細化技術を伴うことなしに、トータルの記憶容量を増大させ、さらに、より高速動作が可能な半導体集積装置を提供する。 - 特許庁
The reticle for metal patterning includes an IC pattern ensemble region and a TEG pattern region patterned next to each other, interposing a light non-transmitting solid region (region A), and has a scribe line in the region A.例文帳に追加
ICパターン集合領域とTEGパターン領域が光非透過ベタ領域(領域A)をはさんで並んでパターニングされている金属膜パターニング用レチクルにおいて、前記領域Aにスクライブラインを有する金属パターニング用レチクルとした。 - 特許庁
The method also includes measuring the accuracy of at least one property of the at least one location of the pattern on the substrate that has been determined as being prone to patterning errors, and adjusting the lithographic process according to the measuring.例文帳に追加
方法は、パターニングの誤差が発生しやすいとして決定された基板上のパターンの少なくとも1つの位置の少なくとも1つの特性の精度を測定し、測定に従ってリソグラフィプロセスを調整することも含む。 - 特許庁
To solve problems that gas is generated due to electric erosion reaction by developer and peeling of film is generated at a contact part in an organic insulation film patterning process for forming relief structure of a reflection film in an array process of a liquid crystal display.例文帳に追加
液晶表示装置のアレー工程において、反射膜の凹凸形状を形成するための有機絶縁膜パターニング工程で、現像液による電喰反応からガスが発生し、コンタクト部で膜はがれが発生する問題が生じる。 - 特許庁
To provide an actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition excellent in depth of focus and dependency on density distribution, as well as an actinic ray-sensitive or radiation-sensitive film and a patterning method using this composition.例文帳に追加
フォーカス余裕度及び疎密依存性に優れた感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、この組成物を用いた感活性光線性又は感放射線性膜及びパターン形成方法を提供する。 - 特許庁
The first to third color layers 10 to 12 are formed by patterning using a photoreceptor, have high photosensitivity and sufficiently give rise to a crosslinking reaction and therefore have the high adhesion property to the insulating films 9 consisting of silicon nitride.例文帳に追加
第1乃至第3の色層10乃至12は、フォトレジストを使用したパターニングにより形成されるものであり、感光性が高く架橋反応が十分に起こるので、シリコン窒化物からなる絶縁膜9との密着性が高い。 - 特許庁
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