「process liquid」に関連した英語例文の一覧と使い方(96ページ目) - Weblio英語例文検索

To obtain a roll stainproofing agent having excellent effect on preventing roll staining for a supercalender or gloss calender used in the step of finishing coated papers (boards) with coating layer formed thereon, and also on preventing a 1st backing roll staining in coating process, and to obtain a coating liquid composition containing such agent.例文帳に追加

塗工層が形成された塗工（板）紙の仕上げる工程で使用されるスーパーカレンダーやグロスカレンダーなどのロール汚れ防止、さらに、塗工工程時の第１バッキングロール汚れの防止に対しても、優れた効果を発揮するロール汚れ防止剤、それを含む塗工液組成物を提供する。 - 特許庁

To obtain a barrier element in which a fine barrier pattern with excellent accuracy of dimension is formed by using a conventional process for manufacturing a liquid crystal display device, and in which no picture is deteriorated by gradation and which performs displays by switching between two-dimensional and three-dimensional pictures, and also to obtain a three-dimensional image display device equipped with the barrier element.例文帳に追加

従来の液晶表示装置の製造プロセスを用いて、微細なバリアパターンを寸法精度良く形成することができ、また、グラデーションによる画像劣化が無い、３次元画像と２次元画像を切り換えて表示するバリア素子およびそれを備えた立体映像表示装置を得る。 - 特許庁

To provide an exhaust structure of a storage battery with liquid-leakage preventing effect from a gas exhaust port improved, by inhibiting movement of electrolyte solution mist contained in gas during a process of gas generated in a cell room of the storage battery progressing to an exhaust channel through an exhaust hole and exhausted outside from the gas exhaust port.例文帳に追加

蓄電池のセル室に、発生したガスが排気孔を介し排気通路に進入し、ガス排出口から外部に排出される過程におけるガスに含まれる電解液ミストの移動を阻止し、ガス排出口からの液漏れ防止効果を向上した蓄電池の排気装置を提供する。 - 特許庁

To provide washing liquid and a washing method for removing strongly bonded etching residues remaining after dry etching in a short time, and for preventing copper wiring raw materials or insulating film materials or the like from being oxidized or corroded in the wiring process of a semiconductor element to be used for a semiconcudctor integrated circuit.例文帳に追加

本発明は、半導体集積回路に用いられる半導体素子の配線工程における、ドライエッチング後に残存する強固に固着したエッチング残渣を短時間で除去し、かつ、銅配線素材や絶縁膜材料等を酸化または腐食しない洗浄液、および洗浄法を提供する。 - 特許庁

To provide a soundproofing wall device capable of structuring a soundproofing partition wall and a soundproofing chamber capable of insulating or blocking produced noise without any sanitary hindrance in a manufacturing process in which, specially, much liquid is used, and a soundproofing chamber structured by using the same.例文帳に追加

特に液体を多量に使用する製造工程において衛生面での支障が生じることなしに発生騒音を効果的に防音または遮音することができる防音間仕切り壁や防音室の構築が可能な吸音壁装置とこれを用いて構築した防音室を提供する。 - 特許庁

The inorganic material layers X1 to X7 are formed by a sol-gel method to form solid metal oxide layers through the liquid, sol and gel phases carried out by dipping the substrate 10 coated with OH- groups through preliminary surface treatment in a metal alkoxide solution, treating in a rinsing bath and then subjecting to a hydrolysis process.例文帳に追加

無機材料層Ｘ１〜Ｘ７は、表面処理によりＯＨ^−基で覆われた基板１０を、金属アルコキシド溶液中に浸し、リンス浴後に、加水分解工程を行い、液相、ゾル、ゲルを経て固体の金属酸化物層を得るゾル−ゲル法により形成する。 - 特許庁

In addition, this process of forming the polymer structure 32 is carried out while potentials of a signal wire 15 and a counter electrode 22 are properly adjusted to put an equipotential line EQ to be generated in the liquid crystal layer 30 between a pixel element electrode 12 on a first substrate 10 and the signal wire 15.例文帳に追加

さらに、ポリマー構造物３２を形成する工程は、液晶層３０内に生成される等電位線ＥＱが第１基板１０の画素電極１２と信号配線１５との間に落ち込むように、信号配線１５および対向電極２２の電位が調整された状態で行われる。 - 特許庁

The manufacturing method employs a powder metallurgy process, and includes: mixing a metallic glass powder that becomes the parent phase with an electroconductive powder such as copper; heating the mixture at a temperature in the vicinity of a supercooled liquid region of the metallic glass; and compressing the mixture to produce a bulk material of the composite metallic glass.例文帳に追加

この製造方法として粉末冶金法を用いることを特徴とし、母相となる金属ガラス粉末と銅などの導電性粉末を混合し、金属ガラスの過冷却液体領域近傍の温度で加熱、圧縮して複合化金属ガラスバルク材を作製する。 - 特許庁

In the activated sludge process equipment in which a casing 5 for housing two or more stages of film units 3 and 4 in a vertical direction is immersed in a reaction vessel 1 to perform solid-liquid separation, an auxiliary diffuser 7 is installed between immersed two or more stages of film units 3 and 4 in a vertical direction.例文帳に追加

反応槽１内に、膜ユニット３，４を上下方向に複数段収納するケーシング５を浸漬設置して固液分離を行う活性汚泥処理装置において、前記上下方向に複数段に浸漬設置した膜ユニット３，４間に補助散気装置７を設置してなる。 - 特許庁

To provide a method for producing a support for a recording material by which the process from a step of covering a paper substrate with a water resistant resin to a step of coating with an undercoat layer can be continuously carried out by reducing the coating weight of a coating liquid for an undercoat layer to reduce the load on a drying step after coating.例文帳に追加

下塗り層用塗布液の塗布量を抑制して塗布後の乾燥工程の負荷を低下させることにより、紙基体への耐水性樹脂被覆工程から下塗り層塗布工程までを連続して行うことのできる記録材料用支持体の製造方法を提供すること。 - 特許庁

Since the spacers 4 have the sticking layers 5, the sticking force of the substrates 1a and 1b increases and the movement of the spacers 4 by the impact and vibration in a liquid crystal injection process can be prevented and the damage of pixel regions by the movement, the occurrence of a cell gap defect, etc., can be prevented.例文帳に追加

また、スペーサ４が固着層５を有するので、基板１ａ、１ｂとの固着力が増加し、液晶注入工程において衝撃・振動によるスペーサ４の移動を防止できるとともに、移動による画素領域２の傷つき、セルギャップ不良の発生等を防止できる。 - 特許庁

The revolving speed must be determined so that the relationship in the drying process among sucking force 7 (Fr) toward a silicon substrate 1 generated by surface tension of displacement liquid 6, the spring force (FK) of the sensor, and centrifugal force 8 (FS) generated by acceleration resulting from revolutions satisfies the following condition: (FK+FS)>Fr.例文帳に追加

この乾燥工程で、置換液６の表面張力によって生ずるシリコン基板１側への吸引力７（Ｆ_r ）とセンサバネ力Ｆ_K と公転で生ずる加速度による遠心力８（Ｆ_S ）の関係が、（Ｆ_K ＋Ｆ_S ）＞Ｆ_r を満たすように、公転の回転数を決定する。 - 特許庁

An ink-jet textile printing method for printing a textile with a textile printing ink including a dye by the ink-jet method, comprising the steps of applying to a polyester textile a processing liquid including at least an ink supporting agent and a synthetic resin with a 60 to 130°C glass transitional point, executing the ink-jet printing, and applying a wet heat process, is provided.例文帳に追加

染料を含む捺染用インクによって布帛にインクジェット捺染がされるインクジェット捺染方法において、少なくともインク保持剤とガラス転移温度が６０〜１３０℃の合成樹脂からなる処理液をポリエステル布帛に付与した後、インクジェット印写し、次いで湿熱処理する。 - 特許庁

The plant worm tea is obtained by planting previously isolatedly cultured isolated strain on a liquid medium which is obtained by addition of necessary ingredients according to a composition extracted from silkworm pupa and the kind of plant worm followed by performance of a high pressure steam sterilization process, and culturing the product in a condition of temperature of 15°C-25°C and humidity of 75%-95%.例文帳に追加

蚕の蛹から抽出した組成と、冬虫夏草の種類により必要な成分を加え、高圧蒸気滅菌処理を行なって得られた液体培地に、あらかじめ分離培養した分離株を植え付け、温度を１５℃〜２５℃、湿度を７５％〜９５％の条件で培養する。 - 特許庁

To provide a method for producing a metallic material in solid-liquid coexisting state with which finer and more uniform spheroidized grains are obtained and, the advantages, such as the improvement of energy efficiency, saving of producing cost, the improvement of mechanical properties, the simplification of casting process, and shortening of producing time, can be realized.例文帳に追加

より微細な球状化粒子を得ると同時にエネルギ効率の改善、製造コストの節減、機械的性質の向上、鋳造工程の簡便化および製造時間短縮の利点を実現できる固液共存状態金属材料の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a 1-(perfluoroalkyl) alcohol represented by an optically active 1-(trifluoromethyl) alcohol important as an intermediate for pharmaceuticals, agrochemicals, liquid crystals and other functional or physiologically active materials, provide a precursor of the alcohol and provide a process for easily synthesizing the alcohol in high yield.例文帳に追加

医農薬品、液晶、その他の機能性、生理活性材料の中間体として重要な光学活性１−（トリフルオロメチル）アルコールを始めとする１−（パーフルオロアルキル）アルコール及びその前駆体、並びにこれを高収率で容易に合成できる製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a process for producing a vinyl chloride polymer, wherein a polymerizer with a reflux condenser is used for increasing the quantity of heat removed from the reaction heat and which can stably give a vinyl chloride polymer of good quality, with controlled foaming of the polymerization reaction liquid.例文帳に追加

反応熱の除熱量アップのために還流コンデンサー付き重合器を使用して塩化ビニル系重合体を製造する場合に、重合反応液の発泡を抑制し、良品質の塩化ビニル系重合体を安定して得ることができる塩化ビニル系重合体の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for producing a polymerization method toner, in whose polymerization process a circulation flow enough not to produce a thermal distribution in a stirring tank is formed, and which uses such an optimal shape stirring blade as not causing the involvement of bubbles or the like from vortex or liquid surface.例文帳に追加

重合反応工程において撹拌槽内に熱的分布を生じない十分な循環流量を生じ、かつボルテックスや液表面からの気泡の巻き込みなどを生じないような最適な形状の撹拌翼を用いる重合法トナーの製造方法を提供することにある。 - 特許庁

The method for isolating the cyanophage includes a process for filtering a liquid sample containing the cyanophage with a filter, inoculating the obtained filtrate into a solution for culturing the algae of the genus Microcystis, culturing the cyanophage, and then subjecting the alga dissolution-observed culture solution to a limiting dilution treatment to clone the cyanophage.例文帳に追加

該シアノファージの単離方法は、シアノファージを含有する液体試料をフィルターで濾過し、得られた濾液をミクロキスティス属の藻類の培養液に接種して培養を行い、溶藻が観察された培養液を限界希釈することにより前記シアノファージをクローニングする工程を含む。 - 特許庁

To provide a propylene based resin surface protection film and its production process, wherein the surface protection film is suitable for surface protection of building and liquid crystal display components due to its characteristics of making less fish-eye and further scarce small fish-eye.例文帳に追加

フィッシアイが少なく、さらに微細なサイズのフィッシュアイも非常に少ないという特性から、建築部材の表面保護用や、液晶表示の構成部材の表面保護用に好適なプロピレン系樹脂製の表面保護用フィルム、およびそれを製造する方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a device for treating liquid which is provided with an ion adsorbing function and a fine particle removing function, effectively removes ions and fine particles simultaneously in one process, reduces secondary waste volume, and improves safety, economical efficiency and operability in a reduced size.例文帳に追加

イオン吸着機能と微粒子除去機能とを共に兼ね備え、イオンと微粒子を同時に１つの工程で効率良く除去することができ、二次廃棄物の減容と、安全性、経済性、操作性の向上及び小型化が可能な液体処理装置を提供すること。 - 特許庁

This method for producing natural cheese shortens fermentation time through decreasing, in a natural cheese producing process, dissolved oxygen concentration up to <7 ppm, preferably ≤5 ppm and more preferably ≤4 ppm by substituting dissolved oxygen in liquid at the time of fermentation for inert gas.例文帳に追加

ナチュラルチーズの製造工程において、発酵時の液中の溶存酸素を、不活性ガスと置換して、溶存酸素濃度を７ｐｐｍ未満、好ましくは５ｐｐｍ以下、更に好ましくは４ｐｐｍ以下にまで低減することにより、発酵時間を短縮することを特徴とする、ナチュラルチーズの製造方法。 - 特許庁

The releasing polypropylene film for the production process of the liquid crystal color filter is regulated so that the content of calcium stearate contained in the film is ≤500 ppm, and the sum of the heat shrinkage in the longitudinal direction of the film and the heat shrinkage in the width direction is ≤5%.例文帳に追加

フィルム中に含有するステアリン酸カルシウムの含有量が５００ｐｐｍ以下であり、かつフィルムの長さ方向の熱収縮率と幅方向の熱収縮率の和が５％以下であることを特徴とする液晶カラーフィルター製造工程用離型用ポリプロピレンフィルムによる。 - 特許庁

This method for cleaning in the paper making and screening process, an aqueous dispersion liquid consisting essentially of D-limonene and caustic soda is added to a screening system and circulated to remove impurities derived from each chemical consisting essentially of the sizing agent.例文帳に追加

抄紙精選工程における洗浄方法において、精選系に主としてＤ−リモネンおよび苛性ソーダからなる水性分散液を添加し、回流させてサイズ剤を主体とした各薬品に由来する不純物を除去することを特徴とする抄紙精選工程における洗浄方法。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of a ceramic electronic component by which liquid is prevented from intruding into a hole of a ceramic element in a wet polishing process and the ceramic electronic component can efficiently be manufactured, and to provide the highly reliable ceramic electronic component manufactured by the method.例文帳に追加

湿式研磨工程においてセラミック素子の空孔に液体が浸入することを防止し、構造欠陥のないセラミック電子部品を効率よく製造することが可能なセラミック電子部品の製造方法および該製造方法により製造される信頼性の高いセラミック電子部品を提供する。 - 特許庁

To provide a liquid crystal display device array substrate and a method of manufacturing the same for improving haze defects which occur when gas used in a gate insulating film vapor deposition process and a transparent conductive material react when formed of a transparent conductive material of a storage capacitor electrode.例文帳に追加

ストレージキャパシタの電極の透明導電性物質で形成する場合に、ゲート絶縁膜蒸着工程の時使用されるガスと、前記透明導電性物質が反応して発生されるヘイズの不良を改善するための液晶表示装置アレイ基板、及び製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a color filter which satisfies heat resistance required for a color display manufacturing process and is excellent in color purity and permeability of a blue pixel; an organic EL display and a liquid crystal display which use the same color filter to allow the compatibility between high color-reproducibility and high luminosity.例文帳に追加

カラーディスプレイ製造工程で要求される耐熱性も満たし、青色画素の色純度および透過率に優れたカラーフィルターを提供し、またこのようなカラーフィルターを用いて、高色再現性および高輝度を両立した有機ＥＬディスプレイや液晶表示装置を提供する。 - 特許庁

To provide a pigment dispersion suitable for an inkjet process, to provide inkjet ink using the pigment dispersion, for remedying clogging of an inkjet head, giving high image density and showing excellent ink liquid storage stability, and to provide an image forming method and an image forming apparatus using the ink.例文帳に追加

インクジェット用として好適な顔料分散液、及び該顔料分散液を用い、インクジェットヘッドの目詰まりが改良され、高い画像濃度が得られ、かつインク液保存安定性の優れたインクジェット用インク、並びに該インクを用いた画像形成方法、及び画像形成装置を提供することを。 - 特許庁

A stock solution D, as a waste liquid, containing iodine ions generated in a process using at least either of iodine and an iodine compound, is fed to a stock solution chamber 6 disposed between a first anion exchange membrane A_1 and a first cation exchange membrane K_1 of an electrodialysis tank 1.例文帳に追加

電気透析槽１の第１の陰イオン交換膜Ａ_１と第１の陽イオン交換膜Ｋ_１との間の原液室６に、ヨウ素およびヨウ素化合物の少なくとも一方を使用した工程にて生成したヨウ素イオンを含む廃液としての原液Ｄを供給する。 - 特許庁

To provide an antireflection film which is easily produced inexpensively, has sufficient antireflection capability and abrasion resistance, and also has an antifouling property, and also to provide a process for producing the same, a polarizing plate and an image display apparatus such as a liquid crystal display device using the excellent antireflection film.例文帳に追加

簡便かつ安価に製造可能であり、しかも十分な反射防止性能と耐傷性、さらには防汚性を有する反射防止フィルム及びその製造方法、並びにこの優れた反射防止フィルムを用いた偏光板及び液晶表示装置等の画像表示装置を提供する。 - 特許庁

To provide a CMP polishing liquid which improves polishing speed of a silicon oxide film and a silicon nitride film in relation to polishing speed of a polysilicon film, and is applicable to a polishing process of polishing the silicon oxide film and the silicon nitride film, with the polysilicon film as a stopper film.例文帳に追加

ポリシリコン膜の研磨速度に対して酸化ケイ素膜及び窒化ケイ素膜の研磨速度を向上させることが可能であり、ポリシリコン膜をストッパ膜として酸化ケイ素膜、窒化ケイ素膜を研磨する研磨工程に適用することが可能なＣＭＰ研磨液を提供する。 - 特許庁

The method for producing flavor extract comprises the process for adding liquid polyhydric alcohol or aqueous solution of polyhydric alcohol to the raw material, subjecting the mixture to heat extraction as a first stage extraction, and thereafter adding ethanol to the mixture to carry out a second stage extraction.例文帳に追加

本発明は、第１段階の抽出として原料に液状の多価アルコール、もしくは多価アルコールの水溶液を加え加熱抽出をした後、さらにエタノールを加えて第２段階の抽出をする工程を有することを特徴とする香味抽出物の製造方法である。 - 特許庁

To suppress unevenness in the thickness of a metal wiring film thickness constituted by laminating a substrate film prepared by sputtering and an Au plating layer formed by a low temperature film forming process on the substrate film on the surface of a sealing substrate to form connection with a driving circuit for driving an actuator substrate in a liquid droplet discharge head.例文帳に追加

液滴吐出ヘッドにおいて、アクチュエータ基板を駆動する駆動回路と接続するために封止基板表面に、スパッタによる下地膜と、その上に低温成膜プロセスであるＡｕめっきを重ねて構成される金属配線の膜厚ムラの発生を抑制する。 - 特許庁

To provide a transflective liquid crystal apparatus adopting an FFS (Fringe-Field Switching) system, capable of obtaining display of high image quality and of a wide visual field angle in both reflection display and transmission display and capable of being manufactured in a simple process and at low costs.例文帳に追加

ＦＦＳ（Fringe-Field Switching）方式を採用した半透過反射型の液晶装置であって、反射表示と透過表示の双方で高画質かつ広視野角の表示を得ることができ、また簡便な工程で低コストに製造可能な構成を具備した液晶装置を提供する。 - 特許庁

To provide a color filter with a spacer column, in which the column never peels off from a transparent conductive film in a cleaning process of a panel assembling stage of a liquid crystal display even when the spacer column is of about 8×8 μm size and is circular and to provide a manufacturing method.例文帳に追加

スペーサ柱の大きさ及び形状が、略８×８μｍ程度の円形であっても、液晶表示装置のパネル組み立て工程における洗浄処理にて透明導電膜からスペーサ柱が剥がれることのないスペーサ柱付きカラーフィルタ及び製造方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a method for producing terephthalic acid capable of unifying gases for a separator and for drying used for a solid-liquid separator and a dryer, simplifying the constitution of an apparatus, using an exhaust gas of process, reducing a cost, and preventing concentration of impurity and the corrosion of the apparatus.例文帳に追加

固液分離機と乾燥機に用いる分離機・乾燥用ガスを一元化し、装置の構成を簡素化し、プロセスの排ガスの利用を可能にして低コスト化するとともに、不純物の濃縮を防ぎ装置の腐食を防止することが可能なテレフタル酸の製造方法を提案する。 - 特許庁

To provide a method and device for measuring a dissolved inorganic material concentration capable of accurately measuring the concentration of the dissolved inorganic material in an in-line system of a process, even in the case of liquid having an insufficient correlation coefficient between the absorbance and the concentration of a dissolved component (inorganic material).例文帳に追加

吸光度と溶存成分（無機物質）の濃度との間に十分な相関係数が得られない液体であっても、溶存する無機物質の濃度をプロセスのインラインで高精度に測定することができる溶存無機物質濃度測定方法及び測定装置の提供。 - 特許庁

To improve flatness accuracy of a chamber plate in a polishing process in a liquid ejection head having a flow path unit where a nozzle plate with a plurality of nozzles, the chamber plate with a pressure chamber in communication with the nozzles, and a diaphragm plate for sealing one side surface of the chamber plate are laminated.例文帳に追加

複数のノズルを有するノズルプレート、前記ノズルと連通する圧力室を有するチャンバープレート、前記チャンバープレートの一側面を封止するダイアフラムプレートを積層した流路ユニットを有する液体吐出ヘッドにおいて、研磨加工時におけるチャンバープレートの平坦度精度を向上すること。 - 特許庁

A control section 10 creates a preferred menu, wherein process the items denoting the processes selected by the user are listed up on the basis of each of item codes stored in the user registration information 12a by an instruction from the user and displays the menu on a monitor unit 27 of a liquid crystal television receiver 2.例文帳に追加

制御部１０は、ユーザからの指示により、ユーザ登録情報１２ａに記憶してある各項目コードに基づいて、ユーザにより選択された処理を示す処理項目を表記したお好みメニュー画像を作成し、液晶テレビ２のモニタ部２７に表示させる。 - 特許庁

To provide a removal liquid for removing a photoresist of a substrate edge part having superior cleaning and removed ability and high safety to human body at a low cost, while build up phenomenon of a photoresist edge part and a skirt length phenomenon after an edge rinse process of a substrate fringing part can be reduced.例文帳に追加

安価で、洗浄除去能力に優れ、人体に対する安全性が高く、また基板周縁部をエッジリンス処理した後のホトレジスト端縁部の盛り上がり現象や裾引き現象を抑制し得る、基板端縁部のホトレジストの除去に用いられる除去液を提供する。 - 特許庁

To provide a food processing agent imparting excellent reduction power to fish roe food, exerting excellent freshness retaining and anti-bacterial effect, improving color development, reducing browning, improving a process yield owing to soak in seasoning liquid, and also having safety to the human body.例文帳に追加

魚卵食品に高い還元力を付与して、優れた鮮度保持及び制菌効果を発揮させ、発色性を向上させかつ褪色を少なくし、調味液浸漬による歩留まりの向上を図ることができ、しかも人体に安全性の高い食品処理剤を提供する。 - 特許庁

In the manufacturing process of the laminated sheet for the electronic circuit board, the laminated sheet is subjected to laminate overheating molding or again heat-treated at 110-200°C for 10-60 min before quenched under no pressure by a liquid with a temperature of 5-50°C.例文帳に追加

電子回路基板用積層板の製造工程において、積層板が積層過熱成形された後に、または１１０〜２００℃にて１０〜６０分間、再度加熱処理された後に、この積層板が、無圧で、５〜５０℃の液体によって、急速に冷却される電子回路基板用積層板の製造方法。 - 特許庁

The manufacturing process of the decomposition liquids of waste foods for use in the snow melter comprises adding 0.5-5 pts.mass of water to crushed waste foods, inoculating thermophylic microorganisms to the waste foods, decomposing it under an elevated temperature and aerobic condition and concentrating the resultant decomposition liquid.例文帳に追加

食品廃棄物の破砕物に０．５〜５質量部の水を加え、高温・好気条件下において好熱性微生物を接種して分解反応を行い、得られた分解液を濃縮することを特徴とする上記融雪剤に用いられる食品廃棄物の分解液を製造する方法。 - 特許庁

To provide a photosensitive resin plate material capable of providing an adhesive layer which exhibits excellent adhesive power with both of a water-developable synthetic rubber base photosensitive resin layer and a substrate, has a convenient operation process of preparing coating liquid and is excellent in appearance quality of a coating film upon the manufacturing.例文帳に追加

水現像可能な合成ゴム系感光性樹脂層に対して感光性樹脂層と基材の両方と優れた接着力を示し、またコート液作成作業工程が簡便で製造時のコート膜の外観品位に優れた接着層を提供することである。 - 特許庁

When the substrate W is in a cleaning process, while the substrate W is rotated in a horizontal plane with a spin chuck 1, the cleaning liquid to which an ultrasonic vibration is given from the first and the second ultrasonic nozzles 23, 24 is supplied to the upper surface of the rotating substrate W.例文帳に追加

基板Ｗの洗浄処理の際には、スピンチャック１によって基板Ｗが水平面内で回転されつつ、その回転している基板Ｗの上面に、第１および第２の超音波ノズル２３，２４から超音波振動の付与された洗浄液が供給される。 - 特許庁