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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > substrate solutionに関連した英語例文

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substrate solutionの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 2912



例文

The film base material 10 for the wiring substrate comprises a resin film 11 of a polyimide or a liquid crystal polymer (LCP), a siloxane polymer-containing polymer film 12 made by curing a coating film of an organic SOG solution applied on the resin film 11, and a metallic film 13 formed by soaking the polymer film 12 in a Ni-B electroless plating solution to form a plated underlayer.例文帳に追加

ポリイミドまたは液晶ポリマー(LCP)からなる樹脂フィルム11と、樹脂フィルム11上に塗布された有機SOG溶液の塗布膜を硬化させたシロキサンポリマーを含むポリマー膜12と、ポリマー膜12を下地層としてNi−B無電解メッキ液に浸漬してメッキ処理により形成された金属膜13と、を有する配線基板用フィルム基材10。 - 特許庁

To provide a photosensitive resin composition which is thoroughly developed, has high sensitivity, high resolution, good adhesion to a substrate and excellent etching resistance, can be developed with a dilute aqueous alkali solution and makes stripped pieces small in stripping with an aqueous alkali solution and to provide a photosensitive resin laminate and a method for producing the same.例文帳に追加

現像残りがなく高感度、高解像度を有し、基板に対する密着性が良好で、かつ耐エッチング性に優れ、さらに希アルカリ水溶液を用いて現像可能で、アルカリ水溶液による剥離において剥離片形状が細片となる感光性樹脂組成物および感光性樹脂積層体とその製造方法を提供する。 - 特許庁

A conductive film formed on a semiconductor substrate is dissolved in an electrolytic solution by anodically oxidizing the film by arranging counter electrodes against the conductive film at a prescribed interval and, after filling up the space between the film and counter electrode with the electrolytic solution, applying a voltage across the film and electrode by using the electrode as a cathode.例文帳に追加

半導体基板上に形成された導電膜に対して、所定の間隔をおいて対向電極を配置するとともに、該導電膜と対向電極との間を電解液で満たし、導電膜を陽極、対向電極を陰極として電圧を印加することにより、導電膜を陽極酸化して電解液中に溶解させる。 - 特許庁

An auxiliary layer not dissolving in an electrolytic solution is arranged under an heating resistor arranged between a pair of electrodes on the substrate and the protective functional film constituted of Ir having a contact face with an ink arranged on the heating resistor via an insulation layer and the auxiliary layer is used as an electroconductive layer when electrolyzing and etching the protective functional layer in the electrolytic solution.例文帳に追加

基板上の一対の電極間に設けられた発熱抵抗体と、該発熱抵抗体上に絶縁層を介して設けられたインクとの接触面を有するIrからなる保護機能膜の下に、電解液中で溶出しない補助層を設け、補助層を電解液中で保護機能層を電解エッチングする時の導電層として使用する。 - 特許庁

例文

The slit coater including a coating head applies a coating solution supplied into the coating head, to a substrate, and a cleaning solution is supplied into the coating head and is discharged to clean the inside of the coating head, and clean dry air is supplied into the coating head after cleaning and is discharged to dry the inside of the coating head.例文帳に追加

塗布ヘッドの内部へ供給された塗布液を基板に塗布するスリットコータであって、塗布ヘッドの内部へ洗浄液を供給し排出して塗布ヘッドの内部を洗浄し、洗浄した後に塗布ヘッドの内部へクリーンドライエアを供給し排出して塗布ヘッドの内部を乾燥することを特徴とする塗布ヘッドを備えたスリットコータ。 - 特許庁


例文

The invention further provides a method for testing an agent for its ability to inhibit the binding between a fibroblast growth factor (FGF) and a heparanase substrate comprising a step to interact the FGF immobilized on a solid support with the agent in a solution and a step to detect the presence or absence of the label in the solution remote from the solid support.例文帳に追加

線維芽細胞成長因子(FGF)とへパラナーゼ基質との結合を阻害する能力に関して物質を試験する方法であって、固体支持体上に固定化したFGFを物質および標識ヘパラナーゼ基質と溶液中で相互作用させる段階、および固体支持体から離れた溶液中の標識の有無を検出する段階を含む方法も提供する。 - 特許庁

The organic electroluminescent element comprises a substrate having a cell and one or more organic layers containing a luminous layer between an anode and a cathode, and is manufactured by sealing a dispersion solution of fine particles in the cell, or a solidified material of the dispersion solution of the fine particles in the cell.例文帳に追加

セルを有する基板と、陽極と陰極との間に発光層を含む1層以上の有機層から構成される有機エレクトロルミネセンス素子において、セル内部に微粒子の分散液が封入すること、もしくはセル内部に微粒子の分散液の固化物を封入することで、発光効率の高い有機エレクトロルミネセンス素子を作製する。 - 特許庁

The apparatus has a treatment vessel 1 containing an acidic aqueous solution containing selenite ions or tellurite ions and sulfite ions, a means of irradiating the vessel 1 with ultraviolet light and a deposition unit for depositing selenium or tellurium on a substrate 2 by irradiating the acidic aqueous solution with the ultraviolet light.例文帳に追加

亜セレン酸イオンまたは亜テルル酸イオンと亜硫酸イオンを含む酸性水溶液を有する処理槽1と、この処理槽1に紫外光を照射する手段と、前記紫外光を前記亜セレン酸イオン又は亜テルル酸イオンと亜硫酸イオンを含む酸性水溶液に照射し、セレンまたはテルルを基板2上に堆積させる堆積装置とを具備する。 - 特許庁

The method for controlling the quality of DNA chips includes a stage for preparing a DNA spotting solution containing a first fluorescent substance that is excited and radiated at a specific wavelength, a stage for sporting the DNA spotting solution to a substrate to manufacture the DNA chips, and a stage for detecting fluorescent signals that are emitted from the DNA spot.例文帳に追加

特定の波長において励起/放出される第1の蛍光物質を含有するDNAスポッティング溶液を調製する段階と、前記DNAスポッティング溶液を基板にスポッティングしてDNAチップを製造する段階と、前記DNAスポットから発せられる蛍光シグナルを検出する段階と、を含むDNAチップの品質管理方法。 - 特許庁

例文

In this electrophotographic photoreceptor in which an under- coating layer 2, a charge generation layer 31, a charge transportation layer 32 and a protective layer 4 are laminated to an electroconductive substrate 1 in this order, a solution comprising metal oxide particles supporting titanyl phthalocyanine pigment as a charge generation material on the surface of titanium oxide particles is used as a coating solution of the protective layer.例文帳に追加

導電性支持体1上に下引き層2、電荷発生層31、電荷輸送層32、保護層4をこの順に積層した電子写真感光体において、保護層塗工液として、酸化チタンの粒子表面に電荷発生材料であるチタニルフタロシアニン顔料を坦持せしめた金属酸化物粒子を配合したものを用いた。 - 特許庁

例文

The production method comprises heating a coating film that is formed by coating a substrate with a polyamic acid solution composition, wherein the polyamic acid solution composition is prepared by introducing a specific chemical structure within a specific proportional range into a polyamic acid having a chemical structure that comprises a 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic acid component and/or a pyromellitic acid component and a paraphenylenediamine component.例文帳に追加

3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸成分及び/又はピロメリット酸成分と、パラフェニレンジアミン成分からなる化学構造を有するポリアミック酸に特定割合の範囲内で特定の化学構造を導入したポリアミック酸溶液組成物を基材に塗布して形成された塗膜を加熱処理する製造方法、及び前記ポリアミック酸溶液組成物。 - 特許庁

(1) This enzymatic reaction of a hydrolase is regulated by impressing an electric voltage on a reaction solution containing the hydrolase and its substrate.例文帳に追加

(2)酵素反応と同時に酵素反応で生じた反応生成物を基質と分離し、且つ当該反応生成物を正電荷を有する生成物と負電荷を有する生成物とに分離し取得するための装置およびその方法の提供。 - 特許庁

This is a lithium secondary battery which is equipped with an electrode body 1 comprising that respective positive and negative electrode plates 2, 3 are wound or laminated via a separator 4 wherein an electrode active substance is formed on the surface of a current collecting substrate, and in which a nonaqueous electrolytic solution is used.例文帳に追加

集電基板表面に電極活物質を形成してなる正負各電極板2・3をセパレータ4を介して捲回若しくは積層してなる電極体1を備え、非水電解液を用いたリチウム二次電池である。 - 特許庁

To provide a reactant for filling a trench which is used for filling silicon oxide in the trench formed in a substrate, with a long pot life for an appropriate solution, high filling capability for the trench, high HF resistance and high crack resistance.例文帳に追加

基体に形成されたトレンチ内に酸化シリコンを埋め込むために使用するのに好適な溶液のポットライフが長く、トレンチへの埋め込み性が高く、HF耐性、クラック耐性を有するトレンチ埋め込み用反応物を提供する。 - 特許庁

On a substrate, solution containing fine particles is ejected with an action force by mechanical displacement to form a rectangular pattern or to form an electrode pattern by combining the rectangular patterns wherein the corner part of the pattern is covered with a dot pattern.例文帳に追加

基板上において、機械的変位による作用力で微粒子含有溶液を噴射させて、矩形パターンもしくは矩形パターンの組み合わせにより構成される電極パターンのコーナー部をドットパターンにより被覆するように打ち込む。 - 特許庁

After O_2 ashing treatment is performed to the substrate for 1 minute to remove a resist, remaining resist is removed by washing with a mixture of sulfuric acid and water and then an oxidized thin film 28 is removed by etching with 1% hydrofluoric acid aqueous solution for 2 minutes.例文帳に追加

この基板に対してO_2アッシング処理を1分間行ってレジストを除去した後、キャロス洗浄により残っているレジストを除去し、1%フッ酸水溶液で2分間エッチングして酸化薄膜28を除去する。 - 特許庁

The aluminum foil is characterized in that an aluminum foil is used as a substrate, and an aluminum film is formed on at least part of its surface by an electrolytic process in which an electrolytic aluminum plating solution having a water content of 10-2,000 ppm is used.例文帳に追加

アルミニウム箔を基材として用い、その表面の少なくとも一部に、含水量が10〜2000ppmの電解アルミニウムめっき液を用いた電解法によってアルミニウム被膜が形成されてなることを特徴とする。 - 特許庁

First, application liquid R obtained by dispersing a hollow structure group consisting of at least one of Si, N, C, O, and H elements into solution as an insulating film forming material is applied to a substrate to form an application film 4.例文帳に追加

先ず、Si、N、C、O及びHの少なくとも1つ以上の元素からなる中空構造体群を絶縁膜形成材料である溶液に分散させて得た塗布液Rを基板上に塗布して塗布膜4を形成する。 - 特許庁

A solid electrolyte 7 and the ceramic substrate 13 of the interconnector 5 are made of a zirconia solid solution having the same composition, and the fuel electrode 11, the air electrode 9, and the via 19 are made of a conductor having the same composition.例文帳に追加

固体電解質体7とインターコネクタ5のセラミック基体13とは、同一の組成のジルコニア固溶体から形成され、燃料極11と空気極9とビア19とは、同一組成の導電体から構成されている。 - 特許庁

The nanobubbles have the negative electric charges, so they are hard to condense and are uniformly dispersed in a solution to be taken as air bubbles in the low-k film even after the substrate is heated, thereby forming uniform and small pores.例文帳に追加

このナノバブルが負電荷を持っているので、凝集しにくく、溶液中に均一に分散し、また基板の加熱後にも気泡として低誘電率膜中に取り込まれるため、均一で小さな気孔を形成することができる。 - 特許庁

To provide a polishing solution for a copper film that achieves not only high polishing speed but also preferred uniform polishing speed inside a surface in addition to contributing to the high quality of LSI and the like using a copper wiring, and to provide a method of polishing a substrate.例文帳に追加

高速研磨速度が可能で、かつ研磨速度の面内均一性が良好で、銅配線を用いたLSIなどの高品質化に寄与することができる銅膜用研磨液及び基板の研磨方法を提供する。 - 特許庁

In the device for producing the semiconductor thin film, a member for holding the substrate is held in a posture oblique to the surface of the solution.例文帳に追加

半導体材料を含有する溶液に基板を浸漬し、該基板上に半導体薄膜を成長させる半導体薄膜の製造方法において、前記基板を前記溶液表面に対して斜めに保持しつつ、該溶液に出し入れする。 - 特許庁

To obtain a preferable profile of resist pattern and to prevent residue present on a substrate even when a developer comprising a tetramethylammonium hydroxide aqueous solution having a weight concentration lower than 2.38 wt.% is used for development.例文帳に追加

2.38wt%よりも重量濃度が小さいテトラメチルアンモニウムハイドロキサイド水溶液よりなる現像液を用いて現像を行なうにも拘わらず、レジストパターンの形状が良好になると共に基板上に残渣が存在しないようにする。 - 特許庁

The medical solution nozzle 142 is located between two holding rollers in the first holding rollers 1A-1C, and is arranged near the upstream-side holding roller positioned at the upstream side in a rotary direction A of the substrate W in the pair of holding rollers.例文帳に追加

薬液ノズル142は、第1保持ローラ1A〜1Cのうちの2つの保持ローラの間であって、該保持ローラ対のうち基板Wの回転方向Aにおいて上流側に位置する上流側保持ローラの近傍に配置される。 - 特許庁

The glass substrate is characterized in that a zeta potential of the surface which is measured using an aqueous solution in which Na_2SO_4 is mixed as a buffer agent, and the pH is adjusted to 10 by H_2SO_4 and NaOH shows a lower value than -50 mV.例文帳に追加

Na_2SO_4を緩衝剤として混合し、H_2SO_4とNaOHにてpHが10に調整された水溶液を用いて測定した表面のゼータ電位が−50mVより低い値を示すことを特徴とするガラス基板。 - 特許庁

A solution of a polyamic acid derived from amic acid forming compounds of p-phenylenediamine and 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic acid is cast on a smooth substrate, immersed in a 1-6C lower alcohol and the obtained polyamic acid porous membrane is imidated.例文帳に追加

パラフェニレンジアミンと3、3’、4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸のアミド酸形成化合物から由来するポリアミド酸の溶液を平滑な基板上にキャストし炭素数1〜6の低級アルコールに浸漬させ、得られたポリアミド酸多孔膜をイミド化させる。 - 特許庁

The organic solvent gas supplied to the facing member 4 spreads inside the facing member 4 while dispersing, and is uniformly discharged from the entire bottom surface 43 of the facing member 4 toward the rinse solution adhering on the substrate surface Wf.例文帳に追加

対向部材4に供給された有機溶剤ガスは対向部材4の内部を分散しながら広がっていき、対向部材4の底面43の全体から均一に基板表面Wfに付着するリンス液に向けて吐出される。 - 特許庁

In a substrate cleaning process, clean air the relative humidity and temperature of which are controlled is supplied vertically downward toward the surface of the cleaning solution in the cleaning tank, and air in the draft is discharged in a displacement within a prescribed range.例文帳に追加

基板洗浄装工程では、相対湿度・温度を制御したクリーンエアーを、洗浄槽の洗浄液液面に向けて鉛直方向下向きに供給するとともに、洗浄ドラフト内の空気を所定範囲内の排気量で排気する。 - 特許庁

A method of forming an insulation film for an electronic device is characterized by step (a) of providing a solution of a metal salt onto a substrate and step (b) of converting the metal salt into a metal oxide.例文帳に追加

電子デバイス用の絶縁膜形成方法において、(a)金属塩の溶液を基板上に配する工程、(b)該金属塩を金属酸化物に変換する工程からなることを特徴とする電子デバイス用の絶縁膜形成方法。 - 特許庁

To provide a silicon stain film removing method for removing a stain film produced on the surface of a silicon substrate during a period until next treatment after etching a silicon wafer by mixed acid solution at a low cost without contaminating the device and the wafer itself.例文帳に追加

シリコンウェハを混酸溶液でエッチングした後に、次の処理までの間にシリコン基板表面に生成されるステイン膜を、低コストで、かつ装置及びウェハ自身を汚染しないシリコンステイン膜の除去方法を提供する。 - 特許庁

To provide a photosensitive resin composition excellent in pattern accuracy and adhesion, developable with a dilute alkali solution and suitable for a resistive element, a phosphor, a partition wall, a ceramic substrate, a conductor circuit or the like and a photosensitive film using the composition.例文帳に追加

パターン精度、密着性に優れ、希アルカリ溶液で現像ができ、抵抗体、蛍光体、隔壁、セラミック基板あるいは導体回路等に適する感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フイルムを提供する。 - 特許庁

Lastly the coating solution for the ink accepting layer thus obtained is applied and dried on a water-resistant substrate, so as to be made the ink accepting layer, in the manufacturing method of the inkjet recording paper.例文帳に追加

分散液B:ゲル法シリカを粉砕・分散した分散液であり、分散液中の前記ゲル法シリカの平均粒子径が20〜800nmであり、該分散終了から塗布液作製までに72時間〜3ヶ月保存した分散液。 - 特許庁

A nozzle 40 in which a plurality of spraying holes 39 are arranged in a row to discharge a resist solution as a coating fluid toward the surface of a substrate G held by a holding plate 31 is installed in the lower part of a main body 38 of a coating head 36.例文帳に追加

塗布ヘッド36の本体38の下部には、保持板31より保持された基板Gの表面に向けて塗布液としてのレジスト液を吐出する複数の吐出孔39が列設されたノズル40が設けられている。 - 特許庁

To provide a method by which, in determining the positions of a gene and a specific base sequence on a DNA, a large amount of a DNA solution is not required, the DNA is extended in a straight line state at a specific position on a substrate and fixed.例文帳に追加

DNA上の遺伝子や特定塩基配列の位置を決定するにあたり、大量のDNA溶液を要せず、DNAを基板上の特定位置に直線状に引き伸ばして固定する方法を提供すること。 - 特許庁

To provide an image forming method by which a coating film having good curability in a deep portion without a pattern defect and having high contrast and high image stability can be formed while preventing a developing solution from directly contacting a substrate.例文帳に追加

深部硬化性が良好でパターンの欠損がなく、高いコントラスト性と高い画像安定性を有する塗膜を、現像液が基材に直接触れることなく形成することが可能な画像形成方法を提供する。 - 特許庁

The thinning processing method for dry film resist includes sticking the dry film resist onto a substrate, rinsing in water, and thinning with an aqueous alkali solution containing 5-20 mass% of an inorganic alkaline compound.例文帳に追加

基板上にドライフィルムレジストを貼り付け、水洗処理を行った後、無機アルカリ性化合物の含有量が5〜20質量%のアルカリ水溶液によって薄膜化処理することを特徴とするドライフィルムレジストの薄膜化処理方法。 - 特許庁

The porous electrode substrate as the first component is coated with a solution containing the second component or a precursor of the second component to act on each other, and a metal layer or a metal oxide layer is formed to form the composite electrode for a fuel cell.例文帳に追加

第1成分である多孔質電極基体に、第2成分を含む溶液や第2成分の前駆体を含む溶液を被覆し反応させて金属層又は金属酸化物層を形成して燃料電池用複合電極とする。 - 特許庁

In this determination method of a trace element in sapphire, the sapphire substrate sample is decomposed by an acid decomposition method or by an alkali fusion method, and the trace element in acquired solution is measured by flow injection introduction-ICP/mass spectrometry.例文帳に追加

サファイア中微量元素の定量方法は、サファイア基板試料を酸分解法またはアルカリ融解法により分解し、得られた溶液中の微量元素を、フローインジェクション導入−ICP/質量分析法によって測定する。 - 特許庁

To provide a method which enables high-speed film formation by casting a solution of a polyimide precursor dissolved in a solvent onto a substrate to improve productivity, and further to enhance productivity of a thinner film formation.例文帳に追加

ポリイミド前駆体の溶媒溶液を支持体上にキャストし、生産性を向上させる目的で高速製膜が可能な製法を提供すること、さらに厚みの薄いフィルムの生産性を向上させることを目的とする。 - 特許庁

To provide a drying processing method for a probe fixing face capable of preventing a component of a probe solution used for fixing a probe from being left ununiformly on a probe fixing face, when the probe fixing face on a substrate is dried.例文帳に追加

基板上のプローブの固定面を乾燥処理する際に、プローブの固定に用いたプローブ溶液の成分が不均一にプローブ固定面に残存することを防止できるプローブ固定面の乾燥処理方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a silane compound composition having storage stability for a long period, capable of rapid dissolving to form a stable aqueous solution and having excellent covering ability of the substrate and sustainability of performance at the surface treatment of glass fibers.例文帳に追加

ガラス繊維のシランによる表面処理時、基材の被覆性能と効果の持続性に優れ、すばやく溶け、その水溶液が安定で、組成物としても長期に渡り安定性を有するシラン化合物の組成物を提供する。 - 特許庁

To provide an etchant with which an etching aqueous solution is prevented from changing in composition and a low reflectivity is effectively obtained inexpensively when pyramidal unevenness is formed on the surface of a silicon substrate for a solar cell by a wet etching process.例文帳に追加

湿式エッチングで太陽電池用シリコン基板の表面にピラミッド状の凹凸を形成するに際し、エッチング水溶液の組成変化を防止し安価かつ効果的に低反射率化することが可能なエッチング液を提供する。 - 特許庁

To suppress decrease of an active site due to heat in a catalyst particle made by making a substrate particle comprising one kind of fine particles or two or more kinds of solid solution fine particles having a nano-meter order primary particle size carry a noble metal on the surface thereof.例文帳に追加

ナノメートルオーダの一次粒子径を持つ一種の単体微粒子または二種以上の固溶体微粒子である基粒子の表面に貴金属を担持してなる触媒粒子において、熱による活性点の減少を抑制する。 - 特許庁

At first, as shown in the figure A, a liquid crystalline compound containing layer 2a is formed on a transparent substrate 1 by applying a liquid crystalline compound solution thereon and drying or by applying a molten liquid crystalline compound thereon.例文帳に追加

まず、図1Aに示すように、透明基材1の上に、液晶性化合物の溶液を塗布し乾燥させるか、または、溶融した液晶性化合物を塗布することにより、液晶性化合物含有層2aを形成させる。 - 特許庁

On a substrate, solution containing fine particles is ejected with the growth action force of a film boiling bubble produced instantaneously to form a pattern wiring or an electrode pattern being connected with a device wherein the corner part is beveled.例文帳に追加

基板上において、瞬時に発生させた膜沸騰気泡の成長作用力で微粒子含有溶液を噴射させて形成されるパターン配線あるいはデバイスに接続される電極パターンのコーナー部を面取り形状とする。 - 特許庁

The substrate for the display device is obtained by coating the plastic film with a coating liquid for forming the gas barrier layer prepared by adding a material for producing the inorganic particles into a solution containing the organic material, and by curing the organic material.例文帳に追加

又、有機素材含有溶液に無機粒子生成物質を添加し調製したガスバリヤ層形成用塗布液を、プラスチックフィルム上に塗布し、有機素材を硬化させて得られたことを特徴とする表示装置用基板である。 - 特許庁

To provide reliable circuit pattern forming equipment which can make a conductive solution land in on a substrate accurately and can prevent the contact of adjacent interconnections even at forming a multilayered circuit board.例文帳に追加

基材上に導電性溶液を高精度に着弾させることができ、多層の回路基板を形成する場合にも隣接する配線同士が接触することのない信頼性の高い回路パターン形成装置の提供を目的とする。 - 特許庁

Then the substrate 101, treated with the oxygen plasma, is immersed in hydrochloric acid solution adjusted around pH4.8, for example, to allow the hydrochloric acid to act on the surfaces of the control electrode 118 and the movable portion electrode 109.例文帳に追加

次に、この酸素プラズマによる処理がなされた基板101が、例えば、pH4.8程度とされた塩酸溶液に浸漬された状態とし、塩酸が、制御電極118及び可動部電極109の表面に作用する状態とする。 - 特許庁

There is provided at a central axis of a cylindrical heating apparatus 1 for substrate treating solution a lamp heater insertion section 10 comprising a PFA protective film 11, which insertion section is excellent in optical transparency and in anti-drug property and into which insertion section a lamp heater LH is insertable.例文帳に追加

円筒状の基板処理溶液加熱装置1の中心軸部分に、光透過性、耐薬品性に優れたPFA製の保護膜11からなり、ランプヒータLHが挿脱可能なランプヒータ挿入部10を設ける。 - 特許庁

例文

This substrate treating device 1 is constituted by docking a cleaning section 2 which cleans the surface of a wafer W with a cleaning solution and a dry-treating section 3 which treats the wafer W in a dry atmosphere (without using any treating liquid) to each other.例文帳に追加

この基板処理装置1は、ウエハWの表面を洗浄液を用いて洗浄するための洗浄処理部2と、ウエハに対してドライ雰囲気で(処理液を用いないで)処理を行うドライ処理部3とがドッキングされてなる。 - 特許庁




  
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