「surface method」に関連した英語例文の一覧と使い方(966ページ目) - Weblio英語例文検索

In a rewinding method in which the bonding wire for the semiconductor device reeled out of an unwinding machine is rewound by a take-up machine with assist of the rewinding guide after a wiredrawn process, the hard base material surface of the rewinding guide is covered with a ceramics coating film.例文帳に追加

伸線工程後に巻戻機から繰り出されたボンディングワイヤを巻替ガイドで案内して巻取機で巻取るボンディングワイヤの巻替方法において、該巻替ガイドが硬質基材表面にセラミックスコーティング膜を被覆されている半導体素子用ボンディングワイヤの巻替方法。 - 特許庁

In the above method, annealing treatment of the SiO_2 film formed on the surface of the workpiece is performed in the atmosphere in which oxygen active species and hydroxyl group active species are made principal, and reforming is performed so that there is no seam in the SiO_2 film, and further, etching tolerance of the SiO_2 film can be improved.例文帳に追加

このように、被処理体の表面に形成されたＳｉＯ_２ 膜を酸素活性種と水酸基活性種とを主体とする雰囲気中でアニール処理することにより改質を行ったので、ＳｉＯ_２ 膜中にシームがなく、しかもそのエッチング耐性を向上させることができる。 - 特許庁

To provide a manufacturing method for an ALC member with a long-sized element capable of substantially solving or relaxing at least one kind of the problem that pull-out strength is insufficient and looseness is generated in mounting and the problem that the beauty of the internal surface of the ALC member is damaged.例文帳に追加

引き抜き強度が十分でなく、取り付けに緩みが生ずるという問題及びＡＬＣ部材の内面の美観が損われるという問題の少なくとも一種を実質的に解消し又は緩和し得る、長尺要素を有するＡＬＣ部材の製造方法を提供する。 - 特許庁

Thus, under a circumstance in which the ship (more generally, a mounted moving body) is turned, the write on a memory to provide the two-dimensional storage space is achieved following the detection signal transmission method in the coordinate system fixed to the earth surface.例文帳に追加

これにより自船（より一般的に表現すれば搭載先の移動体）が旋回している状況下でも、２次元的な記憶空間を提供するメモリ上への書込を、地球表面に固定された座標系における探知信号送信方向に従って行えるようにする。 - 特許庁

In forming the sealing film, the metal mask 2 is first formed on the lower surface 1a of the substrate 1, and then the sealing film 9 is formed to cover a first electrode 6, a light emitting layer 7, and a second electrode 8 on the substrate 1 via the opening of the metal mask 2 by the plasma CVD method.例文帳に追加

封止膜の形成時には、まず基板１の下面１ａ上にメタルマスク２を配置し、次にメタルマスク２の開口を介してプラズマＣＶＤ法により基板１上の第１電極６、発光層７及び第２電極８を覆うように封止膜９を形成する。 - 特許庁

To provide a fibrous sheet enabling the prevention of peeling off of the pieces of a construction surface excellent in alkali resistance and heat resistance, and further capable of performing a countermeasure for preventing the peeling off by less expensively than those of the methods by using conventional carbon fibers or aramid fibers, and the method for preventing the peeling off by using the same.例文帳に追加

耐アルカリ性、耐熱性に優れた構造物表面片のはく落防止が可能となり、さらに、従来の炭素繊維やアラミド繊維を用いた方法よりも安価にはく落防止対策を行うことができる繊維シート及びそれを用いたはく落防止工法を提供する。 - 特許庁

Further, the hydrophilization method includes a stage for rolling and cutting a metallic base material, a stage for subjecting the obtained metallic base material to pickling treatment, a stage for depositing a TiO2 film onto the surface of the metallic base material after pickling, an annealing stage after the film deposition and a light irradiation stage.例文帳に追加

また、金属基材の圧延・切り出し工程と、得られた金属基材の酸洗処理工程と、その後の金属基材表面へのＴｉＯ_2の成膜工程、成膜後のアニーリング工程、光照射工程を含む、金属基材表面の親水化方法を提供する。 - 特許庁

The radiographic image conversion panel is composed by forming the stimulable phosphor layer 12 on the side of a heat-resistant resin layer 11b of a support 11, consisting of a substrate 11a and the layer 11b coating at least one surface of the substrate 11a by vapor phase deposition method.例文帳に追加

基板１１ａと該基板１１ａの少なくとも一方の面に塗設された耐熱性樹脂層１１ｂとからなる支持体１１の前記耐熱性樹脂層１１ｂ側に輝尽性蛍光体層１２が気相堆積法により形成されてなる放射線画像変換パネルである。 - 特許庁

The light-scattering film 3 is formed by applying a material prepared by adding a photosensitive resin consisting of an organic material as a binder to an inorganic material such as silicon oxide (silica), aluminum oxide (alumina), titanium oxide (titania) or the like on the surface of the glass substrate 2 and by forming the desired rugged pattern by a photolithographic method.例文帳に追加

光散乱膜３は、酸化珪素（シリカ）、酸化アルミニウム（アルミナ）、酸化チタン（チタニア）等の無機材料にバインダーとして有機材料から成る光感光性樹脂を添加したものをガラス基板２表面に塗布してフォトリソグラフ法により所望の凹凸形状に成形される。 - 特許庁

In the manufacturing method of a semiconductor device for forming the USG film 5 on a semiconductor substrate 1 on which an n+-type active region 2 and a p+-type active region 3 are formed, an oxide film 4 is formed on the surface of the substrate 1 and the USG film 5 is formed on the oxide film 4.例文帳に追加

Ｎ＋型活性領域２およびＰ＋型活性領域３が形成された半導体基板１上にＵＳＧ膜５を形成する半導体装置の製造方法において、半導体基板１の表面に酸化膜４を形成し、酸化膜４の上にＵＳＧ膜５を形成する。 - 特許庁

The photoreceptor drum substrate is formed of conductive resin composition having the tan δ of ≥0.05 measured by using a complex elasticity measuring device and introducing a one-end fixation method, and the photoreceptor drum is constituted by forming a photoreceptive layer on the outer peripheral surface of the photoreceptor drum substrate.例文帳に追加

複素弾性測定装置を用いて一端固定法により測定したｔａｎδが０．０５以上の導電性樹脂組成物により形成された感光ドラム用基体、及び外感光ドラム用基体をの外周面に感光層を形成した感光ドラムを提供する。 - 特許庁

To solve problems that related to a manufacturing method for a ramp-edge oxide superconducting Josephson junction excellent in evenness and the like of a critical current which is studied all over the world, precise control, of the angle is difficult and integrating of junctions in an arbitrary direction is difficult because the azimuth for an edge machining surface is limited.例文帳に追加

臨界電流の均一性などに優れたランプエッジ型酸化物超伝導ジョセフソン接合の作製方法が国内外で盛んに研究されているが、いずれも厳密に角度を制御することは困難であり、集積回路を作製できるレベルにはほど遠い状況にある。 - 特許庁

The manufacturing method of the fuel cell diffusion layer includes a coating process S102 in which a first coating liquid is coated and impregnated into a fuel cell diffusion layer base material and a coating process S106 in which a pre-foamed second coating liquid is coated and impregnated into one surface side of the fuel cell diffusion layer base material.例文帳に追加

燃料電池拡散層用基材に第１の塗工液を塗布し、含浸させる第１の塗工工程Ｓ１０２と、燃料電池拡散層用基材の一方面側に、予め発泡させた第２の塗工液を塗布し、含浸させる第２の塗工工程Ｓ１０６と、を含む。 - 特許庁

To provide a pattern forming tool with which a patterned coating film formed by orienting a powdery magnetic material contained in a coating material with a magnetic field of a magnet is formed on the surface of a vessel such as a can, and a method for manufacturing the vessel with the patterned coating film obtained by using the same.例文帳に追加

塗料中に含有させた粉末状の磁性材料を磁石による磁界で配向させて形成する模様塗膜を缶等の容器の表面に形成することができる模様形成治具およびこれを用いた模様塗膜付き容器の製造方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a mold for molding a tire and a method of manufacturing a tire using the same advantageous in preventing appearance failure due to an air pocket, capable of providing a wear indicator without being restrained by a place of a tire division surface, and advantageous in increasing product value.例文帳に追加

エアー溜りによる外観不良を抑制する上で有利となり、しかも、タイヤの分割面の箇所に拘束されずにウェアインジケータを設けることができ商品価値を高める上で有利なタイヤ成形用金型とそれを用いたタイヤの製造方法を提供すること。 - 特許庁

The method of forming the nitride-based semiconductor layer comprises a step of forming a plane (000-1) nearly vertical to a plane (1-100) as the main surface of an n-type GaN substrate 1, and a step of forming a semiconductor laser element layer 2 on the plane (1-100) of the n-type GaN substrate 1.例文帳に追加

この窒化物系半導体層の形成方法は、ｎ型ＧａＮ基板１の（１−１００）面からなる主表面と略垂直に（０００−１）面を形成する工程と、ｎ型ＧａＮ基板１の（１−１００）面上に半導体レーザ素子層２を形成する工程とを備える。 - 特許庁

The method is to lay the continuously installed block articles X to be made using the block transporting/installing device Y furnished with a proprietary gripping attachment 1, and comprises a multi-point gripping procedure A, a hung transport procedure B, an attitude control procedure C, a whole surface attaching procedure D, and a releasing procedure E.例文帳に追加

専用の把持部アタッチメント１を具備したブロック搬送設置装置Ｙを用いておこなう連設ブロック製品Ｘの敷設方法であって、以下の施工手順；多点把持手順（Ａ）、吊持搬送手順（Ｂ）、姿勢制御手順（Ｃ）、全面着設手順（Ｄ）、及び把持解放手順（Ｅ）を包含する。 - 特許庁

To provide a mounting method which enables normal temperature junction or junction which does not require an especially high temperature by eliminating the need for a chamber basically, by eliminating use of special gas such as a large quantity of inert gas or the like, and by washing and activating the surface of a metallic junction effectively, and to provide a device thereof.例文帳に追加

基本的にチャンバを不要とし、かつ、大量の不活性ガス等の特殊ガスの使用も不要とし、金属接合部の表面を効率よく洗浄して活性化し、常温接合、あるいは特に高温にしないでも接合できるようにした実装方法および装置を提供する。 - 特許庁

To provide a method for producing a polylactic acid molding in which a vapor deposited film having excellent adhesion, further having excellent gas barrier properties and having low moisture permeability as well is formed on the surface without exerting thermal influence on a polylactic acid base material and also without causing the problem of film peeling caused by the influence of moisture.例文帳に追加

熱的影響をポリ乳酸基材に与えることなく、しかも水分の影響による膜剥離の問題を生じることなく、密着性に優れ、しかもガスバリア性に優れ、水分透過性も低い蒸着膜が表面に形成されたポリ乳酸成形品の製造方法を提供する。 - 特許庁

The analysis section 52 determines the intensity component and phase component of second reflected light generated on the surface or in the interior of the observation object 9 on the basis of an interference light image obtained by setting an optical path length difference to be each target value successively by the phase shift method and photographing by the photographing section 51.例文帳に追加

解析部５２は、位相シフト法により光路長差が各目標値に順次に設定されて撮像部５１により撮像された干渉光像に基づいて、観察対象物９の表面または内部で生じた第２反射光の強度成分および位相成分を求める。 - 特許庁

In granulating a metal iodide, the method is characterized by supplying the metal iodide having an average particle size of 50-250 μm and an aqueous solution of the metal iodide having a concentration of 45-55 mass% and coating the surface of the seed crystal with the metal iodide under an atmosphere at a temperature of 80-95°C.例文帳に追加

金属ヨウ化物を造粒する際に、温度８０〜９５℃℃の雰囲気下に、平均粒子径５０〜２５０μｍの金属ヨウ化物と濃度４５〜５５質量％の金属ヨウ化物水溶液とを供給し、前記種結晶の表面に金属ヨウ化物を被覆することを特徴とする。 - 特許庁

The method for producing a granulated product for a friction material comprises the mixing of a simple phenolic resin free from hardener with other friction material components under heating and stirring to effect the melting of the simple phenolic resin and granulate a friction material composition and the addition of a hardening agent to attach the agent to the surface of the granule.例文帳に追加

硬化剤を含まないフェノール樹脂単体を他の摩擦材成分と共に加熱、攪拌混合し、フェノール樹脂単体を溶融して摩擦材組成物を造粒し、次いで硬化剤を添加して造粒物の表面に付着させることを特徴とする摩擦材用造粒物の製造方法。 - 特許庁

To produce a graft copolymer-based mixed powder that is improved in surface tackiness with high efficiency and is excellent in powder characteristics such as fluidity, or the like, and that is prevented from adhering on a manufacturing device in a manufacturing process, and provide a method for improving powder characteristics of a graft copolymer.例文帳に追加

表面の粘着性を高効率で改質し、流動性などの粉体特性に優れ、製造工程における製造装置への粉体付着が防止されたグラフト共重合体混合粉体およにグラフト共重合体の粉体特性改良方法を提供する。 - 特許庁

To provide a pipe connection joint and a pipe connecting method, wherein the end parts of regenerating pipes for lining the inner surface of an existing long pipe bank are connected to each other without any gaps, and there is no need to prepare any additional special materials for making the joint.例文帳に追加

既設の長尺の管渠の内面をライニングする更生管の端部同士を隙間なく接続することができ、継手を作成するために別途特別の材料を用意する必要がない管接続継手及び管接続方法を提供することを目的としてなされたものである。 - 特許庁

The method for producing the woven or knitted fabric comprises weaving or knitting cotton fiber yarn, carrying out alkali treatment of the resultant woven or knitted fabric to remove cotton wax contained in the cotton fiber and then partially attaching a water repellent to at least one surface of both sides of the woven or knitted fabric to keep water-absorbing rate to ≤5 sec.例文帳に追加

綿繊維糸条を用いて織編物を織編製した後、該織編物にアルカリ処理を施すことにより綿繊維に含まれる綿ロウを除去し、次いで該織編物の表裏の少なくとも一面に撥水剤を部分的に付着させることにより吸水速度を５秒以下とする。 - 特許庁

To provide an electrostatic latent image carrier which comprises a cross-linked surface layer and a photosensitive layer having excellent flaw resistance and abrasion resistance, and satisfactory electric properties, and can provide high-quality images over a long period of time, and to provide a process cartridge, an image forming apparatus, and an image forming method thereof.例文帳に追加

耐傷性及び耐摩耗性が高く、かつ電気的特性が良好な架橋表面層、及び感光層を有し、長期間に亘って高画質化を実現できる静電潜像担持体及びプロセスカートリッジ、並びに、画像形成装置及び画像形成方法の提供。 - 特許庁

The personal information protective sheet has an information display part 40 formed by a non-impact printing method on an image receiving layer 30 of a laminate comprising a base 10, a releasing layer 20 formed at least on a part of one surface of the base 10, and an image receiving layer 30 formed on the releasing layer 20.例文帳に追加

基材１０と、基材１０の一方の面の少なくとも一部に形成された剥離層２０と、剥離層２０の上に積層された受像層３０とを有する積層体の受像層３０の上に、ノンインパクト方式の印字方法により情報表示部４０を形成する。 - 特許庁

The method further comprises the steps of controlling a surface temperature of an insert in the mold to a temperature range of 92 to 95% of a glass transition point of the plastic material, controlling a temperature of a resin channel in the mold to 94 to 96% of the glass transition point of the plastic material, and molding the material.例文帳に追加

金型入子の表面温度をプラスチック材料のガラス転移点に対し９２％〜９５％の温度範囲に制御し、且つ金型内の樹脂流路の温度をプラスチック材料のガラス転移点に対し９４％〜９６％の温度範囲に制御して成形する。 - 特許庁

To provide a surface treatment method of a heat exchanger capable of unifying the chemical without dispersion by excluding the residual liquid on a lower face while securing the attachment of the chemical on an upper face, lowering the concentration of the chemical and remarkably reducing the cost in a hydrophilic treatment of a heat exchanger.例文帳に追加

熱交換器の親水性処理において、薬液の上面付着量を確保しつつ、下面の残留液を排除することでバラツキを無くし均一化し、薬液の濃度を下げることが可能となり、大幅なコストダウンを図れる熱交換器の表面処理方法を提供する。 - 特許庁

In a rock bolt drive method for driving a rock bolt to the inner peripheral surface of a tunnel, a hydraulic cylinder mechanism for rock bolt driving is attached to a heavy machine in a detachable manner, and the rock bolt is driven by the rock bolt driving hydraulic cylinder mechanism by utilizing a hydraulic drive source built in the heavy machine.例文帳に追加

トンネルの内周面にロックボルトを打ち込むロックボルト打込工法において、ロックボルト打込用油圧シリンダー機構を重機に着脱可能に取り付け、重機に備えられている油圧駆動源を利用して上記ロックボルト打込用油圧シリンダー機構によってロックボルトを打ち込むようにしたもの。 - 特許庁

To provide a molding method of a mold capable of molding a part to be a cutting blade even when it is of a cutting type at a sharp angle without forming a tool passage data of an extension surface for over-run working and molding a part not to be the cutting blade without outline working and run-on working.例文帳に追加

切断型であっても切刃になる部分は、オーバーラン加工用の延長面の工具経路データを作成することなく鋭利な角度に成形でき、切刃にならない部分は輪郭加工や追い込み加工する必要がなく成形できる型の成形方法を提供する。 - 特許庁

To obtain a suction preventive construction method for a hydraulic structure in which a water permeable function is not damaged by securing a wide water permeable part when an asphalt mat, to which a water permeable material in a mat shape whose surface is covered with a protective net is mounted along the lower face and the edge, is laid inside reclaiming earth and sand.例文帳に追加

保護網で表面を被覆したマット状の透水材を下面と端にそって取り付けたアスファルトマットを埋立土砂中に敷設する場合に、広い透水部を確保して透水機能が損なわれないようにした水理構造物の吸出防止工法を得る。 - 特許庁

The method for arranging the long building material, having anti-termite performance, is characterized in that a termite invading gap and a termite invading passage such as a penetrating prepared hole in a concrete skeleton are blocked with a termite invasion blocking member which is fitted into or onto an inner or outer peripheral surface of the long building material or a sleeve.例文帳に追加

長尺配設物や鞘管の内、外周面に内嵌、外嵌させたシロアリ侵入阻止部材でコンクリート躯体の貫通下穴等のシロアリの侵入隙間や侵入経路を閉鎖させることを特徴とする防蟻性能を付加した配設方法によってなされる。 - 特許庁

To provide a method of producing a solid powder cosmetic which is soft and smooth, possesses a high void fraction and homogeneous soft voids, can be easily used, gives excellent feeling on use, shows fine shape retention, forms hardly crevice or crack and further is capable of forming minute uneven patterns on the surface.例文帳に追加

柔らかく、滑らかで、空隙率が高く且つ空隙が均一に存在してふんわりとしていて、使い易く、使用感に優れ、保型性が良好で、割れ・ひびが生じ難く、更に表面に細密な凹凸模様を形成することも可能な固形粉末化粧料の製造方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a mold for die cast molding, a die cast molding method, and a molded product capable of attaining enhancement in accuracy of a die cast product, stabilization of the surface of the molded product and a quality of the inner part, prolongation of the lifetime of the mold, and improvement in working environment of a die casting site, etc.例文帳に追加

鋳造製品の精度向上、鋳造製品の表面及び内部の品質安定化、金型の寿命の延長、ダイカスト鋳造現場の作業環境の改善等を達成し得るダイカスト鋳造用金型、ダイカスト鋳造方法及び鋳造製品を提供すること。 - 特許庁

By forming at least one surface so that a Y value in a 45° diffusion method is set to 4.5-12.6, part of the reflected light of a portion covered with the sheet becomes unable to reach the eye due to the scattering of the light, and thus visual discrimination between the colored portion and the recorded portion located therein can be made difficult.例文帳に追加

少なくとも一方の面を４５°拡散方式におけるＹ値が４．５以上、１２．６以下に形成することにより、光の散乱によりシートで被った部分の反射光が一部、眼に届かなくなり、着色部分とその中の記録部分の視認判別を困難にすることができる。 - 特許庁

To provide a method for evaluating a three-dimensional structure capable of checking or analyzing a failure of a process for manufacturing various devices or parts by allowing a user to know a shape of a sample to be evaluated from the surface to the interior or the distribution of the atom in three dimensions.例文帳に追加

３次元構造評価方法に関し、簡単な手段に依って、評価対象物の表面から内部へ向かう形状や元素の分布の変化を立体的に知ることができるようにして、種々なデバイスや部品などの製造プロセスの確認や故障解析など行うことを可能にする。 - 特許庁

To provide a hole drilling tool, and a hole drilling method advantageous to highly efficient work, restraining deviation and deflection of the axis of the hole drilling tool, and restraining a risk of damaging a work surface of a hole of a work when pulling out the hole drilling tool from the hole of the work after finishing hole drilling.例文帳に追加

高能率加工に有利であり、更に、穴加工工具の軸芯のぶれ、撓みを抑制でき、しかも、穴加工が終了してワークの穴から穴加工工具を引き抜くとき、ワークの穴の加工面に傷がつくおそれを抑制できる穴加工工具、穴加工方法を提供する。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of a cord reinforcing material capable of improving the arrangement disturbance of cords and avoiding the exposure of the cords to the surface of the cord reinforcing material without increasing the thickness of the cord reinforcing material more than necessary, a manufacturing apparatus therefor, a tire constituent material and a pneumatic tire.例文帳に追加

コードの整列乱れを改善し、コード補強材料の肉厚を必要以上に厚くすることなくコードが表面に露出するのを回避することが可能なコード補強材料の製造方法と装置、及びタイヤ構成材料と空気入りタイヤを提供する。 - 特許庁

To provide a press-forming method of a metal sheet excellent in shape fixability and an apparatus therefore by means of which press-formed goods are obtained by preventing a two-dimensional defective shape such as an angle change and a three-dimensional defective shape such as a warp (surface warp) in a ridge line due to springback.例文帳に追加

スプリングバックによる角度変化といった２次元的な形状不良や稜線そり（面そり）などの３次元的な形状不良を防止してプレス成形品を得ることができる形状凍結性に優れた金属板のプレス成形方法およびその装置を提供すること - 特許庁

To provide a method of forming a phosphor film, capable of reducing the difference in thickness of a phosphor film in the axial direction of a glass tube, caused by dropping the phosphor dispersion liquid, for forming the phosphor film of little differences is luminance and in chromaticity, when the phosphor film is formed on the inner wall surface of the glass tube.例文帳に追加

ガラス管内壁面に蛍光体被膜を形成するに際し、蛍光体分散液の垂れ落ちにより生ずるガラス管の軸方向の蛍光体被膜の膜厚差を軽減して、輝度差や色度差の少ない蛍光体被膜を形成することを目的とする。 - 特許庁

The invention is a pickling method for obtaining a stainless steel sheet, an Fe-Ni based alloy and an Ni based high alloy sheet having improved pickling capacity and excellent surface quality by performing descaling with a pickling liquid essentially consisting of sulfuric acid-Fe^3+-hydrogen peroxide-chloride salt and heated at 70 to 85°C.例文帳に追加

硫酸−Fe^3+−過酸化水素−塩化物塩を主成分とする温度70〜85℃の酸洗液にてデスケーリングを行うことにより、酸洗能力の向上および表面品質の優れたステンレス鋼板、Ｆｅ-Ｎｉ基合金およびNi基高合金板を得る為の酸洗方法。 - 特許庁

To provide a nonwoven fabric for an alkali battery separator having excellent leakage resistance during group winding by a battery forming machine and surface strength excellent in compression resistance and capable of preventing a liquid drying-up phenomenon and micro short-circuiting when a positive electrode is swollen, and to provide a manufacturing method for it.例文帳に追加

電池構成機での群巻回作業時における耐リーク性に優れ、正極が膨潤してきた際、液枯れ現象や微小短絡を防止できる耐圧縮性の良好な面強度を持ったアルカリ電池セパレータ用不織布及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a cutting method for obtaining a cutting workpiece superior in surface work accuracy without entangling chips with a cutting tool by surely dividing the chips generated by cutting even in the workpiece composed of a metallic material rich in malleability and ductility.例文帳に追加

展性及び延性に富んだ金属材料からなる被削材であっても、切削によって生ずる切屑を確実に分断することができ、切屑がバイトに絡み付くことがなく、表面加工精度のよい切削加工物を得ることができる切削加工方法を提供する。 - 特許庁

To provide an aqueous dispersoid for chemical-mechanical polishing in manufacturing a semiconductor device which has an adequate hardness, provides a satisfactory polishing rate and avoids damaging a polished surface and a method of polishing films of a semiconductor device with this aqueous dispersoid and manufacturing the semiconductor device.例文帳に追加

適度な硬度を有し、十分な研磨速度が得られ、且つ被研磨面に傷が付くことがない半導体装置の製造に用いる化学機械研磨用水系分散体、及びこの水系分散体によって半導体装置の被加工膜を研磨し、半導体装置を製造する方法を提供する。 - 特許庁