「First Water」に関連した英語例文の一覧と使い方(84ページ目) - Weblio英語例文検索

The liquid ejecting head further includes: a water-repellent insulating part 50 provided in the nozzle plate 43; a first electrode 52 disposed while being exposed from the insulating part 50, and connected to a voltage application means for applying a voltage; and a second electrode 53 covered with the insulating part 50 and connected to the voltage application means.例文帳に追加

ノズルプレート４３に設けられた撥水性の絶縁部５０と、絶縁部５０から露出して配置され、電圧を印加する電圧印加手段に接続される第１電極５２と、絶縁部５０により覆われ、電圧印加手段に接続される第２電極５３と、を備える。 - 特許庁

The immunoassay is constituted in such a way that, in immunochromatography, under the existence of a surface-active agent, a sample to be inspected in developed on a test piece comprising a stationary phase to which a first specific bonding substance capable of being specifically bonded to the substance, to be inspected, on a water-absorbing substrate.例文帳に追加

免疫クロマトグラフ法において、界面活性剤の存在下、被検試料を、（ａ）吸水性基材上に、被検物質に特異的に結合しうる第１の特異的結合物質が固定化された固定相を有する試験片に展開することを特徴とする、免疫測定法。 - 特許庁

A hybrid automobile 20 supplies electric power to a VVT motor 133 from a first passage R1 or a second passage R2, when requiring to advance the opening-closing timing of an intake valve 128 from the most ignition timing delay position, when the engine water temperature Tw is low, when starting an engine 22.例文帳に追加

ハイブリッド自動車２０は、エンジン２２を始動する際、エンジン水温Ｔｗが低く吸気バルブ１２８の開閉タイミングを最遅角位置から進角させる必要があるときには、第１経路Ｒ１又は第２経路Ｒ２からＶＶＴ用モータ１３３に電力を供給する。 - 特許庁

The partial length rods (20) are clustered into two groups, i.e., a first group of the rods (38) surrounding one or more water guide tubes disposed approximately at the center of a fuel assembly channel (12) and a second group (40) of the rods distributed around the inner circumferential wall of the channel.例文帳に追加

部分長燃料ロッド（２０）は、２つのグループ、すなわち、燃料集合体のチャネル（１２）のほぼ中央に配置された１つ又はそれ以上の水導管を囲む第１のロッドグループ（３８）とチャネルの内周壁の周りに分散配置された第２のロッドグループ（４０）とに集団化される。 - 特許庁

A first electric connector 35, a suction connector 36a, a water sending mouthpiece 36b and an air connector 36c are provided at the part 31, and a coupling port 38 for detachably fixedly coupling a second electric connector 37 and a curved surface driver 7 is provided at the part 32.例文帳に追加

第１連結部３１には第１電気コネクタ３５、吸引口金３６ａ、送水口金３６ｂ、送気口金３６ｃが設けられ、第２連結部３２には第２電気コネクタ３７、湾曲駆動装置７が着脱自在に連結固定される連結口３８が設けられている。 - 特許庁

An upward-flow type high-speed filtration vessel 4 is arranged in the vicinity of the sewerage treatment line equipped with the first sedimentation basin 1, a reaction vessel 2 and the final sedimentation basin 3 so that secondary effluent flowing out from the final sedimentation basin 3 in case of rainy weather is guided through a water path 5 to the high-speed filtration vessel 4.例文帳に追加

最初沈殿池１、反応槽２、最終沈殿池３を備えた下水処理ラインの近傍に、上向流式の高速ろ過槽４を設置し、晴天時に最終沈殿池３から出た二次処理水を水路５によりこの高速ろ過槽４に導くことができるようにする。 - 特許庁

To quickly submerge a pipe member to install in an excavation hole when submerging and installing the pipe member concerning an underground heat exchanger in which one pipe end is tightly sealed in the excavation hole including a first liquid such as a drilling water in a posture such that one pipe end is a lower end.例文帳に追加

削孔水のような第１液体が入った掘削孔内に、一方の管端部が密閉封止された地中熱交換器に係る管部材を、前記一方の管端部を下端部とするような姿勢で沈降設置する際に、当該管部材を速やかに沈降させて掘削孔内に設置する。 - 特許庁

A dehydration/deacidifying material having at least one of alkaline metal or alkaline earth metal is formed so as to be contacted with one part of a base body in which at least a first electrode is not exposed, and oxygen and water adhered to inside a barrier rib and a surface are made to be captured by the dehydration/deacidifying material.例文帳に追加

少なくとも第１の電極が露出していない基体の一部に接するように、アルカリ金属又はアルカリ土類金属少なくとも一つを有する脱水・脱酸材料を形成し、同脱水・脱酸材料に隔壁内及び表面に付着した酸素や水を捕獲させた構成とする。 - 特許庁

The first hydrolyzable organosilane A is represented by the general formula:SiX_4(X is a hydrolyzable group), the second hydrolyzable organosilane B is such that the straight chain bears water-repelling groups and there are two or more alkoxy group-bound silicon atoms in the molecule, and the third hydrolyzable organosilane C has a fluorine-substituted alkyl group.例文帳に追加

（Ａ）一般式がＳｉＸ_４（Ｘは加水分解基）で表わされる加水分解性オルガノシラン、（Ｂ）撥水基を直鎖部に備えると共にアルコキシ基が結合したシリカ原子を分子内に２個以上有する加水分解性オルガノシラン、（Ｃ）フッ素置換アルキル基を有する加水分解性オルガノシラン - 特許庁

A moisture meter 12 for detecting water content in the waste is installed in the upper part of the first conveyor 9, and when the detected value of the moisture meter 12 is equal to or larger than the prescribed value, the second conveyor is reversely rotated to convey the waste to the pulverizer 2 or the drying device 3.例文帳に追加

第１コンベア９の上方には廃棄物中の水分量を検出する水分計１２を設け、前記水分計１２の検出値が所定値以上の場合は第２コンベア１０を逆転させて破砕機２若しくは乾燥装置３に搬送するようにした。 - 特許庁

Further, a water discharge head 9 is provided on the upstream side in the rotating direction of the image support member 1 of the ink discharge head 2, and a first heating roller 8a is provided at a position facing the transfer roller 3 across the image support member 1 so as to contact with the inner circumferential surface of the image support member 1.例文帳に追加

そしてさらに、インク吐出ヘッド２よりも、画像担持体１の回転方向上流側に水分吐出ヘッド９を設けると共に、転写ローラ３と画像担持体１を挟んで対向する位置に、画像担持体１の内周面と接触するように第１加熱ローラ８ａを設ける。 - 特許庁

To provide the excellent click feeling in the switching operation when a valve part of a valve element to switch a water of a main waterway from a first branch waterway to a second waterway and vice versa is changed from a ball valve part to a flat valve part in a shower head.例文帳に追加

シャワーヘッドにおいて、主水路からの水を第一分岐水路から第二分岐水路に又はその逆に切り替えるための弁体の弁部をボール弁部から平形状の弁部に変更した場合において、切替操作の際に良好なクリック感が得られるようにする。 - 特許庁

The spray gun includes a spray port 33 to spray a chocolate supplied in an atomized state, a feed passage 45 to guide and feed the chocolate to the port 33, and a first and second medium passages 46, 47 which are disposed in the passage 45 and in each of which warm water flows.例文帳に追加

供給されたチョコレートを霧状にして噴出する噴霧口３３と、噴霧口３３に対しチョコレートを案内し供給する供給路４５と、供給路４５内の近傍に配置されその内部を温水が流通する第１および第２媒体流路４６，４７を有する。 - 特許庁

The ink smoothing roller comprises a first stepped shaft made of a low thermal conductivity member having a through hole for passing a cooling water, a second stepped shaft made of the low thermal conductivity member to mount a rotating and lateral moving means, and a roller steel tube shrink fit molded with the two stepped shafts.例文帳に追加

冷却水を通水するための貫通穴を有する低熱伝導率部材製の第１段付軸と、回転および横移動手段を取着する低熱伝導率部材製の第２段付軸と、前述の２本の段付軸が焼きばめ成形されるローラ鋼管と、から構成される。 - 特許庁

According to the temperature state in each cooled part of the cylinder head 1, shapes and diameters of the first, second and third pipe members 8, 9 and 10, a piping route and a flow rate of the cooling water can be properly set, and proper cooling is performed to improve the performance of the engine.例文帳に追加

また、シリンダヘッド１の冷却部位毎にその温度条件に応じて、第１、第２及び第３パイプ部材８、９、１０の形状、径、配管経路及び冷却水の流量を適宜設定することにより、適切な冷却を行なってエンジンの性能を向上させることができる。 - 特許庁

When an operation handle 29 is turned, rotational force is transmitted from a first step planetary gear mechanism 10 to a second step planetary gear mechanism 11 while the speed of the force is increased multi-stepwise, a pump shaft 27 is rotated in each pump chamber 34 and 35, and raw water is supplied to a RO module 2.例文帳に追加

操作ハンドル２９を回転すると回転力が第１段の遊星歯車機構１０から第２段の遊星歯車機構１１へと多段に増速・伝達され、ポンプ軸２７を各ポンプ室３４、３５内において回転させて原水をＲＯモジュール２に送水する。 - 特許庁

To provide an aqueous ink composition which can be used to print on a normal paper without blur or offset, is excellent in water resistance, light resistance and abrasion resistance, enables to record with high color density and high quality (high precision, high chroma) even at a low pigment concentration, and contains a pseudo-first order crystallinity of a magenta organic pigment.例文帳に追加

普通紙記録に対して滲み、裏写りがなく、耐水性・耐光性・耐擦過性に優れ、低顔料濃度で発色濃度の高い高品質（高精細、高彩度）記録が可能な擬１次結晶性マジェンタ有機顔料を含む水性のインク組成物を提供することを課題とする。 - 特許庁

The first flow path 12 directs exhaust gas without appreciable cooling effect to a three-way catalyst 16 located downstream and the second flow path 13 includes water cooling for the exhaust gas passing therethrough using a coolant drawn from a main engine cooling circuit.例文帳に追加

第１排出ガス流路１２は、排出ガスを冷却することなく下流に置かれた三元触媒１６に導き、第２排出ガス流路１３は、主エンジン冷却回路から引かれた冷媒を使用して、その中を通過する排出ガスを冷却するための水を含む。 - 特許庁

Once the incineration ash discharged from a waste incineration facility A is received into the housing portion 8 of a first storing facility B, the incineration ash is washed with water by being sprinkled using a sprinkler 10, thereby removing salts, heavy metals, and the like, contained in the incineration ash.例文帳に追加

廃棄物焼却施設Ａから排出された焼却灰が第１保管施設Ｂの収納部８に収納されると、スプリンクラー１０により散水して焼却灰が水洗処理され、焼却灰中に含まれる塩類及び重金属類などが除去される。 - 特許庁

As a first step of assistance, they need to accurately understand their financial status using a uniform perspective, with a reference to “Guidelines for the management and assessment of a drinking water supply service (JWWA Q100) (JWWA)”, and then consider a phased approach for recovering costs based on the actual situation, such as the local policies and economic conditions.例文帳に追加

まずは、「水道事業ガイドラインJWWAQ100（日本水道協会）」等を参考に統一的な視点で正確な財務の状況を把握した上で、現地の方針や経済状況等の実情に基づいた段階的な費用回収方法を検討し支援していくことが重要と考えられる。 - 厚生労働省

An electromagnetic wave with band width of 50GHz-1000GHz is applied to a plastic 13 whose water-containing state is clear by an oscillation device 11, residual electromagnetic wave which is not absorbed by the plastic 13 is received and measured by a receiver 12 to previously acquire a first measurement value.例文帳に追加

含水状態が明確なプラスチック１３に対して発振装置１１から５０ＧＨｚ〜１０００ＧＨｚの帯域の電磁波を照射し、前記プラスチック１３に吸収されなかった残余の前記電磁波を受信機１２によって受信し測定して前もって第１の測定値を取得する。 - 特許庁

This manufacturing method for a low dielectric constant mesoporous thin film comprises the first stage to prepare coating liquid by mixing the cyclosiloxane monomer, organic solvent, acid or base, and water, and second stage to obtain the mesoporous thin film by applying the coating liquid obtained in the preceding stage to a substrate and, after that, thermoharden the liquid.例文帳に追加

環状シロキサン系モノマー、有機溶媒、酸または塩基、および水を混合してコーティング液を準備する第１段階と、前段階で得たコーティング液を基板上に塗布した後、熱硬化させてメソポーラス薄膜を得る第２段階とを含む、低誘電性メソポーラス薄膜の製造方法。 - 特許庁

Fins 3 bonded with a channel 4 for passing a fluid to be heated, i.e., water, are disposed in a combustion chamber 2 being supplied with a mixture gas of fuel gas and air along with a first planar catalyst 5 disposed in the vicinity of the fins 3 substantially in parallel therewith while spaced apart therefrom.例文帳に追加

燃料ガスと空気との混合気が供給される燃焼室２内に、被加熱流体である水を流す被加熱流体流路４を接合したフィン３と、フィン３の近傍にフィン３と間隙を設けて実質上平行に位置する板状の第１触媒体５を設置している。 - 特許庁

After the first setting time is elapsed from the starting of the compressor 7, when the detected temperature by the water temperature detection means 25 is not increased to the set temperature, the compressor 7 is judged to be broken down, the clutch 8 is cut off, and that is displayed on a display means 27.例文帳に追加

コンプレッサ７の始動から第１設定時間経過後、前記水温検出手段２５の検出温度が設定温度まで上昇しない場合、コンプレッサ７が故障していると判断し、前記クラッチ８を遮断すると共に、その旨を表示手段２７に表示させる。 - 特許庁

Safety glass W sent out to a mesh material 36 of a first feed passage 31 from a water tank 20 is gradually moved to a downstream side by vibration and glass pieces remaining on the undersurface of the intermediate film P are shaken off downwardly to be recovered in a box 37 through a guide 38.例文帳に追加

水槽２０から第１の搬送路３１のメッシュ材３６上に送り出された合せガラスＷは振動により徐々に下流側に移動するとともに、中間膜Ｐの下面に残っているガラス片は下方に振い落され、ガイド３８を介してボックス３７内に回収される。 - 特許庁

After boring a straight boring hole 5a radially from the peripheral wall 2a of the first preceding tunnel 2 toward the ground G, high pressure dehydration injection of a chemical solution into the ground G is carried out from the straight boring hole 5a to form a hardly water permeable area 5 surrounding the excavated area of the large cross section tunnel 1.例文帳に追加

次いで、第一先行トンネル２の周壁２ａから地盤Ｇに向けて放射状に直線ボーリング孔５ａを削孔した後、直線ボーリング孔５ａから薬液を地盤Ｇに高圧脱水注入して大断面トンネル１の掘削領域を囲繞する難透水域５を形成する。 - 特許庁

In the rain water storage infiltration tank constituted by such an impaction method, while the first and second groove sections 31 and 32 come into surface contact with the side wall front end sections 22B and 24B each other to pressure from the horizontal direction, the destruction strength is getting high against pressure from the horizontal direction.例文帳に追加

このように嵌入して構成される雨水貯留浸透槽では、横方向からの圧力に対して、第１、第２溝部３１，３２と側壁先端部２２Ｂ、２４Ｂとが面接触しながら支持することになるので、横方向からの圧力に対する破壊強度が高くなる。 - 特許庁

In the first process, a paste for an air electrode is produced by mixing a Pt-holding carbon catalyst, a Nafion (R) solution and a highly water-absorbable polymer, and after coating the paste for the air electrode on a conductive substrate, the paste is dried to form an air electrode reactive layer 13a.例文帳に追加

第１工程において、Ｐｔ担持カーボン触媒とナフィオン（登録商標）溶液と高吸水性ポリマーとを混合して空気極用ペーストを作製し、この空気極用ペーストを導電性のある基材に塗布した後、乾燥させて空気極反応層１３ａを形成する。 - 特許庁

Polishing is carried out using an aqueous composition useful for CMP of a semiconductor wafer containing a metal and comprising an oxidizing agent, a nonferrous inhibitor, a nonferrous complexing agent, modified cellulose, 0.001-10 wt% of copolymer blend of first copolymer and second copolymer, and the remainder of water.例文帳に追加

金属を含有する半導体ウェーハのＣＭＰに有用な水性組成物であって、酸化剤、非鉄金属のインヒビター、非鉄金属の錯化剤、改質セルロース、第一のコポリマーと第二のコポリマーとのコポリマーブレンド０．００１〜１０重量％及び残余としての水を含む組成物を使って研磨する。 - 特許庁

Since a compressor 21 is switched from a continuous operation to an on/off operation, when the generation of drainage is increased, and the drainage in a drain pan 31 reaches a first water level or higher, a cooling capacity is suppressed in comparison with that in the continuous operation, and the generation of the drainage can be reduced by just that much.例文帳に追加

ドレン水の発生量が多くなり、ドレンパン３１のドレン水が第１の水位以上になると、圧縮機２１が連続運転からオン／オフ運転に切換えられることから、連続運転よりも冷却能力が抑制され、その分だけドレン水の発生量が低減する。 - 特許庁

This fishing article is characterized in that the fishing article is equipped with first and second members 40 and 42 to be mutually combined, these members 40 and 42 are stuck fast to each other to form adhesion faces 40b and 42b which are provided with water-repellent layers 50 and 52.例文帳に追加

本発明の釣り用品は、互いに組み合わされる第１および第２の部材４０，４２を備え、これらの部材４０，４２同士が互いに密着することによって形成される密着面４０ｂ，４２ｂに撥水層５０，５２が形成されていることを特徴とする。 - 特許庁

In the fuel cell system 10, either one of a first mode driving the cooling fan 48 based on the liquid amount in the water tank 44 and a second mode not driving the cooling fan 48 is selected according to the temperature detected by temperature sensors 66, 68, and 70.例文帳に追加

燃料電池システム１０では、水タンク４４内の液量に基づいて冷却ファン４８を駆動させる第１モードおよび冷却ファン４８を駆動しない第２モードのいずれか一方が、温度センサ６６，６８および７０によって検出した温度に応じて選択される。 - 特許庁

The method of manufacturing the granular compound fertilizer includes a first step for manufacturing the mixture of the incineration ash of the chicken droppings with palm coconut incineration ash, a second step for adding water to the mixture to granulate the mixture and a third step for drying the granulated mixture.例文帳に追加

鶏ふん燃焼灰と、パームやし燃焼灰との混合物を製造する第１の工程と、前記混合物に水を加えて粒状に造粒化する第２の工程と、粒状にされた前記混合物を乾燥させる第３の工程と、を備えてなる粒状複合肥料の製造方法。 - 特許庁

The manufacturing method for the inkjet recording medium includes; a step in which a first liquid containing vapor phase process silica, a water-soluble resin and a crosslinking agent is applied on a supporting body; and a step in which a second liquid containing an amphoteric surfactant having an alkyl group originated from coconut oil is imparted on the supporting body.例文帳に追加

気相法シリカと水溶性樹脂と架橋剤とを含む第１液を支持体上に塗布する工程と、ヤシ油に由来するアルキル基を有する両性界面活性剤を含む第２液を支持体上に付与する工程と、を有するインクジェット記録媒体の製造方法。 - 特許庁

The treated water from which the oil content is coarsely separated is further treated by getting fine oil content removed by an exchangeable cartridge 3A for oil adsorption in a first tank 3, and ultrafine oil particles removed by a fine mesh filter A of 0.1-5 microns in a second tank 4.例文帳に追加

このようにして油分を粗分離された被処理水は、さらに第１タンク３における交換可能の油分吸着用カートリッジ３Ａで微細の油分を除去され、ついで第２タンク４における微小メッシュ（０.１〜５ミクロン）のフィルターＡにより超微細の油粒の除去を施される。 - 特許庁

Since a water shielding function and an explosion suppressing function are divided by using the first sheet body 21 and the second sheet body 22, an efficient installation range of each sheet body can be achieved compared to a storage warehouse using one sheet body in which these functions are integrated, so as to enable efficient arrangement.例文帳に追加

このように、第１シート体２１と第２シート体２２とが遮水機能と爆発抑制機能とを分担しているため、これらの機能が一体化したシート体を１枚用いる貯蔵倉庫に比べて、各々が無駄の無い設置範囲となり、効率的な配置が可能となる。 - 特許庁

The guiding means guides flow of water moving along an outer wall from the longitudinal joint part on an upper end face of at least one of the first outer wall material 101 and the second outer wall material 102, to the outdoor side or to the indoor side at a position overlapping with the butt strap material.例文帳に追加

誘導手段が、第一の外壁材１０１と第二の外壁材１０２のうち少なくとも一方の上端面上を前記縦目地部から外壁に沿って移動する水の流れを、屋外側或いは目板材と重なる位置において屋内側へと誘導する。 - 特許庁

A computing means 7 receiving a stop command signal S1 stops a water adding device 13 and computes engine output referring to the data of the first storage means on the basis of output torque, fuel flow, air charging pressure and engine speed detected in subsequent operation supplied with only fuel oil.例文帳に追加

停止指令信号S_1を受けた算出手段7により、加水装置13を停止させ、かつその後の燃料油のみの供給による運転で検出される軸トルク,燃料流量,給気圧力および機関回転数に基づき、第１記憶手段のデータを参照して機関出力を算出する。 - 特許庁

The ultrasonic decomposition apparatus 5 is provided with: a decomposition tank 51 in which VOC-containing washing water W1 is put; a first ultrasonic vibrator 52 arranged on the outside of the bottom surface of the decomposition tank 51; and a second ultrasonic vibrator 53 arranged on the outside of the side face of the decomposition tank 51.例文帳に追加

超音波分解装置５は、ＶＯＣを含む洗浄水Ｗ１を入れる分解槽５１と、その分解槽５１の底面外側に設けられる第１超音波振動子５２と、その分解槽５１の側面外側に設けられる第２超音波振動子５３とを備える。 - 特許庁

The first hydrolyzing device 110 is equipped with a raw material vessel 10 into which the biomass is inserted, a saccharification vessel 20 for carrying out the hydrolyzing (saccharifying) treatment, a receiver 30 for collecting a water-soluble component after the hydrolysis, and a solid-liquid separation vessel 40 for collecting a residue after the hydrolysis.例文帳に追加

第一の加水分解装置１１０は、バイオマスが投入される原料槽１０と、加水分解（糖化）処理を行う糖化槽２０と、加水分解後の水可溶分を回収する受器３０と、加水分解後の残渣を回収する固液分離槽４０と、を備えている。 - 特許庁

Furthermore, an injection machine 15 arranged at the tip end part of the second pipe 12 for injecting the cooling water for cooling the working oil toward the neighborhoods 11a, 11b of the connecting part with the open/close driving parts 8a, 8b of the first pipe 10 and/or the open/close driving parts 8a, 8b.例文帳に追加

第２の管１２の先端部に設けられた、作動油を冷却した冷却水を、第１の管１０の開閉駆動部８ａ、８ｂとの接続部の近傍１１ａ 、１１ｂ 及び／又は開閉駆動部８ａ、８ｂへ向けて噴射するための噴射機構１５とを有する。 - 特許庁

A water storage tank of the present invention comprises: a tank main body 2 having a cylinder section 3 with an approximate shape of a cylinder, and a first panel board section 4 as well as a second panel section 5 to seal both ends of the cylinder section; and an inflow pipe 6 as well as an outflow pipe 7 which are attached to the tank main body 2.例文帳に追加

本発明の貯水槽１は、略円筒状の筒状部３並びに筒状部の両端を封止する第１の鏡板部４及び第２の鏡板部５からなるタンク本体２と、タンク本体２に装着された流入管６および流出管７とを備えている。 - 特許庁

By the ion exchange or the like of the H-type cation exchange resin, because an acidic atmosphere in which the hexavalent chromium is easily reduced to trivalent chromium is established in the first cartridge 14, the water to be treated has an acidic pH, the hexavalent chromium is easily reduced to trivalent chromium by the reduction action of the reducing agent.例文帳に追加

第１カートリッジ１４では、Ｈ形陽イオン交換樹脂によるイオン交換等によって、６価クロムが３価クロムに還元され易い酸性雰囲気となっているため、被処理水は酸性ｐＨとなり、還元剤の還元作用によって６価クロムが３価クロムに還元される。 - 特許庁

First, looking at responses for "level of importance," many affiliates responded that infrastructural elements such as electricity, water and sewerage, telecommunication (telephone, Internet), and roads and ports are important to the current investment climate. This is followed by labor costs and labor force quality, in that order.例文帳に追加

まず、現在の投資環境として何が重要であるかという「重要度」についての回答を見ると、電力・上下水道、通信（電話・インターネット）、道路・港湾等のインフラ整備に対し「重要」とする回答が多く、次いで労働力コスト、労働力の質の順に高くなっている。 - 経済産業省

This treatment method of silicon wafers includes a polishing process 12 for polishing the surface of a wafer where chemical etching treatment 11 is performed by polishing liquid containing a polishing particle, a first washing process 17 for washing the surface of the wafer by first washing liquid containing hydrogen peroxide and ammonium hydroxide, and a second washing process 18 for washing the surface of the wafer by second washing liquid containing the hydrogen peroxide and diluted hydrochloric water acid.例文帳に追加

研磨粒子を含む研磨液を用いて化学エッチング処理１１を施したウェーハの表面を研磨する研磨工程１２と、ウェーハの表面を過酸化水素と水酸化アンモニウムを含む第１洗浄液により洗浄する第１洗浄工程１７と、ウェーハの表面を過酸化水素と希塩酸を含む第２洗浄液により洗浄する第２洗浄工程１８とを含むシリコンウェーハの処理方法である。 - 特許庁