「High-Resolution」に関連した英語例文の一覧と使い方(116ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide a photosensitive siloxane composition which has such properties as high heat resistance, high transparency and a low dielectric constant, and which is for use in formation of a planarizing film for a TFT substrate or an interlayer insulation film having a pattern of good resolution or a core or cladding material of an optical waveguide.例文帳に追加

高耐熱性、高透明性、低誘電率性の特性を併せ持ち、かつ良好な解像度のパターンを有する、ＴＦＴ基板用平坦化膜、層間絶縁膜、あるいは光導波路のコアやクラッド材の形成に用いられる感光性シロキサン組成物を提供する - 特許庁

To provide a medium to be recorded having a high image density of a printed product without adverse influence of an ink to the hue of a dye, an image having a clear color tone and high resolution and excellent ink absorbability and image preservability by improving a light resistance and discoloring and fading resistances of an ink jet image.例文帳に追加

インクジェット画像の耐光性、耐変褪色性を改善でき、インクの染料の色相に悪影響がなく、印字物が高い画像濃度を有し、色調が鮮明で解像度の高い画像が得られ、インク吸収性や画像保存性にも優れる被記録媒体の提供。 - 特許庁

To provide a metal mask and a metal mask printing plate, which can prevent the occurrence of defects such as bleeding, missing, omission and crack in an printed image, and a malfunction such as a deterioration in the precision of an image transfer position, while making a cost low and having high durability, when a high-resolution image is to be obtained.例文帳に追加

高精細な画像を得ようとする場合に、低コストでかつ高い耐久性でありながら、印刷画像の滲み、欠け、抜け、割れ等の欠陥の発生や、画像の転写位置の精度低下といった不具合を防止し得るメタルマスクおよびメタルマスク印刷版を提供すること。 - 特許庁

To provide an image forming material, by which a highly sensitive image having high resolution and high sharpness can be obtained through exposure to light or heating without employing a complicated process and a valuable device and, at the same time, on which a direct image formation can be possible based on digital data with infrared laser or the like, and an image forming method.例文帳に追加

複雑な工程や高価な装置を必要とせず、露光或いは加熱により高感度で、高解像度で鮮鋭度の高い画像が得られ、且つ、赤外線レーザ等によりデジタルデータに基づき直接画像形成が可能な画像形成材料及び画像形成方法を提供する。 - 特許庁

To provide an active pixel array of a CMOS image sensor in which a high resolution, a high signal-to-noise ratio (S/N) and an improved dynamic range can be expected by simultaneously detecting two light signals of different wavelengths with one pixel and ensuring a wide light receiving area.例文帳に追加

一つの画素で波長の異なる二つの光信号を同時に検出するとともに、光受光領域を広く確保するようになり、高解像度、高い信号対雑音比（Ｓ／Ｎ）及び向上したダイナミックレンジを期待できるＣＭＯＳイメージセンサの能動ピクセルアレイを提供する。 - 特許庁

To provide a photoreceptor suitable for exposure to light at a short wavelength of a blue semiconductor laser, having high resolution and excellent mechanical and electric durability even in long-term repetitive use, and having high durability preventing generation of abnormal images; and to provide an image forming apparatus equipped with the photoreceptor.例文帳に追加

青色半導体レーザーの短波長の光による露光に適し、高解像度で、長期間の繰り返し使用に対しても、機械的／電気的耐久性に優れ、異常画像の発生がない高耐久性の感光体およびそれを備えた画像形成装置を提供することを課題とする。 - 特許庁

To provide a scanning image display device using a laser beam which eliminates troubles caused when displaying an image using a conventional Gaussian beam, enables clear image display with a high resolution feeling, and enables high-quality image display.例文帳に追加

レーザー光を用いた走査型の画像表示装置において、従来のガウスビームを用いて画像表示を行う際に生じる不具合を解消し、鮮明で高解像度感が得られる画像表示を可能として、高品質な画像表示が可能な画像表示装置を提供することを目的とする。 - 特許庁

To provide a novel radiation sensitive resin composition having high transparency to radiation, excellent basic physical properties for a resist pattern such as in sensitivity, resolution, and pattern shapes, without causing development defects during fine machining, to manufacture semiconductor elements at a high yield.例文帳に追加

放射線に対する透明性が高く、しかも感度、解像度、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れるのみならず、微細加工時に現像欠陥を生じることがなく、半導体素子を高い歩留りで製造することができる新規な感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁

The cameras, in each case, are high speed video cameras having high resolution adapted to capture a great number of images per second which all are stored in the storage assembly and then can be retrieved from the storage assembly in arbitrary sequence for creating movie sequences.例文帳に追加

各々のカメラは、１秒当たり非常に多数の画像を捕捉すべく構成した高解像度を有する高速度ビデオカメラであり、これらの画像はすべて前記記憶アセンブリに記憶され、そして前記記憶アセンブリから任意のシーケンスの形で取り出して映画シーケンスを作成することができる。 - 特許庁

To provide toner for electrostatic latent image development, which shows satisfactory fluidity and blocking resistance and extremely high stability with time in a toner container, and which can be smoothly supplied to an image forming apparatus, while it has high resolution and ultra-low temperature fixing property.例文帳に追加

高解像力で超低温定着性を有する静電潜像現像用トナーでありながら、流動性や耐ブロッキング性も良好でトナー容器中での経時安定性も極めて良く、画像形成装置へのトナー供給も円滑に行える静電潜像現像用トナーを提供することである。 - 特許庁

The photosensitive resin composition containing a polyimide polymer derived from a 3,4-dicarboxy-1,2,3,4-tetrahydro-6-t-butyl-1-naphthalene succinic dianhydride has high resolution, high sensitivity, and the excellent film characteristics and mechanical properties as the characteristics required for a semiconductor buffer coating.例文帳に追加

３,４-ジカルボキシ-１,２,３,４-テトラヒドロ-６-ｔ-ブチル-１-ナフタレンコハク酸二無水物由来のポリイミド系重合体を含む感光性樹脂組成物は、半導体バッファーコーティング(ｂｕｆｆｅｒ ｃｏａｔｉｎｇ)の要求特性である高解像度、高感度、優れたフィルム特性および機械的物性を有する。 - 特許庁

To provide a pattern forming method by which a pattern can be formed with high definition by homogenizing influences of fluctuation in luminous energy of exposure light due to pattern distortion so as to decrease variance in resolution or density irregularity of a pattern, and a desired pattern having different thicknesses can be formed with high definition.例文帳に追加

パターン歪みによる露光量のばらつきの影響を均し、パターンの解像度のばらつきや濃度のむらを軽減することにより、前記パターンを高精細に形成可能であり、かつ、厚みが異なる所望のパターンを高精細に形成可能なパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for forming an electrically conductive pattern where an electrically conductive pattern with high resolution and high precision can be easily and efficiently obtained on the surface of a solid by a simple system using a graft polymer pattern with a compound exhibiting strong oil repellency/water repellency such as a fluorine compound.例文帳に追加

固体表面に、フッ素化合物などの強撥油・撥水性を示す化合物を用いたグラフトポリマーパターンを用いて、簡便な方式により、容易に、かつ、効率よく高解像度で、高精度の導電性パターンを得ることができる導電性パターン形成方法を提供する。 - 特許庁

To provide a colorant-containing curable composition having high sensitivity, wide development latitude, in particular excellent lightfastness and heat resistance as well as superior pattern forming property (developability) and excellent solvent resistance without elution of dye after cured, and capable of forming a pattern image of high resolution.例文帳に追加

高感度かつ広い現像ラチチュードを有すると共に、特に耐光性および耐熱性並びにパターン形成性（現像性）に優れ、かつ硬化後の染料の溶出がなく、耐溶剤性に優れ、解像度の高いパターン像を形成し得る着色剤含有硬化性組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a positive resist composition satisfying requirements for high sensitivity, high resolution, a good pattern profile, good line edge roughness and reduction in outgassing, in an ultrafine region, particularly, in electron beam, X-ray or EUV lithography, and to provide a method for forming a pattern by using the composition.例文帳に追加

超微細領域での、特に、電子線、Ｘ線またはＥＵＶ光リソグラフィーにおける、高感度、高解像性、良好なパターン形状、良好なラインエッジラフネス、およびアウトガス低減を同時に満足するポジ型レジスト組成物、それを用いたパターン形成方法を提供すること。 - 特許庁

To provide an information recorder/reproducer and an information recording/reproducing method capable of outputting a high quality video image from an output terminal even when a high resolution signal incapable of processing is inputted, and capable of outputting a voice while sustaining synchronism with the output video image.例文帳に追加

処理不可能な高解像度信号を入力した場合でも、出力端子から同品位の映像出力を行え、更に出力映像に対して同期を保った音声を出力可能な情報記録再生装置及び情報記録再生方法を提供することにある。 - 特許庁

To provide a reversible image display method and device which can reduce paper, ink, etc., which are used for the conventional image display since it can perform repeatingly the image display and image erasure, are superior in contrast, and can display an image with high quality stably over a long-term with high resolution.例文帳に追加

画像表示、画像消去を繰り返し行うことができるので、従来の画像表示に使われた紙やインク等を低減することができ、コントラストに優れ、高解像度で高品質な画像を長期にわたり安定的に表示できる可逆性画像表示方法及び装置の提供。 - 特許庁

Since the signal is thinned out, after the envelope processing has been performed to reduce the number of points of FFT calculation for envelope waveform analysis, anomaly diagnosis can be executed with high accuracy and high efficiency, while reconciling the enhancement of frequency resolution with the enhancement of FFT calculation efficiency.例文帳に追加

エンベロープ処理の後で信号の間引き処理を行なって、エンベロープ波形解析のためのＦＦＴ演算のポイント数を少なくするので、周波数分解能の向上とＦＦＴ演算の効率向上とを両立させて、異常診断を高精度に且つ高効率に実施できる。 - 特許庁

To obtain positive type and negative type radiation sensitive resin compositions each sensitive to not only short-wavelength radiation such as far UV but also ordinary UV, having high sensitivity and high resolution, capable of forming a rectangular resist pattern and excellent in shelf stability even in the presence of a basic compound.例文帳に追加

遠紫外線の如き短波長放射線のみならず、通常の紫外線にも感応し、高感度、高解像度で、矩形のレジストパターンを形成することができ、かつ塩基性化合物の存在下でも保存安定性に優れたポジ型およびネガ型の感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a magnetic one-component toner excellent in image density and resolution, capable of obtaining sufficient image density even in an environment at high temperature and high humidity as well as at low temperature and low humidity, and less liable to cause image density unevenness of a ripple pattern due to uneven transport and charge on a sleeve in a recycled cartridge.例文帳に追加

画像濃度、解像度に優れ、低温低湿下のみならず、高温高湿下においても十分な画像濃度を得ることができると共に、リサイクルカートリッジにおいて、スリーブ上における搬送帯電ムラによるさざ波模様の画像濃度ムラが生じにくい磁性一成分トナーを提供する。 - 特許庁

To provide a new radiation-sensitive acid generator having excellent storage stability, high transparency for radiation and high sensitivity, and to provide a positive radiation-sensitive resin composition containing the above radiation-sensitive acid generator and being excellent in the storage stability, sensitivity, resolution, pattern profile and so on.例文帳に追加

保存安定性に優れ、放射線に対する透明性が高く、かつ高感度の新規感放射線性酸発生剤、並びに該感放射線性酸発生剤を含有し、保存安定性、感度、解像度、パターン形状等に優れたポジ型感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a photo-polymerizable resin composition which has especially excellent high resolution and high adhesion as a resist material of an etching resist, a plating resist and so on in fields such as manufacturing of a printed wire board, a lead frame, and a semiconductor package, and metal precise working, and further which also has an excellent resist peeling property.例文帳に追加

印刷配線板、リードフレーム、半導体パッケージ等の製造、金属の精密加工等の分野において、エッチングレジスト、めっきレジスト等のレジスト材料として特に優れた高解像性と高密着性を有し、更にレジスト剥離性にも優れた光重合性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a liquid crystal display preventing a rough surface (domain) of image display from being generated even when external pressure is applied locally onto a display panel, eliminating quickly the domain, securing a high numerical aperture even in the display panel of high resolution, and displaying a bright and beautiful image.例文帳に追加

表示パネルに局所的な外部圧力が加えられても画像表示のざらつき（ドメイン）が発生し難く、発生したドメインも速やかに解消し、高解像度の表示パネルにおいても高開口率を確保して、明るく綺麗な画像表示を実現し得る液晶表示装置を提供する。 - 特許庁

To provide an actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition capable of forming a pattern which simultaneously satisfies high sensitivity, high resolution, satisfactory exposure latitude, good line width roughness and post-exposure delay stability (PED), and to provide a pattern forming method using the composition.例文帳に追加

高感度、高解像性、十分な露光余裕度、良好なラインウィズスラフネス、真空引き置き安定性（ＰＥＤ）を同時に満足するパターンを形成することが可能な感活性光線または感放射線樹脂組成物及び該組成物を用いたパターン形成方法の提供。 - 特許庁

To provide a positive resist material, in particular a chemically amplified positive resist material, which surpasses a conventional positive resist material, has high sensitivity, high resolution, exposure margin and process adaptability, ensures a good pattern shape after exposure and particularly small line edge roughness, and exhibits superior etching resistance.例文帳に追加

従来のポジ型レジスト材料を上回る高感度及び高解像度、露光余裕度、プロセス適応性を有し、露光後のパターン形状が良好であり、特にラインエッジラフネスが小さく、さらに優れたエッチング耐性を示すポジ型レジスト材料、特に化学増幅ポジ型レジスト材料を提供する。 - 特許庁

To provide a monolayer type electrophotographic photoreceptor which is suitable for blue color exposure (in particular, exposure with blue color semiconductor laser), is excellent in mechanical and electrical endurance for repeated use for a long time in high resolution, does not cause an image degradation and has high endurance, and to provide an electrophotographic apparatus with the monolayer type electrophotographic photoreceptor.例文帳に追加

青色露光(特に、青色半導体レーザによる露光)に適し、高解像度で、長期間の繰り返し使用に対しても、機械的/電気的耐久性に優れ、異常画像の発生がない高耐久性の単層型感光体及びそれを用いた電子写真装置を実現する。 - 特許庁

The method of optical resolution of a (1S*,4R*)-4-amino-2- cyclopentene-1-carboxylic ester is characterized by reacting a (1S*,4R*)-4- amino-2-cyclopentene-1-carboxylic ester with a 2-hydroxycarboxylic acid of high optical activity or a sulfonic acid of high optical activity in the presence of a solvent.例文帳に追加

（１Ｓ^＊ ，４Ｒ^＊ ）−４−アミノ−２−シクロペンテン−１−カルボン酸エステル類を、溶媒の存在下に光学活性な２−ヒドロキシカルボン酸類または光学活性なスルホン酸と反応させることを特徴とする（１Ｓ^＊ ，４Ｒ^＊）−４−アミノ−２−シクロペンテン−１−カルボン酸エステル類の光学分割法。 - 特許庁

To obtain a method and a device for picture processing which scarcely degrade a picture quality of an output picture after composition even when a character information plane is subjected to resolution conversion processing or compression processing and can transmit and store the pictures with the high picture quality and a high compression rate.例文帳に追加

文字情報プレーンに解像度変換処理や圧縮処理を施しても、合成後の出力画像の画質劣化がほとんどなく、より高画質かつ高圧縮率で画像を送信あるいは蓄積可能な画像処理装置および画像処理方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method of measuring a phonon wave number of a 3C-SiC layer on an Si substrate, in which a phonon spectrum of the 3C-SiC layer of a wafer having the 3C-Sic layer formed on the Si substrate can be easily and nondestructively measured with high accuracy and high resolution.例文帳に追加

Ｓｉ基板上に３Ｃ−ＳｉＣ層が形成されたウェーハについて、前記３Ｃ−ＳｉＣ層のフォノンスペクトルを非破壊で、かつ、高確度・高分解能で、簡便に測定することができるＳｉ基板上の３Ｃ−ＳｉＣ層のフォノン波数の測定方法を提供する。 - 特許庁

To provide a photosensitive resin composition that is developable with an aqueous alkaline solution, has high sensitivity and high resolution, is tackfree, has good heat resistance, etching resistance and storing stability, and is easy to be removed when used as an etching resist, and to provide an alkaline soluble resin as a constituent thereof.例文帳に追加

アルカリ水溶液を用いて現像可能な、高感度、高解像度を有し、さらに、タックフリーで、耐熱性、耐エッチング性、保存安定性も良好で、しかもエッチングレジストとして用いた場合に容易に除去できる感光性樹脂組成物及びその構成成分であるアルカリ可溶性樹脂を提供する。 - 特許庁

To provide a photoreceptor, free of the occurrence of an abnormal image with dark and light stripes due to multiple reflections in the photoreceptor by writing light of coherent light, and due to the cycle of the writing light and the cycle of the unevenness of a substrate, and to provide an image forming apparatus with which high-resolution and high quality images can be formed.例文帳に追加

可干渉光の書き込み光による感光体中での多重反射及び、書き込み光の周期と基体の凹凸の周期に起因する濃淡縞の異常画像のない感光体及び高解像度で高品質な画像形成が可能な画像形成装置を提供する。 - 特許庁

To provide an electrostatic image developing toner having low fixing temperature which can respond for the requirements of energy saving, fast printing and copying and color printing or the like, which has excellent storage property and fluidity and high offset temperature and which can form an image of good picture quality with high resolution.例文帳に追加

定着温度が低く、省エネルギー化、印字及び複写の高速化やカラー化などに対応することができ、しかもなお、保存性と流動性に優れ、オフセット温度が高く、高解像度で良好な画質を形成することが可能な静電荷像現像用トナーを提供すること。 - 特許庁

To provide a photosensitive polyimide precursor composition, which shows high sensitivity and high resolution and a part of which is developable excellently with an alkali solution, a pattern forming method capable of forming a pattern showing excellent heat resistance and chemical resistant, and a highly reliable electronic component.例文帳に追加

高感度及び高解像度を示す感光性ポリイミド前駆体樹脂組成物、またその一部はアルカリ水溶液で良好な現像が実現でき、優れた耐熱性、耐薬品性を示すパターンが製造可能なパターンの製造法及び信頼性に優れた電子部品を提供する。 - 特許庁

To provide a pattern forming technique capable of efficiently forming a high resolution pattern for use in microfabrication using a radiation sensitive composition as a photoresist which can be developed with an aqueous alkali solution, has high sensitivity characteristics and is reversed from negative type to positive type in accordance with dose.例文帳に追加

アルカリ水溶液によって現像可能であり、高感度な特性を有し、照射量によってネガ型からポジ型に反転する感放射線組成物をホトレジストに用いて、微細加工に用いる高解像度なパターンを効率よく形成することのできるパターン形成技術を提供する。 - 特許庁

To provide a polymeric compound as a resist material, especially a chemically amplified positive-type resist material, having high resolution tendency greater than that of conventional positive-type resist materials, good in the in-plane size uniformity on a substrate(e.g. mask blanks) of a resist pattern after developed, and having high etching resistance as well.例文帳に追加

従来のポジ型レジスト材料を上回る高解像度性を有し、現像後のレジストパターンの基板（たとえばマスクブランクス）上面内サイズ均一性が良好であり、さらに高いエッチング耐性を有する高分子化合物、レジスト材料、特に化学増幅ポジ型レジスト材料を提供する。 - 特許庁

To provide a wafer scanning device in which ion injection time of a wafer is reduced to improve productivity and uniformity of ion injection is improved, by not only suppressing unevenness of ion injection due to diffusion effect of the ion beams but also enabling high speed of scanning speed and high resolution of the wafer.例文帳に追加

イオンビームの拡散影響によるイオン注入のむらを抑制するだけでなく、ウエハのスキャン速度を高速化及び高分解能化可能にして、ウエハのイオン注入時間を短縮して生産性を向上させるとともに、イオン注入の均一性を向上させる。 - 特許庁

To provide a radiation sensitive resin composition prevented from occurrence of change of the line width of a resist pattern by PED and that of T forms and that of stationary waves even on a substrate high in reflectance and high in resolution and useful as a chemically sensitizable resist.例文帳に追加

ＰＥＤによりレジストパターンが線幅の変化を生じたりＴ型形状になったりすることがなく、反射率の高い基板上でも定在波を発生することがなく、解像性能に優れた化学増幅型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a surface coating agent for an ink-jet recording medium that is excellent in dispersion-stability and avails the recording medium with which a recorded image of high gloss and high resolution almost equal to a color photograph can be obtained in the case of coating the surface of the recording medium at the ink-jet recording method.例文帳に追加

分散安定性に優れ、インクジェット記録方式における記録媒体の表面に塗工した場合に、高光沢でカラー写真に匹敵する程度の高解像度の記録画像が得られる記録媒体を与えるインクジェット記録媒体用表面塗工剤を提供すること。 - 特許庁

To provide a transparent electrode substrate excellent in conductivity, capable of maintaining high levels of adhesion, storage stability and conductivity, and also excellent in heat resistance and moist heat resistance, while a pattern with high resolution can be formed in an electrode obtained by performing patterning and a pattern shape is also excellent.例文帳に追加

導電性に優れ、かつ、密着性、保存安定性、導通率を高いレベルで維持することができ、耐熱性、耐湿熱性も良好であり、パターニングを行って得られた電極は、解像度の高いパターンが形成でき、パターン形状も良好である、透明電極基板を提供すること。 - 特許庁

To provide a reversible image display method capable of repetitively displaying and erasing images and therefore capable of decreasing the paper, ink etc., used for the conventional image display and stably displaying the images having an excellent contrast, high resolution and high quality for a long period of time.例文帳に追加

画像表示、画像消去を繰り返し行うことができるので、従来の画像表示に使われた紙やインク等を低減することができ、コントラストに優れ、高解像度で高品質な画像を長期にわたり安定的に表示できる可逆性画像表示方法の提供。 - 特許庁

To obtain a radiation-sensitive resin composition which is useful as a chemical amplification type resist sensitive to far ultra-violet rays, has improved dry etching resistance, high resolution and high radiation transmissivity, to provide a copolymer useful as its component and a polymer mixture.例文帳に追加

遠紫外線に感応する化学増幅型レジストとして有用で、良好なドライエッチング耐性有するとともに、高解像度で放射線透過率が高い感放射性樹脂組成物、ならびにその成分として有用な共重合体及び重合体混合物を提供する。 - 特許庁

To inexpensively provide an optical position detector for an image blur correcting device capable of accurately detecting the position of a shake correcting optical system at a high SN ratio with high resolution without being influenced by the individual difference of an optical sensor or temperature at which it is used without requiring time and labor for adjustment in each product.例文帳に追加

光学式センサの固体差や使用される温度の影響を受けることなく、高ＳＮ比、及び、高分解能で正確にブレ補正光学系の位置を検出することができるブレ補正装置の光学式位置検出装置を、製品個々で調整等の手間をかけずに、安価に提供する。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of a substrate for a photosensitive body free to cut and work with no chattering and less total deflection, the substrate for the photosensitive body having high dimensional precision and the photosensitive body most suitable for an electronic photographing device free to have high resolution and to output full colors without causing a picture image defect.例文帳に追加

所謂「ビビリ」の発生が無く、全振れの少ない切削加工が可能な感光体用基体の製造方法、及び高い寸法精度を有する感光体用基体、並びに画像欠陥の発生がなく、高解像度化、フルカラー出力可能な電子写真装置に好適な感光体の提供。 - 特許庁

To provide a resin for a resist usable in a photosensitive composition excellent in transparency to short wavelength light, having high dry etching resistance and capable of forming a resist pattern having good resolution and high adhesion by alkali development and a monomer for producing the resin.例文帳に追加

短波長光に対する透明性が優れるとともに高いドライエッチング耐性を備え、かつアルカリ現像で解像性の良好で密着性の高いレジストパターンを形成することができる感光性組成物に用いることができるレジスト用樹脂およびそれを製造するためのモノマーの提供。 - 特許庁

Vibration is reduced by contacting a sample holder supporting body 17 with moving back and forth by a sample holder support driving means strongly fixed to an objective lens 40 with a constant contact force to a sample holder 11, and a high resolution and a high working precision are enabled obtainable.例文帳に追加

対物レンズ４０に剛に固定された試料ホルダ支持体駆動手段により前後に移動させる試料ホルダ支持体１７を、試料ホルダ１１に一定の接触力にて接触させて振動を低減し、高い解像度あるいは高い加工精度が得られるようにする。 - 特許庁