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Pattern Accuracyの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1788件
To provide a chemically amplified positive radiation-sensitive resin composition that is superior in roughness, etching resistance, sensitivity and resolution, capable of stably forming a fine pattern with high accuracy, and suitable for use as a resin composition for EB or EUV, effectively sensitive to an electron beam or extreme-ultraviolet radiation.例文帳に追加
ラフネス、エッチング耐性、感度、解像度に優れ、微細パターンを高精度にかつ安定して形成することができ、電子線または極紫外線に有効に感応するEB、EUV用として好適な化学増幅型ポジ型の感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁
To enable accurate prediction of local flares by evaluating the local flare quantity with extremely high accuracy, even when mask patterns in a size equal to the exposure wavelength or smaller than that are mixed, and to easily and accurately correct the pattern dimension based on the prediction to realize a device with very high reliability.例文帳に追加
露光波長と同等もしくはそれ以下のマスクパターンが混在する場合でも、極めて高い精度でローカルフレア量を見積もり正確なローカルフレア予測を可能とし、これに基づいてパターン寸法を容易且つ正確に補正して、極めて信頼性の高いデバイスを実現する。 - 特許庁
This significantly reduces the reflection of the i-beam radiated at exposure on the substrate backside 10b, and hence an electrode pattern 20 having a high size accuracy is formed without forming an antireflective film on the substrate surface 10a at the exposure side of the substrate 10.例文帳に追加
それにより、露光時に照射されるi線の基板裏面10bにおける反射が有意に抑制されるため、基板10によって露光される側の基板面10aに反射防止膜を成膜することなく、高い寸法精度を有する電極パターン20を形成することができる。 - 特許庁
When it is determined that the vehicle 10 approaches a structure which can cause significant changes in brightness in an imaging region of the image sensor 300 such as a tunnel entrance and a tunnel exit, it is determined that pattern detection accuracy by the pattern detection part 130 is not sufficiently secured, and patterns corresponding to detected objects are not extracted as objects but ignored.例文帳に追加
一方で、車両10が、トンネルの出入り口等、画像センサ300の撮像領域に顕著な明るさの変化を生じさせる可能性のある構造物に接近中である旨が判別された場合には、パターン検出部130によるパターンの検出精度が十分に担保されないものと判断され、検出された対象物に対応するパターンは、対象物として抽出されることなく無視される。 - 特許庁
To provide a photomask plate having a pattern on which a foreign matter hardly remains on the photomask plate after cleaning the plate, and the photomask plate having improved pattern accuracy, and to provide a method for making a photomask plate by which the above photomask plate can be reliably made by a simple method, repeated cleaning steps for eliminating a foreign matter after cleaning can be reduced, and the cost can be reduced.例文帳に追加
洗浄後のフォトマスク版に異物が残留し難くい形状とされ、パターニング精度を向上させることのできるフォトマスク版と、簡単な方法で、しかも確実に前記フォトマスク版を作成することができ、洗浄後における異物除去のための再度の洗浄工程を削減して生産性を向上させることができ、しかも、コストの削減も可能とするフォトマスク版の作成方法を提供すること。 - 特許庁
To provide an appropriate material and a method of forming barrier rib for plasma display capable of sufficiently developing a pattern part having sufficient height and accuracy without breaking the pattern and capable of practically eliminating a non-pattern part perfectly and eliminating the residual insoluble material.例文帳に追加
パターン状に露光される感光性組成物層が隣接して設けられる無機粒子を含有する隔壁形成組成物を可撓性支持体上に担持する隔壁形成材料及びそれを用いた隔壁形成方法に関し、とりわけ現像された感光性組成物層に対応する該隔壁形成組成物の現像処理に際して、高さと精度が十分なパターンが崩れることなく、パターン部分は十分に現像され、非パターン部分は実質的に完全に除去されて残留不溶解物も除かれる効果的な、プラズマディスプレー用に好適な隔壁形成材料及び隔壁形成方法を提供すること。 - 特許庁
To obtain an inorganic particle-containing resin composition capable of forming an inorganic particle-containing resin layer having excellent flexibility and transferability, causing neither deformation nor peeling in pattern of sintered compact formed through an etching process and baking process, a transfer film having the inorganic particle-containing resin layer and to provide a method for producing a PDP capable of forming a pattern having a high dimensional accuracy, having excellent workability.例文帳に追加
可撓性、転写性に優れ、エッチング工程および焼成工程を経て形成される焼結体のパターンに変形やはがれを生じさせることのない無機粒子含有樹脂層を形成することのできる無機粒子含有樹脂組成物、当該無機粒子含有樹脂層を有する転写フィルムを提供すること、および寸法精度が高いパターンを形成でき、作業性に優れたPDPの製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing a printed board which can manufacture a circuit pattern with higher accuracy than that of a resist to be printed and formed by silk printing, or can use a high viscosity resist as the resist is printed on copper surface of the printed board by a gravure printing roll to be then etched or plated.例文帳に追加
グラビア印刷用ロールによりプリント基板の銅表面へレジストを印刷してその後、エッチングするか又はメッキするものであるので、シルク印刷によりレジストのパターンを印刷形成するよりも高精細な回路パターンを製作することができ、又、高粘度レジストを用いることができるプリント基板の製造方法。 - 特許庁
To provide a drawing method with higher accuracy by correcting, by an irradiation time, an influence on a pattern dimension due to beam leakage and a foot of a beam profile (including a foot of an energy accumulated in a resist) in relation to a drawing method of an electron beam drawing device and to the electron beam drawing device.例文帳に追加
本発明は電子ビーム描画装置の描画方法及び電子ビーム描画装置に関し、ビーム漏れとビームプロファイルのすそ野(レジスト中に蓄積するエネルギーのすそ野を含む)によるパターン寸法への影響を照射時間で補正することにより、より高精度の描画方法を提供することを目的としている。 - 特許庁
A circuit pattern sensitive to changes in the electrical resistance is used for misregistration displacement to estimate the displacement amount of registration of circuit patterns of a semiconductor device, from the tendency in the change of the resistance, and this is compared with the measured amount of the superposition measurement marks to investigate with high accuracy the amount of disagreement between both patterns.例文帳に追加
本発明は、合わせズレに対して電気抵抗の変化が敏感である回路パターンを用い、その抵抗の変化の傾向から半導体装置の回路パターンの合わせずれ量を求め、重ね合わせ測定マークの計測量と比較することにより両パターン間の不一致量を高精度に調べる方法である。 - 特許庁
To provide a radiation sensitive resin composition as a chemically amplifying resist which is sensitive to active radiation, for example, far UV rays represented by KrF excimer laser or ArF excimer laser and which can form a resist pattern with excellent uniformity in film thickness, excellent adhesion property with a substrate, accuracy, sensitivity, resolution and so on.例文帳に追加
活性放射線、例えばKrFエキシマレーザーあるいはArFエキシマレーザーに代表される遠紫外線に感応する化学増幅型レジストとして、膜厚均一性が優れ、しかも基板接着性、精度、感度、解像度等にも優れたレジストパターンを与える感放射線性樹脂組成物を提供すること。 - 特許庁
To provide a high frequency attenuator that can be manufactured by a designing method with extra capacity to manufacturing restriction in a process of manufacturing a resistive element or conductive pattern gap that is connected with high frequency transmission line without degrading accuracy in attenuation, and that furthermore attenuates high frequency energy by a minute amount.例文帳に追加
高周波伝送線路に接続された抵抗体すなわち導体パターンギャップ製作工程の製造限界に対して余裕を持つ設計手法により製作でき且つ減衰量の精度を劣化させずに製作可能であり、更に高周波エネルギを微小量だけ減衰させ得る高周波減衰器を提供する。 - 特許庁
To acquire an image information detecting device capable of detecting a pattern image with high accuracy by taking a condition of spherical aberration of an illumination optical system into account, thereby increasing a quantity of illumination light in the central portion of an illumination area and its vicinity and hence improving the S/N ratio of a detection signal.例文帳に追加
照明光学系の球面収差の状態を考慮することにより照明領域中心部及びその近傍の照明光量を大きくすることができ、検出信号のS/N比を向上させ位置検出用のパターン像を高精度に検出することができる画像情報検出装置を得ること。 - 特許庁
To provide a manufacturing method of a resin relief printing plate for forming a large size organic EL element using a relief printing method, in which splay developing method is used when patterning with a photolithographic method to obtain a printing plate with a high pattern accuracy and free from nonuniformity of development, and a relief printing plate obtained by the method.例文帳に追加
サイズが大型化した有機EL素子を凸版印刷法によって形成するための樹脂凸版を、フォトリソグラフィー法でパターニングする際に、スプレー式現像方法をもちいながら、パターン精度が高く、かつ現像ムラ等を無くした製版を行う方法とその方法で得られる印刷用凸版を提供する。 - 特許庁
To provide an optical waveguide structure and an electronic device which have a high degree of freedom for designing a pattern shape, which enable the formation of a core portion (optical path) having high dimensional accuracy by a simple method, and which include an optical waveguide having high optical coupling efficiency with light-emitting and light-receiving elements and is excellent in durability.例文帳に追加
パターン形状の設計の自由度が広く、寸法精度の高いコア部(光路)を簡単な方法で形成することができ、また、発光素子や受光素子との光結合効率および耐久性に優れる光導波路を備えた光導波路構造体および電子機器を提供すること。 - 特許庁
To provide a manufacturing method of a three-dimensional injection molding circuit including a step of performing secondary molding to the surface of a primary molded product other than that on which a circuit is to be formed by using a resin, and eluting the resin in the secondary molding whereby a desired conductor circuit pattern can be formed with high accuracy.例文帳に追加
一次成型品の、回路を形成すべき部分以外の表面に、樹脂により二次成型を施し、該二次成型した樹脂を溶出する工程を有する三次元射出成型回路部品の製造方法であって、所望の導体回路パターンを精度良く形成することが可能な方法を提供する。 - 特許庁
To provide a method for preparing a thin film forming composition which suppresses increase in molecular weight of an alkoxysilane condensation product during storage and substantially avoids increase in viscosity of the composition, therefore enables to form a thin film uniform in film thickness and having a fine pattern shape with high accuracy.例文帳に追加
貯蔵保管時にアルコキシシラン縮合物の分子量の増大が抑制されており、薄膜形成用組成物の粘度の上昇が生じ難く、従って、膜厚が均一であり、微細パターン形状を有する薄膜を高精度に形成することを可能とする薄膜形成用組成物の製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a printing method which can stably produce printed patterns good in pattern accuracy and results in method of manufacturing organic functional elements, by readily clarifying the relation between ink containing organic functional materials suitable for printing conditions and letterpress, when an organic functional element is made by letterpress method.例文帳に追加
凸版印刷法によって有機機能性素子を形成する際に、容易に印刷条件に適した有機機能性材料を含むインキと、印刷用凸版の関係を明らかにすることにより、安定してパターン精度の良い印刷パターンを形成できるような印刷方法、ひいては有機機能性素子の製造方法を提供する。 - 特許庁
With this constitution, a blast angle and a rotary angle can be respectively optimized independently, and the crystal azimuth 12 is accurately and easily adjusted, with respect to the respective directions of incident X rays 2A and diffracted X rays 3A and enables measurement of the X-ray diffraction pattern of the lattice surface 11 of the single-crystal substrate 10 with high accuracy.例文帳に追加
これにより、あおり角と回転角とをそれぞれ独立して最適化することができ、入射X線2Aおよび回折X線3Aの各方向に対して結晶方位12を正確かつ容易に調整し、単結晶基板10の格子面11におけるX線回折パターンを高精度に測定することができる。 - 特許庁
After performing positional detection at rough accuracy obtained from normalized correlation operation by using a compressed image, a cross spectrum between the frequency spectrum of image data on the position and the frequency spectrum of a reference pattern is calculated and threshold processing is applied to the cross spectrum data to remove signal noise and background noise and detect the position.例文帳に追加
圧縮した画像を利用し、正規化相関演算から得られる粗い精度での位置検出を行った後に、その位置での画像データの周波数スペクトルと基準パターンの周波数スペクトルとのクロススペクトルを算出し、クロススペクトルデータに対して閾値処理を行い、信号ノイズや背景ノイズを除去して位置検出を行う。 - 特許庁
To provide a method for determining a periodic unevenness correction pattern capable of correcting periodic unevenness of a rotary polygon mirror with high accuracy in each mode, when an apparatus for scanning a recording body by deflecting a light beam by a rotary polygon mirror operates in two or more modes with different scanning pitches or the like, and to provide a light beam scanner.例文帳に追加
光ビームを回転多面鏡によって偏向して記録体上を走査する装置が走査ピッチが異なる等の複数のモードで動作する場合、各モード毎に回転多面鏡の周期的むらを高精度に補正できるようにした周期的むら補正パターンの決定方法及び光ビーム走査装置を提供する。 - 特許庁
To provide a punching pattern drawing press device capable of providing high punching accuracy by bringing a lower surface plate base into tight contact with a metallic surface plate, and extraordinarily reducing warning up driving frequency at the time of start-up by eliminating hysteresis during punching operation, and to provide a parallel degree measuring system capable of shortening measuring time.例文帳に追加
下定盤基台と金属表面板とを密着させることで高い打抜き精度を実現し、また打抜き動作のヒステリシスを解消することで起動時のウォーミングアップ駆動回数を激減できる打抜き型抜きプレス装置、および測定時間を短縮できる平行度測定システムを提供する。 - 特許庁
To provide a photosensitive electrically conductive paste capable of allowing radiated light to reach a depth of a coating because the scattering of radiated light by an electrically conductive powder is suppressed and capable of forming a pattern having high accuracy of form and a high aspect ratio and to provide electronic parts with conductor patterns formed using the paste.例文帳に追加
導電性粉末による照射光の散乱を抑制し、塗膜深部にまで照射光を到達させることが可能で、形状精度が高く、アスペクト比の大きいパターンを形成することが可能な感光性導電ペースト、及びそれを用いて導体パターンを形成した電子部品を提供する。 - 特許庁
To provide a transfer film for shadow mask formation capable of surely providing a stacked pattern comprising an insulation layer and a conductive layer with high dimensional accuracy without degrading an original function of a shadow mask nor causing trouble such as a pin hole, and capable of manufacturing a predetermined shadow mask with high productivity.例文帳に追加
絶縁層および導電層よりなる積層パターンが、シャドウマスク本来の機能を低下させることなく、しかも、ピンホール等の不具合を発生させることなしに、高い寸法精度で確実に得られ、所定のシャドウマスクを高い生産性で製造することができるシャドウマスク形成用の転写フィルムを提供すること。 - 特許庁
To provide a manufacturing method of a piezoelectric vibration piece in which developer is sufficiently immersed into a fork portion to form a mask pattern with good accuracy and formation failure of an electrode can be prevented, a piezoelectric vibration piece manufactured by the manufacturing method, a piezoelectric vibrator, an oscillator, an electronic apparatus and an electric wave clock using the piezoelectric vibration piece.例文帳に追加
又部に現像液を十分に浸入させてマスクパターンを精度よく形成し、電極の形成不良を防止できる圧電振動片の製造方法と、この製造方法により製造された圧電振動片、この圧電振動片を用いた圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計を提供する。 - 特許庁
To provide a photosensitive resin composition for a color filter having such high photocurability that it is thoroughly cured with small light exposure in curing, and improved in accuracy of a pattern shape after development because an unexposed part is thoroughly dissolved in an aqueous alkali solution, and also to provide a color filter using the photosensitive resin composition.例文帳に追加
光硬化性が高く硬化時に少ない露光量で充分に硬化できるとともに、未露光部分がアルカリ水溶液に充分に溶解可能であり、現像後のパターン形状の精度を向上させることができるカラーフィルタ用感光性樹脂組成物及びそれを用いてなるカラーフィルタを提供する。 - 特許庁
To improve quality and yield by executing high-accuracy positioning of a substrate for processing in pattern forming processing when a fixing device for placing and fixing the substrate of a plane square shape is disposed and the patterns of prescribed shapes are formed by the prescribed processing on the substrate.例文帳に追加
本発明は平面角形状の基板を載置固定する固定装置を備え、当該基板上に所定の処理により所定形状のパターンを形成するパターン形成処理装置に関し、パターン形成処理における処理基板の高精度な位置決めを行い、品質の向上、歩留りの向上を図る。 - 特許庁
The optional pattern is formed with high precision and high accuracy by patterning the photo paste, prepared by imparting photosensitive function to a functional material such as having conductivity, by printing such as offset, screen and after that, exposing, developing and removing excess parts due to the correction of the shape, the short defect or the like, drying and firing.例文帳に追加
導電等の機能材料に感光性の機能を付加したフォトペーストをオフセットやスクリーン等の印刷によりパターニングした後、露光、現像を行い、形状の補正やショート欠陥等の余分な部分を除去し、乾燥焼成により任意のパターンを高精度高精細に形成することができる。 - 特許庁
To provide a composition for sealing having a viscosity characteristic suitable for coating, especially viscosity which is free from the occurrence of the clogging of a nozzle of a dispenser, having good shape holding property with respect to a sealing pattern, forming a high accuracy sealing layer (in sealing width and thickness), in regard to the composition comprising spherical spacers.例文帳に追加
球状スペーサーを含有する封止用組成物において、塗布に適した粘度特性を有し、特にディスペンサーのノズル詰まりが生じない粘度を有するとともに、封止パターンの形状維持性が良好であり、しかも高精度の封止層(封止幅、封止厚み)を形成することができる封止用組成物を得る。 - 特許庁
To provide a charged particle beam exposure method of extracting the parameters of an exposure light intensity distribution function optimal for correcting exposure data on a proximity effect so as to form a pattern of high dimensional accuracy, in accordance with exposure data corrected on a proximity effect on the basis of an exposure light intensity distribution function.例文帳に追加
露光強度分布関数に基づいて近接効果補正処理を行った露光データに従って露光を行う荷電粒子ビーム露光方法に関し、露光データの近接効果補正処理に最適な露光強度分布関数のパラメタを抽出し、寸法精度の高いパターンを作成することができるようにする。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing an optical waveguide for easily forming a core part (optical path) having high optical transmission performance, wide flexibility of designing a pattern and high-dimensional accuracy using an easy method, and to provide an optical waveguide manufactured by the method, and an optical waveguide structure having the optical waveguide.例文帳に追加
本発明の目的は、光伝送性能が高く、また、パターン形状の設計の自由度が広く、寸法精度の高いコア部(光路)を簡単な方法で形成することができる光導波路の製造方法、この製造方法により製造された光導波路、および、これを備えた光導波路構造体を提供すること。 - 特許庁
Since the heater part 190 is arranged on the pump cell 40, a leakage current from the heater pattern 60 is allowed to escape from an electrode (especially the electrode 44) of the pump cell 40, and the leakage current is prevented from reaching the second solid electrolyte layer 130 and from exerting an influence on concentration detection accuracy of a specific component by a sensor cell 20.例文帳に追加
ポンプセル40上にヒータ部190を配置させたことで、ヒータパターン60からの漏れ電流をポンプセル40の電極(特に電極44)から逃がせ、その漏れ電流が第2固体電解質層130に到達してセンサセル20による特定成分の濃度検出精度に影響を及ぼすのを防げる。 - 特許庁
An outside wall part 15 of the trench part 9 defining the aperture part 17 can be protected with the resist pattern 13, so that side etching to the sidewall part of the aperture 17, which is caused by the wet etching can be blocked and the aperture part 17, can be formed with high reproducibility, while working accuracy is improved and the damage of the substrate 1 is restrained to a minimum.例文帳に追加
開口部17を画定する溝部9の外側壁部15をレジストパターン13で保護できるので、ウエットエッチングによる、開口部17の側壁部へのサイドエッチングを阻止でき、加工精度良く、しかも半導体基板1の損傷を最小限に抑えて、開口部17を再現性良く形成できる。 - 特許庁
When using the photosensitive dry film resist, by light-shielding only the holes to be filled by a film mask or a straight drawing device and executing full exposure, the dry film resist of a hole part to be filled is removed in development processing, and only the holes desired to be filled are selectively exposed with high accuracy equivalent to a pattern forming technology.例文帳に追加
感光性ドライフィルムレジストを使用する場合には、フィルムマスクまたは直描装置にて埋める穴部のみを遮光し全面露光することで、現像処理にて埋める穴部のドライフィルムレジストが除去され、パターン形成技術と同等の高精度で埋めたい穴のみを選択的に露出させることができる。 - 特許庁
To provide an inorganic powder-containing composition capable of producing a transfer film excellent in flexibility of a film forming material layer and transferability (heat adhesiveness of the film forming material layer to a glass substrate), a transfer film and a method for producing a plasma display panel which allows formation of a pattern having high dimensional accuracy and excels in work efficiency.例文帳に追加
膜形成材料層の可撓性、転写性(ガラス基板に対する膜形成材料層の加熱接着性)に優れた転写フィルムを製造することのできる無機粉体含有組成物および転写フィルム、並びに寸法精度が高いパターンを形成でき、作業性に優れたプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供する。 - 特許庁
When rendering an image comprising a plurality of fixed regions of a probe by imparting probe solution to a carrier by using a liquid discharge head, rendering accuracy is evaluated beforehand by a pattern rendered preliminary, and feedback of the result is performed when rendering the image as a product on the carrier, to thereby improve the manufacturing yield.例文帳に追加
液体吐出ヘッドを用いてプローブ溶液を担体に付与して、プローブの固定領域の複数からなる画像を描画する際に、描画精度を予め予備描画されたパターンで評価し、その結果を製品としての画像を担体に描画する際にフィードバックすることで製造歩留まりの向上を図る。 - 特許庁
In this torque sensor 10 and its manufacturing method, since the relative position between each outside wiring part 53 and each inside wiring part 54 of a pair of resolvers 50, 50 having the same structure agree with each other between both resolvers 50, 50, each dispersion pattern of detection accuracy of the resolvers 50, 50 moving sequentially with rotation of a torsion bar 14 agrees with each other.例文帳に追加
本発明のトルクセンサ10及びその製造方法によれば、同一構造の1対のレゾルバ50,50における外側巻線部53と内側巻線部54との相対位置が両レゾルバ50,50の間で一致するので、トーションバー14の回転に連動したレゾルバ50,50の検出精度のばらつきパターンも一致する。 - 特許庁
To provide a multi-layer printed wiring board which can be manufactured by an exposure method, in which visibility of an alignment mark is enhanced, recognition of the alignment mark and aligning are executed automatically, alignment accuracy is enhanced, and productivity is improved, when exposure of a pattern is executed to a PSR resin layer in a multi-layer printed wiring board, and to provide its manufacturing method.例文帳に追加
多層プリント配線板において、PSR樹脂層にパターンを露光照射する時、アライメントマークの視認性が向上し、アライメントマークの認識及び位置合わせを自動的に行い、アライメント精度が向上、生産性が向上する露光照射方法で製造する多層プリント板及びその製造方法を提供する。 - 特許庁
In this method for detecting finish accuracy and defects of a circuit pattern of a printed wiring board and an inner layer circuit-including copper clad laminate of its partly-finished product, this installation method for the lighting system is characterized by installing a light source vertical to an inspection object and a light source oblique to the inspection object in conjunction with each other.例文帳に追加
プリント配線板及びその中間製品である内層回路入り銅張積層板の回路パターンの仕上がり精度並びに欠陥検出方法において、被検査物に対して垂直方向の光源と斜め方向の光源を併用して設置することを特徴とする照明装置の設置方法。 - 特許庁
To supply a construction method in which laminating-bonding is easily performed even a circuit board having a high-density and fine wiring pattern, and a build-up circuit board, by resolving connection failure caused by dimensional position accuracy generated by connection between circuit boards in the case of building up, even when a wiring width is narrow and wiring density increases on a substrate.例文帳に追加
配線幅が細くなり、基板上の配線密度がアップしても、ビルドアップの際の回路基板間の接続で発生する寸法位置精度から生じる接続不良を解消し、高密度微細な配線パターンを持つ回路基板でも容易に積層貼りあわせが可能である工法とビルドアップ回路基板を供給する。 - 特許庁
However, since an extremely low contrast part R114 is produced near the bent part, bias correction is carried out in a part B115 on the mask layout corresponding to the low contrast part to correct thinning of the pattern, so that the transfer accuracy in the bent part and its nearby region (R115) can be increased to much as possible.例文帳に追加
一方、屈曲部近傍に極めて低い光コントラスト部R114が生じる為、マスクレイアウト上この当該部に当たる部位B115にバイアス補正を行いパターンの極細りを修正することで、屈曲部ならびにその近傍の転写精度を最大限に高めることができる(R115)。 - 特許庁
To provide a mask matching method for preventing reduction in matching accuracy between patterns formed of different masks when there is displacement between a mask pattern formed in a first place and a crystal orientation of a base board when forming the patterns on the monocrystal base board by using the different masks by anisotropic wet etching.例文帳に追加
単結晶基板上に異方性ウエットエッチングにより異なるマスクを用いてパターンを形成する場合、最初に形成されたマスクパターンと基板の結晶方位とでずれがある場合、異なるマスクで形成されたパターン間の合わせ精度が低下することを防止するマスク合わせ方法を提供する。 - 特許庁
To provide a method of inspecting a color filter defect in a color filter substrate which allows extraction of contaminations and defects (singularities) such as white pins on the color filter substrate with high accuracy by simultaneously imaging a color filter pattern by a line sensor and setting an inspection area used as a reference, and comparatively inspecting adjacent repetitive patterns.例文帳に追加
ラインセンサでカラーフィルタパターンを撮像すると同時に基準となる検査エリアを設定し、隣り合う繰り返しパターンを比較検査して、カラーフィルタ基板の異物、白ピン等の欠陥(特異点)を精度良く抽出するためのカラーフィルタ基板のカラーフィルタ欠陥検査方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
When a transfer starting point T is set in the setting section H 2 according to the target accuracy of the pattern to be formed, the exposure can be performed efficiently, in such a way that the exposing area on the substrate P can be expanded, and so on, in the case where the mask M and substrate P are moved by prescribe number of strokes.例文帳に追加
このとき、形成するパターンの目標精度に応じて、転写開始点Tを整定区間H2に設定することにより、マスクM及び基板Pが所定のストロークで移動する場合、基板P上における露光領域を拡大することができるなど、露光処理を効率良く行うことができる。 - 特許庁
To reduce image processing amount, maintain detection accuracy, and reduce a memory capacity in coordinate position calculation by detecting a position pointed on a pick-up image through pattern matching using only image data for one frame to thereby reduce the memory capacity and the processing time.例文帳に追加
1フレームの画像データのみを用いたパターン・マッチングを行なうことで、撮像画像上の指示位置の検出を可能としてメモリ容量を少量化し、及び処理時間を短縮化しつつ、座標位置算出において、画像処理量の軽減と検出精度の維持との両立、及びメモリ容量の少量化を実現する。 - 特許庁
Or the detection of the untrue defects can be suppressed and the pattern can be rapidly inspected by setting the selected area to reference data by using a conversion part, reading a predetermined threshold corresponding to inspection accuracy of each area and determining and detecting the defects.例文帳に追加
また、本発明によれば、変換部で基準データに選択エリアを設定し、欠陥判定部でアルゴリズムを用いて、各エリアの検査精度に応じた所定のしきい値を読み出し、欠陥の判定、検出を行うことにより、擬似欠陥の検出を抑制しつつ、かつ迅速なパターン検査をすることが可能である。 - 特許庁
To provide a projector type vehicular headlight sufficiently securing the lightness of a light pattern diffusing area even in the case of adopting a side insertion type lighting fixture construction, capable of controlling irradiation light with good accuracy while increasing the amount of light irradiated toward front side of the vehicle.例文帳に追加
プロジェクタ型の車両用前照灯において側方挿入型の灯具構成を採用した場合であっても、配光パターンの拡散領域の明るさを十分に確保するとともに、車両前方への照射光量を増大させた上でその照射光制御を精度良く行えるようにする。 - 特許庁
In a method of removing a density variation in a 3-dimensional lookup table for image signal conversion, a neutral gray area is located in an exposure pattern for creation of a 3-dimensional lookup table, a density variation irregularly occurring is corrected on the basis of the density variation quantity of the neutral gray area, thus increasing a reproduction accuracy for color signal conversion.例文帳に追加
3次元ルックアップテーブル作成用の露光パターンに中性グレイエリアを配置し、中性グレイエリアの濃度変動量に基づいて、不規則に起こる濃度変動を補正し、色信号変換の再現精度を向上する画像信号変換用3次元ルックアップテーブルの濃度変動除去方法により、上記課題を解決する。 - 特許庁
To reduce unevenness in resist patterns on a mask due to a fogging effect in an exposure step in mask production (difference in dimension due to pattern density irregularity) and to provide a mask having high dimensional accuracy required for photolithography by which dimension equal to or below the wavelength of light for exposure (with a large numerical value of MEEF (mask error enhancement factor)) is formed on a wafer.例文帳に追加
マスク製造の露光工程においてFogging効果によるマスク上レジストパターンのばらつき(パターン疎密による寸法差)を低減し、ウェハ上で露光波長以下の寸法を加工する(MEEFの数値が大きい)光リソグラフィで要求されるレベルの高寸法精度マスクを提供することを目的としている。 - 特許庁
To disuse high accuracy in position control and workability of a luminous energy distribution adjusting filter, prevent an image of different density caused by the luminous energy distribution adjusting filter comprising a photosensitive phosphor screen forming layer with a pattern having a transmittivity distribution in an aligner for forming a phosphor screen of a color cathode ray tube.例文帳に追加
カラー陰極線管の蛍光面形成用露光装置において、感光性蛍光面形成層に透過率分布もつパターンの形成された光量分布調整フィルターに起因する濃度差像が転写されにくく、かつその光量分布調整フィルターに高い位置出し精度や加工性が要求されない構成にすることを目的とする。 - 特許庁
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