「Exposing」に関連した英語例文の一覧と使い方(99ページ目) - Weblio英語例文検索

The cultivation bed 40 is made of a cultivation tank 72, and an implanting panel 73 engaged with an upper part of the cultivation tank 72, forming a flow pass 76 of a nutritious liquid A, and putting the cultivation plant P into an implanted state by exposing plant roots P' toward the flow pass 76.例文帳に追加

栽培ベッド４０は、栽培槽７２と、栽培槽７２の上部に嵌着され養液Ａの流路７６を形成するとともに、流路７６に向けて植物根Ｐ’が露出するようにして栽培植物Ｐを植付状態とする植付パネル７３と、から構成されている。 - 特許庁

A base plate 10 at which a component receiving part 16 where a plurality of components with the same shape are positioned in the inplane direction, respectively, so as to be supported, and a plurality of openings 14 exposing the bottom faces of a plurality of the components, respectively are formed is fixed with a bolt 30, so as to be projected to the upper part.例文帳に追加

同一形状をした複数の部品を面内方向でそれぞれ位置決めして支持する部品受け部１６と、前記複数の部品の底面をそれぞれ露出させる複数の開口１４とが形成されたベースプレート１０に、ボルト３０が上方に突出するように固定される。 - 特許庁

To provide a compound and composition stable before exposing to a biological fluid such as plasma, etc., relatively insoluble in the biological fluid such as plasma, etc., and returning to at least one kind of analgesic compounds or compositions in dissolving into the biological fluid such as plasma, etc.例文帳に追加

血漿のような生理学的液に相対的に不溶性であり、かつ血漿のような生理学的液中に溶解される時に、一種以上の鎮痛性化合物又は組成物に戻る、血漿のような生理学的液に暴露される前に安定な化合物及び組成物を提供すること。 - 特許庁

The method comprises a process for forming the barrier metal layer 5 in a prescribed position on a Cu wiring layer 3 formed on a semiconductor substrate by a CVD method or an ALD method, and a process for forming an Al layer 6 on the barrier metal layer without air-exposing the barrier metal layer 5.例文帳に追加

半導体基板上に形成されたＣｕ配線層３上の所定位置に、ＣＶＤ法又はＡＬＤ法によりバリアメタル層５を形成する工程と、前記バリアメタル層５を大気暴露することなく、前記バリアメタル層上にＡｌ層６を形成する工程を備える。 - 特許庁

The method generally includes a step for preparing an emulsion or suspension, a step for exposing the emulsion or suspension to a gas with pressure higher than 2×10^5 Pa (2 bar) and a step for sending the emulsion or suspension to the gas-depleted environment of ambient pressure.例文帳に追加

本発明は、この方法は、一般に、エマルジョン又は懸濁液を調製する工程、エマルジョン又は懸濁液を、２×１０^5Ｐａ（２ｂａｒ）より高い圧力のガスに暴露する工程、及びエマルジョン又は懸濁液を、周囲圧力のガス消耗環境へ送達する工程を含む。 - 特許庁

During recording, a light made incident as an S polarized light and caused to be a right circular polarized light at the 1/4 wavelength plate 28, and light made incident as a P polarized light and caused to be a left circular polarized light at the 1/4 wavelength plate 28 are made incident on an exposing area 321 to record information holographically.例文帳に追加

記録時には、Ｓ偏光で入射し４分の１波長板２８で右回り円偏光とされた光と、Ｐ偏光で入射し４分の１波長板２８で左回り円偏光とされた光を、露光領域３２１に入射させて情報をホログラフィックに記録する。 - 特許庁

To provide a frame corner part of a metal steel frame for building, which is improved in its quality and designing by effectively preventing an occurrence of a space at the joint part without exposing a cut-surface of adjacent portions composing the frame corner part, while a manufacturing efficiency in forming the frame corner part is increased.例文帳に追加

建築用金属枠の枠隅部において、該わくすみ部を形成する隣接枠材の切断面が外部に露出することなく、接合部での隙間の発生を効果的に防止して品質と意匠性の向上を図ると共に、枠隅部形成時の生産効率の改善をする。 - 特許庁

To achieve a manufacturing method capable of securing durability of both dies 25a, 25b by suppressing stress occurring in the dies 25a, 25b during work, and exposing a clean metal material to a double-row outer ring raceway existing on an inner peripheral face of an outer ring with short pitches between the rows.例文帳に追加

加工時に金型２５ａ、２５ｂに生じる応力を抑えてこれら両金型２５ａ、２５ｂの耐久性を確保でき、しかも、列間ピッチが短い外輪の内周面に存在する複列の外輪軌道に清浄な金属材料を露出させられる製造方法を実現する。 - 特許庁

The movable contact spring block has an integrated part in which a plurality of movable contact springs are mutually combined by an insulating material, by exposing parts 211 and 212 of a plurality of movable contact springs 201 and 202 to the outside in a state to be flush with the mounting face of the armature 22.例文帳に追加

可動接点ばねブロックは、複数個の可動接点ばね２０１，２０２の内の一つの一部２１１，２１２が、接極子２２の取り付け面と面一となるような状態で外部に露呈するようにして、複数個の可動接点ばねが絶縁材により互いに結合される一体化部分を備える。 - 特許庁

The method further comprises the steps of subsequently forming a second insulating film on the first insulating film and the conductive layer, then forming a second opening in the second insulating film, exposing a part of the lower barrier layer, then forming a first electrode in the second opening, and forming a dielectric layer on the second film and a first opening.例文帳に追加

続いて、第１絶縁膜及び導電層上に第２絶縁膜を形成したら、第２絶縁膜内に第２開口を形成して下方のバリア層の一部を露出させ、次に、第２開口内に第１電極を形成し、第２絶縁膜及び第１開口上に誘電層を形成する。 - 特許庁

To provide an oil-repellant composition giving oil-repellant film excellent in oil repellency, causing no degradation of adhesion to a substrate even when exposing in a high temperature oil for a long term and excellent in retention of oil repellency, and having excellent solution stability and membrane-making property, and to provide articles excellent in oil repellency and retention thereof.例文帳に追加

撥油性に優れ、高温のオイルに長時間晒されても基材との密着性が低下せず、撥油持久性に優れる撥油膜を得ることができ、かつ溶液安定性、成膜性に優れる撥油性組成物、および撥油性およびその持久性に優れる物品を提供する。 - 特許庁

When the printing plate having thickness of about 3-5 mm is produced in an exposure process performing double-face exposure, the surface of the support is irradiated with actinic rays for exposing the plate through the support side so that the light irradiation intensity becomes lower than 2.0 mW/cm^2 by a light attenuation film.例文帳に追加

両面露光を行う露光工程によって版厚約３ｍｍ〜５ｍｍ程度の印刷版を製造する場合、支持体側からの露光の際に支持体表面に照射される活性光線の光照射強度を減光フィルムにより２．０ｍＷ／ｃｍ^２より小さくして行うこと。 - 特許庁

To enable power supply to an exposure means without needing a long power supplying path, in an image forming apparatus forming an image by exposing a photoreceptor that is stored in a case by an exposure means that is attached to a cover which is openably arranged to the case.例文帳に追加

筐体に開閉可能に設けられたカバーに取り付けられた露光手段によって、上記筐体に収容された感光体を露光して画像を形成する画像形成装置において、長い給電経路を必要とせずに上記露光手段への給電を可能にすること。 - 特許庁

The exhaust gas passage 12 of the internal combustion engine, down stream of the NO_X trap catalyst carrying potassium as a NO_X trap agent, the exhaust gas sensor for detecting the exhaust gas ingredients by exposing the sensor element 2 is arranged in which the surface of the sensor element 2 is coated with zeolite 6A of Y type for capturing the potassium.例文帳に追加

内燃機関の排気通路１２における、ＮＯ_Xトラップ剤としてのカリウムを担持したＮＯ_Xトラップ触媒の下流に、センサ素子２を露出させて排気成分を検出する排気センサを配置し、このセンサ素子２の表面を、カリウムを捕捉するＹ型ゼオライト６Ａにより被覆する。 - 特許庁

By flowing such a comparatively large current, concentration of a welding current takes place successively on projections of small contact resistance among a plurality of projections, melting metallic plating layers (Ag and Cu plating layers) at the tip end contact part of the projections and exposing the base metal (Fe plate).例文帳に追加

このような比較的大電流を流すことにより、複数の突起部のうち、接触抵抗の小さい突起に順次、溶接電流の集中が起こり、突起部の先端接触部の金属めっき被覆層（Ａｇめっき層とＣｕめっき層）が溶融して金属母材（Ｆｅ板）が露出する。 - 特許庁

To obtain an image exposure system in which image quality is prevented from deteriorating by preventing emergence of a "streak" caused by a variation in exposing position incident to use of an array light source having a plurality of light emitting element arrays or a wide aperture lens, characteristics of a silver halide photosensitive material, and the like.例文帳に追加

画像露光装置において、複数の発光素子列を有するアレイ光源や開口の広いレンズを使用したことによる露光位置のばらつき、ハロゲン化銀感光材料の特性、等に起因して形成される「すじ」の顕在化を阻止して、画質の低下を防止する。 - 特許庁

The exposed substrate 1 is fixed to the lower side holding member 9A by using a substrate holding mechanism, while only the upper side holding member 8 is moved to the aligning section B, and the substrate 1 on the lower side holding member 9A is moved from the exposing section C to a discharge section D by using a discharge carrier 5.例文帳に追加

この露光処理後の基板１を下側保持部材９Ａに基板保持機構を用いて固定させておいて、上側保持部材８のみを整合部Ｂへ移動させ、下側保持部材９Ａ上の基板１を搬出キャリア５を用いて露光部Ｃから搬出部Ｄに移動させる。 - 特許庁

To provide an information display member not being a defective product due to breaking of an electrode take out part in the case of removal of an unnecessary part for exposing the electrode take out part, but being a web like or individual information display member which is thin and flexible, and a production method of the same.例文帳に追加

電極取出し部の露出のための不要部除去に際し、電極取出し部が破損したりして不良品となることのない、ウエブ状又は個別の、薄く可撓性を有する情報表示部材、及びそれらの製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

Consequently, although abrasion powder which is produced during exposing operation owing to the coupling shafts (21 etc.) and sticks on the circumference of the heads of the coupling shafts (21 etc.), nearly all the abrasion powder sticks on the adhesive sheet (28) even when scattering owing to a shock when stopped to suppress the amount of the powder flying onto an imaging surface.例文帳に追加

そのため、連結軸（２１など）に起因して露光作動中に発生し、連結軸（２１など）の頭部周辺に付着していた磨耗紛が、停止時の衝撃で飛散しても、殆どが粘着シート（２８）に付着し、開口部（２ａ）を通過し、撮像面に飛来する量を抑制することができる。 - 特許庁

The projection optical system for exposing a photosensitive surface by projecting the image of the pattern surface on an original plate M to the photosensitive surface on a substrate P satisfies the conditions L/Ei<7 where L: the distance on the optical axis from the pattern surface and Ei: the diameter of the exposure region where the photosensitive surface is exposed.例文帳に追加

原版Ｍ上のパターン面の像を、基板Ｐ上の感光面に投影して感光面を露光する投影光学系において、Ｌ：パターン面から感光面までの光軸上の距離、Ｅｉ：感光面を露光する露光領域の直径、とするとき、Ｌ／Ｅｉ＜７なる条件を満足する。 - 特許庁

An exposure device is constituted of a gas flow forming device which forms a local space for passing the inert gas in a light passage space including a space, through which exposure light between the projection optical system and a stage during exposing is passed, while a choking member is installed in the local space in a direction from the projection optical system toward the wafer.例文帳に追加

露光中、投影光学系とステージとの間の露光光が通過する空間を含む光路空間に不活性ガスが流れる局所空間を形成するガス流形成装置からなり、投影光学系からウエハへ向かう方向にたいして局所空間内に絞り部材を設置する。 - 特許庁

The imaging apparatus starts exposing operations of all pixels of the imaging element 13 at the same time before preliminary light emission of the flash 21 and at the preliminary light emission respectively to image images before the preliminary light emission and at the preliminary light emission and a detection circuit 17 obtains a detected value before the preliminary light emission and at the preliminary light emission.例文帳に追加

フラッシュ２１の予備発光前および予備発光時のそれぞれに、撮像素子１３の全画素の露光動作を同時に開始して、予備発光前および予備発光時の画像を撮像し、検波回路１７により予備発光前および予備発光時の検波値を得る。 - 特許庁

A pad 3, capable of being impregnated with the cleaning agent and a synthetic resin inner sheet 4, having a through-hole 7 for externally exposing the pad 3, are laminated in turn on an upper side of a synthetic resin base sheet 2, thereby the cleaning card is formed in a thickness and a size, which are roughly the same as a contact type IC card.例文帳に追加

合成樹脂製のベースシート２の上側に、クリーニング剤が含浸可能なパッド３と、そのパッド３を外部露出させるための通孔７を有する合成樹脂製のインナーシート４とを順に積層して、接触型ＩＣカードとほぼ同一の厚さおよび大きさに形成する。 - 特許庁

To provide a photographic processing device provided, with an image printing exposing part with which a photosensitive material is prevented from being unwanted exposed by unwanted light and the unwanted light when using a digital printing engine is prevented without providing a shutter means or the like.例文帳に追加

不要光による感光材料の不必要な露光を防止すると共に、デジタルプリントエンジンを用いた場合における不要光をシャッタ手段等を設けることなく防止することが可能である画像焼付露光部を備えた写真処理装置を提供することを課題とする。 - 特許庁

To reduce costs while stably ensuring a proper joint between a junction 7 and a land 6 when the junction 7 is formed by exposing the extremity of a conductor 5 of an FFC 1 (flat wiring), is overlapped onto the land 6 of the printed wiring board 4 and is joined to it by soldering.例文帳に追加

ＦＦＣ１（フラット配線体）の導体５の端部を露出させて、接合部７とし、該接合部７をプリント配線基板４上のランド６に重ね合わせて、はんだ付けにより接合する場合に、この接合部７とランド６との良好な接合を安定確保しながら、コストの低減を図る。 - 特許庁

To provide a solid electrolytic capacitor of a stable quality which can incorporate a capacitor element of a volume as much as possible to the same external size as that of a package in the package and at the same time, prevent the element from being slanted during the manufacturing process of the capacitor and a part of the slanted part of the element from exposing to the outside.例文帳に追加

パッケージの同じ外形寸法に対して、できるだけ体積の大きいコンデンサ素子を内蔵することができると共に、製造工程中にコンデンサ素子が傾いてその一部が外部に露出しないようにし、品質の安定した構造の固体電解コンデンサを提供する。 - 特許庁

To provide an aligner for accurately exposing a large-area body to be exposed highly precisely by plural-times exposure using a small-area photomask, and to provide a photosensitive resist capable of allowing the aligner to use a detector having a sensitivity region in a visible light region.例文帳に追加

小面積のフォトマスクを用いた複数回露光により大面積の被露光体を高い精度で露光するための露光装置と、上記の露光装置に可視光域に感度領域をもつ検出装置を使用することを可能ならしめる感光性レジストを提供する。 - 特許庁

In etching exposing the striation of the semiconductor crystal, an etching liquid 3 of an oxidation-reduction potential ≥2.0 V (with a standard hydrogen electrode as a reference) is used, and the etching is performed while light having a larger energy than an energy of a bad gap of the semiconductor is irradiated during the etching.例文帳に追加

半導体結晶のストリエーションを露呈させるエッチングにおいて、酸化還元電位が２．０Ｖ（標準水素電極基準）以上であるエッチング液３を用い、エッチング中に半導体のバンドギャップのエネルギーよりも大きなエネルギーを有する光を照射しながらエッチングする。 - 特許庁

A small-sized electrocardiograph 1 provided with at least a chest part side electrode 4, a palm side electrode 5, a microprocessor 9 and a storage medium 10 is freely attachably and detachably mounted on a handset main body 3 of the telephone set 2 in the state of exposing the palm side electrode 5 to the outside.例文帳に追加

少なくとも胸部側電極４、手のひら側電極５、マイクロプロセッサ９及び記憶媒体１０を具備した小型心電計１を、電話機２の送受話器本体３に、手のひら側電極５が外側に露出した状態で着脱自在に装着できるようにする。 - 特許庁

The sliding door 4 has sidewalls 41 on both sides of a closing plate 40, a cooling gap 8 is provided between the surfaces of batteries 1 to be loaded in the attaching recess 6 and the sidewalls 41, and a cooling opening 9 for exposing the cooling gap 8 to the outside is provided between the case 2 and the closing plate 40.例文帳に追加

スライド扉４は、閉塞プレート４０の両側に側壁４１を有し、装着凹部６にセットされる電池表面と側壁４１との間に冷却隙間８を設けて、この冷却隙間８を外部に開口する冷却開口９をケース２と閉塞プレート４０との間に設けている。 - 特許庁

The electric wiring board 130 has the first opening part 134 for exposing an injection part of the recording element 110, the second opening part 135 adjacent to the first opening part 134, a separation zone 130a for separating the second opening part 135 from the first opening part 134, and an inner lead 132.例文帳に追加

電気配線基板１３０には、記録素子１１０の吐出部を露出させる第一の開口部１３４と、第一の開口部１３４に近接する第二の開口部１３５、第二の開口部１３５を第一の開口部１３４から分離する分離帯１３０ａ、インナーリード１３２を有する。 - 特許庁

The fixing structure of the contact terminal comprises a contact terminal 30 for contacting to an external feeding terminal, a first case member 20 with a contact hole 23 formed therein for exposing the contact terminal, and a second case member 10, having a backing material 11 to be disposed facing the contact hole of the first case member.例文帳に追加

外部の給電端子に当接する接点端子３０と、接点端子を露出させる接点孔２３が形成された第１ケース部材２０と、第１ケース部材の接点孔と対向配置される裏当て材１１を有する第２ケース部材１０と、を備える接点端子の固定構造である。 - 特許庁

A measuring surface 56 of the same height as that of the terminal portion 54a of a wiring pattern 54 is formed near a bump to be inspected, and an insulating coating film 57 having openings 59 and 60 for exposing a bump 55 and the measuring surface 56 is formed on the surface of the substrate body 53.例文帳に追加

検査されるバンプの近傍に、配線パターン５４の端子部５４ａと同じ高さの表面を有する測定表面５６を形成し、バンプ５５と測定表面５６とが露出させる開口５９、６０を有する絶縁被覆膜５７を基板本体５３の表面に形成する。 - 特許庁

The mesoporous structure is formed by soaking the activated carbon fiber from the pores of which water and carbon dioxide are removed, in an oxidative chemical solution, exposing the soaked activated carbon fiber to a gas flow of a steam-containing gas in a high-temperature atmosphere to remove the carbon on the pore walls to form the mesoporous structure.例文帳に追加

細孔から水分や二酸化炭素を除去した活性炭素繊維に酸化性薬液を真空含浸させた後、高温雰囲気で水蒸気含有ガスの気流に活性炭素繊維を曝し、細孔壁の炭素を酸化除去することによりメソ細孔構造を形成する。 - 特許庁

To provide a performance device for a game machine, which is capable of stabilizing the mutual position relation of adjacent door members when a plurality of door members are moved in the direction of shielding a variable display means or in the direction of exposing it and simplifying a structure, and the game machine using the same.例文帳に追加

複数の扉部材が可変表示手段を遮蔽する方向又は露出させる方向に移動する際に、隣り合う扉部材の相互位置関係を安定させるとともに、構造の簡素化を図ることのできる遊技機用演出装置とそれを用いた遊技機を提供する。 - 特許庁

To provide the structure of an exterior wall in which the quantity of a new exterior wall material projected from an existing exterior wall to the outside is inhibited when the new exterior wall material is stuck on the outside of the existing exterior wall without exposing to the outside of the new exterior wall material of a leader.例文帳に追加

竪樋が新設の外壁材の屋外側に露出することなく、新設の外壁材を既設の外壁の屋外側に貼り付けた際に新設の外壁材が既設の外壁から屋外側に突出する突出量を抑えた外壁の構造を提供する。 - 特許庁

To convey excavated soil generated in excavation work via an access road 7 to a quarry 3 to a muck disposal yard 4 without passing through a settlement 8, the excavation work being carried out in a dam body 1 construction initial stage, for exposing a rock mass as a foundation of a dam body.例文帳に追加

ダム提体１の築造初期段階で行われる、ダム提体の基礎となる岩盤を露出させるための掘削工事で発生する掘削土を、原石山３へのアクセス道路７を経由して、集落８を通らずに土捨て場４まで搬送できるようにする。 - 特許庁

To provide an image forming method for automatically reading photosensitive material information without affecting the image quality of the developed photosensitive material with a thin reflective supporting body, controlling the exposing, developing and carrying operations of an exposure device and a developing device and automatically setting a condition suitable to the photosensitive material.例文帳に追加

薄手の反射支持体を有する感光材料の現像後の画質に影響しない感材情報を自動的に読みとり、露光・現像装置の露光、現像、搬送を制御して感材に最適な条件を自動的に設定する画像形成方法を提供する。 - 特許庁

When a TFT array substrate of a reflection type or translucence and half-reflection type electrooptic device is manufactured, an evenness formation layer 14a having holes 13b (unevenness) is formed by exposing and developing photosensitive resin and then an intermediate film and a light-reflecting film for making the uneven shape smooth are formed.例文帳に追加

反射型あるいは半透過・半反射型の電気光学装置のＴＦＴアレイ基板を製造する際、感光性樹脂を露光、現像して、孔１３ｂ（凹凸）を備えた凹凸形成層１３ａを形成した後、凹凸形状を滑らかにするための中間膜、光反射膜を形成する。 - 特許庁

To prevent distortion of a development pattern due to overexposure at the adjacent part of adjoining exposure regions caused by repeated exposure of a resist film, when an etching mask for forming a repeated pattern of protrusions and recesses is formed by exposing and developing the resist film on the surface of the substrate of a semiconductor base material.例文帳に追加

半導体基材の基板の表面に繰り返し凹凸パターンを形成するためのエッチングマスクをレジスト膜の露光現像により形成する際、レジスト膜に対する繰り返し露光による隣接する露光領域の隣接する部分での過剰露光による現像パターンの歪みを防止する。 - 特許庁

An electronic apparatus comprises: a base plate 14 having card slots 13a and 13b, into which a memory card to be inserted; an exterior cover 8 having an opening 9 for exposing insertion ports of the card slots 13a and 13b at the same time; and a card lid 1 for opening and closing the opening 9.例文帳に追加

電子機器は、メモリカードが挿入されるカードスロット１３ａ，１３ｂが実装される基板１４と、カードスロット１３ａ，１３ｂの挿入口を同時に露出させるための開口部９を有する外装カバー８と、開口部９を開閉するカード蓋１とを有する。 - 特許庁

An electronic part take-out tray 3 and an electronic part transfer tray 7 are arranged in the same washing liquid, and the electronic part 19 is conveyed by a pick-up nozzle 50 in the washing liquid without exposing it to the air, and transferred from the electronic part take-out tray 3 to the electronic part transfer tray 7.例文帳に追加

電子部品取り出しトレイ３及び電子部品移載トレイ７を共に同一の洗浄液中に配置し、ピックアップノズル５０により電子部品１９が空間に露出することなく洗浄液中を搬送させて、電子部品取り出しトレイ３から電子部品移載トレイ７へ移載する。 - 特許庁

In addition, the device is provided with a shutter 17 which is disposed on the chassis that becomes a fixed part near the turntable 3 and which is designed to be freely movable between a closed position for covering the objective lens 16 of the optical pickup 15 and an open position for exposing the objective lens 16, in accordance with the reciprocating movement of the optical pickup 15.例文帳に追加

そして、ターンテーブル３の近傍の固定部となるシャーシ１上に配置され、光学ピックアップ１５の往復動に応じて光学ピックアップ１５の対物レンズ１６を覆い隠す閉位置と対物レンズ１６を露出させる開位置との間を移動自在とされたシャッター１７を備えている。 - 特許庁

This pressure sensor 1 includes a sensing element 40 exposing a side end surface including the pressure detection surface, for detecting air pressure in contact with the pressure detection surface; and an introduction passage 110 for communicating the pressure detection surface of the sensing element 40 with an introduction port 100 opened to a pressure detection space.例文帳に追加

圧力検出面を含む側方端面を露出し、該圧力検出面に接する空気圧力を検出するセンサ素子４０と、センサ素子４０の圧力検出面と圧力検出空間に開口する導入口１００とを連通する導入通路１１０とを備える。 - 特許庁

Further, the thin film deposition system is provided with a gas feeding part for feeding gas to the discharge space so as to activate gas including thin film deposition gas by the high frequency electric field, and exposing the activated gas to the base material, so as to deposit a thin film on the base material.例文帳に追加

また、薄膜形成装置には、薄膜形成ガスを含有するガスが高周波電界によって活性化されるように、放電空間にガスを供給し、活性化されたガスで基材を晒すことで、基材上に薄膜を形成するため逃す供給部が備えられている。 - 特許庁