「dry method」に関連した英語例文の一覧と使い方(71ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide a dry etching method of gallium nitride based compound semiconductor such that a smooth etched-surface still can be obtained in a lower degree of vacuum (high pressure) of 10^-3 Pa order, and which can further make aluminum oxide etch, such as a sapphire substrate or an alumina substrate.例文帳に追加

10^-3Paオーダーという比較的低い真空度（高い圧力）でも平滑なエッチング面が得られるような窒化ガリウム系化合物半導体のドライエッチング方法であって、更にサファイア基板やアルミナ基板といったアルミ酸化物までエッチング可能なドライエッチング方法を提供する。 - 特許庁

In a micromachining process using a sacrificial layer 103 to manufacture a microstructure floating over a substrate, the manufacturing method of a microstructure includes a step of laminating an anti-sticking film 101 removable by dry etching before or after the lamination of the sacrificial layer.例文帳に追加

基板から浮上する微細構造物を製造するために犠牲層１０３を利用するマイクロマシニング工程において、上記犠牲層の積層前後に乾式エッチングにより除去可能な粘着防止膜１０１を積層する段階を含む微細構造物の製造方法が提供される。 - 特許庁

The treatment method of a polymer electrolyte membrane composed of a cross-linked hydrocarbon system polymer having at least an ionic group, carries out a treatment including a process A in which the polymer electrolyte membrane is immersed into water and/or organic solvent and a process B to dry it.例文帳に追加

本発明は、少なくともイオン性基を有する架橋された炭化水素系ポリマーからなる高分子電解質膜であって、該高分子電解質膜を水および／または有機溶媒に浸漬する工程Ａと、乾燥する工程Ｂを含む処理を行うことを特徴とするものである。 - 特許庁

To provide a cleaning liquid capable of removing an etching residue remaining after dry etching, in a short time, in a wiring process of a semiconductor element used for a semiconductor integrated circuit, without causing oxidation nor corrosion of a copper wiring material, an insulating film material, etc., and to provide a cleaning method using the same.例文帳に追加

半導体集積回路に用いられる半導体素子の配線工程における、ドライエッチング後に残存するエッチング残渣を短時間で除去でき、かつ、銅配線素材や絶縁膜材料等を酸化または腐食しない洗浄液を用いた洗浄法を提供すること。 - 特許庁

The light-colored seasoning liquid having JAS color number of ≥45 is obtained by making malt using a raw material comprising 10-60 wt.% of wheat with ≤0.7% ash and/or starch and 40-90 wt.% of gluten on dry matter reduced mass, and distilling the malt thus obtained by a normal method.例文帳に追加

乾物換算質量で、灰分０．７％以下の小麦粉及び／又は澱粉１０〜６０％とグルテン４０〜９０％からなる原料を用いて製麹し、得られた麹を常法により醸造することによりＪＡＳ色番が４５番以上の淡色調味液を得る。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a hook-and-loop fastener having no problems in the safety, sanitation, and environmental pollution, having fluffing resistance, cleaning resistance, and dry cleaning resistance, and having a superior fluffing resistance after used for a long time, and to provide the hook-and-loop fastener thereby.例文帳に追加

製法が安全、衛生、公害の面で問題がなく優れた耐毛羽立ち性と耐洗濯性、耐ドライクリーニング性を有し極めて長期の使用後においても毛羽立ち耐久性の良好な面状ファスナーを製造する方法並びにそれによる面状ファスナーを提供すること。 - 特許庁

To provide a leather-like sheet substance having all of high grade appearance, excellent physical properties, soft and flexible feelings, further, surface dry touch and creaky feeling, to provide a method for producing the sheet substance, and to provide interior materials, clothing materials, industrial materials and abrasive cloths each using the sheet substance.例文帳に追加

本発明は、高級な外観、物性に優れ、ソフトでしなやかな風合い、さらには表面のドライタッチ、キシミ感をあわせもつ皮革様シート状物、その製造方法、並びにそれを用いてなる内装材、衣料用資材、工業用資材及び研磨布を提供する。 - 特許庁

To provide an automatic irrigation method effective even in a place poor in water resource at a dry land such as a desert, finding extreme water condition without directly measuring the water potential of plants, and automatically determining a timing for irrigation with no manual operations to automatically perform irrigation.例文帳に追加

砂漠等の乾燥地において水資源が乏しい場所でも有効な、植物の水ポテンシャルを直接測定することなく極限の水分状態を知り、かつ人手を介さずに自動的に潅水のタイミングを判断し、潅水を行うことのできる自動潅水方法を提供する。 - 特許庁

To provide a silver metallic powder coating which can be manufactured by a dry-blending method, can be suitably used for silver metallic coating using a tribocharging spray gun and is capable of obtaining a silver metallic powder coating film with a quality equivalent to that of a coating film obtained from a solvent-based silver metallic paint.例文帳に追加

ドライブレンド法により製造でき、トリボ帯電スプレーガン用シルバーメタリック塗装に好適に使用することができ、さらに、溶剤系シルバーメタリック塗料により得られる塗膜と同等の品質を有するシルバーメタリック粉体塗膜を得ることができるシルバーメタリック粉体塗料を提供する。 - 特許庁

To provide a resist composition excellent in transparency to radiation and dry etching resistance and capable of forming a resist pattern excellent in resolution, sensitivity, flatness and heat resistance, and to provide a method for manufacturing a semiconductor device with a fine pattern having a high degree of integration using the resist composition.例文帳に追加

放射線に対する透明性、ドライエッチング耐性に優れ、解像度、感度、平坦性、耐熱性に優れるレジストパターンを形成できるレジスト組成物、ならびに、該レジスト組成物を用いる微細で集積度の高いパターンを持つ半導体装置の製造方法の提供。 - 特許庁

The packaging material is constituted by a method wherein a sheet having air permeability is used as a base and a perforated plastic film is adhered partially, in the shape of a grating, stripes or dots, onto the surface of the sheet by dry lamination, while the rear of the sheet is subjected to gravure roll coating in the shape of dots with a hot-melt adhesive.例文帳に追加

通気性を有するシートを基材とし、その表面に有孔プラスチックフィルムをドライラミネーションにより格子状、ストライブ状あるいはドット状に部分接着させ、裏面をホットメルト接着剤にてドット状にグラビアロールコーティングしたことを特徴として構成されている。 - 特許庁

To provide spherical silicone elastomer particles without coloring a cosmetic as white, imparting use feelings such as dry feeling, etc., and extending property, and also imparting a good ultraviolet light-shading effect on being blended with the cosmetic, an aqueous dispersion of the same, and a method for producing them.例文帳に追加

化粧料に配合した場合に、化粧料を白く着色することがなく、さらさら感、なめらかさ等の使用感及び伸展性を付与し、かつ、良好な紫外線遮蔽効果を付与するシリコーンエラストマー球状粒子、その水性ディスパージョン及びそれらの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide an actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition satisfying demands for a wide exposure latitude, reduction of a skirt-like pattern profile, favorable pattern features and excellent dry etching durability, and allowing formation of a pattern having fewer defects after development, and to provide a method for forming a pattern by using the composition.例文帳に追加

広い露光ラテテュード、パターン裾引き低減、良好なパターン形状、優れたドライエッチング耐性を満たし、更に現像後の欠陥が少ないパターンを形成することができる感活性光線性または感放射線性樹脂組成物及びそれを用いたパターン形成方法の提供。 - 特許庁

To provide a coating apparatus and a coating method suitable for forming a thick coating film with a high viscous coating material, wherein the high viscous coating material having 5-50 Pa s viscosity is applied by one brush coating to form a coating film having thickness of ≥450 μm in a wet state and ≥350 μm in a dry state.例文帳に追加

５〜５０Ｐａ・ｓの高粘度塗料を一度の刷毛塗りによって、ウェット時に４５０μｍ以上であって乾燥時に３５０μｍ以上という膜厚の塗膜に塗布することができる、高粘度塗料の厚膜塗装に適した塗装装置及び塗装方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for producing smoked fish and shellfish comprising smoking fish and shellfish to proceed with surface dry of the fish and shellfish while inhibiting heat coagulation of the flesh thereof and also elution of the fat therefrom, so as to seal off the fat and aged delicious taste in the flesh to sufficiently give smoking color and flavor to the fish and shellfish.例文帳に追加

魚介類をスモーク処理することにより、肉の熱凝固を避け、かつ、脂質の溶出を避けながら、表面乾燥を進め、脂質と熟成した旨味を肉に封じ込めてしっかりとスモークの色と風味を付与することができるスモーク魚介類を得ること。 - 特許庁

To provide an economical method for processing polished rice by dry system in contrast to processing wash-free rice by wet system, using a simple device, causing no quality deterioration and preventing getting cloudy.例文帳に追加

研磨処理あるいは未研磨処理の精白米に、でんぷん、あるいはでんぷんを含む穀物、芋類等をアルファ−化したのち低温処理をおこない、構成するでんぷんを老化変性させたものからなる研磨材を混合撹拌し、その表面にアルファ−化した皮膜を形成する精白米の加工方法。 - 特許庁

In the permanent pattern forming method, a photosensitive composition is applied to the surface of a substrate so as to be a dry film thickness 1.2-3.0 times the hardened film thickness of a permanent pattern formed eventually on the substrate, which is dried to form a photosensitive layer, and is then exposed and developed.例文帳に追加

基材上に最終的に形成される永久パターンにおける硬化膜厚の１．２〜３．０倍の乾燥膜厚となるように前記基材の表面に感光性組成物を塗布し、乾燥して感光層を形成した後、露光し、現像する永久パターン形成方法である。 - 特許庁

The prism layer 43 is made of a material having a refractive index equal to or more than the refractive index of the lower glass substrate 35 of the display panel 30 and the reflection layer 44 is constituted with a planar reflection plate, a metallic reflection film formed on a prism surface 43b by a dry plating method or else.例文帳に追加

プリズム層４３は表示パネル３０の下ガラス基板３５の屈折率と同じか、あるいはそれ以上の屈折率の材料を用い、反射層４４は板状の反射板またはプリズム面４３ｂ上に乾式メッキ法で形成した金属反射膜などで構成する。 - 特許庁

The method for drying succulent plants comprises a powder production process comprising sterilizing/washing the succulent plant in solid state using sodium hypochlorite, and drying the succulent plant at low temperature for long period of time when subjected to vacuum freeze dry, so as to produce the powder containing only color and components inherent in the succulent plants.例文帳に追加

多肉植物を固体の状態で次亜塩素酸ナトリウムを使用し殺菌・洗浄し、真空凍結乾燥する際は低温・長時間で乾燥する粉末製造工程により、多肉植物が本来有する色および成分のみからなる粉末を得ることができる。 - 特許庁

This method of recycling the waste plastic material includes a dry type separation process for detecting a composition of the plastic waste material constituted of the plurality of kinds of plastics, and for recovering selectively the desired composition of the plastic waste material, and a high-purity separation process for sorting-recovering the specified composition of plastic to be recycled.例文帳に追加

複数種のプラスチックで構成されたプラスチック廃材の組成を検出し、所望の組成のプラスチック廃材を選択的に回収する乾式分離工程と、再資源化される特定組成のプラスチックを選別回収する高純度分離回収工程を含む。 - 特許庁

This method for controlling inner pressure of a cooling chamber of a coke dry-cooling apparatus is characterized in that the opening X of a damper for controlling the inner pressure of the cooling chamber of the objective cooling tower regarding pressure control is set based on the following equation and controlled in advanced before red-heated coke is charged into another cooling tower.例文帳に追加

圧力制御対象の冷却塔の冷却室内圧力制御用ダンパーの開度Ｘを、他の冷却塔に赤熱コークスを装入する前に、予め、下記式(1) に基づいて設定、調節するコークス乾式冷却設備の冷却室内圧力制御方法。 - 特許庁

To provide a curd inhibitor for inhibiting the formation of the curd, an eat feeling-improving agent for meat to make the meat hardly being dry, an yield-improving agent for the meat to improve the yield of the meat, a canned fish meat and processed foods of animal and bird meats improved with the above, and a method for producing them.例文帳に追加

カードの生成を抑制するカード抑制剤、肉をパサつきにくくする肉用食感改良剤、歩留りを向上させる肉用歩留り改良剤、それらが改良された魚肉缶詰、獣鳥肉類加工食品およびそれらの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a coke dry quencher (CDQ) gas-circulating method, by which CDQ can be started up with a circulation blower driven with a steam turbine used in a steady-state operation without using an electrically driven small circulation blower, when CDQ is started up, and to provide a gas circulation system having a simplified installation.例文帳に追加

立ち上げ時に電気駆動式小型循環ブロワを使用することなく、定常運転で使用する、蒸気タービン駆動の循環ブロワにより立ち上げることができるＣＤＱの循環送風方法及び設備が簡素化された循環送風システムを提供すること。 - 特許庁

To provide a new paving-material cut-powder removal device, which enables working in a dry environment with superiority in the environmental setting while employing a down-cut style as a superior cutting method, and a paving-material cutting equipment equipped with the device.例文帳に追加

切断方式として優位性の有るダウンカット方式を採用しながら、環境設定として優位性のあるドライ環境での作業を可能とした新規な舗装材の切削粉粒の除去装置、並びにこれを具えた舗装材切断装置の開発を試みたものである。 - 特許庁

This method for granulating slag is characterized in that the amount of water to be added to the powdery slag is adjusted so as to be in a range from less than the water level where free water begins to appear, to equal to or more than the level less by 5 mass% than the water level, and dry ice is supplied while the slag is mechanically agitated.例文帳に追加

粉状のスラグに、自由水が存在し始める水分値未満で、かつ該水分値よりも５質量％少ない値以上の範囲となるように添加する水分量を調整し、機械的な攪拌を付与しつつ、ドライアイスを供給することを特徴とするスラグの造粒方法。 - 特許庁

In the method for dry etching wherein a wafer to be etched is set onto the wafer chuck, an etching gas suitable for the wafer is introduced, and the surface of the wafer is etched; the adhesion of the wafer to the wafer chuck is evaluated beforehand, and the etching condition is adjusted according to the evaluated adhesion.例文帳に追加

ウエーハチャックにエッチングすべきウエーハをセットし、前記ウエーハに合わせたエッチングガスを導入し、前記ウエーハ表面をエッチングするドライエッチング方法において、前記ウエーハの前記ウエーハチャックへの密着度を予め評価し、この評価した密着度によってエッチング条件を調整するようにした。 - 特許庁

The method includes a preparatory step of coffining where at least one work of restoring a damaged dead body depending on its condition and controlling progress of the damage in the dead body is carried out, a step of laying the dead body in a coffin and a step of putting dry ice in the coffin.例文帳に追加

遺体の状態に応じて、遺体の損傷を修復すること、及び、遺体の損傷が進行するのを抑制することの少なくともいずれかを施す納棺準備工程と、遺体を棺内に寝かせる工程と、棺内にドライアイスを収容する工程とを備えている。 - 特許庁

To provide a method for injecting powdery fuel, by which the increase of fuel ratio in a blast furnace and the increase of load of a blower for carrying the powdery fuel are suppressed and breakage of a bag filter in a dry type dust collector in the blast furnace can be prevented when the powdery fuel is injected into the blast furnace from a tuyere.例文帳に追加

粉体燃料を羽口から高炉内へ吹込む際に、高炉の燃料比の上昇や、粉体燃料を搬送するための送風機の負荷の上昇を抑制し、高炉ガス乾式集塵機のバグフィルターの破損防止を図れる粉体燃料吹込み方法を提供する。 - 特許庁

To provide a tray for drying Japanese plums used for sun drying, and designed so as to make it easy to dry Japanese plums without causing scatter or bias of the Japanese plums when turning over the Japanese plums in sun drying time and requiring no specific skill, so as to improve productivity: and to provide a method for drying Japanese plums.例文帳に追加

熟練を要することなく天日乾燥時の反転時に梅が散乱したり、偏りが生じたりすること無く簡単にでき生産性を向上できる様にした天日干しに使用する梅乾燥用トレー並びに梅の乾燥方法を提供することを目的とするものである。 - 特許庁

In the manufacturing method of the alkaline dry cell, first, a positive electrode 2 is provided inside a cell case 1, next, a separator 4 is provided in a hollow of the positive electrode 2, then, a negative electrode 3 with a porous sheet wound around is provided in a hollow of the separator 4, and then, alkali electrolyte is injected in the cell case 1.例文帳に追加

アルカリ乾電池の製造方法では、まず正極２を電池ケース１内に設け、次に、セパレータ４を正極２の中空内に設け、続いて多孔性シートが捲回された負極３をセパレータ４の中空内に設け、それからアルカリ電解液を電池ケース１内に注入する。 - 特許庁

To provide a method for preliminarily treating shellfishes, so that the dried product of the shellfishes does not give off an offensive odor by- produced by the oxidation of lipids contained in the internal organs and so that the flavor, touch and appearance of the dried product are good, when the shellfishes are subjected to a dry treatment, such as a lyophilization treatment or a vacuum frying treatment.例文帳に追加

貝類に対して凍結乾燥処理や減圧フライなどの乾燥処理を行う場合、製造された乾燥処理品に内臓の脂質の酸化による異臭の発生がなく、風味、触感、外観が良好であるように前処理する方法を提供することである。 - 特許庁

To obtain a lumber processing method which can process lumber easily in a short time, dry lumber from thinning, old lumber, waste lumber, bamboo, etc., process lumber to be dark red, rosewood-like, or ebony-like, and improve the commercial value of lumber.例文帳に追加

本発明は加工が容易で、短時間に行なうことができるとともに、間伐材、古木材、廃木材、竹等の木材の乾燥は勿論、えんじ色、紫檀あるいは黒檀状になるように加工して、商品価値の向上を図ることができる木材の加工方法を得るにある。 - 特許庁

The method for producing gelatine comprises a dry/pulverization process where fish-derived gelatine comprising gelatine raw material as a main component, meltable in cold water at ≤15°C, and gelatinized at the dissolving temperature or lower temperature than a gelatinizing temperature, or fish gelatine having gelling ability still in an amorphous molecular state.例文帳に追加

ゼラチン原料を主成分とし、温度１５℃以下の冷水に溶解可能であり、当該溶解温度又はゲル化温度より低い温度でゲル化する魚由来のゼラチン、及びゲル化能力のある魚ゼラチンを無定形分子状態のまま乾燥する乾燥・粉砕工程を備える、ゼラチンの製造方法。 - 特許庁

To provide a dry toner having good charge stability, excellent in charge retentivity (not causing charge attenuation by leaving), having satisfactory charge stability and good image properties while using a small amount of a charge control agent, and excellent also in environmental safety, and to provide a method for manufacturing the same.例文帳に追加

本発明の目的は、良好な帯電安定性、帯電保持性（放置による帯電減衰を起こさない）に優れ、少量の荷電制御剤の使用で十分な帯電安定性、良好な画像特性を有し、更には環境安全性に優れるトナーとその製造方法を提供することである。 - 特許庁

This functional building material comprises a hydrothermally solidified material 1 that is obtained by molding a formulated matter for hydrothermal solidification by a dry press method, and thereafter hydrothermally treating the molded product to produce at least calcium silicate hydrate and solidify it, and an inorganic decorating layer 2 that is formed on the surface of the thermally solidified material 1 and has fine cracks.例文帳に追加

この機能建材は、水熱固化用調合物を乾式プレス成形後、水熱処理することにより少なくともケイ酸カルシウム水和物を生じて固化した水熱固化体１と、この水熱固化体１の表面に形成され、微細なクラックをもつ無機加飾層２とからなる。 - 特許庁

In the exchanging method of the desiccating agent, one small hole 7 is placed at an upper section and the other small hole 7 is placed at a lower section, the moisture-absorbed desiccating agent is discharged from the lower small hole 7, and the dried desiccating agent is force-fed by a dry gas from the upper small hole 7 and dried.例文帳に追加

また、乾燥剤の交換方法においては、一方の小孔（７）を上方に位置させ且つ他方の小孔（７）を下方に位置させ、吸湿した乾燥剤を下方の小孔（７）から排出し、乾燥した乾燥剤を上方の小孔（７）から乾燥ガスで圧送して充填する。 - 特許庁

To provide a pulverized fine coal injecting method into a blast furnace in which the stable operation of a dry dust collector is continued and the increase of a fuel ratio is suppressed by preventing soot from being developed at the furnace top, even in case of incompletely burning the pulverized fine coal by injecting the large quantity of pulverized fine coals from a tuyere in the blast furnace.例文帳に追加

高炉羽口から微粉炭を多量に吹込んで微粉炭がレースウェイ内で不完全燃焼しても、炉頂からススの発生を防止して乾式集塵機の安定した稼働の継続と燃料比の上昇を防止する高炉への微粉炭吹込み方法を提供する。 - 特許庁

To provide an aqueous coating material composition which is excellent in film-forming property under low temperature and dry conditions, enables a coating film to be formed, the coating film having excellent solvent resistance, moisture resistance, and adhesiveness to a polyolefin formed body, and is also excellent in compatibility with polar resins and storage stability, and to provide a method for producing the aqueous coating material composition.例文帳に追加

低温乾燥条件での成膜性に優れる上に、耐溶剤性、耐湿性、ポリオレフィン成形体に対する付着性に優れた塗膜を形成でき、極性樹脂との相溶性および貯蔵安定性にも優れる水性塗料組成物およびその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a practical method for enlarging the coke particle size while maintaining the strengths of the coke in the coke manufacturing process that comprises classifying a blended coal into a dust coal and a coarse-grain coal, then molding the dust coal under pressure, mixing the briquet from the dust coal and the coarse-grain coal and performing dry distillation.例文帳に追加

配合炭を微粉炭と粗粒炭に分級した後、微粉炭を加圧成型し、微粉成型炭と前記粗粒炭を混合し、乾留するコークスの製造プロセスにおいて、コークス強度を維持しながらコークス粒度を拡大する実用的な方法を提供する。 - 特許庁

To provide a metal wire manufacturing method having excellent productivity by suppressing occurrence of wire breakage in a final wet type wire drawing step by improving the wire drawing condition when obtaining a desired metal wire through a dry wire drawing step and a wet wire drawing step.例文帳に追加

乾式伸線工程と湿式伸線工程とを経ることにより所望の金属線材を得るに際し、伸線条件の改良により最終の湿式伸線工程における断線の発生を抑制することで、生産性に優れた金属線材の製造方法を提供する。 - 特許庁

To obtain a silver metallic powder coating material produced by a dry-blending method, suitable for silver-metallic coating with a tribo-electric spray gun and giving a silver metallic powder coating film having a quality comparable to a coating film obtained by a solvent-based silver metallic coating material.例文帳に追加

ドライブレンド法により製造でき、トリボ帯電スプレーガン用シルバーメタリック塗装に好適に使用することができ、さらに、溶剤系シルバーメタリック塗料により得られる塗膜と同等の品質を有するシルバーメタリック粉体塗膜を得ることができるシルバーメタリック粉体塗料を提供する。 - 特許庁

To provide a method for controlling pressure in a cooling tower in coke dry quenching equipment capable of, even when coke of a low fire extinguishing degree is charged and a pressure in the cooling tower is drastically changed, effectively dissolving the change of the pressure and maintaining the pressure in the tower constantly.例文帳に追加

たとえ火落ち程度の低いコークスが装入されて、冷却塔内の圧力が大幅に変動するような場合であっても、その変動を効果的に解消して、塔内圧を一定に保持することができるコークス乾式消火設備における冷却塔内圧力の制御方法を提供する。 - 特許庁

In the method of etching the sapphire substrate, a photoresist pattern is formed on the sapphire substrate and irradiated with ultraviolet rays of ≤400 nm in wavelength, and then dry etching is carried out using the resist pattern as a mask to form many circular truncated conic and circular conic projections on the sapphire substrate.例文帳に追加

本発明は、サファイア基板上にフォトレジストパターンを形成し、波長が400nm以下の紫外線光を照射した後、前記レジストパターンをマスクとしてドライエッチングすることにより前記サファイア基板上に円錐台状や円錐状の凸部を多数形成するサファイア基板のエッチング方法である。 - 特許庁

In the ozone exposure test method, dry air is preliminarily passed through a test tank and the air circulating system annexed thereto to circulate ozone-containing air before an ozone exposure test and, thereafter, the ozone exposure test is carried out in the test tank 1 to which air passing treatment is applied.例文帳に追加

オゾン暴露試験方法であって、オゾン暴露試験前に予め試験槽１とそれに付随するオゾンを含む気体を循環させる気体循環系内に乾燥空気を通してから、この通気処理を施した試験槽１にてオゾン暴露試験を行うことを特徴とする。 - 特許庁

To provide a method for forming a negative pattern which is transparent in the far UV region including 193 nm wavelength of ArF excimer laser light, which has a chemical structure with high durability against dry etching and shows excellent resolution without swelling in a 2.38% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution as a standard developer.例文帳に追加

ＡｒＦエキシマレーザーの波長１９３ｎｍを含む遠紫外線領域で透明で、かつドライエッチング耐性も高い化学構造を持ちながら、標準現像液である２．３８％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で、膨潤のない解像性能の優れたネガ型のパタン形成方法を提供する。 - 特許庁