「surface pattern」に関連した英語例文の一覧と使い方(187ページ目) - Weblio英語例文検索

In addition, a certain thickness of a conductor pattern 13 of the circuit board 10 having no (or small) anisotropy in thermal conduction is secured, and heat transmitted through the insulating substrate 11 is previously diffused in a direction of a surface jointed with the base 3, thereby a conductive area is expanded.例文帳に追加

また、熱伝導に異方性のない（又は小さい）回路基板１０の導体パターン１３の厚みをある程度確保して、絶縁基板１１を経由して伝達される熱を放熱用ベース３との接合面の方向に予め拡散して伝導面積を広げることとした。 - 特許庁

A dielectric substrate 11 of the plasmon waveguide 1 having a plurality of fine holes 12 of a predetermined pattern on its surface is filled with a plurality of fine metal bodies 20 of the size, which induces localized plasmons, spaced so that a plasmon guided wave occurs in the adjacent fine metal bodies 20.例文帳に追加

表面に所定のパターンで複数の微細孔１２が開口したプラズモン導波路１の誘電体基材１１に、局在プラズモンを誘起しうる大きさの複数の微細金属体２０が、隣接する微細金属体２０にプラズモン導波がおこる離間距離を有して充填されている。 - 特許庁

To provide a display which is so fully secure as to make forgery difficult and allows more reliable validity judgement, with respect to a display in which a substrate surface is divided in a matrix shape and a diffraction grating pattern is formed in a cell within each element of the matrix to constitute a display image.例文帳に追加

基材表面をマトリクス状に分割し、マトリクスの各要素の内部のセルに回折格子パターンを形成して表示画像を構成するディスプレイにおいて、よりセキュリティ性が高く偽造が困難で、真偽判定がより一層確実に行えるディスプレイを実現する。 - 特許庁

To prevent the signal omission of magnetic information transferred on a slave medium and to facilitate peeling from the slave medium after the transfer when a magnetic transfer master carrier having a concave and convex pattern on the surface is tightly contacted to the slave medium to execute magnetic transfer.例文帳に追加

表面に凹凸パターンを有する磁気転写用マスター担体とスレーブ媒体とを密着させて磁気転写を行う場合において、スレーブ媒体に転写される磁気情報の信号抜けの発生を防止するとともに、転写後のスレーブ媒体との剥離を容易とする。 - 特許庁

A mark 14 of a symmetrical shape such as a square frame pattern for inspection which deforms when a barrel 11 is caulked is engraved with a press machine or the like on the outer surface of a bottom face 12 of a crimping terminal 10 so as not to be scraped off by caulking.例文帳に追加

圧着端子１０の底面部１２の外表面には、バレル１１が加締められたときに変形を生じる検査用の四角状の枠型等の左右対象な形状であるマーク１４が加締めによって消えることのない様にプレス機等により刻設されている。 - 特許庁

The nozzle pitch is detected based on an image of a pattern of the organic EL liquid on a test coating surface which is obtained by a CCD camera 13 and the pitch in the secondary scanning direction of the plurality of the nozzles 17 is adjusted by a pitch adjusting mechanism 3 based on the detected result.例文帳に追加

そして、ＣＣＤカメラ１３により取得された試験塗布面上の有機ＥＬ液のパターンの画像に基づいてノズルピッチが検出され、検出結果に基づいて複数のノズル１７の副走査方向におけるピッチがピッチ調整機構３により調整される。 - 特許庁

To permit long continuous printing without suspending the printing and make an image pattern of preliminary discharge difficult to visually recognize by simple control when preliminary discharge is made to a paper surface in a printing device using a recording head in which a plurality of nozzles to discharge inks are linearly arranged.例文帳に追加

インクを吐出する複数のノズルがライン状に並んだ記録ヘッドを用いた印刷装置において紙面予備吐出を行う際に、印刷を中断させる事が無く長時間連続印刷を可能とするとともに、簡易的な制御により予備吐出の画像パターンが視認されにくくする。 - 特許庁

To provide a surface-mounting light-emitting device for preventing cracks from being generated at a junction for connecting an electrode for external connection in a package to a circuit pattern, in a wiring board caused by the difference in the thermal coefficient of expansion between the packaging substrate of the package and the wiring board.例文帳に追加

パッケージの実装基板と配線基板との熱膨張率の差に起因して、パッケージの外部接続用電極と配線基板の回路パターンとの間を接続している接合部にクラックが生じるのを防止することができる表面実装型発光装置を提供する。 - 特許庁

To provide a patch transfer medium, easily transferring a patch onto a body to be transferred, and having a cholesteric liquid crystal layer hologram and a reflective pattern layer enabling to simply determine genuineness, in addition to scratch resistance, solvent resistance and the like for protecting a surface of the medium, even when used repeatedly over many times.例文帳に追加

被転写体にパッチを容易に転写でき、多数回の繰り返し使用でも、媒体の表面と保護する耐擦傷性や耐溶剤性などに加えて、簡易な真正性判定が可能なコレステリック液晶層ホログラム及び反射性パターン層を有するパッチ転写媒体を提供する。 - 特許庁

The RFID antenna device 6 is provided with a phase adjustment section 14 which is connected electrically and serially to a circuit pattern 7a formed on the upper surface of a substrate 13 of an antenna 7 in the shape of a loop, and a phase component of the antenna 7 is adjusted by this phase adjustment section 14.例文帳に追加

ＲＦＩＤ用アンテナ装置６は、アンテナ７の基板１３の上面にループ状に形成されている配線パターン７ａに電気的に直列接続した位相調整部１４を設け、この位相調整部１４により、アンテナ７の位相成分を調整するようにした。 - 特許庁

A ground conductor layer is formed on one surface of a laminate substrate, and resonant pattern conductor layers each having resonant electrode patterns 161a, 161b each of which one end is a short circuit end connected to the conductor layer and the other end is an open end are formed via the dielectric layer so as to oppose the conductor layer.例文帳に追加

積層基板の一方の面側に接地導体層を形成し、一端が接地導体層と接続される短絡端で他端が開放端とされた共振電極パターン１６１a，１６１bを有する共振パターン導体層を、誘電体層を介して接地導体層と対向して設ける。 - 特許庁

In the photomask, a stripe part S1 of the light-shielding pattern, having a small window width is affected less by flare light, so that the hollow size of side surface 11A of a protrusion part 11 of a transparent substrate 1 is enlarged, and thereby the canceling due to interference of oblique incident light is reduced.例文帳に追加

このフォトマスクによれば、窓幅が小さい遮光パターンのストライプ部Ｓ１では、フレア光の影響が小さいから、透明基板１の凸部１１の側面１１Ａが窪んでいる寸法を大きくすることによって、斜め入射光の干渉による打ち消し合いを少なくする。 - 特許庁

The method of producing the ink-jet recording head for ejecting ink droplets perpendicularly to a substrate surface comprises as the following: Firstly, a first photosensitive material layer having a latent image pattern forming an ink channel, is formed on a first substrate having an energy generating element for ejecting the ink droplets.例文帳に追加

基板面に対して垂直方向にインク液滴が吐出されるインクジェット記録ヘッドの製造方法として、まず、インク液滴吐出のためのエネルギー発生素子を有する第１の基板上にインク流路となる潜像パターンを有する第１の感光性材料層を形成する。 - 特許庁

Pattern electrodes 32a-32l forming a plurality of pairs are formed on one surface of a substrate 35 in which electrodes and wiring patterns are formed on both surfaces of a base material 31, and circuit elements 50a-50f corresponding to each of them are joined by solder junction, thereby obtaining a circuit module 30.例文帳に追加

基材３１の両面に、電極及び配線パターンが形成された基板３５の一方の面には、複数の対をなすパターン電極３２ａ〜３２ｌが形成され、それぞれに対応する回路素子５０ａ〜５０ｆを半田接合により接合し、回路モジュール３０を得た。 - 特許庁

The composite substrate consists of a substrate body, an insulation film covering the surface of the substrate body, and a wiring pattern formed on the insulation film, wherein the substrate body is made of an expanded graphite sheet or a graphite composite sheet including the expanded graphite sheet and a different material laminated.例文帳に追加

基板本体と、該基板本体の表面を被覆する絶縁膜と、該絶縁膜上に形成された配線パターンとからなり、前記基板本体が膨張黒鉛シートもしくは膨張黒鉛シートと異種素材とを積層した黒鉛複合シートからなる複合基板とする。 - 特許庁

Many hollows 103 and 104 are formed in specified pattern on one largest-size surface of light guide plates 101 and 102 made of thin plates having high transparency and coated with paint, and light sources 107, 108, 109, and 110 are installed nearby end surfaces of the light guide plates.例文帳に追加

透明性の高い薄板から成る導光板１０１，１０２の面積が最大の１つの表面に所定のパターンによる多数のくぼみ１０３，１０４を施し、そのくぼみに塗料を塗布し、その導光板の端面の近傍に光源１０７，１０８，１０９，１１０を設置する。 - 特許庁

The respective Fresnel lenses 3 use a plurality of radiation directions inclined from the optical axis of the light emitting diode 1 as their optical axis directions and form a light distribution pattern F of desired illuminance on the irradiation surface, and are so arranged as to surround the light emitting diode 1 on the front side of the light emitting diode 1.例文帳に追加

各フレネルレンズ３は、発光ダイオード１の光軸から傾いた複数の照射方向それぞれを光軸方向とし照射面へ所望の照度の配光パターンＦを形成するレンズであり、発光ダイオード１の前方側で発光ダイオード１を囲むように配置する。 - 特許庁

To provide a stamper production device using a dot printer theory forming a dot pattern by giving a physical deformation to a stamper without using complex process nor expensive equipment such as removing or cutting off stamper surface by etching.例文帳に追加

ドットパターンを形成することにおいて、エッチィングなどのようにスタンパ表面を剥ぎ取ったり、削り取ったりするなど、複雑な工程や高価な装備を備えず、スタンパに物理的な変形を加えることで、ドットパターンを形成するドットプリンター原理を利用したスタンパ製造装置を提供する。 - 特許庁

Then, a conductor pattern 6 is formed on the base insulating layer 5, a second protection layer 7 is formed of the tin or the tin alloy on a surface of the conductor base 6, and a cover insulating layer 8 is formed on the base insulating layer 5 to cover the second protection layer 7.例文帳に追加

次いで、ベース絶縁層５の上に導体パターン６を形成し、その導体パターン６の表面に、錫または錫合金からなる第２保護層７を形成するとともに、ベース絶縁層５の上に、第２保護層７を被覆するようにカバー絶縁層８を形成する。 - 特許庁

To generate no popcorn phenomenon even when a plastic package is heated after chip parts such as an IC chip, etc., are mounted, in the case where the package is provided with a chip part mounting part on its surface and a conductor pattern is formed on the chip part mounting part.例文帳に追加

パッケージ表面にチップ部品を搭載するチップ部品搭載部を有し、該チップ部品搭載部に導体パターンが形成されたプラスチックパッケ−ジにおいて、ＩＣチップ等のチップ部品を実装した後に加熱されても、ポップコーン現象を生じないプラスチックパッケ−ジを提供すること。 - 特許庁

In the pattern forming method, development is carried out with a developing solution containing a metal ion-free organic base and a nonionic surfactant as essential components in the developing step of photolithography while keeping 45.0-65.0 mN/m (20°C) surface tension of the developing solution through the developing step.例文帳に追加

ホトリソグラフィーの現像工程において、金属イオンを含まない有機塩基とノニオン性界面活性剤を主成分として含む現像液を用い、現像全工程を通して、現像液の表面張力値を４５．０〜６５．０ｍＮ/ｍ（２０℃）に維持して現像するパターン形成方法。 - 特許庁

To form a hard deposit layer in any arbitrary pattern on the surface of a wire tool of fixed abrasive grain type, to suppress a drop of the cutting efficiency resulting from repetitive use and elongate the tool life, and to reduce the labor required to conduct processing and also enhance the productivity easily.例文帳に追加

固定砥粒式ワイヤ工具のワイヤ表面に任意のパターンで硬質堆積層を形成することができて、繰り返し使用による切断能率の低下を抑えるとともに工具寿命を延ばすことができ、且つ、加工に手間がかからず、容易に生産性を上げることができるようにする。 - 特許庁

In the swelling pattern engraving device comprising polygonal seal surface plates, and various type seal surfaces, a magnet is mounted at iron pieces mounted at bottoms of the plates, a cylinder 5 in the engraving device body, and a lower bearer plate 7, and a link lever 3 is interposed between an operating lever 4 and the cylinder 5.例文帳に追加

多角形の印面プレート２０，２１と、豊富な印面２２，２３とを含む刻印装装置で、印面プレートの底面に取り付けた鉄片２４，２５と、刻印装置本体内部のシリンダー５と、下部受台プレート７に磁石が取り付けてあり、操作レバー４とシリンダー５の間にリンクレバー３が介在している。 - 特許庁

To prevent the waving of a polymer solution and the generation of a wind pattern on the surface of the solution in a mold and to provide a method for producing a seamless belt the thickness of which is 50 μm-1 mm, especially at least 80 μm, and can be uniform.例文帳に追加

金型内で高分子材料溶液が波打ったり、表面に風紋状の模様が生じるのを抑制防止し、厚さ５０μｍ以上、特には８０μｍ以上、通常１ｍｍ以下の厚いシームレスベルトの肉厚の均一化を図り得るシームレスベルトの製造方法を提供する。 - 特許庁

The semiconductor device comprises an IC chip 1, capacitor 2, a filter 3, an insulating chip holder 4 for integrally holding these circuit parts 1, 2 and 3, a and circuit pattern 5 which is electrolytically cast on the surface of the holder to be electrically connected to a terminal of each circuit part.例文帳に追加

ＩＣチップ１、コンデンサ２及びフィルタ３と、これらの各回路部品１，２，３を一体に保持する絶縁性のチップ保持体４と、当該チップ保持体の表面に電解鋳造され、前記各回路部品の端子部と電気的に接続された回路パターン５とをもって半導体装置を構成する。 - 特許庁

The light-scattering film 3 is formed by applying a material prepared by adding a photosensitive resin consisting of an organic material as a binder to an inorganic material such as silicon oxide (silica), aluminum oxide (alumina), titanium oxide (titania) or the like on the surface of the glass substrate 2 and by forming the desired rugged pattern by a photolithographic method.例文帳に追加

光散乱膜３は、酸化珪素（シリカ）、酸化アルミニウム（アルミナ）、酸化チタン（チタニア）等の無機材料にバインダーとして有機材料から成る光感光性樹脂を添加したものをガラス基板２表面に塗布してフォトリソグラフ法により所望の凹凸形状に成形される。 - 特許庁

To provide a pattern forming tool with which a patterned coating film formed by orienting a powdery magnetic material contained in a coating material with a magnetic field of a magnet is formed on the surface of a vessel such as a can, and a method for manufacturing the vessel with the patterned coating film obtained by using the same.例文帳に追加

塗料中に含有させた粉末状の磁性材料を磁石による磁界で配向させて形成する模様塗膜を缶等の容器の表面に形成することができる模様形成治具およびこれを用いた模様塗膜付き容器の製造方法を提供すること。 - 特許庁

To prevent light irradiated on a finger from entering an optical image from inside of the finger due to reflection on a surface skin of the finger, to obtain a vivid image of a vein pattern, in a vein image reader for reading an optical image of a vascular tissue in the illuminated finger by a solid imaging device.例文帳に追加

照明された指内部の血管組織の光学画像を固体撮像素子により読み取るための血管画像読み取り装置において、指への照射光が指の表皮で反射して指内部からの光学画像に混入することなく、鮮明な血管パターンの画像を得る。 - 特許庁

A contact probe 13 is arranged corresponding to an arrangement pattern of a test pad 11 provided in a circuit formation domain 5a which is an inspection object on the upper surface of a holder substrate 15 provided on this contact unit 2, and an inspection probe group 14a-14d is arranged corresponding to dummy pads 7a-7d.例文帳に追加

コンタクトユニット２に備わるホルダ基板１５の上面には、検査対象たる回路形成領域５ａに備わるテストパッド１１の配置パターンに対応してコンタクトプローブ１３が配置されると共に、ダミーパッド７ａ〜７ｄに対応して、検出プローブ群１４ａ〜１４ｄが配置される。 - 特許庁

As for this diversity antenna, on a printed board 10, the non- directional print pattern antenna for the linearly polarized wave is formed around an axis in the longitudinal direction of the printed board and the non- directional dielectric planar antenna 11 for the linearly polarized wave is loaded around the axis vertical to a printed board surface on the same printed board.例文帳に追加

プリント基板上に、プリント基板の長手方向の軸の周囲に無指向性の直線偏波のプリントパターンアンテナを形成し、同じプリント基板上にプリント基板面に垂直な軸の周囲に無指向性の直線偏波の誘電体平面アンテナを搭載する。 - 特許庁

A required wiring pattern 3 is formed including a required terminal part where openings 9 required for electrical connection with a counterpart flexible circuit board 8 for interconnection through an insulating base layer 2 are formed not only in one surface of a resilient metal layer 1 but also in the insulating base layer 2.例文帳に追加

バネ性金属層１の一方面に絶縁べ−ス層２を介して相手方の中継用可撓性回路基板８と電気的接続を図るために必要な開口部９を絶縁べ−ス層２にも備えるように所要の端子部を含めて所要の配線パタ−ン３を形成する。 - 特許庁

To improve durability toward transfer number of a master information carrier which transfers a preformat signal such as a servo signal onto a magnetic recording medium by surface contact by magnetizing a ferromagnetic material accumulated on a nonmagnetic substrate in a signal pattern shape by being in close contact with the magnetic recording medium.例文帳に追加

非磁性基体上に信号パターン状に堆積された強磁性材料を、磁気記録媒体に密着させて磁化することにより、磁気記録媒体にサーボ信号などのプリフォーマット信号を面接触で転写するマスター情報担体の転写回数に対する耐久性を向上させる。 - 特許庁

A black layer 32 is formed on a surface outside of a conductive layer 12, a hole is made in an interlayer insulating layer 21 covering the black layer 32, and the conductive layer 12 is etched through the hole to form a hole pattern 31 having holes made through the conductive layer 12 and the interlayer insulating layer 21.例文帳に追加

導体層１２の外向きの面に黒化層３２を形成し，黒化層３２を覆う層間絶縁層２１にレーザ加工により穴を開け，この穴を通して導体層１２をエッチングし，導体層１２および層間絶縁層２１を貫通する穴パターン３１を形成する。 - 特許庁

In a female die with a design and shape copied from a cast product, high fluid, non-contractive mortar of 220 to 360 in fluidity is filled, set copying its surface pattern, and later taken out or stripped from the female die to be a concrete casting die.例文帳に追加

流動度２２０〜３６０の高流動性及び無収縮性モルタルを用いて、鋳物製品の意匠形状に対応させて形成したメス型に、このモルタルを充填し、凝固硬化させて意匠面を転写し、後に抜き取り又は解砕し、鋳造用コンクリート型を得たものである。 - 特許庁

In the discarding margin 7, a dummy conductor 11 for reducing a shrinkage rate difference with the product 5 at the baking time at least at 0.1 mm or more apart from the peripheral edge of the coupling ceramic wiring substrate 1 is provided in the form of a surface conductor pattern along the outer periphery of the product 5.例文帳に追加

捨て代部７には、当該連結セラミック配線基板１の外周縁から少なくとも０．１ｍｍ以上隔たって、焼成時における製品部５との収縮率差を減じるためのダミー導体１１が、製品部５の外周に沿う面導体パターンの形で設けられている。 - 特許庁

The thermoformable panel material 10 is composed by laminating a transparent, high-hardness outer material layer 13, a pattern layer 12 designed by the printing method and the like and an inner surface layer 11 and filled with a substrate 20 consisting of a foamable material and the like that has been molten in a molding die to be molded into an integral form.例文帳に追加

加熱成形可能なパネル材１０を透明で高硬度の外材層１３、印刷法などによりデザインされた図柄層１２、内面層１１を重ね合わせて構成し、成形金型内で溶融した発泡性材料などからなる基材２０を充填して一体に成形する。 - 特許庁

This wiring board comprises at least an uppermost insulating layer 21 and an adjacent insulating layer 22 that is located below the layer 21, and has an external conductive pattern provided on the outer surface of the layer 21 and internal conductive patterns 12 and 13 provided between two adjacent ones of the layers 21 and 22 and a lowermost insulating layer 23.例文帳に追加

少なくとも最上絶縁層２１，最上絶縁層２１の下方に隣接する隣接絶縁層２２からなるとともに，最上絶縁層の外表面に設けた外部導体パターン１１と，各絶縁層の間に設けた内部導体パターン１２，１３とを有している。 - 特許庁

A first interior panel 21 and a second interior panel 22 include: panel bodies 23 and 33 that have the light transmission of the grain pattern etc., and are provided with an opaque colored layer that can be visually checked from the surface; and an inorganic EL light emission film that is integrated with the back side of the panel bodies 23 and 33.例文帳に追加

第１インテリアパネル21および第２インテリアパネル22は、木目柄などの光透過性を有するとともに不透明の着色層を表面から視認可能に設けたパネル本体23，33と、これらのパネル本体23，33の裏面に一体化した無機ＥＬ発光フィルムとを具備している。 - 特許庁

On the display surface side of a single rectangular light emitting substrate 4, three sets of pattern light emitting element groups 11 and six light emitting element pairs 21 for a light transmission plate arranged in parallel on both sides of them are mounted along the array direction of display areas 10A-10C for three digits.例文帳に追加

単一の矩形状の発光基板４の表示面側に、３組の図柄発光素子群１１とそれらの両側に平行状に配置された６対の導光板用発光素子対２１とが、３桁の表示領域１０Ａ〜１０Ｃの配列方向に沿って実装されている。 - 特許庁

The bosses 32 are fitted to the plurality of recessed parts 35 of the game board 10 and the pattern display device 29 is assembled on the front surface of the game board 10 in the positioning state by fastening a plurality of screws 36 onto the bottom parts of the recessed parts 35 through the bosses 32.例文帳に追加

これら複数のボス３２は遊技盤１０の複数の凹部３５内に嵌合されており、図柄表示装置２９は複数のボス３２内を通して複数の凹部３５の底部に複数の捩子３６を締め込むことに基づいて遊技盤１０の前面に位置決め状態で組付けられている。 - 特許庁

This stack block is provided with a brace side block 4 molded with compressed concrete and having a nearly constant horizontal cross sectional shape in the vertical direction, a front block 5 molded with casting concrete and having a relief pattern on the surface, and a coupling pair connecting the front face of the brace side block 4 and the back face of the front block 5.例文帳に追加

水平断面形状が上下方向に略一定の圧縮コンクリートで成形された控側ブロック４と、表面にレリーフ模様を有する流し込みコンクリートで成形された前面ブロック５と、控側ブロックの前面と前面ブロックの背面とを連結する嵌合対とを備えている。 - 特許庁

This non-contact data carrier 42 has 1st and 2nd antenna coils composed of a circulating line pattern formed on one surface 39A of an insulating substrate 39 and an IC chip 38 connected to one end of the inner circumferential side of the 1st antenna coil and one end of the inner circumferential side of the 2nd antenna coil.例文帳に追加

非接触式データキャリア４２は、絶縁基材３９の一方の面３９Ａに形成された周回する線パターンからなる第１および第２のアンテナコイルと、第１のアンテナコイルの内周側の一端と第２のアンテナコイルの内周側の一端とに接続されたＩＣチップ３８とを有する。 - 特許庁

To provide a spray which incorporates erasable ink erased by rubbing with cloth or the like after drawn on a non-water absorbing surface and enables a user to draw a picture of a desired pattern as required and erase the drawn picture if the picture is not necessary.例文帳に追加

非吸水性面に描画した後、布などを利用して擦れば消える消去性インキを内蔵し、必要に応じて自身が望む形状に描画することが可能で、必要のない場合には描画された画像を消去できる消去性インキ内蔵噴霧器を提供する。 - 特許庁

The conductor pattern 11 formed on the surface of a substrate layer 10-(2n-1) composing a detection coil L2 and each of the interfaces of substrate layer 10-n to 10-(2n-1) is electrically connected through the through hole 12 penetrating the substrate layers 10-(n+1) to 10-(2n-1).例文帳に追加

同様に、検出コイルＬ２を構成する基板層１０−（２ｎ−１）の表面及び基板層１０−ｎ〜１０−（２ｎ−１）の界面それぞれに形成される導線パターン１１は、基板層１０−（ｎ＋１）〜１０−（２ｎ−１）を貫通するスルーホール１２を通じて電気的に接続される。 - 特許庁

To provide an aligner capable of carrying out exposure at high accuracy, by carrying out a relative alignment between a projection position of an exposure pattern of a projection optical system and a detection position of a position detection optical system, without having to move the position detection optical system on a rear surface side.例文帳に追加

、裏面側の位置検出光学系を移動させることなく、投影光学系の露光パターンの投影位置及び位置検出光学系の検出位置の相対的な位置合わせをより正確に行って、露光を高精度に行うことが可能な露光装置を提供する。 - 特許庁