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「Interlayer」に関連した英語例文の一覧と使い方(106ページ目) - Weblio英語例文検索


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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > Interlayerの意味・解説 > Interlayerに関連した英語例文

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Interlayerを含む例文一覧と使い方

該当件数 : 6425



例文

To enable manufacturing of a multilayer printed wiring board having high interlayer bond strength and an insulating resin layer having uniform film thickness, in a short time, with satisfactory productivity by using a copper foil laminated type build-up technique.例文帳に追加

銅箔ラミネート方式ビルドアップ工法により、高い層間密着強度を有すると共に均一な膜厚の絶縁樹脂層を有する多層プリント配線板を短時間に生産性よく製造可能とする絶縁樹脂組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a semiconductor device of high reliability without any breakage due to stress concentration while maintaining adhesion with metal wiring and its manufacturing method in the semiconductor device using the organic compound of low permittivity as an interlayer insulation film.例文帳に追加

低誘電率の有機化合物を層間絶縁膜として用いた半導体装置において、金属配線との密着性を維持しつつ、しかも応力集中による破壊のない信頼性の高い半導体装置及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

An interlayer insulation film having a source/drain contact hole exposing a part of the region of the semiconductor layer is positioned on the semiconductor layer apart from at least one edge getting across the gate electrode out of edges of the semiconductor layer.例文帳に追加

前記半導体層上に前記半導体層のエッジらのうち前記ゲート電極を横切る少なくとも一つのエッジから離隔して前記半導体層の一部の領域を露出させるソース/ドレインコンタクトホールを有する層間絶縁膜が位置する。 - 特許庁

Due to the fact that the above-mentioned carbodiimide compound reacts with moisture and acetic acid generated by hydrolysis, the interlayer film for laminated glass suppressed in peeling, worsening of appearance and lowering of transparency, and superior in durability is made possible to be formed.例文帳に追加

前記カルボジイミド化合物が、水分、および、加水分解により生じた酢酸と反応することにより、剥離、外観不良や透明度の低下が抑制された耐久性に優れる合わせガラス用中間膜を形成することが可能となる。 - 特許庁

例文

A polycide film 3 is selectively formed on the bonding region on a silicon substrate 1, a BPSG film 4 is formed thereon as a boron containing interlayer insulating film, and a plurality of contact holes 5 are formed on the BPSG film 4 on the polycide film 3.例文帳に追加

シリコン基板1上のボンディング領域にポリサイド膜3が選択的に形成され、更にボロンを含む層間絶縁膜としてBPSG膜4が形成されており、ポリサイド膜上のBPSG膜4に多数のコンタクト孔5が形成されている。 - 特許庁


例文

A structure on which the MOS capacitor 4 and the transistor 3 are formed has an interlayer insulating membrane 120, and a contact electrode 126 connects the source/drain 118 of the cell transistor 3 or the storage node electrode 114 of the MOS capacitor 4.例文帳に追加

MOSキャパシター4及びセルトランジスター3が形成された構造物には層間絶縁膜120を有し、コンタクト電極126は、セルトランジスター3のソース/ドレーン118またはMOSキャパシター4のストレージノード電極114を連結する。 - 特許庁

The semiconductor integrated circuit device includes an MIM structure capacitor connected between power supply potential electrode wiring and ground potential electrode wiring via at least one layer of interlayer connecting wiring.例文帳に追加

本発明の実施の一形態に係る半導体集積回路装置は、電源電位電極配線と接地電位電極配線との間に、それぞれ少なくとも一層の層間接続配線を介して接続されたMIM構造キャパシタを備えているものである。 - 特許庁

After a plurality of charge storage electrodes 11 spaced apart from each other is formed on an interlayer insulating film 3 formed on a silicon substrate 1, silicon nitride spacers 10 which respectively encircle the electrodes 11 are formed separately from each other.例文帳に追加

シリコン基板1上に形成された層間絶縁膜3上に、互いに離れて複数の電荷蓄積電極11を形成し、電荷蓄積電極11の各々の周囲を取り囲む複数の窒化シリコン・スペーサ10を互いに離して形成する。 - 特許庁

To provide a device and a method for transferring lead frames capable of deciding as to whether or not a transfer head mistakes a pickup when the lead frames laminated with interlayer paper held in a magazine are picked up by the transfer head and transferred to a carrying path.例文帳に追加

マガジン内に層間紙を挟んで積層されたリードフレームを転送ヘッドでピックアップして搬送路へ転送する際に、転送ヘッドがピックアップミスをしていないかどうかを判断できるリードフレームの転送装置および転送方法を提供すること。 - 特許庁

例文

To provide a protection film or an interlayer insulating film for a display element or a touch panel, which has excellent transparency, surface hardness, scratch resistance, heat crack resistance, crack resistance and adhesiveness to an ITO transparent conductive film, and further has sufficient sensitivity.例文帳に追加

透明性、表面硬度、耐擦傷性、耐熱クラック性、耐クラック性及びITO透明導電膜に対する密着性に優れ、さらに十分な感度をも有する表示素子用又はタッチパネル用の保護膜又は層間絶縁膜の提供。 - 特許庁

例文

To provide a protective article based on ePTFE which is effective for wide possible exposure venues and has higher durability and/or more resists interlayer peeling from other layers which are often desirably laminated.例文帳に追加

広範囲の可能な暴露現場(venue)に対して有効であるばかりでなく、より耐久性が高く及び/又は積層するのが望ましいことがある他の膜からの層間剥離に対してより耐性でもあるePTFEに基づく保護物品を提供する。 - 特許庁

In this manufacturing method, after a wiring groove 3 is formed in an interlayer insulation film 2 on a semiconductor substrate 1, a Cu layer 5 and a Cu alloy layer 7 are laminated by a sputtering method via a barrier metal layer 4, thereby burying into a Cu groove by a plating film forming methods.例文帳に追加

半導体基板上の層間絶縁膜に配線用の溝を形成した後、バリアメタル層を介してスパッタ法によりCu層と、次いでCu合金層を積層して、めっき成膜法によってCuの溝への埋め込みを行う。 - 特許庁

A connection confirming bump 13 rises from the surface of an interlayer insulation film 23 facing the through hole 27, and projects from the surface protective film 25 at a projection quantity smaller than the projection quantity of the functional bump 12, piercing the through hole 27.例文帳に追加

また、接続確認用バンプ13は、貫通孔27に臨む層間絶縁膜23の表面から隆起し、貫通孔27を貫通して、表面保護膜25上に機能バンプ12の突出量よりも小さな突出量で突出している。 - 特許庁

To solve the problem that the heat-insulating laminated glass, in which electroconductive ultra-fine particles having heat-ray-shielding property are dispersed in a laminated interlayer film, has small reflectance in a near infrared region of ≤1,000 nm and the heat-insulating performance of the glass is insufficient.例文帳に追加

合わせ中間膜中に熱線遮蔽性を有する導電性超微粒子を分散させてなる断熱合わせガラスは、1000nm以下の近赤外領域の反射率が小さく、断熱性能が十分なものとは言い難い。 - 特許庁

To provide a photosensitive polymer composition good in photosensitivity and flattening property of wiring level difference and a method for manufacturing electronic parts capable of forming a good interlayer insulating film or a surface protective layer capable of well flattening the level difference of the circuit.例文帳に追加

良好な感光性を有し、かつ、配線段差の平坦化性が良好な感光性重合体組成物、配線段差の平坦化性が良好な層間絶縁膜又は表面保護膜を形成できる電子部品の製造法を提供する。 - 特許庁

The roving prepreg is composed of a reinforcing fibrous material and a matrix resin, ensuring at least 50% interlayer adhesion area ratio and exhibiting at most 10 N peeling strength when it is molded at 80°C under pressure of 0.02 MPa.例文帳に追加

強化繊維材とマトリックス樹脂とからなるロービングプリプレグであって、成形温度80℃、成形圧力0.02MPaで成形したときの層間接着面積率が50%以上であり、かつ剥離強力が10N以下であるロービングプリプレグ。 - 特許庁

After forming a lower electrode and an interlayer dielectric (first insulating film) , a capacitive opening region (first opening) is formed and a second insulating film is deposited to form a sidewall on the sidewall of the first opening by overall etching.例文帳に追加

半導体基板上に下部電極および層間絶縁膜(第1の絶縁膜)を形成した後、容量開口領域(第1の開口部)を形成し、第2の絶縁膜を堆積して全面エッチングにより、第1の開口部の側壁にサイドウォールを形成する。 - 特許庁

Then, a titanium nitride film 6 is formed on the entire inner wall of the connection hole 4 and on the interlayer insulation film 3, and the titanium nitride film 6 is formed at the bottom of the connection hole 4 and the lamination film of the titanium film 5/titanium nitride film 6 is formed at a side wall part.例文帳に追加

次に、接続孔4の内壁一面及び層間絶縁膜3上に窒化チタン膜6を成膜し、接続孔4の底部には窒化チタン膜6、側壁部にはチタン膜5/窒化チタン膜6の積層膜が形成されている状態にする。 - 特許庁

To provide a method of polishing a metal laminated film, which polishes the film without thinning of an interlayer insulation film, after the surface of the metal laminated film is relieved of irregularities by filling the recessed parts of the metal laminated film with resin.例文帳に追加

金属積層膜の凹部を樹脂で充填し表面の凹凸を軽減してから研磨することにより、層間絶縁膜を削りすぎること(シニング)なく研磨前に凹凸を解消した金属積層膜を研磨する方法を提供する。 - 特許庁

To provide a construction structure for a platelike building member in which a stress applied on a platelike building member is small even if an interlayer displacement arises in a skeleton and only a broken platelike building member can be exchanged even when the platelike building member is broken.例文帳に追加

躯体に層間変位が生じても板状建材に加えられる応力が小さいと共に、1枚の板状建材が破損した場合でもその板状建材だけを交換することができる板状建材の施工構造を提供する。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of a laminated electronic component hard to cause pressure strain during temporary pressing and hard to cause a defect such as interlayer separation on a laminated ceramic chip due to an impact by a cutting blade even when the number of laminations of a ceramic laminated blocks is large.例文帳に追加

セラミック積層ブロックの積層枚数が多くなっても、仮プレス時に圧力歪が生じにくく、カット刃による衝撃によって積層セラミックチップに層間剥れなどの不具合が生じにくい積層型電子部品の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide polishing liquid for CMP and a polishing method using the polishing liquid that can increase a polishing speed for a low-k film as an interlayer insulating film layer with keeping an excellent polishing speed for barrier metal of a barrier layer and silicon dioxide of a cap layer.例文帳に追加

バリア層のバリア金属とキャップ層の二酸化珪素に対する良好な研磨速度を維持しつつ、層間絶縁膜層であるlow−k膜に対する高い研磨速度を達成できるCMP用研磨液及び研磨方法を提供する。 - 特許庁

A wiring layer 14 having a reflection prevention film 14c such as TiN or the like is formed on an insulating film 12 covering one main surface of a semiconductor substrate 10, and then the wiring layer 14 is covered and an interlayer insulating film including insulating films 16a to 16c are formed.例文帳に追加

半導体基板10の一主面を覆う絶縁膜12の上にTiN等の反射防止膜14cを有する配線層14を形成した後、配線層14を覆って絶縁膜16a〜16cを含む層間絶縁膜を形成する。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a multilayer printed wiring board which disperses with the process to remove an insulation film by preventing the formation of the insulation film at the bottom portion of a hole when the hole having the bottom portion is bored for interlayer conducting with the laser to the insulation resin layer.例文帳に追加

多層プリント配線板の製造において、絶縁樹脂層にレーザで層間導通部用の非貫通穴をあけるとき、非貫通穴底部に絶縁膜の形成を防止し、この絶縁膜を除去する処理が不要な方法を提供する。 - 特許庁

Then, after a first opening 50 for a lower electrode contact is formed in the ferroelectric thin film 46, a first recovery anneal is performed at a first structure 100 having the semiconductor substrate, the first interlayer insulating film, and the ferroelectric capacitor.例文帳に追加

次に、強誘電体薄膜46に下部電極コンタクト用の第1開口部50を形成した後、半導体基板と、第1層間絶縁膜と、強誘電体キャパシタとを備える第1構造体100に対して、第1の回復アニールを行う。 - 特許庁

At this time, since the conductive adhesive 6 is injected into the hole sagging 2a by press pressing, the electrical connection between the metal reinforcing plate 7 and the ground circuit 2 is attained by interlayer conduction with the conductive adhesive 6, and there is also no residual air.例文帳に追加

このとき、プレス押圧によって導電性接着剤6が穴ダレ2aに注入されるので、導電性接着剤6とによる層間導通によって金属補強板7とグラウンド回路2との電気的接続がとれると共に、エアの残留もない。 - 特許庁

The laminated polyolefinic foamed film comprises a foamed layer (A), an interlayer (B), and a sealing layer (C).例文帳に追加

発泡層(A)、中間層(B)及びシール層(C)の3層構成からなる積層ポリオレフィン系発泡フイルムであり、中間層(B)が実質的に発泡しておらず、以下の(1)〜(3)の物性を有するプロピレン系重合体を主成分とすることを特徴とするヒートシール性発泡フイルム。 - 特許庁

To provide a capacity cell where a capacitive element with a wiring layer for holding an interlayer insulating film with a small leakage current as an electrode layer can be arranged according to the shape of an unused region, and to provide a semiconductor device and an arrangement method of the capacitive element.例文帳に追加

リーク電流の少ない層間絶縁膜を挟む配線層を電極層とする容量素子を、未使用領域の形状に応じて配置することが可能な容量セル、半導体装置、および容量素子の配置方法を提供すること。 - 特許庁

This forming method is characterized by inclusion of a process in which chemical mechanical polishing is performed on a polycrystalline silicon layer and an interlayer dielectric layer until a hard mask nitride film is exposed by means of a chemical mechanical polishing slurry for oxide films with a pH of 2 to 7 including an oxidizer.例文帳に追加

酸化剤を含むpH2〜7の酸性の酸化膜用CMPスラリーを利用し、ハードマスク窒化膜が露出するまで多結晶シリコン層及び層間絶縁膜層に対するCMP工程を行う段階を含むことを特徴とする。 - 特許庁

To provide a laminate sheet containing a polyarylate resin and a polyphenylene sulfide resin as main components, excellent in dimensional stability, flame retardancy, interlayer adhesiveness, heat resistance and surface smoothness, while keeping an electric insulation property, and reduced in anisotropy of a mechanical property.例文帳に追加

ポリアリレート樹脂およびポリフェニレンサルファイド樹脂を主成分とし、電気絶縁性を維持しつつ、寸法安定性、難燃性、層間接着性、耐熱性および表面平滑性に優れ、機械特性の異方性が少ない積層板を提供する。 - 特許庁

To provide a method and an instrument for measuring a heat quantity of a metal foil, in order to efficiently form an interlayer connection hole (through hole) for a printed circuit board of excellent quality.例文帳に追加

プリント回路基板の層間接続孔(スルーホール)を効率良く形成するために金属箔の熱量を測定し、レーザーによる穴開けが容易となり、品質に優れ安定した小径層間接続孔が形成できる方法及び装置を提供する。 - 特許庁

To obtain an electromagnetic induction heating device in which separately from temperature detection of a heated material, temperature detection of the electromagnetic induction coil is carried out by a simple constitution, and faults occurring by localized heating accompanying the interlayer short-circuit in the electromagnetic induction coil is prevented beforehand.例文帳に追加

被加熱物の温度検知とは別に、簡易な構成で電磁誘導コイルの温度検知を行い、電磁誘導コイル内での層間短絡に伴う局部加熱により発生する不具合を未然に防止できる電磁誘導加熱装置得る。 - 特許庁

In the FUSI contact 41, a contact opening CH1, passing through inside the interlayer insulating film 4, is filled with a FUSI contact layer 411 which is completely turned into silicide, and the contact 41 has the same height as the FUSI gate electrode 32.例文帳に追加

FUSIコンタクト部41は、層間絶縁膜4を貫通するコンタクト開口部CH1内に、完全にシリサイド化されたFUSIコンタクト層411を充填して構成されており、FUSIゲート電極32と同じ高さを有している。 - 特許庁

An exit (40) of the nozzle chamber (35) exits from the suction chamber (42), and includes a plurality of nozzles (48) so that the high-pressure fluid flow stream exits from the nozzle chamber (35) by a plurality of flow streams having a plurality of surface sections against an interlayer drag between the streams.例文帳に追加

ノズルチャンバ(35)の出口(40)は、吸込チャンバ(42)に出ていき、高圧流体流ストリームが、流れの間の層間抗力に対して複数の表面区域を有する複数流れストリームでノズルチャンバ(35)から出るように複数のノズル(48)を含む。 - 特許庁

To prevent interfacial delamination between an etching stopper layer and an SiOF film which are used when a wiring trench for buried wiring is formed, in a semiconductor integrated circuit device where the buried wiring is formed in an interlayer dielectric containing the SiOF film by a damascene process.例文帳に追加

SiOF膜を含む層間絶縁膜にダマシン法で埋め込み配線を形成する半導体集積回路装置において、埋め込み配線用の配線溝を形成する際に用いるエッチングストッパ層とSiOF膜との界面剥離を防止する。 - 特許庁

The printed substrate 10 has circuit patterns 11, an interlayer insulating layer 12 positioned between the circuit patterns 11, a through-hole 13 passed through the printed substrate 10, and a metal ring 15 passed through the printed substrate 10 to surround the through-hole 13.例文帳に追加

プリント基板10は,回路パターン11と,回路パターン11の層間に位置する層間絶縁層12と,プリント基板10を貫通するスルーホール13と,プリント基板10を貫通するとともにスルーホール13を取り囲む金属リング15とを有している。 - 特許庁

The layered double hydroxide comprises: a fundamental layer of a metal double hydroxide expressed by formula (I): Mg_1-xAl_x(OH)_2 (wherein, x denotes 0.2 to 0.33); and an accumulation in which magnesium lactate and interlayer water are intercalated into the middle of the fundamental layer.例文帳に追加

式(I): Mg_1−xAl_x(OH)_2 (I)(式中、xは0.2ないし0.33である。)の金属複水酸化物の基本層と、乳酸マグネシウムおよび層間水が該基本層の中間にインタカレートされている累積物よりなる層状複水酸化物。 - 特許庁

To obtain a composition for forming a film which is curable at ≤450°C, provides a film having proper uniform thickness, dielectric constant characteristics, water absorption characteristics and a small void size, useful as interlayer dielectrics in a semiconductor element.例文帳に追加

450℃以下での硬化可能であり、得られる膜が適当な均一な厚さを有し、誘電率特性、吸水性特性に優れ、かつ空隙サイズが小さく、半導体素子などにおける層間絶縁膜として有用な、膜形成用組成物を提供する。 - 特許庁

A lower electrode is formed over the entire region including the region for forming a capacitor and is patterned, and a second interlayer insulating film 6 is formed and a second insulating film 6 for a region to be formed as a ferroelectric film 7 is removed.例文帳に追加

キャパシタ形成予定領域を含む全面に下部電極5を堆積し、CMP法を用いて下部電極5をパターニングし、第2の層間絶縁膜6を形成して強誘電体膜7の形成予定領域の第2絶縁膜6を除去する。 - 特許庁

In this semiconductor device, a pad section serving as an electrode for an external connection comprises: a first pad metal layer 61 formed in a top layer; a second pad metal layer 62 formed under the first pad metal layer 61 at both sides of an interlayer insulating film 71; and vias 63 which penetrate the interlayer insulating film 71 and electrically connect the first and second pad metal layers 61, 62.例文帳に追加

本発明の半導体装置では、外部接続用電極であるパッド部が、最上層に形成された第1のパッドメタル層61と、第1のパッドメタル層61の下に層間絶縁膜71を挟んで形成された第2のパッドメタル層62と、層間絶縁膜71を貫通して第1のパッドメタル層61と第2のパッドメタル層62を電気的に接続するビア63とからなり、第1のパッドメタル層61の端部と第2のパッドメタル層62の端部とが各層の厚み方向に沿って一致しないように互いにずれて配置される。 - 特許庁

An insulating film 4, a sealing film 7, or an interlayer insulating film 10 is formed by a resin having modules of elasticity of 20 to 200 Kg/mm2, thus greatly reducing the warpage of the wafer that has caused problems conventionally, and hence improving the yield in manufacture.例文帳に追加

絶縁膜4、封止膜7あるいは層間絶縁膜10を弾性率が20から200Kg/mm2の樹脂により形成することによって、従来問題となっていたウェハの反りを大幅に低減させて、製造上の歩留まりを向上させる。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a multi-layer printed wiring board by which a via hole can be made in an optional layer while a sheet material with conductor wiring is used to reduce the frequency of pressing, and to provide such a multi-layer printed wiring board that is superior in interlayer adhesion and conduction reliability.例文帳に追加

導体配線を形成したシート材料を用いてプレス回数を低減させながら任意の層にバイアホールを形成することができ、且つ層間密着性と高い導通信頼性を有する多層プリント配線板の製造方法を提供する。 - 特許庁

First the ferroelectric film 317 is deposited to be thick, and then, the ferroelectric film 317 is flattened by a CMP method with the interlayer dielectric 316 as a stopper, which can be deposited with a uniform thickness on an entire wafer, to form the ferroelectric film 317a.例文帳に追加

まず、強誘電体膜317を厚く堆積し、その後に、ウエハ全体で膜厚を均一に堆積可能な層間絶縁膜316をストッパとして、CMP法で強誘電体膜317を平坦化して、強誘電体膜317aを形成する。 - 特許庁

To provide a semiconductor device capable of preventing the generation of a crack or the like, capable of obtaining a region for the arrangement of wiring or the like which functions as an element in a plurality of interlayer insulating films, and capable of reducing a manufacturing cost.例文帳に追加

クラックの発生等を防止することができ、複数の層間絶縁膜内において、素子として機能する配線等を配設できる領域を広くとることができ、製造コストの削減を図ることができる、半導体装置を提供することを目的とする。 - 特許庁

The negative photosensitive resin composition is spin-coated and dried on a semiconductor substrate 1 on which a first conductor layer 3, a second conductor layer 7 and an interlayer insulating film 4 have been formed, and light is illuminated through a mask of a pattern for forming a window 6C in a predetermined portion.例文帳に追加

第1導体層3、第2導体層7及び層間絶縁膜4が形成された半導体基板1に、ネガ型感光性樹脂組成物をスピンコートして乾燥し、所定部分に窓6Cを形成するパターンのマスク上から光を照射する。 - 特許庁

A base region 13 is formed in a surface region of a drift region 11, a source region 14 is formed in a surface region of the base region 13, and an oxide film 20, a gate electrode 30 and an interlayer insulating film 40 are formed on the drift region 11.例文帳に追加

ドリフト領域11の表面領域にはベース領域13が形成され、ベース領域13の表面領域にはソース電極14が形成され、ドリフト領域11上には、酸化膜20、ゲート電極30、及び、層間絶縁膜40が形成されている。 - 特許庁

The method for manufacturing the multilayer printed circuit board laminates an outer layer build-up layer in an inner layer core substrate, forms a laminated circuit substrate by forming an aperture at the copper foil of the outer layer build-up layer, and establishes interlayer connection by forming a hole for conduction for a step via in the substrate.例文帳に追加

内層コア基板に外層ビルドアップ層を積層し、外層ビルドアップ層の銅箔に開口を形成して積層回路基材を形成し、この基材にステップビアホール用の導通用孔を形成して層間接続を行う多層プリント配線板の製造方法。 - 特許庁

To provide a composition which is capable of forming a silicone-based film that is usable suitably as an interlayer insulation film in a semiconductor element or the like and has an appropriate uniform thickness and besides is excellent in the dielectric constant characteristics and film strength, and to provide an insulation film and also a manufacturing method thereof.例文帳に追加

半導体素子などにおける層間絶縁膜として使用するのに適した、適当な均一な厚さを有するシリコーン系膜が形成可能な、しかも誘電率特性、膜強度に優れた組成物、絶縁膜、およびその製造方法を提供する。 - 特許庁

In the interlayer insulating film 4, between a second main electrode region 34(2) of the transistor 3 and the barrier film 10, a plug having a second plug 5(2) and a sixth plug 6(2) thereon is also disposed on a second main electrode region 34(2).例文帳に追加

また、トランジスタ3の第2の主電極領域34(2)とバリア膜10との間の層間絶縁膜4において、第2の主電極領域34(2)上には第2のプラグ5(2)とそれに積層された第6のプラグ6(2)とを有するプラグが配設されている。 - 特許庁

例文

To provide a CMP method whereby the organic substances wherewith an interlayer insulating film is impregnated can be removed efficiently therefrom, after residual slurries and polishing residues present on the surface of a substrate are cleaned and removed therefrom by the cleaning liquid containing a surface active agent.例文帳に追加

基板表面上に残留するスラリー及び研磨残留物を界面活性剤を含む洗浄液で洗浄除去した後に、層間絶縁膜に染み込んだ有機物質を効率的に除去することが可能なCMP研磨方法を提供する。 - 特許庁




  
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