「Reusable」に関連した英語例文の一覧と使い方(20ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide an easily reusable long-life shield plate, for use in preparing a sectional observation sample by etching with an ion beam, to give shielding against the ion beam without necessitating flattening of sides even when no usable edge face remains after repeated use.例文帳に追加

イオンビームを用いるエッチングにより断面観察試料を作製するときに、イオンビームの遮蔽に用いられる遮蔽板であって、使用を繰り返し、エッジ面として使用できる箇所がなくなった場合でも、側面の平坦化加工を必要とせず、再利用が容易で寿命が長い遮蔽板を提供する。 - 特許庁

The printing plate reusable particularly for both wet offset printing and dry offset printing which is provided with printing surfaces 32, 42, is characterized in that the printing surfaces 32, 34 have metal oxide surfaces 36, 46 treated with at least one fluoride phosphonate.例文帳に追加

印刷面３２，４２を備える、特にウエットオフセット印刷とドライオフセット印刷のいずれでも利用するための再利用可能な版は、印刷面３２，３４が、少なくとも１つのフッ素化ホスホン酸で処理された金属酸化物表面３６，４６を有することを特徴としている。 - 特許庁

To provide a method for recovering effectively a reusable copper component from a detergent which contains a basic copper carbonate or copper hydroxide used for removing phosphines or a silan base gas contained in an exhaust gas from a semiconductor manufacturing process.例文帳に追加

半導体製造工程等から排出される排ガスに含まれるホスフィン類またはシラン系ガスの除去に使用した塩基性炭酸銅を含む浄化剤、または水酸化銅を含む浄化剤から銅成分を効率よく再使用可能な状態で回収する方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for using an instant foodstuff such as instant noodles to be cooked with hot water in a highly heat-insulating and warming container which can withstand repeated uses wherein a waste quantity of disposable instant noodle containers can be reduced by using a reusable container.例文帳に追加

多回数の使用に耐える断熱性保温性の高い容器と湯により調理する即席麺等の即席食品の利用方法を提供し、再利用できるカップ麺用容器のを使用する事により使い捨てカップ麺用容器ゴミの排出量を削減する方法である。 - 特許庁

To provide a removing method and a removing device of radioactive material and TOC (total organic carbon) , capable of efficiently providing a distillate reusable or releasable in and from a general or existing facility from a radioactive waste liquid, while reducing radioactive waste.例文帳に追加

放射性廃液から通常ないし既存の施設で再利用又は放流可能な蒸留液を効率的に得ることを可能にすると共に、放射性廃棄物を減容することができる放射性物質及びＴＯＣの除去方法並びに除去装置を提供すること。 - 特許庁

Specifically, an image once used in the detection processing is changed to pyramid images reusable in the detection processing of faces of different sizes, and further to the pyramid images by a method effectively using a contraction rate β=1/K (K is an integer not less than 2).例文帳に追加

具体的には、検出処理に一度利用した画像を、別の大きさの顔を検出処理する際にも再度利用できるようなピラミッド画像の構成とし、さらに、縮小率β＝１／Ｋ（Ｋは２以上の整数）を有効に利用した方法で当該ピラミッド画像を作成する。 - 特許庁

To provide a treatment method for incineration ash which changes incineration ash discharged from an incinerator or the like into a reusable material without conducting a removal process for toxic substances such as a heavy metal at an industrial waste disposal site, and to provide a useful material which is generated by the treatment method.例文帳に追加

焼却炉等から排出された焼却灰を、産業廃棄物処理場での重金属等の有害物質の除去処理を行うことなく、再利用可能な材料にする焼却灰の処理方法及び該処理方法により生成される有用な材料を提供すること。 - 特許庁

To provide an easily openable and reusable granule body-packaging bag which can easily store and package a granule body such as grains without using an automatic packaging machine, etc., with which it is possible to check the content, which gives a good packaged appearance, and with which there is little concern of causing load collapse.例文帳に追加

自動包装機等を使用しなくとも、穀物等の粒体の収納、包装のための作業を容易に行うことができ、中身の検査も可能で、荷姿がよく、荷崩れのおそれも少なく、開封が容易で、再使用が可能な粒体包装用袋を提供する。 - 特許庁

To provide a reusable winding bobbin of an automatic winding machine that is easily disassembled and coupled by injection-molding the bobbin with several cut plates so as to keep a constant strength, is decreased in size by being disassembled when it is moved or stored, and is easily assembled when it is used.例文帳に追加

ボビンを一定強度に維持するようにいくつかの切れ板で射出成形し、楽に分解、結合するようにし、移動保管時には分解して嵩を減らし、使用時には簡単に組立てするようにして再度使用できる自動ワインディング機の巻取りボビンを提供する。 - 特許庁

(3) All of remains except the liquid combustibles and the environmental destructive materials which are disassembled and recovered or are removed at (1) and (2), are crushed as it is and are sorted to recover as reusable metallic materials, unreusable organic nonmetal consisting mainly of resins and tires and inorganic nonmetal consisting mainly of glass.例文帳に追加

(3) (1),(2)で解体回収又は取り除かれた液体可燃物・環境破壊物以外の残骸を全てそのまま破砕選別し、再使用可能な金属素材と再使用できない樹脂・タイヤが主体の有機系非金属とガラスを主体とする無機系非金属とに回収する。 - 特許庁

To provide a method for making a plate effectively reusable by peeling a pressure sensitive strongly adhesive sheet of a composite plate, obtained by adhering the surface of plates each other with the sheet, with a simple device without damaging the plate and without remaining the sheet on the plate.例文帳に追加

板状体同士を強粘着シートによって面接着した複合板状体において、簡易な設備で、板状体を傷つけず、また、強粘着シートを板状体に残存させることなく強粘着シートを剥離し、板状体を有効に再利用可能にする方法の提供。 - 特許庁

The water housed in a rainwater tank 11 and/or a reusable-water tank 12 is introduced into the electrolytic cell 10 as the water to be treated and electrolyzed by supplying the power generated by a solar cell 15 and/or a wind power generator 16 to the pair of electrodes through control units 15A and/or 16A.例文帳に追加

そして、電解槽１０では、電極対に対し、太陽電池１５および／または風力発電機１６によって生成された電力が、コントロールユニット１５Ａおよび／または１６Ａを介して供給されることにより、被処理水の電解処理が行なわれる。 - 特許庁

To provide an easily reusable packaged body of a watery confectionery, having excellent handleability in production, delivery and sale, enabling the watery confectionery to be easily taken out when a purchaser eats the confectionery, and contributing to the prevention of environmental pollution, and to provide a method for producing the watery confectionery by utilizing the packaged body.例文帳に追加

製造、流通、販売時の取扱い性に優れ、購入者が食する際に水種菓子を容易に取り出すことができ、再利用が容易で環境汚染の防止に寄与し得る水種菓子包装体と、該包装体を利用した水種菓子製造方法を提供する。 - 特許庁

To improve ride quality and suppress noise by preventing the formation of step difference at the upper face of a rail at a joint part 24 in the case of replacing only a rail on one side with a new rail 12A or a reusable rail and continuing to use an old rail 12 on the other side with a joint held in between.例文帳に追加

継目を挟んで一方のレールのみを新しいレール（１２Ａ）あるいは再使用可能なレールに交換し、他方は古いレール（１２）を継続使用する場合に、継目部（２４）におけるレール上面に段差が発生するのを防ぎ、乗り心地の向上と騒音の抑制を可能にする。 - 特許庁

Te suspended sludge S2 is scraped up into the filtration mechanism 30 together with dirty liquid in the vicinity of a liquid surface level L and is filtered in the filtration mechanism 30 due to running of the scraper conveyor 10 in the vicinity of a liquid surface in the dirty liquid tank 2 in its return stroke to regenerate the dirty liquid into reusable clean liquid.例文帳に追加

スクレーパコンベヤ１０がその戻り行程でダーティ液槽２の液面付近を走行することにより、浮遊スラッジＳ２は、液面レベルＬ付近のダーティ液と共に濾過機構３０へと掻き寄せられて濾過機構３０で濾過され、ダーティ液は再使用可能なクリーン液に再生される。 - 特許庁

When the product F becomes unnecessary or unusable and is to be discarded, at a disassembly plant 5, information of the reuse part P is read out of the product tag Tf and part information is read out of the part tag Tp on each of the reuse parts P to determine it is reusable or not.例文帳に追加

製品Ｆが不要あるいは使用不能となって廃棄処分となる場合に、解体工場５では、製品タグＴｆから再利用部品Ｐの情報を読み取り、各再利用部品Ｐについて部品タグＴｐから部品情報を読出し、再利用可か否かを判定処理する。 - 特許庁

To provide function recovering equipment for water draining pavement for cleaning the water draining pavement at a speed not requiring traffic regulation, not requiring much labor for cleaning and replacing a filter, and recoverable-reusable at a low cost and a low running cost.例文帳に追加

交通規制が不要な速度で、排水性舗装を洗浄することができ、かつその洗浄水を高価な真空ポンプを用いることなく、フィルター等の洗浄や交換に手間がかからず、低コストかつ低ランニングコストで回収し再利用することができる排水性舗装の機能回復装置を提供する。 - 特許庁

When executing the protection exception processing, whether protection exception information which stores an optimized pseudo instruction exists in a protection exception storage means and is reusable or not is determined from an instruction address, and when the information exists, the stored pseudo instruction is referred to and the protection exception processing is executed.例文帳に追加

保護例外処理を実行する場合、最適化された擬似命令を格納している保護例外情報が保護例外保存手段に存在して再利用可能か否かを命令アドレスから判定し、存在した場合、格納されている擬似命令を参照して実施する。 - 特許庁

To provide a gas supply method and an apparatus therefor capable of efficiently separating and refining a useful component gas contained in a waste gas and making the useful component gas reusable independently of the flow fluctuation and the composition fluctuation of the waste gas and capable of efficiently supplementing the useful component gas for compensating consumed amount.例文帳に追加

排ガス中の有用成分ガスを、排ガスの流量変動や組成変動に関係なく効率よく分離精製して再供給可能な状態にすることができ、しかも、消費された分の補充も効率よく行うことができるガス供給方法及び装置を提供する。 - 特許庁

To provide a reusable resource recycle system capable of efficiently providing information required for respective bases through a network, sharing information and promoting the smoothness and efficiency of recycling work by unitarily managing information concerned with recycle by an information management base.例文帳に追加

リサイクルに関する情報を情報管理拠点で一元的に管理することにより、各拠点で必要とされる情報をネットワークを通じて効率良く提供するとともに、情報の共有化を図りリサイクル事業の円滑化と効率化を促進できる再利用資源物リサイクルシステムを提供する。 - 特許庁

To provide a crucible opening retaining member where a used quartz crucible is reusable by preventing the deformation of the opening of a quartz crucible storing a silicon melt and to provide a method and an apparatus for producing single crystal silicon using the crucible opening retaining member.例文帳に追加

シリコン融液が貯留される石英坩堝の開口部の変形を防止して、使用後の石英坩堝の再使用を可能とする坩堝開口部保持部材、この坩堝開口部保持部材を利用した単結晶シリコンの製造方法及び単結晶シリコンの製造装置を提供する。 - 特許庁

Count information counted by a counting means 2, a reusable component list for every component and unit stored preliminarily and a limit counting information that is a threshold of the count information for determining whether each of the components and the units is able to be treated for reuse or not are registered in a storage means 1.例文帳に追加

記憶手段１に計数手段２でカウントされた計数情報、および予め再利用する部品やユニット毎の再利用部品リスト、さらに各部品やユニット毎の再利用の処理が可能か否かを判定する計数情報のしきい値である制限計数情報も登録する。 - 特許庁

To provide a simple flame house compactly foldable, having excellent transport efficiency and storage property, built up in a short time in a narrow site without limiting an installation place, fully equipped with daily necessaries, reusable, simple in structure and low in cost with excellent mass productivity.例文帳に追加

コンパクトに折畳むことができ輸送効率及び保管性に優れると共に設置場所を選ばず狭い敷地に短時間で組み立てることができ、生活必需品を完備し、再使用が可能で、且つ、簡単な構造で低原価で量産性に優れた簡易住宅を提供することを目的とする。 - 特許庁

That is, a residue on the surface of the photoreceptor drum 1 is recovered by the cleaning blade 11 of a cleaning device 7 at the time of a toner recycling operation, then, the residue is stirred by a screw 17 (-700 V), and the reusable toner which is charged with negative polarity is stuck to the photoreceptor drum 1 (0 V) by a sticking roller 18 (-300 V).例文帳に追加

つまり、トナーリサイクル時にクリーニング装置７のクリーニングブレード１１で、感光体ドラム１の表面の残留物を回収し、スクリュー１７（−７００Ｖ）で撹拌し、付着ローラ１８（−３００Ｖ）で感光体ドラム１（０Ｖ）に、マイナスに帯電した再使用可能なトナーを付着させる。 - 特許庁

Article 17 (1) The State shall take regulatory and other necessary measures so that business operators may prevent or reduce the generation of wastes, etc. from raw materials, etc. through effective use of raw materials, the use of reusable containers, etc. in its business activities. 例文帳に追加

第十七条　国は、事業者がその事業活動に際して原材料を効率的に利用すること、繰り返して使用することが可能な容器等を使用すること等により原材料等が廃棄物等となることを抑制するよう、規制その他の必要な措置を講ずるものとする。 - 日本法令外国語訳データベースシステム

To provide a device which can make a sufficiently large and reusable opening even if a material of a tubular bag 1 has a low elongation percentage or a large tear strength to prevent a part of a film from being torn off and carried together with contents of the tubular bag 1.例文帳に追加

特に、ホース状袋１の材料が伸び率の低い若しくは引裂強度の大きい場合でも十分に大きくかつ再生可能な開口を生ぜしめる装置を提供し、フィルムの一部分が切り離されて、ホース状袋１の中身と共に運び出されてしまうことがないようにする。 - 特許庁

To provide an improved radiation detection apparatus having a hand-held radiation detection probe reusable without prior sterilization, and the hand-held radiation detection probe having a cover for protecting the probe from contamination during use and electrically insulting a switch from the hand-held probe.例文帳に追加

再使用に先立って殺菌の必要がない手持ち放射線検出プローブを備えている改良された放射線検出装置、及び使用中の汚染からプローブを保護し、スイッチを手持ちプローブから電気絶縁するためのカバーを備えた手持ち放射線検出プローブを提供することである。 - 特許庁

In the tag band integrally formed of the RFID and a binding band, the RFID tag and the head of the binding band are integrally formed, then the tag band itself is not made usable when the binding band is cut, so that the RFID tag is not reusable, thereby preventing the forgery.例文帳に追加

ＲＦＩＤと結束バンドとを一体化させたタグバンドにおいて、ＲＦＩＤタグと結束バンドの頭部とを一体化させたことにより、結束バンドを切るとタグバンドそのものが使用できなくなるので、ＲＦＩＤタグの再利用ができなくなり、偽造を防止することができる。 - 特許庁

To provide a media object providing method for enabling a media object providing server side to designate the acceptance/rejection of storage processing in a reusable state in an mobile communication terminal for each media object of a download target, and also provide the mobile communication terminal and the media object providing server.例文帳に追加

メディアオブジェクト提供サーバ側から、ダウンロード対象のメディアオブジェクトごとに、移動体通信端末における再利用可能な状態での保存処理の可否を指定することができるメディアオブジェクト提供方法、移動体通信端末及びメディアオブジェクト提供サーバを提供する。 - 特許庁

To provide a method for regenerating a degraded cast steel member so as to be reusable by deriving a heat treatment condition for returning the degraded steel member made brittle due to stress or heat to the state at the new manufacturing time and applying the heat treatment to the degraded cast steel member under the derived heat treatment condition.例文帳に追加

応力や熱によって脆弱化した劣化鋳鋼部材について、新造時の状態にもどす熱処理条件を導出し、当該熱処理条件にて熱処理を施すことにより、劣化鋳鋼部材を再利用できるように再生する方法を提供する。 - 特許庁

This material is produced by mixing reclaimed pulp from wastepaper as a raw material with single fiber-like or small lump-like reusable fiber obtained by subjecting waste fiber to opening to prepare a fiber suspension, by dewatering the fiber suspension to form a fiber layer and then by drying the fiber layer to form interfiber bonding.例文帳に追加

古紙を原料とする再生パルプと、繊維くずを開繊して得られる単繊維状又は小塊状の再使用繊維とを混合して繊維懸濁液を調製し、これを脱水して繊維層を形成させ、次いで乾燥して繊維間結合を生成させてなるもの。 - 特許庁

To provide a reuse system capable of supplying, to an exposure apparatus, a liquid refined up to a reusable level by efficiently removing impurities to stabilize an optical property, and of continuously operating an exposure system indispensable for production of an electronic device nonstop.例文帳に追加

不純物を効率よく除去し、光学的性質を安定させて、再利用可能なレベルまで精製した液体を、露光装置へ供給することが可能であり、電子デバイスの生産に不可欠な露光システムをノンストップで連続稼動し得る再利用システムを提供すること。 - 特許庁

To provide an adhesive and an adhesive tape which exert appropriate adhesiveness to a reproducible or reusable component, and is capable of releasing dispensing with a particular treatment such as heating and the like when releasing the component thereby useful for a wide range of material to be adhered such as plastic, metal, urethane foam.例文帳に追加

再生または再利用が可能な部品に対して適切な接着性を発揮し、部品より剥離する際は、加熱等の特別な処理を施すことなく剥離が可能で、プラスチックや金属、ウレタンフォーム等幅広い被着体に対しても有用な粘着剤及び粘着テープを提供する。 - 特許庁

To provide a wide variety of global inexpensive general-grade packaging materials and to provide a packaging material for a photographic sensitive material capable of using materials without carrying out receiving inspection and made recyclable and reusable even when the materials and the contents of the packaging material are unknown.例文帳に追加

全世界の安価な一般グレードの各種包装材料及びそれに用いる素材を受け入れ検査をすることなしに使用でき、かつ素材や包装材料の内容が不明なものでもリサイクル及びリユースできるようにした写真感光材料用包装材料を提供する。 - 特許庁

To provide a reusable device capable of improving the poor working environment for placing reinforcing bars for concrete columns on construction sites which is frequently expressed as "severe, dirty and dangerous working environment" by means of improving the current working environment and upgrading the working efficiency which is closely related to the working environment.例文帳に追加

所謂３Ｋを代表するような劣悪な作業環境の中で行なわれている建築現場における柱筋の鉄筋工事の環境改善とこの事と密に関連する作業効率の向上による有益な効果をもたらし、尚且つ繰り返し使用できる装置の開発。 - 特許庁

The arsenic-containing material treatment method comprises the steps of: adding the arsenic-containing material to the alkaline solution at pH≥10 to leach arsenic in the alkaline solution while oxidizing the arsenic-containing material; subjecting the arsenic-containing leachate to solid-liquid separation; and cooling and crystallizing an arsenic-containing leachate obtained by the solid-liquid separation to recover arsenic and the reusable alkaline solution.例文帳に追加

砒素含有物質をアルカリ溶液に加えてｐＨ１０以上にして酸化しながらアルカリ浸出した後に固液分離して得られた砒素を含む浸出液を冷却晶析することにより、砒素を回収するとともに、再利用可能なアルカリ液を回収する。 - 特許庁

Article 17 (1) The competent minister may, when he/she finds the manner in which a Designated Resources-Reutilizing Business Operator whose production quantity or price of Construction Work meets the requirements specified by Cabinet Order utilizes Recyclable Resources or Reusable Parts pertaining to the Designated Resources-Reutilizing Industry to be significantly lacking in light of the standards of judgment prescribed in Article 15, paragraph 1, recommend the Designated Resources-Reutilizing Business Operator to take necessary measures for the utilization of Recyclable Resources or Reusable Parts pertaining to the Designated Resources-Reutilizing Industry, while presenting the grounds for his/her judgment. 例文帳に追加

第十七条　主務大臣は、特定再利用事業者であって、その製造に係る製品の生産量又はその施工に係る建設工事の施工金額が政令で定める要件に該当するものの当該特定再利用業種に係る再生資源又は再生部品の利用が第十五条第一項に規定する判断の基準となるべき事項に照らして著しく不十分であると認めるときは、当該特定再利用事業者に対し、その判断の根拠を示して、当該特定再利用業種に係る再生資源又は再生部品の利用に関し必要な措置をとるべき旨の勧告をすることができる。 - 日本法令外国語訳データベースシステム

(1) The competent minister may, when he/she finds the manner in which a Designated Resources-Reutilizing Business Operator whose production quantity or price of Construction Work meets the requirements specified by Cabinet Order utilizes Recyclable Resources or Reusable Parts pertaining to the Designated Resources-Reutilizing Industry to be significantly lacking in light of the standards of judgment prescribed in Article 15, paragraph 1, recommend the Designated Resources-Reutilizing Business Operator to take necessary measures for the utilization of Recyclable Resources or Reusable Parts pertaining to the Designated Resources-Reutilizing Industry, while presenting the grounds for his/her judgment. 例文帳に追加

主務大臣は、特定再利用事業者であって、その製造に係る製品の生産量又はその施工に係る建設工事の施工金額が政令で定める要件に該当するものの当該特定再利用業種に係る再生資源又は再生部品の利用が第十五条第一項に規定する判断の基準となるべき事項に照らして著しく不十分であると認めるときは、当該特定再利用事業者に対し、その判断の根拠を示して、当該特定再利用業種に係る再生資源又は再生部品の利用に関し必要な措置をとるべき旨の勧告をすることができる。 - 経済産業省

To provide a wet soil improver for making wet soil with high sodium chloride content, such as sea dredge soil, easily carriable and reusable as an earth material such as fill and backfill, by granulating in a short time and without performing treatment such as dehydration, and to provide a granulation method.例文帳に追加

海洋浚渫土等の塩化ナトリウム濃度の高い含水土壌を、脱水等の処理を行わず、短時間に粒状化することにより、運搬し易く、再び盛土材や埋め戻し材等の土質材料として利用できるようにするための含水土壌の改良剤および粒状化方法を実現する。 - 特許庁

The method for forming a reusable transparent image is characterized in that toner is not deposited on an objective image and an image is once formed by fixing and again heated to be changed into transparent as a whole on an electrophotographic transparent film in a method for repeatedly forming images on the film.例文帳に追加

電子写真用透明フィルムで、そのフィルム上の画像が何度でも繰り返し形成できる方法において、形成したい画像上にトナーを打たなくし、一度定着させ画像を形成し、再度熱を掛けて全体を透明化することを特徴とする再利用可能透明画像形成方法である。 - 特許庁

This automatic vending machine system is provided with a means for holding reusable containers downward, a means for washing and drying the containers, a means for filling beverage after turning the containers upside down, and a means for mounting covers on the containers as necessary.例文帳に追加

自動販売機本体に設けた再利用可能な容器を下向きに保持する手段と、上記容器を洗浄して乾燥する手段と、当該容器を上向きに反転させた後に飲料を充填する手段と、所望により容器に蓋を装着する手段とを備えたことを特徴とする容器を再利用する自動販売機システム。 - 特許庁

To reduce the amount of a processing oil adhered to and remaining on a workpiece during processing by a simple method, make the removed processing oil reusable, reduce the running cost by reducing or eliminating the need of a cleaning solution to clean the workpiece and mitigate the load to the global environment.例文帳に追加

加工作業により被加工物に付着残留した加工油を簡易な方法により減量除去し、これを再利用可能とするとともに、被加工物の洗浄のために必要となる洗浄溶剤を少なくするか又はゼロとすることにより、ランニングコストを低くするとともに、地球環境への負荷を軽減する。 - 特許庁

To provide a packing container returnable to natural soil after use, contributing to environmental protection, reusable as a cultivation container, excellent in water retainability, having a good hygienic aspect, enabling easy enjoyment of vegetable cultivation in a room at home, and expected to bring an effect of reducing the amount of carbon in the atmosphere.例文帳に追加

包装容器を使用後に自然の土に戻すことができ、環境保全に貢献できる、更に、栽培容器として再利用もでき、保水性に優れ、かつ、衛生面も良く、家庭の室内で安易に野菜の栽培を楽しめることができ、大気中の炭素削減効果も期待できる包装容器の提供。 - 特許庁

To provide a semiconductive tape for a power cable recyclable (that is, easily recoverable from a dismantled cable and reclaimable into an original semiconductive tape) and environmentally friendly because the tape contains no halogen element, and to provide a power cable using it excellent in recyclability, having more reusable members than before.例文帳に追加

解体ケーブルから容易に回収することができ、しかも元の半導電性テープに再生できるなどリサイクルが可能で、なおかつハロゲン元素を含まないため環境にやさしい電力ケーブル用半導電性テープと、それを用いた、これまでよりも再利用できる部材が増加した、リサイクル性にすぐれた電力ケーブルとを提供する。 - 特許庁

To provide a device and method for cleaning mirror by which a mirror having deposits, such as the debris etc., generated from an EUV light source and lowered in reflectance can be made reusable by removing the debris etc., in a vacuum; and to provide EUV optical illumination equipment and an exposure device containing the mechanism of the device and method.例文帳に追加

ＥＵＶ照明光学装置において、ＥＵＶ光源から発生するデブリ等の付着物が表面に付着し反射率の低下したミラーを真空中でデブリを除去し再利用可能とする洗浄装置、洗浄方法、及びこれらの機構を含む照明光学装置、露光装置の提供を目的とする。 - 特許庁