alignmentを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 15716件
The spacer 35 for the rolling bearing device in which an inner ring 15 or an outer ring 7 is pressurized in the axial direction by a fastening member 33, is provided between the fastening member 33 and the inner ring 15, and has an alignment function.例文帳に追加
転がり軸受装置の内輪15又は外輪7に対して締結部材33により軸方向の与圧が付与される転がり軸受装置用の間座35であって、前記間座35が前記締結部材33と内輪15との間に介装され、前記間座35は調心機能を有する。 - 特許庁
Three-color (R, G, B) organic emission coloring matter pattern layers 82 (82R, 82G and 82B) corresponding to three primary colors of light, and a marker 83 for alignment are arranged on one surface of a substrate body 81 for transmitting laser beams, thus composing the transfer base 80.例文帳に追加
レーザ光を透過可能な基板本体81の一面に、光の3原色に対応する3色(R,G,B)の有機発光色素パターン層82(82R,82G,82B)と、位置合わせ用のマーカー83とを配列させることにより、転写基板80を構成する。 - 特許庁
The device is allowed to recognize an ocular fundal image width H in relation to a fixed amplification to form an image as an initial value prior to an alignment procedure to be followed thereafter to obtain an aerial width H of the ocular fundal image by A/D conversion of video signals of the ocular fundal image to be observed.例文帳に追加
装置に初期値として所定の結像倍率に対応した眼底画像領域幅Hを認識させ、その後にアライメント操作を行い、眼底観察像のビデオ信号をA/D変換して被検眼の眼底画像領域幅Hを求める。 - 特許庁
To provide a wooden earth retaining body capable of being panelized at a plant in advance, at the same time, facilitating built-up work at a site since a coupler is projected from the end face and being installed in a form corresponding to geographical features since it can be connected in alignment or in refraction.例文帳に追加
工場で予めパネル化してあると共に、連結具は端面から突出しているので現場での組み付け作業が容易であるし、直線状にも屈折状にも連結することができるので、地形に対応した形態に設置することができる。 - 特許庁
From the stage position of a defect detected by a review device, a defect candidate close to that stage position is listed along with the defect information (defect type, defect image, defect size) provided by an inspection device, so that a defect for use in the fine alignment correction can be selected.例文帳に追加
レビュー装置が検出した欠陥のステージ位置から、そのステージ位置に近い欠陥候補を検査装置が提供する欠陥情報(欠陥種別,欠陥画像,欠陥サイズ)とともに一覧表示し、ファインアライメント補正に使用する欠陥を選択できるようにする。 - 特許庁
When a voltage is applied, the liquid crystal molecules in the drops of the liquid crystal 20 are arranged in planes parallel with the panel gap direction and besides within each of the drops of the liquid crystal 20 the directions of alignment turns into randomly arranged states in planes parallel with the panel gap direction and a scattered state is obtained.例文帳に追加
電圧印加時には、液晶滴20内の液晶が、パネルギャップ方向と平行な面内に配置され、かつ個々の液晶滴20毎に配向方位がパネルギャップ方向と平行な面内でランダムに配置状態となり、散乱状態を得る。 - 特許庁
To provide a correcting method for a line sensor in which the line sensor can be corrected at any time, an alignment device capable of precisely detecting the position of a substrate through the connection and having stable performance which is not influenced by a use environment, and a substrate transport device equipped with the same.例文帳に追加
ラインセンサの補正を随時行うことができるラインセンサの補正方法、その補正により基板の位置検出を精度良く使用環境にも影響されない安定した性能を保持できるアライメント装置及びそれを備えた基板搬送装置を提供する。 - 特許庁
The pile mounting auxiliary device 20 is provided with a right arm part 22 and a left arm part 23 for clamping the steel pipe sheet pile 1 from the right and left for alignment, and at least a part of at least one of the right and left arm parts 22, 23 is formed to be movable right and left.例文帳に追加
杭取付補助装置20は、鋼管矢板1を左右から挟むようにして位置合わせする左腕部23及び右腕部22を備え、左右の腕部23,22のうちの少なくと一方の腕部23,22の少なくとも一部が左右に移動自在とされている。 - 特許庁
After making alignment of the mask 20 and the substrate 10 in plane direction, both are brought in close proximity and the convex shape parts are adhered closely initially, and while the substrate pressing member 12 and the mask pressing member 22 are being retreated, whole faces of the mask 20 and the substrate 10 are adhered mutually.例文帳に追加
マスク20と基板10の面方向のアライメントを行った後、両者を接近させて凸形状部を初期密着させ、基板押圧部材12およびマスク押圧部材22を後退させながら、マスク20と基板10の全面を互いに密着させる。 - 特許庁
Moreover, a light source control part 140 makes the first light source 121 whose power is small in two light sources to be in a lighting state throughout respective processes and the second light source 122 whose power is large to be in a lighting state only in the second alignment process.例文帳に追加
光源制御部140は、2つの光源のうち、パワーの小さな第1の光源121については各工程を通じて点灯状態とし、パワーの大きな第2の光源122については第2の位置合わせ工程においてのみ点灯状態とする。 - 特許庁
An alignment device has one or three motors, has a plurality of translation rolling mechanisms having two degrees of translation freedoms and one degree of a rotary freedom so that the sum total of the motors reaches three or more, and arranges the translation rolling mechanisms so that the table can be moved in the translation direction and the direction of a rotation.例文帳に追加
電動機を1〜3つ有し、2つの並進自由度と1つの回転自由度を持つ並進回転機構を電動機の総和が3つ以上になるよう複数備えて、テーブルが並進方向と回転方向ができるように並進回転機構を配置する。 - 特許庁
To provide a method of controlling position by which an ultra-fine pattern can be formed in a highly reproducible state with high accuracy when an auto-alignment mechanism is unusable or the fine adjustment of a sample holder is difficult after the holder is fixed in a lithography step performed in the manufacturing process of a semiconductor device.例文帳に追加
半導体装置の製造工程のリソグラフィー工程において、オートアライメント機構の使用が不可能な場合、またはサンプルホルダー固定後の微調整が困難な場合に極微細パターンを高精度で再現性良く形成できる位置制御方法を提供する。 - 特許庁
According to this processing, when the ready-for-winning is generated with any of 1, 3, or 5 (except in the case of winning), the ready-for-winning symbol has the identification symbol, so that a player excellent in dynamic visual acuity can instantaneously have expectation of the alignment when the spacial symbol is stopped.例文帳に追加
本処理によれば、1,3,5のいずれかでリーチになる場合(当りの場合は除く)には、そのリーチ図柄に識別図柄がつくので、動体視力の優れた遊技者にとっては、特別図柄が停止された際の配列に対する期待をいち早く抱くことができる。 - 特許庁
The wiring board is equipped with interconnect lines provided inside an insulating film formed on a transparent board, connection pads which are connected to the interconnect lines and arranged on a plane in parallel with the board in the same layout with the connection pads of the semiconductor elements, and an alignment mark.例文帳に追加
配線基板は、透明基板上の絶縁膜内に設けられた配線と、配線に接続され、半導体素子の接続パッドと同じ配置で基板に平行な面に設けられた接続パッドと、接続パッド上に設けられたハンダバンプと、アライメントマークとを備える。 - 特許庁
To provide a supporting tool and a working method capable of facilitating the operations of mounting and removing a heavy wheel of a large-sized vehicle including heaving/transportation of wheels and hole alignment for a wheel mounting bolt which are used to require labor and skill.例文帳に追加
大型車両の重い車輪の取り付け・取り外しなどの作業において、車輪の持ち上げ・運搬など、また車輪取り付けボルトの穴合わせ作業は労力や熟練を要するものであり、これを容易に行える支援工具及び作業方法を提供する。 - 特許庁
To provide a method and an apparatus for alignment-bending formation with which, in the method used for pre-bending formation when winding a plurality of wires onto an insulator, the plurality of wires are bent into a prescribed shape under state of standing in a row without generating a gap between the wires.例文帳に追加
複数のワイヤをインシュレータに巻きつけるときの事前曲げ成形に用いられる方法であって、複数のワイヤ整列したまま、所定形状に曲げ、ワイヤの間に隙間が生じない整列曲げ成形方法、及び整列曲げ成形装置を提供すること。 - 特許庁
Then when a potential difference ΔVcom due to variation in common voltage measured by a liquid crystal device 1 completed in advance has a plus value, the alignment layer 16 formed on the TFT substrate 10 is heat-treated at predetermined temperature for a predetermined time based upon the potential difference ΔVcom (S5).例文帳に追加
次いで予め完成された液晶装置1で測定した共通電圧の変動による電位差ΔVcomに基づき、電位差ΔVcomがプラス値を示している場合は、TFT基板10に形成されている配向膜16を、所定温度で所定時間加熱処理する(S5)。 - 特許庁
To provide a technique for displaying a point image on a projected image that eliminates complicated alignment, dispenses with laser light, which should not be viewed directly, and enables the position control of a point image with an image pointer directed to an arbitrary position.例文帳に追加
投影画像にポイント画像を表示する技術において、複雑な位置合わせが不要であり、さらに直視が望ましくないレーザを用いることなく、また任意の場所に向けた画像指示装置によるポイント画像の位置制御が行える技術を提供する。 - 特許庁
In this manufacturing method, a primary acceptance determining section determines whether or not the hole diameter D of a contact hole opening 42 and the alignment offset value A of a lower interconnection line 10 configured as a target pattern are within a predetermined standard range in a primary acceptance determination step (Step S4).例文帳に追加
第1合否判定部18において、コンタクトホール開口部42のホール径D及びターゲットパターンとしての下層配線ライン30とのアライメント・オフセット値Aがそれぞれ所定の規格範囲内に入っているか否かの1次合否判定を行う(ステップS4)。 - 特許庁
To provide a method for verifying a design pattern by which design patterns are verified while predicting an inoperable state of a circuit due to displacement in alignment and to provide a method for correcting a design pattern by which the above design patterns are subjected to necessary correction in accordance with the results of the verification.例文帳に追加
合わせずれによって回路が動作できないことがあることを予測して設計パターンを検証する設計パターンの検証方法と、その検証の結果に応じて、設計パターンに必要な補正を施す設計パターンの補正方法を提供する。 - 特許庁
To provide a dicing apparatus capable of aligning the other piece of work while machining a piece of work and also capable of not only improving the availability factor of an expensive alignment means but also improving the availability factor of the apparatus as a whole, while minimizing a rise in cost of the apparatus.例文帳に追加
装置のコスト増大を最小に抑えながら、ワークを加工中に他のワークのアライメントを行うことができ、高価なアライメント手段の稼働率を高めるとともに、装置全体の稼働率も向上することができるダイシング装置を提供すること。 - 特許庁
The relative position error between the alignment mark on the mask and the device region is measured by off-line measurement and the result of measurement is set in an exposure device as a correction value when exposed, and thus a picturing error on the mask is corrected and an overlapping error in the device region is reduced.例文帳に追加
マスク上のアライメントマークとデバイス領域の相対的な位置誤差をオフラインで測定し,露光時には前記測定結果を補正値として露光装置に設定することにより、マスクの描画誤差を補正して、デバイス領域での重ねあわせの誤差を低減する。 - 特許庁
The inorganic alignment layers 3 and 4 are respectively constituted with a plurality of prismatic inorganic particles which are disposed nearly in parallel to the inside surface of the TFT substrate 17 or that of the counter substrate 12 for the liquid crystal panel and further in such a way that their long axes are oriented to a nearly fixed direction.例文帳に追加
無機配向膜3、4は、それぞれ、TFT基板17または液晶パネル用対向基板12の内表面にほぼ平行、かつ、長軸がほぼ一定方向に向くように配設された複数の角柱状の無機粒子で構成されている。 - 特許庁
A parasitic capacitance compensation part 21, extended from a source electrode 12, is overlapped on a gate wire 3 via an insulating film 6 and the overlapped area is made not to vary, even if alignment deviation between the gate electrode 2 and the source electrode 12 is generated.例文帳に追加
ソース電極12から延出された寄生容量補償部21はゲート線3上にゲート絶縁膜6を介して重ね合わされ、且つ、その重なり面積はゲート電極2とソース電極12との間にアライメントずれが生じても変化しないようになっている。 - 特許庁
To provide a liquid crystal device in which deterioration of an alignment layer with time is small, lowering of contrast after an extended period of use is small and orientation in an axial horizontal direction is of a high order and which has excellent display quality, and an electronic appliance using the device.例文帳に追加
配向膜の経時劣化が小さく、長期間使用した場合においてもコントラストの低下が小さく、水平方向の軸配向性が高く、表示品質に優れた液晶装置、及びそれを用いた電子機器を提供することを目的とする。 - 特許庁
The end on the outermost side of a transparent electrode 2 is bent in an L shape and extended to a location projected from a casing 3a of a driver IC3, and a positional relation between an extension part 5 of the transparent substrate 2 and a pad 4 of the driver IC3 is confirmed to adjust an alignment.例文帳に追加
透明電極2の最も外側の端部をL字形状に曲げてドライバIC3の筐体3aから突出する位置まで延出し、この透明基板2の延出部分5とドライバIC3のパッド4の位置関係を確認して、アライメント調整を行う。 - 特許庁
The assigning intensity levels display is carried out by dispersing a dual frequency drive liquid crystal in a polymer compound layer to form a liquid crystal-polymer composite layer and varying pulse number of an applied pulse voltage corresponding to gray scale information to control the gray scale of the liquid crystal alignment.例文帳に追加
二周波駆動液晶を高分子化合物層内に分散させて液晶・高分子複合体層を形成し、印加するパルス電圧のパルス数を階調情報に応じて変化させることにより液晶の配向を階調制御し、階調表示を行う。 - 特許庁
To provide a liquid crystal display device which is a vertical alignment type liquid crystal display device conducting a segment display with simple matrix driving, and with which the deterioration of display quality due to cross talk is suppressed even when the pretilt angle is increased to a certain extent.例文帳に追加
単純マトリクス駆動によりセグメント表示を行う垂直配向型の液晶表示装置であって、プレティルト角をある程度大きくしても、クロストークに起因する表示品位の低減を抑制することが可能な液晶表示装置を提供する。 - 特許庁
To provide a mounting fitting for an external facing material, which can enhance the efficiency of mounting work for the external facing material by facilitating the alignment of the mounting fitting with the external facing material, when the external facing material is mounted on a building frame via the mounting fitting.例文帳に追加
建物躯体に取付金具を介して外装材を取り付けるにあたり、取付金具と外装材との位置合わせを容易に行うことができて外装材の取り付け作業の効率を向上することができる外装材の取付金具を提供する。 - 特許庁
To provide a liquid crystal aligning agent which has superior printing properties and by which product yield in a large manufacturing process can be improved and obtained liquid crystal alignment layer has a superior voltage holding ratio, and to provide a liquid crystal display element that shows display characteristics of high quality.例文帳に追加
印刷性に優れ大型ラインによる製造工程における製品歩留まりを改善することができ、且つ得られる液晶配向膜の電圧保持率に優れた液晶配向剤、および高品位の表示特性を示す液晶表示素子を提供すること。 - 特許庁
To provide a drive coupling mechanism capable of precisely performing positioning of each unit and alignment of axial center of a rotary member when drive transmission parts provided to a plurality of units are simultaneously connected, and to provide a method for manufacturing an image forming apparatus using the same.例文帳に追加
複数ユニットに設けられた駆動伝達部を一度に連結する場合において、各ユニットの位置決め及び回転部材の軸心決めを正確に行うことができる駆動カップリング機構及びそれを用いた画像形成装置の製造方法を提供する。 - 特許庁
A valuation basis of bit assignment is sorted in advance, and a sub-band signal for assigning a bit is detected, and when the re-calculated valuation basis is sorted, the valuation basis is sorted by partially changing alignment of a preceding sorting result.例文帳に追加
本発明は、ビット割り当ての評価基準を事前にソートしてビット割り当てするサブバンド信号を検出するようにして、再計算した評価基準をソートする場合には、直前のソート結果の部分的な配列の変更により評価基準をソートする。 - 特許庁
Torque required to cancel turning force is generated by a tension roller 4, turning works can be carried out only by letting the whole of the surface to be machined, pass through this machine at one time, and a tension head is directed by means of the alignment of a real wheel tread band 5.例文帳に追加
引張りローラ(4)によって切削力を打ち消すために必要な偶力が発生し、この旋削作業は、機械加工すべき面全体を一度この機械に通すだけで行われ、引張りヘッドは現実の踏面帯金(5)の整列によって方向づけされる。 - 特許庁
To provide an aligner that a holder vacuum-sucking a photosensitive substrate is highly accurately positioned without giving adverse effect on the rotating performance of a rotating table with respect to the aligner executing projection alignment by intermittently or continuously rotating the photosensitive substrate.例文帳に追加
感光性基板を断続的あるいは連続的に回転させながら投影露光する露光装置において、回転テーブルの回転性能に悪影響を与えずに、感光性基板を真空吸着したホルダを高精度に位置決めできる露光装置を得る。 - 特許庁
An article detecting unit detects that an article has come to a specified position (S100), an image is taken in when a specified time has elapsed after that time point (S110 and S120), and the center coordinate of a alignment symbol which a QR code in an image comprises is calculated (S140).例文帳に追加
物品検知ユニットにて物品が所定位置に来たことを検知し(S100)、その時点から所定時間が経過した時点で画像を取り込み(S110,S120)、画像中のQRコードが有する位置決め用シンボルの中心座標を算出する(S140)。 - 特許庁
To provide a thermally-assisted magnetic recording medium which solves a conflict between resistance to thermal decay at an RT and easiness in writing at a high temperature, makes a variation of coercive force to temperature steep just below a recording temperature, is formed at a low temperature, has an anisotropic axis alignment, and can be granulated.例文帳に追加
RTでの熱揺らぎ耐性と高温での書き込みやすさの相克を図れ、記録温度直下での保磁力の温度に対する変化を急峻にでき、低温形成、特定異方性軸配向、グラニュラー化が可能である熱アシスト磁気記録媒体を提供する。 - 特許庁
Hereby, when the bonding part 8 of the offset corrugated plate 6 is bonded to the flat plate 5, the openings 22 can be formed surely at the bonding part, to thereby dispense with the high-precision manufacturing of the flat plates 5 and the offset corrugated plate 6 and an alignment work thereof.例文帳に追加
これによって、オフセット波板6の接合部8を平板5に接合したとき、この接合部分に開口部22を確実に配置できるので、平板5とオフセット波板6を高い精度で製作することや、これらの位置合わせ作業が不要である。 - 特許庁
To solve the problem wherein a zero contact point where a wafer W and a probe pin 8A are brought into electric contact with each other can not be determined exactly, while alignment between the wafer W and the probe pin 8A of a probe card 8 is performed when inspecting the wafer W by using a probe device.例文帳に追加
プローブ装置を用いてウエハWの検査を行う際にウエハWとプローブカード8のプローブピン8Aとのアライメントを行っているが、ウエハWとプローブピン8Aとが電気的に接触するゼロコンタクトポイントを正確に求めることができない。 - 特許庁
Each gate (gate mark 421) may be formed in a region between a straight line connecting the center in a circumferential direction of each alignment pawl 415 to a central axis J1, and the first openings 4141 and second openings 4142 in a counter clockwise direction of the straight line.例文帳に追加
各ゲート(ゲート痕421)は、各調芯爪415の周方向の中心と中心軸J1を結ぶ直線、および、直線から反時計回り方向における第1開口部4141および第2開口部4142との間の領域に形成されていればよい。 - 特許庁
Both of the liquid crystal cells are TN type liquid crystal cells, and comprise a pair of transparent substrates 7a and 7b stuck together one over the other across a seal material 6, pairs of pattern electrodes 8a to 8d showing a display pattern, alignment layers 9a to 9d, and liquid crystal materials 10a and 10b.例文帳に追加
両液晶セルはTN型液晶セルであり、シール材6を介して重ね合わされた一対の透明基板7a,7bと、表示パターンを示す一対のパターン電極8a〜8dと、配向膜9a〜9dと、液晶材料10a,10bとからなる。 - 特許庁
A cross-shaped alignment mark 14 is formed on a face of a metallic covered film 12 on both sides of the film carrier tape 10 to increase a width of the metallic covered film 12, reduce warping of the film carrier tape 10, and stabilize the direction of reflected light of light of the illuminating device.例文帳に追加
十字型アライメントマーク14を、フィルムキャリアテープ10の両側の金属被膜12の面に形成することで、金属被膜12の幅を大きくしフィルムキャリアテープ10の反りを減少させ、照明装置の光の反射光の方向を安定させる。 - 特許庁
To provide an alignment inspection device for work which can rapidly decide the presence or absence of a work based on imaging results, or display work even if the number of display picture elements of a CRT monitor is smaller than the number of image sensing picture elements of a line camera.例文帳に追加
撮像結果に基づくワークの有無の判断を速やかに行なうことができ、あるいは、ライン・カメラの撮像画素数に比べて表示画素数が少ないCRTモニタであってもワークを表示することができるワークの整列検査装置を提供すること。 - 特許庁
A carrying mechanism has an alignment part to change a holding state of the workpiece on this workpiece carrying device to carry the workpiece by holding the workpiece by the carrying mechanism and moving this carrying mechanism along the carrying direction of the workpiece.例文帳に追加
搬送機構によってワークを保持し、この搬送機構を前記ワークの搬送方向に沿って移動させることにより前記ワークを搬送するワーク搬送装置において、 前記搬送機構は、前記ワークの保持状態を変化させるアライメント部を有することを特徴とする。 - 特許庁
Once the position of the optical axis is aligned when the lens is assembled, alignment of the optical axis is not necessary when the position of a liquid crystal panel is to be adjusted but only the liquid crystal panel and the cross dichroic prisms are required to be exchanged, therefore, makes the position adjusting work easy.例文帳に追加
組み込んだ際に一度光軸位置を合わせておけば、液晶パネルの位置調整時に毎回光軸位置を合わせる必要がなく、液晶パネルおよびクロスダイクロイックプリズムの交換のみでよいので、位置調整作業を容易に行うことができる。 - 特許庁
The assembly structure for the fuel cell has a substrate and a thin membrane, where the substrate has a plurality of bonding labels arranged on a bonding surface to which the thin membrane is bonded, or the substrate has at least a pair or more of alignment labels on the bonding surface.例文帳に追加
燃料電池の組立構造は基材と薄膜を具え、基材は薄膜との接合表面に設置された複数の接合標示を包含するか、基材は該接合表面上に設置された少なくとも一対以上のアライメント標示を具えている。 - 特許庁
The liquid crystal cell 10A is manufactured by forming transparent electrodes 11a and 12a and alignment layers 11b and 12b on plastic substrates 11 and 12, then printing the peripheral edge of the substrate 12 with the sealing material 14a and affixing the substrates 11, 12 via the sealing material 14a.例文帳に追加
プラスチックフィルム基板11、12上に透明電極11a、12aと配向膜11b、12bを形成した後、基板12の周縁部にシール材14aを印刷し、シール材14aを介して基板11、12を貼着し、液晶セル10Aを作製する。 - 特許庁
First and second needles for position detection are brought into contact with pads 102, 103 for alignment, respectively, in a state that predetermined potential is applied to a terminal 105 and a terminal 106, and potential in contact positions 104, 107 is measured (a potential measuring process).例文帳に追加
端子105および端子106に所定の電位を与えた状態で、それぞれに第1および第2の位置検出用針を位置合わせ用パッド102,103に接触させることにより、コンタクト位置104,107での電位を測定する(電位測定工程)。 - 特許庁
The method also detects a second lateral interval of the edge of the belt loop in the apparatus relative to the known alignment position using a second sensor, and determines the non-linear shape of the edge of the belt loop based on the second lateral interval of the edge of the belt loop detected by the second sensor.例文帳に追加
また、第2のセンサを用い、既知の整列位置に対する装置内のベルトループのエッジの第2の側方間隔を検出し、第2のセンサが検出するベルトループのエッジの側方間隔に基づき、ベルトループのエッジの非直線形状を特定する。 - 特許庁
Attitude information calculated by alignment processing by an attitude detection part 56 is outputted to a movement control part 59, and the movement control part 59 determines photographing positions in all the photographing fields 8 after a second photographing field 82 based on the attitude information.例文帳に追加
姿勢検出部56による位置合わせ処理によって算出された姿勢情報は、移動制御部59に出力され、移動制御部59は、姿勢情報に基づいて第2撮影視野82以降の全ての撮影視野8の撮影位置を決定する。 - 特許庁
In an exposure step 30, the surface of the glass substrate is exposed by a small mask continuous exposure system while adjusting positions of exposure heads 33, 34 by reading the alignment mark through the back face side of the glass substrate while carrying the glass substrate coated with the resist.例文帳に追加
露光工程30はレジストを塗布されたガラス基板を搬送しつつガラス基板の裏面側からアライメントマークを読み取ることにより、露光ヘッド33、34の位置を調整しながらガラス基板の表面を小型マスク連続露光方式により露光する。 - 特許庁
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