「Alignment」に関連した英語例文の一覧と使い方(284ページ目) - Weblio英語例文検索

Sheets are provided in a housing so that they can slide on that, and the second sheet 2 is connected to the first sheet 1 and the third sheet 3 so as to move, in a slidable manner, to the first sheet 1 and the third sheet 3 between a first alignment position and a second retreat position.例文帳に追加

板は、ハウジング４３に、これに対して摺動可能なように設けられており、第２の板２は、第１のアラインメント位置と第２の後退位置との間を、第１の板１と第３の板３とに対して摺動可能に動くように第１の板と第３の板とに接続されている。 - 特許庁

The second alignment paul 20 includes a second elastic part 21 to be elastically deformed, and a second claw part 22 formed in the tip of the second elastic part to abut on the inner peripheral edge of a disk center hole, and elastically deformed in a direction toward the center axis of a roughly cylindrical member 30.例文帳に追加

第２の調芯爪２０は、弾性変形可能な第２の弾性部２１と、この第２の弾性部の先端に形成され、ディスクの中心孔の内周縁に当接される第２の爪部２２とからなり、略円柱状部材３０の中心軸に向かう方向に弾性変形可能である。 - 特許庁

When the center of the exposure region 33 of the projection optical system PL composed of the catadioptric system is displaced on the -Y-direction side to the optical axis of the projection optical system PL, an alignment sensor 43 for aligning a wafer W is arranged on a side face on the -Y-direction side to the projection optical system PL.例文帳に追加

反射屈折系よりなる投影光学系ＰＬの露光領域３３の中心が、投影光学系ＰＬの光軸に対して−Ｙ方向側にずれているときに、投影光学系ＰＬに対して−Ｙ方向側の側面に、ウエハＷのアライメント用のアライメントセンサ４３を配置する。 - 特許庁

The manufacturing method for the SONOS EEPROM is adapted such that the electric charge trapping layer located at the both ends of the gate without erroneous alignment, the gate is manufactured without the use of a gate forming mask, whereby a cell having a structure excellent in uniformity can be manufactured, a photographic process is not used, and hence a limit due to the manufacturing process can be conqered.例文帳に追加

また、ゲート両端の電荷トラッピング層を誤整列なしに形成し、ゲート形成マスクなしにゲートを製造することであって、均一性に優れる構造のセルが製造でき、写真工程を使用せず、それによる限界を克服しうるＳＯＮＯＳＥＥＰＲＯＭの製造方法である。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a thin film transistor for realizing a heating process for improving the characteristics of a gate insulating film, such as reduction in the boundary surface level and reduction in the fixed charges, while preventing a problem of the alignment deviation in patterning due to expansion and contraction of glass.例文帳に追加

本発明は、ガラスの膨張、収縮がパターニングのアライメントずれの問題を引き起こさずに、界面準位低減、固定電荷低減といったゲート絶縁膜の特性向上を目的とした加熱処理を可能とする薄膜トランジスタの作製方法を提供することを課題とする。 - 特許庁

The method includes: holding a substrate 11 on substrate holding means 13; then, detecting an amplitude of vibration of the substrate 11 in the gravity direction; predicting a statically determinate position of the substrate 11 based on information of the amplitude; and aligning the substrate 11 and a mask 12 based on a position of an alignment mark at the statically determinate position.例文帳に追加

基板１１を基板保持手段１３に保持した後、該基板１１の重力方向の振動の振幅を検出し、該振幅情報より基板１１の静定位置を予測して、係る静定位置におけるアライメントマークの位置より基板１１とマスク１２の位置合わせを行う。 - 特許庁

To provide an element in which a homogeneous alignment state which is bistable in two directions of a ferroelectric liquid crystal in an inclined area is realized, as an optical element constituted of a liquid crystal cell whose substrates are not parallel to each other using a chiral smectic C layer, and to enable a high speed shift of an optical path with a simple constitution.例文帳に追加

キラルスメクチックＣ層を用いた基板間隔が非平行の液晶セルによる光学素子において、傾斜領域内で強誘電性液晶の２方向への双安定なホモジニアス配向状態を実現する素子を提供し、簡単な構成で高速な光路シフトを可能とする。 - 特許庁

To provide a liquid crystal device which is excellent in light and heat resistance and in which the liquid crystal and the alignment layer are prevented from being deteriorated by attaining efficient cooling of the device in the liquid crystal device using a substrate with low thermal conductivity such as a glass or quartz substrate or the like and to provide a projection display device and an electronic appliance.例文帳に追加

ガラスや石英などの熱伝導率の低い基板を用いた液晶装置において、効率的な装置の冷却を可能にし、もって液晶や配向膜の劣化を抑制し得る、耐光性及び耐熱性に優れた液晶装置、投射型表示装置、電子機器を提供する。 - 特許庁

The production method of a liquid crystal alignment layer includes steps of: (1) applying a liquid crystal aligning agent on a transparent film to form a coating film; (2) irradiating the coating film with radiation to cure the coating film; and (3) further irradiating the cured coating film with radiation to impart a liquid crystal aligning ability to the film.例文帳に追加

（１）透明フィルム上に液晶配向剤を塗布し、塗膜を形成する工程、（２）上記塗膜に放射線を照射し、塗膜を硬化させる工程、及び（３）上記硬化した塗膜に放射線を照射し、液晶配向能を付与する工程を有する液晶配向膜の製造方法。 - 特許庁

The flange part 22 of the upper coupling 2 is provided with a screw hole 24 for shaft center adjustment penetrating in the radial direction and formed, and through adjustment of the screw-in length of a set screw 7 into the screw hole 24, the shaft center alignment is performed by moving the upper and lower couplings 2 and 3 in a direction orthogonal to the axis line L.例文帳に追加

上部カップリング２のフランジ部２２には軸芯調整用ねじ孔２４が径方向に貫通形成され、軸芯調整用ねじ孔２４への止めねじ７へのねじ込み長さの調整により、上下のカップリング２，３を軸線Ｌに直交する方向に移動させて軸芯合わせを行う。 - 特許庁

A controller 20 sets each of: a hold time for a pre-alignment device 12 to hold a substrate W after completing processing; a hold time for a work loader 15 to stop and hold the substrate W; and a hold time for an exposure device 13 to hold the substrate W after completing processing, at 20 seconds or less, respectively.例文帳に追加

制御装置２０は、プリアライメント装置１２が処理完了後の基板Ｗを保持する保持時間、及び、ワークローダ１５が基板Ｗを停止して保持する保持時間、及び、露光装置１３が処理完了後の基板Ｗを保持する保持時間を、それぞれ２０秒以下に設定する。 - 特許庁

The alignment method features the following; a shade of an pick-up vernier image with a scale part of main scale/sub-scale having a uniform interval is converted into a contrast waveform, both waveforms are synthesized, the synthesized waveform is used to recognize a point where the wave height is largest and a point where the main scale and the sub-scale of the vernier are matched.例文帳に追加

本発明は、撮像したバーニヤ画像の主尺／副尺の目盛り部分の等間隔な濃淡をコントラストの波形に変換し、両者の波形を合成し、合成した波形から最も波高が高い点を認識し、バーニヤの主尺、副尺が一致した点を求めることを特徴とする。 - 特許庁

A tapered part 15 of the turntable 10 is formed to have such an angle that the tapered part 15 does not touch the edge of the center hole 6 of the laminated disk 11 even when the disk 11 is formed by bonding disks with out-of-alignment within specifications, and positioning is performed at the center hole 16 lower than a laminated surface 14 of the laminated disk 11.例文帳に追加

ターンテーブル１０のテーパ部１５が規格内でずれて接着された貼り合わせディスク１１においてもセンタホール６のエッジにあたらない角度で形成されており、また貼り合わせディスク１１の貼り合わせ面１４より下のセンタホール６にて位置決めを行う。 - 特許庁

A control section 2a computes a compensation factor of a correction formula which carries out an alignment degradation to the n-th order of more than the 5-th order as the compensation factor of a distortion shape in a shot and/or the compensation factor between distortion shape shots in the shot, and corrects a distortion error every shot (S6, S7).例文帳に追加

制御部２ａは、ショット内ディストーション形状の補正係数および／またはショット内ディストーション形状ショット間補正係数として５次以上のｎ次に線形分解した補正式の補正係数を算出し、ショット毎にディストーション誤差を補正する（Ｓ６、Ｓ７）。 - 特許庁

To provide a liquid crystal display that supplies electrical signals to a liquid crystal display panel by using a single flexible printed circuit board, and at the same time, that makes a light source element for retaining proper alignment, when the flexible printed circuit boards is used for connecting a driver printed circuit board to a light source element for a backlight unit so as to enable transmission of signals.例文帳に追加

１つの軟性印刷回路基板を用いて、液晶表示パネルに電気的信号を供給すると同時に、バックライトユニットの光源素子に信号を伝達できるように接続する際に、光源素子が定位置を保持できる、液晶表示装置を提供する。 - 特許庁

Accordingly, the area of the rolling surfaces 41 of rolling elements 40 coming into contact with the center part of the outer ring raceway surface 21 and the center part of the inner ring raceway surface 31 can be brought into an optimum range, and when there is a large mis-alignment, the occurrence of so-called the edge load can be suppressed.例文帳に追加

このため、転動体４０の転動面４１が、外輪軌道面２１の中央部および内輪軌道面３１の中央部と接触する面積を最適範囲とすることができ、大きなミスアライメントがある場合にはいわゆるエッジロードの発生を抑制することができる。 - 特許庁

To provide a paper feed cassette and a paper feed cassette removing/attaching device with which a user can insert the paper feed cassette when the paper feed cassette is attached to an image forming apparatus such as, a printer, a copy machine, or the like without caring about alignment to a main body insertion opening, and the sliding resistance from the middle of attaching and detaching until finish of attaching is low.例文帳に追加

プリンタ、複写機等の画像形成装置への給紙カセット装着時、ユーザーが本体挿入口への位置合わせに気を使うことなく挿入でき、着脱途中から装着完了時まで摺動抵抗の軽い給紙カセットおよび給紙カセット着脱装置を提供する。 - 特許庁

Thereby, difference in electrostatic capacitance between the pixel electrode 62 and the source wiring 54a in one side and the capacitance between the pixel electrode 62 and the source wiring 54b in the other side hardly changes even when a few alignment deviations occur in each interblock in a photographic process.例文帳に追加

こうすることによって、画素電極６２と一側に在るソース配線５４aとの間の静電容量および画素電極６２と他側に在るソース配線５４bとの間の静電容量の差は、フォトリソグラフィ工程において各ブロック間に多少のアライメントずれが生じても殆ど変化しない。 - 特許庁

To improve the display quality of a liquid crystal display element of hybrid aligned nematic type display mode by preventing a display defect from being caused by an alignment defect of liquid crystal molecules due to steps of unevenness in an electrode substrate surface that a structure formed on an electrode substrate has.例文帳に追加

ハイブリッド・アラインド・ネマティック型表示モードの液晶表示素子において、電極基板上に形成される構造物が有する電極基板面内の凹凸の段差により液晶分子の配向が乱れ、配向不良による表示不良を生じるのを防止して、表示品位を向上する。 - 特許庁

To provide an electrode plate for a capacitance type touch panel, including a structure allowing easy and accurate alignment between a plurality of patterns when sequentially forming each layer of the electrode plate for the capacitance type touch panel including a plurality of layers including the patterns from a transparent base material side.例文帳に追加

パターンを含む複数の層からなる静電容量式タッチパネル用電極板の各層を透明基材側から順次形成していく際に、複数のパターン間の正確な位置合わせを容易に行うことを可能にする構造を有する静電容量式タッチパネル用電極板を提供すること。 - 特許庁

The measured distance from the CCD cameras 124, 126, 128 to the laser scanner 134 along the scanning direction S is specified to be equal to or longer than the pitch of the alignment marks disposed as responding to the top end and the rear end of the plotting region on the substrate material 102.例文帳に追加

このとき、走査方向Ｓに沿ったＣＣＤカメラ１２４，１２６，１２８からレーザースキャナ１３４までの測定距離が基板材料１０２における描画領域の先端及び後端にそれぞれ対応して設けられたアライメントマークのピッチ以上の長さとされている。 - 特許庁

To provide a vertical alignment type liquid crystal display device having one pixel composed of a plurality of sub-pixels at least including a sub-pixel corresponding to white, wherein viewing angle characteristics can be improved while suppressing an increase of manufacturing stages.例文帳に追加

白色に対応するサブ画素を少なくとも含む複数のサブ画素により１画素が構成された垂直配向型の液晶表示装置において、製造工程が増加するのを抑制しながら、視角特性を向上させることが可能な液晶表示装置を提供する。 - 特許庁

The contraction rate for a semiconductor water is calculated before forming an alignment mark on the semiconductor wafer by irradiated it with beams and the projection magnification formed on a reticle is corrected, based on the calculated degree of reduction of the semiconductor wafer, thereby executing reduced projection of the pattern.例文帳に追加

ビームを照射することによって半導体ウェハにアライメントマークを形成する前に、前記半導体ウェハの伸縮率を算出し、算出された前記半導体ウェハの伸縮率に基づいてレチクルに形成されているパターンの投影倍率を補正することにより前記パターンを縮小投影する。 - 特許庁

In the liquid crystal display cell having a substrate with a transparent electrode prepared by successively depositing the transparent electrode, transparent electrode protective film and alignment film on a substrate, the transparent electrode protective film contains conductive fine particles having 103 to 1012 Ω.cm volume resistivity.例文帳に追加

基板上に透明電極、透明電極保護膜および配向膜が順次積層されている透明電極付基板を備えた液晶表示セルにおいて、前記透明電極保護膜が、体積抵抗率が１０^3〜１０^12Ω・ｃｍの範囲にある導電性微粒子を含んでなる液晶表示セル。 - 特許庁

The processing method of the gene analysis data includes the steps of filtering noise of the gene analysis data (a), of implementing base line subtraction (b), of implementing color separation (c), of detecting the peaks of analysis data curve (d) and of implementing global alignment (e).例文帳に追加

遺伝子解析データの処理方法であって、以下のステップ：（ａ） 遺伝子解析データのノイズをフィルタリングするステップ、（ｂ） ベースラインサブトラクションを実行するステップ、（ｃ） カラーセパレーションを実行するステップ、（ｄ） 解析データ曲線のピークを検出するステップ、及び（ｅ） グローバルアラインメントを実行するステップを含む方法。 - 特許庁

According to the arrangement, printing can be carried out simultaneously with different colors of the ink ribbon 7 using the thermal heads 3, 4 and print time can be shortened by performing alignment of the recording sheet 10 simultaneously with heading of the ink ribbon 7 in respective thermal heads 3, 4.例文帳に追加

これにより、サーマルヘッド３，４を用いてインクリボン７の別の色の印字を同時的に行うことができ、また、サーマルヘッド３，４のそれぞれで使用するインクリボン７の頭出しと記録紙１０の位置合わせを同時に行うことができ、印字時間を短縮することができる。 - 特許庁

In such a case the images of the same patterns are displayed for a long time, the charges supplied from the electrodes 3a are accumulated in the alignment control film 5a but when the image display is stopped, the accumulated charges are diffused from the charge control members 9a to the electrodes 3a.例文帳に追加

同じパターンの画像を長時間表示させるような場合には、電極３ａから供給された電荷が配向制御膜５ａに蓄積されるが、その画像表示を止めると、蓄積されていた電荷は電荷制御部材９ａから電極３ａに放散される。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a waterproof polarizing film providing the waterproof polarizing film having high dichroism without causing disorder in alignment of organic coloring matter existing in the polarizing film even after waterproofing treatment of the polarizing film is performed with a waterproofing treatment liquid.例文帳に追加

耐水化処理液で偏光膜の耐水化処理を行った後においても、偏光膜中に存在する有機色素分子の配向に乱れを発生することなく、高い二色性を有する耐水性偏光膜を得ることが可能な耐水性偏光膜の製造方法を提供する。 - 特許庁

In the method for manufacturing the diffraction optical device, the alignment direction of the liquid crystal molecules is uniformly controlled by maintaining the temperature of the glass substrate 101 during laser exposure in a specified temperature range corresponding to the N-I temperature of the liquid crystal to manufacture the diffraction optical device having a polarized light separating function.例文帳に追加

この回折光学素子の製造方法において、レーザ露光中のガラス基板１０１の温度を液晶のＮ−Ｉ点に対応する特定の温度範囲に保持することで液晶分子の配向方向を一様に制御して、偏光分離機能を有する回折光学素子を作製する。 - 特許庁

To provide a tool capable of alignment-exhibiting densely antibodies on a surface without generating a steric hindrance, in a biodegradable nanoparticle, and allowing precise immunological assay via biotin, and an immunological assay using the same.例文帳に追加

生分解性のナノ粒子に対して、表面に抗体を立体障害無く高密度で整列提示可能とし、さらにビオチンを介することで高感度な免疫学的測定を可能とするツールおよびそれを用いた免疫学的測定方法を提供することを課題としている。 - 特許庁

Since one or a plurality of vacancies 3 are formed in the toner particle 1 by the alignment of the crosslinked fine particles 4, the volume of the toner melting in the fixing process is smaller than the volume of a melting toner having no vacancy 3, and the wax 2 smoothly bleeds out to the toner surface.例文帳に追加

架橋微粒子４が配向することによってトナー粒子１に空洞３が１個または複数個形成されるので、定着時において溶融したトナーの体積は、空洞３を有しないトナーが溶融したときの体積より少なく、ワックス２が円滑にトナー表面に染出す。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a substrate for a liquid crystal display element which eliminates the need for rubbing treatment and can improve productivity for forming ruggedness for liquid crystal alignment control in manufacturing the substrate for the liquid crystal display element by transferring transparent electrodes to a plastic substrate.例文帳に追加

透明電極をプラスチック基板に転写して液晶表示素子用基板を製造する際、液晶配向制御用の凹凸の形成に、ラビング処理を不要とし、かつ生産性を向上させることの可能な液晶表示素子用基板の製造方法を提供する。 - 特許庁

In a process for manufacturing a faultless ferroelectric liquid crystal display(FLCD), a substrate 1a side provided with a semiconductor element for driving TFT or the like aligns liquid crystal molecules by optical alignment and a substrate 1b side opposed thereto aligns the liquid crystal by rubbing treatment.例文帳に追加

無欠陥強誘電性液晶（ＦＬＣＤ）ディスプレイを作製する工程において、ＴＦＴなどの駆動用半導体素を備えた基板１ａ側は光配向により液晶分子を配向し、それに対向する基板１ｂ側はラビング処理により液晶を配向する。 - 特許庁

To provide a semiconductor memory device outputting internal data to the outside constantly at a predetermined time point even when PVT (Process, Voltage and Temperature) is changed, by eliminating a delay element affected by the change of the PVT in a clock alignment training operation.例文帳に追加

クロック整合トレーニング動作において、ＰＶＴ（Ｐｒｏｃｅｓｓ、Ｖｏｌｔａｇｅ、Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ）の変動に影響される遅延要素を除去することにより、ＰＶＴが変動した場合でも、常に所定の時点で内部データを外部に出力する半導体メモリ素子を提供すること。 - 特許庁

To provide a microstructure element manufacturing device monolithically making a unique structure of easily securing the direction of selected regions, the accuracy of alignment, and reproducibility, alternately arranging quantum dots with changed characteristics in a proximate region, etc., and also to provide a microstructure element production method.例文帳に追加

選択領域の方位、位置合わせの精度、再現性が確保し易く、特性を変えた量子ドットを近接領域に交互に配列させるなどの特異な構造をモノリシックに作ることができる微細構造素子製造装置及び微細構造素子生産方法を提供すること。 - 特許庁

To provide an optical waveguide film capable of accurately arranging a positioning mark by performing a cutting work using a dicing saw while suppressing flexibility or deterioration in performance of an optical waveguide film body, and capable of performing accurate alignment by means of visibility or physical contact (abutting).例文帳に追加

光導波路フィルム本体の柔軟性や性能劣化を抑制しつつダイシングソーの切削加工により精度が良い位置設定用マークの配設が実現されると共に、視認又は物理的接触（当て付け）により精度良く位置合わせがなされる光導波路フィルムを提供すること。 - 特許庁

To provide a dynamic pressure bearing and its manufacturing method causing little damage of dynamic pressure grooves even if a shaft is put in whirling operation of a conical mode, simplifying alignment accuracy for maintaining symmetry in performing electrolytic etching work and exhibiting high performance as the dynamic pressure bearing.例文帳に追加

例え軸が円錐モードの振れ回り動作があったとしても動圧溝の損傷が少なく、電解エッチング加工に際して対称性を維持するための位置合わせ精度を簡便化し、動圧軸受としても高性能を発揮することのできる動圧軸受及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

Through this optical modulation element, a crystal nucleus is formed at an arbitrary position of the semiconductor film deposited on an insulating substrate to a prescribed thickness to grow crystal in a prescribed direction from the crystal nucleus, and the alignment mark AM can be formed at the arbitrary position of the semiconductor film in the same step.例文帳に追加

この光変調素子によれば、絶縁基板上に所定厚さに堆積された半導体膜の任意の位置に、結晶核を形成し、その結晶核から所定の方向に結晶を成長させるとともに、半導体膜の任意の位置にアライメントマークＡＭを、同一工程で形成できる。 - 特許庁

To provide a photoelectric hybrid substrate that facilitates alignment of a light emitting/receiving element and an optical circuit and that reliably suppresses coupling loss therebetween, to provide a method for efficiently manufacturing the photoelectric hybrid substrate, and also to provide electronic equipment having the photoelectric hybrid substrate.例文帳に追加

受発光素子と光回路との位置合わせが容易であり、かつ、これらの間の結合損失を確実に抑制し得る光電気混載基板、かかる光電気混載基板を効率よく製造可能な光電気混載基板の製造方法、および前記光電気混載基板を備えた電子機器を提供すること。 - 特許庁

To provide an imaging apparatus of which a base line length is set properly, and an alignment adjustment work and a fixing work for a plurality of imaging elements are easily and surely performed in the imaging apparatus having the plurality of imaging elements which image an image formed by a plurality of lens units.例文帳に追加

複数のレンズユニットによって形成される像を撮像する複数の撮像素子を備えた撮像装置において、基線長を適切な長さに設定し、複数の撮像素子の位置合わせ調整作業、固定作業を容易かつ確実にする撮像装置を提供する。 - 特許庁

To provide an electronic endoscope system capable of accurately obtaining an oxygen saturation level of a blood vessel, which is of great importance in diagnosis, by producing an oxygen saturation level image through inter-frame alignment of a plurality of frame-sequentially acquired frame images of different wavelengths based on the position of blood vessels.例文帳に追加

面順次で取得した異なる波長帯域の複数フレーム画像について、血管の位置に基づいてフレーム間位置合わせを行い、酸素飽和度画像を生成することで、診断上重要な血管の酸素飽和度を精度よく求めることができる電子内視鏡システムを提供する。 - 特許庁

On each frame except the predetermined frame of the series of frames, an alignment processing part 43 aligns the frame with the frame in the past in real time so that the misalignment degree between the image of the wire in the frame and that in the frame in the past is minimized substantially.例文帳に追加

位置合わせ処理部４３は、これら一連のフレームのうちの所定フレーム以外の各フレームについて、当該フレーム中のワイヤの像とこれより過去のフレーム中のワイヤの像との不一致の度合いが略最小になるように、当該フレームと過去のフレームとをリアルタイムで位置合わせする。 - 特許庁

A liquid crystal alignment membrane forming composition contains at least one polymer selected from polyamic acid obtained by reaction of tetracarboxylic acid dihydride and diamine compounds containing at least diamine expressed by the following formula (1) and polyimides obtained by cyclodehydration of the polyamic acid.例文帳に追加

テトラカルボン酸二無水物と少なくとも下記式（１）で表されるジアミンを含むジアミン化合物との反応により得られるポリアミック酸、及びこのポリアミック酸を脱水閉環してなるポリイミドからなる群より選択される少なくとも１種の重合体を含有する液晶配向膜形成用組成物。 - 特許庁

To provide a composition for treating a photoresist pattern to be used in a double patterning process in photolithographic patterning techniques such as lithography-lithography-etching and self-alignment spacer double patterning, and for a reduction process useful to form a contact hole and a groove.例文帳に追加

フォトリソグラフィパターニング技術、例えば、リソ−リソ−エッチおよび自己整合スペーサーダブルパターニングのようなダブルパターニングプロセスなどに、並びに、コンタクトホールおよび溝形成において有用な縮小プロセスに使用されうるフォトレジストパターンを処理するための組成物およびこの組成物を使用する方法を提供する。 - 特許庁

A first mesa part 2a and a second mesa part 2b are formed on a GaAs substrate 1, a resist pattern 15 comprising opening parts 13 and 14 is formed, a semiconductor layer 2 is etched to a specified depth with the resist pattern 15 as a mask, and a recess 16 and a recessed part 17 for alignment mark are formed.例文帳に追加

ＧａＡｓ基板１の上に第１メサ部２ａおよび第２メサ部２ｂを形成し、開口部１３，１４を有するレジストパターン１５を形成し、レジストパターン１５をマスクとして半導体層２を所定の深さまでエッチングし、リセス１６とアライメントマーク用凹部１７を形成する。 - 特許庁