「Cleaned」に関連した英語例文の一覧と使い方(95ページ目) - Weblio英語例文検索

Since smoking dirt can be early detected and the ignition plug can be early cleaned to suppress the occurrence of the misfire, the internal combustion engine can be operated in a smooth and stable condition to suppress the generation of toxic substance in exhaust gas.例文帳に追加

このように、くすぶり汚損を早期に検出して点火プラグの清浄化を早期に実行することで失火の発生を抑制できるため、円滑で安定した状態で内燃機関を運転できるとともに、排気ガス中における有害物質の発生を抑えることができる。 - 特許庁

When the ink ejecting face 46a of a print head 46 is cleaned by letting a cleaning blade 72 to intrude onto the ink ejecting face 46a, the solenoid 112 of a blade elevator 110 is turned on and a blade arm 104 is turned in the arrow direction F and a coupling part 108 is elevated.例文帳に追加

クリーニングブレード７２を印字ヘッド４６のインク吐出面４６ａに侵入させてインク吐出面４６ａを清掃するときは、ブレード昇降機１１０のソレノイド１１２をオンにしてブレードアーム１０４を矢印Ｆ方向に回転させ、連結部１０８を上昇させる。 - 特許庁

To provide a method for cleaning the inside of a reaction container that restrains damage to a quartz reaction tube and wafer boat and reduces the running cost, when the inside of a reaction vessel is cleaned after deposition of poly-silicon or titanium nitride using a vertical heat treatment equipment for example.例文帳に追加

例えば縦型熱処理装置を用いてポリシリコン膜やチタンナイトライド膜の成膜を行った後、反応容器内をクリーニングするにあたって、石英製の反応管やウエハボートの損傷を抑え、しかもランニングコストの削減を図ることのできる方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a screw press dehydrator capable of greatly reducing the using quantity of a coagurant since it is not necessary to make a flock excessively large, capable of making a running cost (chemical expense) low, and capable of preventing clogging since filter cloth can be cleaned continuously.例文帳に追加

フロックを過剰に大きくする必要がないので凝集剤の使用量を大幅に減少させることができ、ランニングコスト（薬品費）の低下を図ることができ、また、濾布を連続して洗浄することができるので目詰まりを防止することができるスクリュープレス式脱水機を提供する。 - 特許庁

In the cleaning device for the electrophotographic device provided with the cleaning device of the air suction system which sweeps away toner on a member 1 to be cleaned by a brush 2 or the like, the sectional shape in the lengthwise direction of the suction duct part of a housing 3 is changed in accordance with change of the distance from a suction hole 7.例文帳に追加

被清掃部材１上のトナーをブラシ２等で払い取るエアー吸引方式の清掃装置を備えた電子写真装置の清掃装置において、吸引口７からの距離が変化するに従いハウジング３の吸引ダクト部の長手方向における断面形状を変化させる。 - 特許庁

When treating the molten steel in the ladle by using the vacuum degassing apparatus provided with two dip tubes and a vacuum chamber, the method for smelting steel into cleaned steel includes spraying a gas onto the surface of the slag in the ladle to cool the slag and decrease a surface temperature of the slag to a temperature lower than that of the molten steel by 150°C or more.例文帳に追加

二本の浸漬管および真空槽を有する真空脱ガス装置を用いて取鍋内の溶鋼を処理するに際して、取鍋内のスラグ表面にガスを吹き付けてスラグを冷却し、スラグ表面温度を溶鋼温度よりも１５０℃以上低下させる清浄鋼の溶製方法である。 - 特許庁

To actually eliminate a cleaning defect, the carryover of a cleaning liquid to the downstream side or the occurrence of an impression flaw and a welding flaw caused by both of them inexpensively and surely when foreign matters present on the surface of a belt-like body such as a belt-like steel sheet are cleaned.例文帳に追加

帯状鋼板等の帯状体の表面に存在する異物を洗浄する際に、洗浄不良や下流側への洗浄液の持ち込み、あるいはこれら両者に起因した押し込み疵の発生や溶接不良を、低コストで確実に事実上解消する。 - 特許庁

To allow a laundry plant on a remote site and a management side to watch and determine whether laundry or articles can be washed and further how much spots or dirt can be cleaned off by utilizing a video telephone and an IP video telephone to remotely operate a robot camera that is connected to the video telephone installed in a laundry shop.例文帳に追加

テレビ電話及びＩＰテレビ電話を利用してクリーニング受付店舗に設置しているテレビ電話に接続しているロボットカメラを遠隔操作し、洗濯物や商品が洗えるか、更にシミや汚れがどの程度落とせるか遠隔地にあるクリーニング工場及び管理側で目視して判断する。 - 特許庁

A duct (12) is installed below the zone (C) where the contaminated soil to be cleaned exists and many silica pipes (20) are embedded in parts of the duct (12) corresponding to the zone (C) of the contaminated soil to pass a liquid in which a gas is dissolved or fine bubbles are contained through the duct (12).例文帳に追加

浄化すべき汚染土壌が存在する領域（Ｃ）の下方に導管（１２）を設置し、その導管（１２）の汚染土壌の領域（Ｃ）に対応する個所に多数のシリカパイプ（２０）を埋設し、該導管（１２）中に気体の溶存した液体、或いは微細気泡を包含する液体、を流過させる。 - 特許庁

An electrolytic machining unit device is provided with an electrolytic machining part 2 where the wafer W is electrolytically machined, a washing part 3 for washing the machined wafer and a drying part 4 for drying the cleaned wafer W and the electrolytic machining part 2, the washing part 3 and the drying part 4 are provided in the same machining chamber 5 to be formed into one module.例文帳に追加

ウェハＷの電解加工を行う電解加工部２と、該加工後のウェハを洗浄する洗浄部３と、前記ウェハＷを乾燥させる乾燥部４とを備え、該電解加工部２、洗浄部３及び乾燥部４は同一の加工処理室５に設けて１つにモジュール化する。 - 特許庁

When the wafer pod 14 is installed on a load port 12, air cleaned by an environmental control unit 20 is supplied from a feed port 42 to the air inlet 44, guided from the air channel 58 into the wafer housing space 54 and exhausted out of the air exhaust 46 via the air channel 60.例文帳に追加

ウエハポッド１４がロードポート１２上に設置されると、環境制御ユニット２０で清浄化された空気が給気ポート４２から給気穴４４へ供給され、空気流路５８からウエハ収納空間５４へ導かれて、空気流路６０から排気穴４６を経て排出される。 - 特許庁

To provide a rotary cleaner capable of preventing the occurrence of a great moving force to a rotary cleaning body in a specific direction by the rotation of the rotary cleaning body associated with a difference in a pressing force even if the pressing force of the tip of a rotary cleaning body to a cleaned surface is partially different.例文帳に追加

回転清掃体の先端の被清掃面に対する押圧力が部分的に異なっても、この押圧力の差に伴う回転清掃体の回転により回転清掃体に特定方向への大きな移動力が発生するのを未然に防止できる回転清掃装置を提供すること。 - 特許庁

After poly-metal structured gate electrodes 7 have been formed on a semiconductor substrate 1, when the semiconductor substrate 1 is cleaned, an aqueous solution, containing hydrochloric acid of 0.1 to 15% by weight, hydrofluoric acid of 0.01 to 0.3% by weight and hydrogen peroxide of 0.1 to 15% by weight, is used as a cleaning liquid.例文帳に追加

半導体基板１上にポリメタル構造のゲート電極７を形成した後、半導体基板１を洗浄する際に、洗浄液として、０．１〜１５重量％の塩酸と、０．０１〜０．３重量％のフッ酸と、０．１〜１５重量％の過酸化水素とを含む水溶液を用いる。 - 特許庁

To provide a comprehensive polishing and cleaning method of a wafer, which can reduce a cleaning load in a final cleaning process compared to a conventional method and can finish with the cleaned surface of the wafer having a high cleanliness in efficient cleaning processes from the final polishing to the final cleaning.例文帳に追加

従来よりも最終洗浄工程における洗浄負荷を低減できると共に、仕上げ研磨から最終洗浄に亘って効率的な洗浄工程でウエハ表面の高清浄な最終洗浄上がりが可能なウエハの総合研磨洗浄方法の提供。 - 特許庁

To provide a lid opening and closing mechanism by which a lid of a pan or others for cooking can be manually easily and safely opened and closed, the lid can be easily attached and detached, which can be easily cleaned and saved with the lid detached and always kept clean, is simple in structure and can be easily manufactured at low cost.例文帳に追加

調理用鍋等の蓋の開閉が、手動にて容易且つ安全に行えること、更に蓋の着脱が容易で、蓋をはずしての清掃、保存が簡単で常に清潔に保持できると共に、構造が単純で製造が容易且つコスト廉価に出来る蓋開閉機構の提供。 - 特許庁

To solve problems in a toilet bowl cleaned by pressurized wash water from an external pressurized water supply source wherein air is immediately exhausted from a jet port when performing next time cleaning in a state of staying air in a jet chamber just before the jet port and it generates noise, and has adverse influence on cleaning capacity of the toilet bowl.例文帳に追加

外部の加圧給水源から加圧洗浄水にて洗浄する便器では、空気がジェット口直前のジェット室に滞留した状態で次回の洗浄を行うと直ちに空気がジェット口より排出されるので、騒音の発生や便器の洗浄能力に悪影響を与える。 - 特許庁

A joint system has a cleaning device for cleaning the surfaces of wafers W_U, W_L, a temporary joint device 31 for temporarily joining the cleaned wafers W_U, W_L, and an actual joint device 31 for actually joining superimposed wafers W_T which are temporarily joined in the temporary joint device.例文帳に追加

接合システムは、ウェハＷ_Ｕ、Ｗ_Ｌの表面を洗浄する洗浄装置と、洗浄装置で洗浄されたウェハＷ_Ｕ、Ｗ_Ｌ同士を仮接合する仮接合装置３１と、仮接合装置３１で仮接合された重合ウェハＷ_Ｔを本接合する本接合装置とを有している。 - 特許庁

To provide a self-adhesive film for protection of a photomask, the film maintaining releasing property with respect to a resist in repeated steps of contact exposure and causing no dropping of the surface layer even when a contaminant deposit from a resist onto the surface layer of the self-adhesive film for protection of a photomask is cleaned with a solvent such as alcohol.例文帳に追加

密着露光の繰り返し工程においてレジストに対して剥離性を持続し、またフォトマスク保護用粘着フィルムの表面層のレジストからの汚染付着物をアルコール等の溶剤により洗浄しても表面層の脱落がないフォトマスク保護用粘着フィルムの提供。 - 特許庁

(1) A scrub washer 209a is shifted to a position above a wafer to be polished, vacuum-chucked by a chuck 107, and a wafer-polishing face is cleaned by brush scrubbing by rotating a brush, while supplying cleaning water onto a wafer face by nozzle 211, and polishing chips and abrasive grains are washed away.例文帳に追加

（１）チャック１０７にバキュ−ム吸着された研削ウエハ上方位置にスクラブ洗浄機器２０９ａを移動し、洗浄水をノズル２１１よりウエハ面に供給しながらブラシを回転させウエハ研削面をブラシスクラブ洗浄し、研削屑や砥粒を洗い流す。 - 特許庁

An evaporation filter 10 for sucking in the water in the water pan 4 and evaporating the water sucked in with the air cleaned by the air cleaning filter 7 is disposed in front of the air cleaning filter 7 and behind the tank 3 such that the evaporation filter 10 and a back surface of the tank 3 form an air passage.例文帳に追加

さらに、空清フィルタ７の前面側かつタンク３の背面側に水受け皿４の水を吸い取り、吸い取った水を空気清浄フィルタ７によって清浄化された空気により気化させる気化フィルタ１０を設け、気化フィルタ１０とタンク３の背面側とで風路を形成した。 - 特許庁

To provide a dust collector of a mixer for treatment of concrete, building material and surplus soil wherein the mixer is practically hermetically sealed, instruments are free from bad influences, dust is not ejected outside, an inside of a plant can be cleaned, and large quantity of electric power is not required due to a small size.例文帳に追加

ミキサーを実質的に密封状態にして計器に悪影響がなく、粉塵が外部に放出されることがなく、プラント内を清潔にでき、小型で大きな電力を必要としないコンクリート・建材・残土処理用混合機の除塵装置を提供することにある。 - 特許庁

The apparatus has a cleaning drainage storage part 3 in addition to the filth removing part 2, and the drainage generated in the cleaning of the filth removing part, after being stored temporarily in the storage part, is discharged to the area of water to be cleaned.例文帳に追加

水域浄化装置は汚濁物除去部２を備えるのに加えて、洗浄汚水貯留部３を備えており、汚濁物除去部の洗浄に伴って発生する洗浄汚水を一旦洗浄汚水貯留部に仮貯留した後に浄化対象水域に放流するようにされている。 - 特許庁

By turning the globe valve seat member 9 clockwise by 90°, a passage end 11 is opened to the inlet-valve seat passage 3 side, the passage end 10 is opened to the outlet 7 side, and the discharging passage 8 between the passage ends 11, 10 can be cleaned with fluid on the inlet 5 side.例文帳に追加

球形弁座部材９を９０度だけ時計方向へ回転することにより、通路端１１を入口・弁座通路３側に開口し、通路端１０を出口７側に開口して、通路端１１，１０間の排出通路８を、入口５側の流体で洗浄することができる。 - 特許庁

According to this invention, the inside of the equipment is remarkably efficiently cleaned by a simple operation of solely adding water owing to a finding that the generation of resin-like or gel-like materials is suppressed by the addition of the oxidant and that adhered materials remaining in the equipment are brought to be water soluble.例文帳に追加

本発明によれば、酸化剤の添加によって樹脂状またはゲル状物質の発生を抑制し、装置内に残った付着物が水溶性に変化することを見出した結果、水の供給という簡便な操作によって極めて効率的に装置内を洗浄することができる。 - 特許庁

To provide a cleaning cloth having a wiping part made of pile on one side of a base fabric, capable of effectively removing electricity from an object to be cleaned by utilizing conductive flexible strips, and capable of enhancing the cleaning effect by preventing adhesion of dust caused by electrostatic charge.例文帳に追加

基布の一方の面にパイルにより構成された拭清掃部を備えた清掃布において、導電性を有する可撓性条体を利用して清掃対象の除電を効果的に行い、帯電による塵埃付着を防いで清掃による効果を高めることができる清掃布の提供。 - 特許庁

To provide a raw material feeding apparatus for a molding machine for firebricks wherein raw materials are easily fed and the inside of a charger and agitating blades are easily cleaned and both are easily removed and replaced and the raw materials inside are easily visible and the agitating blades are easily adjusted.例文帳に追加

原料の投入が容易で、チャージャー内部及び撹拌羽根の清掃が容易で、共に取外し・取替えを容易に行うことができ、かつ、内部の原料を容易に目視でき、撹拌羽根の調整も容易である耐火レンガ成形機の原料供給装置を提供する。 - 特許庁

The surface treatment method for a nickel particle using an acid solution comprises: a stage (1) where weak acid and a buffer solution are mixed to produce an acid solution whose pH is 2 to 5; a stage (2) where the acid solution and a nickel particle are mixed; and a stage (3) where the mixed solution is filtered, cleaned and dried.例文帳に追加

１）弱酸及び緩衝溶液を混合してｐＨ２〜５の酸溶液を製造する段階と、２）この酸溶液とニッケル粒子とを混合する段階と、３）この混合溶液をろ過、洗浄及び乾燥させる段階と、を含む、酸溶液を用いたニッケル粒子の表面処理方法である。 - 特許庁

To realize vapor cleaning where, even in a water-containing detergent having a high boiling point and high latent heat of evaporation, resticking does not occur, drying efficiency after cleaning is high, cleaning and drying time can be reduced, and, even in the object to be cleaned with a complicated shape, drying can be performed without making dry marks.例文帳に追加

水を含む高沸点、高蒸発潜熱の洗浄剤においても、再付着がなく、洗浄後の乾燥効率が高く、洗浄、乾燥時間を短縮でき、複雑な形状の被洗浄物でも乾燥シミを作ることなく乾燥させることができるベーパー洗浄を可能にする。 - 特許庁

In the rice washing part 12 of a wash-free rice manufacturing apparatus 10, a rice washing shaft 56 is rotated by the rotation of a rotary shaft 28 to rotate a rice lifting spiral 58 and a rice washing roll 62, and raw material cleaned rice is stirred and washed along with rice washing water in a rice washing cylinder 42.例文帳に追加

無洗米製造装置１０の洗米部１２では、回転軸２８の回転により洗米軸５６が回転されて、揚穀螺旋５８及び洗米ロール６２が回転されることで、洗米筒４２内で原料白米が洗米水と共に攪拌されて洗米される。 - 特許庁

To provide a method for cleaning new plant equipment and piping, by which the plant equipment and piping can be cleaned with a small amount of washing water in a short time by using a small-diameter pipe as water feed/ drain pipes while eliminating one-through extrusion flushing and the waste water to be discharged can easily be treated.例文帳に追加

一過式の押出フラッシングを省略し、少ない洗浄水で、短期間に洗浄することができ、しかも排水処理が容易であり、給排水管として小口径のものを使用することができる新設プラント機器および配管の洗浄方法を提案する。 - 特許庁

To provide an endless belt, a recording medium carrying device, an intermediate transfer device, and an image forming device, in which a cleaning blade is prevented from being caught in, and in which adhered matter residual on a transfer belt or an intermediate transfer belt due to the cleaning blade can be securely cleaned.例文帳に追加

クリーニングブレードの巻き込みが起こらず、更に、前記クリーニングブレードによる転写ベルト又は中間転写ベルト上の残留付着物の清掃を確実に行える無端ベルト、記録媒体搬送装置、中間転写装置及び画像形成装置を提供することを目的とする。 - 特許庁

The splicing end faces of optical fibers are cleaned by being irradiated with cleaning arc discharge (step S2) and end face angles formed by splicing end faces of the respective optical fibers and a face vertical to the axes of the optical fibers and a relative end face angle being the difference of those end face angles are detected respectively (step 3).例文帳に追加

清掃アーク放電が照射されて、各光ファイバの接続端面がクリーニングされ（ステップＳ２）、各光ファイバの接続端面と光ファイバの軸に垂直な面がなす端面角度と、それらの端面角度の差を表す相対端面角度がそれぞれ検出される（ステップＳ３）。 - 特許庁

To provide a rope supporter for a gondola, and the like, wherein a rope of a gondola, or the like, can be suspended so that, even if an upper part of a building protrudes forwardly of a lower external wall surface of the building, window glasses, or the like, of the external wall surfaces can be surely cleaned.例文帳に追加

本発明は上部が下部外壁面より前方へ突出する躯体を有する建物の突出部位よりも、下部の外壁面の窓ガラス等の清掃作業等を確実にできるようにゴンドラ等のロープを吊り下げることができるゴンドラ等のロープ支持具を得るにある。 - 特許庁

The overflow from the stirring contact tank part is blown into separation tank part 5 through a blowing passage 43 to come into collision with inclined walls 22a, 75, the bubbles are recovered in the recovering tank part from a gap 78 and the cleaned water from which the fine contaminant is removed is taken out to the outside from an introducing pipe 9.例文帳に追加

撹拌接触槽部からの溢流を吹き出し通路４３を通して分離槽部５に吹き出させ傾斜壁２２ａ、７５に衝突させ、気泡を隙間７８から回収槽部内に回収する一方、微細汚物が除去された浄化水を導出管９から外部に取り出す。 - 特許庁

The cleaning method of a metal to which ruthenium adheres is characterized in that a stainless steel container to which a ruthenium metal, a ruthenium oxide or an organic ruthenium compound adheres and a nitric acid solution of 0.01-20 wt.% are contacted together, and an ultrasonic wave is applied for 0.1-480 minutes, thereby the deposit is removed and the vessel is cleaned.例文帳に追加

金属ルテニウム、酸化ルテニウムまたは有機ルテニウム化合物が付着したステンレス製容器と、０．０１重量％〜２０重量％の硝酸水溶液とを接触させ、超音波を０．１〜４８０分間かけることにより、付着物を除去し容器を洗浄する。 - 特許庁

To facilitate the moving of a suction brush by preventing damage of a bent part and a surface to be cleaned due to mutual friction in bendable extension pipes being bent by a simple operation and having a simple constitution, when being non-bent, firmly retaining the fastening of the mutual extension pipe.例文帳に追加

延長管の屈折が簡単な動作によりなされ、未屈折の時には延長管相互間の締結が堅固に維持される構成が単純であり、屈折した延長管において、屈折部分と被掃除面とが相互摩擦し損傷されることを防止し、吸込ブラシの移動が容易にする。 - 特許庁

To provide a cleaning device for removing toner from the surface of a body to be cleaned through the use of a brush roller to which a voltage is applied, and for more surely removing the toner by the brush roller, and to provide an image forming apparatus and an image carrier unit equipped with the cleaning device.例文帳に追加

電圧が印加されたブラシローラを用いて被清掃体上からトナーを除去するクリーニング装置で、ブラシローラによって、より確実にトナーの除去を行うことができるクリーニング装置、並びにこれを備えた画像形成装置及び像担持体ユニットを提供する。 - 特許庁

To provide a method for treating an acid waste liquid and an alkali waste liquid by which the acid waste liquid and the alkali waste liquid caused in a pickling step, a surface treatment step or the like for a steel sheet can be cleaned into a reusable state as industrial water with a compact equipment configuration.例文帳に追加

鋼板の酸洗工程や表面処理工程等から発生する酸性廃液およびアルカリ性廃液を、コンパクトな設備構成によって、工業用水として再使用可能な状態に浄化することができる酸性廃液およびアルカリ性廃液の処理方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for processing a substrate that improves the uniformity of cleaning effects by efficiently irradiating ultrasonic waves to an entire region of the substrate to be cleaned without complicating the structure of a substrate processing device when cleaning the substrate by irradiating the ultrasonic waves to the substrate immersed in a cleaning liquid in a processing tank.例文帳に追加

処理槽内の洗浄液に浸漬された基板に対し超音波を照射して基板を洗浄する場合に、装置の構造を複雑化させることなく、基板の洗浄面全域に効果的に超音波を照射して洗浄効果の均一性を高めることができる方法を提供する。 - 特許庁

To provide an autonomous cleaning device which instantly detects collision of debris to be cleaned on a floor and can control its operation mode in response to the detected debris, moving pattern and actions, so that the device is operated toward a dirtier area.例文帳に追加

清浄対象の床面上のデブリの衝突を直ちに検出し、装置を「より汚れた」領域に向けて操縦するように、検出されたデブリに応答する動作モード、移動パターン、または行動を制御することが可能な自律型清浄装置を提供することを目的とする。 - 特許庁

A surface constituting material having the shell powder obtained by grinding the sell is provided on the surface of a structure facing the outside air and room air, and the air is cleaned by the adsorptive decomposition of the carbon dioxide, etc., and the harmful substance contained in the air to the shell powder.例文帳に追加

屋外大気や室内空気に面する構造物の表面に、貝殻を粉砕してなる貝殻粉末を有する表面構成材を設け、空気中に含まれる二酸化炭素などや有害物質の前記貝殻粉末に対する吸着分解により空気を浄化する。 - 特許庁

To provide a dust collector which strengthens momentum of air blown off from a nozzle to elongate the arrival distance, thereby enhancing the removal efficiency of dust and which is capable of uniformly and surely cleaning the whole surface of a material to be cleaned by jetting stable, strong and uniform air over the whole length of the nozzle longitudinal direction.例文帳に追加

ノズルから吹き出したエアの勢いを強めて到達距離を伸ばし塵埃の除去効率を高めるとともに、ノズル長手方向全長にわたって安定した強い均一なエアを噴出して被清掃体全面をむらなく確実に除塵可能な除塵装置を提供する。 - 特許庁

To provide a river water intake device the water intake pipe of which is disposed at a water intake position which is near a nature and harmonious with the scenery therearound when water is taken and the floating matter removal part of which can be cleaned regularly by moving the end of the water intake pipe upward from the surface of a river or replaced.例文帳に追加

取水時に自然に近くかつ周囲の景観に調和した取水位置に取水管を配置すると共に取水管の先端を川面より上部に移動して定期的に浮遊物除去部を清掃又は取り替え可能な河川取水装置を提供する。 - 特許庁

In the method for the toxic substance, particularly dioxins from flue gas generated at the incinerator using an adsorbent, the method is characterized in that the adsorbent is released together with a cleaning medium in order to continuously collect the toxic substance by the adsorbent after the flue gas is cleaned by the cleaning medium.例文帳に追加

吸着材を使用して、焼却器で発生された排煙から有害物質、特にダイオキシンを除去するための方法であって、前記排煙が洗浄媒体で洗浄された後に、吸着材が吸着材の連続した収集のために洗浄媒体と共に放出される方法。 - 特許庁

In a bevel-etching apparatus, a nozzle 3 that sucks and discharges etchant and a receptacle 5 for recovering etchant are integrated; and when the bevel portion 2 of a wafer is etched, the etchant is received by the receptacle 5, and recycled and measured and discharged to a predetermined place by the nozzle 3, and then the nozzle and the receptacle are cleaned automatically.例文帳に追加

エッチング液を吸引、吐出するノズルとエッチング液を受ける皿とを合体して、エッチング液を捕捉し、ウエハのベベル部をエッチングした後にエッチング液をノズルが回収計量して指定場所に液を吐出しノズルと受皿を自動洗浄することを特徴とする。 - 特許庁