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pattern widthの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 1835



例文

The quality evaluating means 34 has a real-time measuring mode 34b carrying out margin measurement to obtained data whenever a waveform data obtaining portion 21 obtains data of the minimum number required for indicating the eye pattern of predetermined time width.例文帳に追加

この品質評価手段34は、波形データ取得部21で所定時間幅のアイパターンの表示に最低限必要な数のデータが取得される毎に、その取得したデータに対するマージン測定を行うリアルタイム測定モード34bを有している。 - 特許庁

At least one thin-film resistor exhibiting zigzag patterns 100 is formed by folding, a plurality of times, straight line patterns each having a prescribed pattern width, on the surface of the wavelength conversion element 10 in a way as not to overlap one another.例文帳に追加

波長変換素子10の表面に、所定のパターン幅を有する直線パターンを、互に重ならないように複数回折り曲げた葛折状のパターン100を呈する薄膜抵抗が少なくとも1つ形成されていることを特徴とする。 - 特許庁

The method of forming a solid circuit on a solid substrate 1 features drawing of a pattern of a solid circuit using a condenser lens 12 and a wide band laser beam 11 of wavelength band width of 50 nm or more.例文帳に追加

立体基板1上に立体回路を形成する方法であって、波長帯幅が50nm以上の広帯域レーザ光11および集光レンズ12を用いて立体回路のパターンを描画することを特徴とする立体回路の形成方法。 - 特許庁

To provide a multi-scanning type exposure device capable of carrying out satisfactory projection exposure using a plurality of projection optical units while suppressing difference in the line width of a pattern image formed in a superposed exposure region via two projection optical units adjacent to each other.例文帳に追加

互いに隣接する2つの投影光学ユニットを介して重複露光領域に形成されるパターン像の線幅差を小さく抑え、複数の投影光学ユニットを用いて良好な投影露光を行うことのできるマルチ走査型の露光装置。 - 特許庁

例文

Specific length and width are given to the hairline arrangement position where it is decided that the hairline is arranged and within the range of the given length, a specific number of control points are set to generate a coordinate array of the control points, thereby generating data on the hairline pattern.例文帳に追加

そして、ヘアラインを配置すると判定したヘアライン配置位置に所定の長さ、幅を与え、その与えられた長さの範囲内に所定の個数の制御点をとって制御点の座標列を作成することによってヘアラインパターンのデータを作成する。 - 特許庁


例文

The ratio of the isolated hole shape width to the thickness of the photoresist layer is set so that the resist does not remain at the bottom of the main trench after development, but will remain at the bottom of the additional hole pattern (additional trench) made by the additional hole shapes 21.例文帳に追加

フォトレジスト層の厚さに対する孤立穴形状幅の比は、現像後において、主トレンチの底部にレジストが残らず、かつ、付加穴形状21によって出来る付加穴パターン(付加トレンチ)の底部にレジストが残ることとなるようにする。 - 特許庁

To provide a chemically amplified positive resist applicable to both a process using an antireflection film and a process not using the film, excellent in resist pattern shape, sensitivity, focal depth-width quality and post-exposure temporal stability and having no substrate dependence.例文帳に追加

反射防止膜を用いたプロセス及び用いないプロセスのいずれにも適用することができ、レジストパターン形状、感度、焦点深度幅特性及び引き置き経時安定性に優れ、かつ基板依存性のない化学増幅型ポジ型レジストを提供する。 - 特許庁

Thus, stress from squeeze of a seal plate is mitigated, the physical torsion of a mesh constituting the seal plate is reduced as much as possible and the dispersion of the printing accuracy, especially the line width, of the main seal pattern 2 inside the liquid crystal panel is suppressed to be extremely small.例文帳に追加

これにより、シール版のスキージからの応力を緩和でき、シール版を構成するメッシュの物理的なねじれが極力少なくなり、液晶パネル内の本シールパターン2の印刷精度、特に線幅のばらつきが非常に小さく抑えられる。 - 特許庁

The set temperature of a heater 62 being built in a heating plate 61 is adjusted from the correlation between the previously found step and the final line width of a pattern consisting of a coating film on the substrate in after continuous treatments on the substrate so that the step is confined within the prescribed extent.例文帳に追加

予め求められている前記段差と一連の基板処理後の最終線幅との相関関係から,前記段差が所定の範囲内に納まるように,熱板61に内蔵されているヒータ62の設定温度を調節する。 - 特許庁

例文

The non-conductive pattern part 15 is linked to the non-conductive area on the upper edge face with a central WC of the dielectric block 2 as a center with respect to the resonator arraying direction with width which is at most 1/2 times as long as a dielectric block dimension W.例文帳に追加

非導電パターン部15は共振器配列方向に関して誘電体ブロック2の中央WCを中心とし幅が誘電体ブロック寸法Wの1/2倍の範囲内で上端面非導電領域に連なっている。 - 特許庁

例文

Consequently, the resist pattern width for upper magnetic core plating can be made narrow irrelevantly to the waving of an insulating resin layer due to the thin-film coil and the composition at the time of the plating can be made uniform, so that the thin-film magnetic head having stable magnetic characteristics can be obtained.例文帳に追加

このことによって、薄膜コイルによる絶縁樹脂層のうねりにもかかわらず、上部磁気コアメッキ用レジストパターン幅を狭く作ることができて、メッキ時の組成の均一化が図られ、磁気特性の安定した薄膜磁気ヘッドが得られた。 - 特許庁

Since the surface energy of the base film is smaller than that of the object to be printed with a printed matter, the printed matter is less pulled outwards and the width of a line part of even a fine pattern can be maintained, preventing the generation of bleeding.例文帳に追加

このため、印刷用下地膜の表面エネルギが被印刷物の表面エネルギに比べて小さいため、印刷物が外側に引っ張られる量も小さくなり、ファインパターンであってもライン部分の幅を保持して滲みの発生を抑制することができる。 - 特許庁

A magnetic layer 32 is formed with a thickness Mt satisfying Mt/L<1.8 on the surface of the top surface 37a of the projecting part 37 on the surface of the substrate 31 having the rugged pattern 36 of a width L in the track direction of the top surface 37a of the projecting part 37.例文帳に追加

凸部37上面37aのトラック方向幅がLである凹凸パターン36を表面に有する基板31の表面に、凸部37の上面37aにおいて、Mt/L<1.8を満たす厚みMtで磁性層32を形成する。 - 特許庁

To provide an external wall plate fixture which can match a pattern appearing on a front surface of a joint or the like of an external wall plate with a column core to enhance the design value, is positively and easily mounted on a column having a different width, and contributes to uniform arrangement of an external wall finished surface.例文帳に追加

外壁板の目地等の表面に現れる模様を柱芯に合わせて意匠性を高め、どのような幅の柱にも確実かつ容易に取り付けることを可能とし、外壁の仕上がり面を均一に揃えることを可能とする。 - 特許庁

An irradiation pattern can include irradiation spots and a non-irradiation area, each irradiation spot is enabled to cover a relatively small part of a data layer flat surface, and the depth and width of the microhologram (12) to be recorded can be controlled.例文帳に追加

照射パターンは、照射スポット及び非照射領域を含むことができ、各々の照射スポットがデータ層平面の相対的に小さい部分をカバーし得るようにして、記録されるマイクロ・ホログラム(12)の深さ広がりの制御を可能にする。 - 特許庁

Bonding pads of the semiconductor substrate correspond to IC chips having center pads, the bonding pads are widened almost at right angles to the array of the bonding pads and in the direction reverse to adjacent bonding pad, and wiring is carried out with a wide pattern width at the widened parts.例文帳に追加

センターパッドを持つICチップに対応した半導体パッケージ基板のボンディングパットで、ボンディングパットをボンディングパットの列に対し、ほぼ直角方向に、且つ隣り合うボンディングパット反対方向に広げ、広がった部分のパターン幅を広く配線する。 - 特許庁

To further reduce the arranging intervals of a plurality of lead patterns 12, which are composed of land sections 12a and lead pattern main bodies 12b are arranged on a flexible wiring board at prescribed intervals in the width direction of a flexible insulating film base 11.例文帳に追加

ランド部(12a)及びリードパターン本体(12b)からなるリードパターン(12)が可撓性絶縁フィルムベース(11)の幅方向に各々所定間隔おいて複数本配列されてなるフレキシブル配線基板において、リードパターン(12)の更なる狭ピッチ化を図る。 - 特許庁

A thick pattern 6 having a thick rugged part traversing the palm, having a slightly broad lateral row width and made of densely knit stiff cotton yarn and a coarse thick part having a lace-like appearance is formed at the upper part of the palm.例文帳に追加

手の平の上部に横に一列の幅が少し広目の手の平を横断する硬目の綿糸を硬目に編んだ厚く凹凸部とザラつきのある見た目にはレース生地の厚い部分のように見える厚い模様6を設けたことを特徴とする。 - 特許庁

Dummy patterns 4 with areas at least similar to or smaller than a pad area and wider than a wiring width are formed at predetermined intervals in the middle in the direction of drawing out a wiring pattern 3 which is drawn through a space formed between pads 2.例文帳に追加

パッド2間に形成されるスペースを利用して引き出される配線パターン3の引き出し方向の中途部に、少なくともパッド面積と同等若しくはそれ以下で配線幅より拡幅したダミーパターン4が所定間隔ごとに形成されている。 - 特許庁

To provide a light proximity effect correcting device for a semiconductor production process, capable of performing the sufficient light proximity effect correction even under various conditions in the size and shape of a design pattern and the space width and positioning relationship between the design patterns.例文帳に追加

設計パターンの大きさ・形状や、設計パターン同士のスペース幅や位置関係が多様な状況下においても、十分な光近接効果補正を行うことのできる、半導体製造プロセスの光近接効果補正方法を提供する。 - 特許庁

In the inspection method, when a defect where the measured width is larger than the size of a pixel is not detected, the blightness level of the circuit pattern or the spatial component is analyzed, more in detail, to detect a defect corresponding to an open circuit, a short circuit or a remaining copper foil.例文帳に追加

本発明の検査方法は、画素単位で映像データを獲得し、回路パターン又は空間成分の幅を測定する方向と垂直方向に測定して、測定された幅が基準幅より大きな場合の不良であると、ショートと検出する。 - 特許庁

Second etching treatment is then performed using a second mask pattern 12 for the etching removal of a wide face with an outline 13 in a position away from the structure side face 20 farther from the width of the groove 10.例文帳に追加

次いで前記第1のエッチング処理により形成される溝10の幅より構造体側面20から離れた位置に輪郭13を備えた広い面をエッチング除去するための第2マスクパターン12を用いて第2のエッチング処理を行う。 - 特許庁

A manufacturing method of semiconductor device comprises a process of forming the transfer pattern including a line in which width or angle varies by performing multiplex exposure using a plurality of masks including patterns 1A, 1B on a different mask substrate.例文帳に追加

半導体装置の製造方法を、異なるマスク基板上に異なるパターン1A,1Bを有する複数のマスクを用いて多重露光を行なって、幅又は角度が変化するラインを含む転写パターンを形成する工程を含むものとする。 - 特許庁

A random code generated by a code data transmission part 11, a clock frequency of a fixed pattern signal, a sweep time, and a sweep width are variably controlled to optional values set by a setting processing part 17 through a synthesizer 12 and a frequency sweep part 16.例文帳に追加

符号データ送信部11で生成されるランダム符号、固定パターン信号のクロック周波数、掃引時間及び掃引幅をシンセサイザ12及び周波数掃引部16を通じて設定処理部17で設定された任意の値に可変制御する。 - 特許庁

When a large area pattern is disposed around the subfield SF, the magnification of the lens of an optical system is changed, the width of the illumination beam is narrowed to reduce the dose level of the outer periphery SF2 of the subfield SF lowered than the central part SF1 (Fig. (C)).例文帳に追加

サブフィールドSFの周囲に大面積パターンが配置されている場合には、光学系のレンズの倍率を変えて、照明ビームの幅を狭くすることにより、サブフィールドSFの外周部SF2のドーズレベルを中央部SF1より低くする(図1(C))。 - 特許庁

Wiring 105 to be measured is placed at the center, and wiring width W, wiring interval S, wiring formation region X/Y, and data ratio D of wiring to be actually wired in the wiring formation regionY are variably changed so that the test pattern of wiring can be prepared.例文帳に追加

被測定配線105を中心に置き、配線幅W、配線間隔S、配線の形成領域X、Y、配線形成領域X×Yに実際に配線される配線のデータ率Dを種々変えた配線のテストパターンを作成する。 - 特許庁

To provide a scanning exposure device and a scanning exposure method capable of blocking light for exposure by selectively using a light shield member to shield a region of minimum non-exposure width and efficiently shielding the entire pattern region of a mask.例文帳に追加

遮光部材を選択的に用いて露光用光を遮光して、最小非露光幅の領域を遮光できるとともに、マスクのパターン領域全域を効率的に遮光することができるスキャン露光装置及びスキャン露光方法を提供する。 - 特許庁

By regions 40, 50 where conductor pattern width is narrowed and an opening 60 formed in the conductor layer 603, lowering of the characteristic impedance of the output-side signal lines 403, 503 occurring when the semiconductor relay 1 is turned on is canceled, and the characteristic impedance is rationalized.例文帳に追加

導体パターン幅を狭くした領域40,50と接地導体層603に設けた開口部60により、半導体リレー1の導通時の出力側信号ライン403,503の特性インピーダンス低下を相殺して特性インピーダンスを適正化する。 - 特許庁

It becomes possible to form equal dimension of photoresist pattern by exposure and development after applying and forming the photoresist in forming a vial hole 110 in roughly equal condition in each of the wirings different in width dimension, and it becomes possible to form dual damascene wirings equal in contact resistance, by equalizing the dimensions of each via hole of each wiring difference in width dimension.例文帳に追加

ヴィアホール110を形成する際のフォトレジストを、幅寸法の異なる配線のそれぞれにおいてほぼ均一な状態で塗布形成し、露光、現像により均一な寸法のフォトレジストパターンを形成することが可能になり、幅寸法の異なるそれぞれの配線の各ヴィアホールの寸法を均一化し、コンタクト抵抗が等しいデュアルダマシン配線を形成することが可能になる。 - 特許庁

A conductor foil stuck on one surface of an insulating substrate having the device hole is pattern-processed by wet etching using an etchant to which an inhibitor is added to make the top width wider than the bottom width, and a bottom side is caused to stick into an electrode pad of the semiconductor chip, thereby achieving secure bonding to the electrode pad on an insulating substrate side in the device hole.例文帳に追加

デバイスホールを有する絶縁性基板の片面に張り合わされた導体箔を、インヒビタを添加したエッチャントを用いたウェットエッチングによってパターン加工することで、ボトム幅よりもトップ幅の方が広くなり、電極パッドに突き刺さるよう作用させ、デバイスホール内の絶縁性基板側で半導体チップの電極パッドに対して確実な接合を得ることができる。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing copper conductive films used for wiring of an image display device, for plating with a uniform plating height in a case where the maximum line width of a level difference structure is four times or more of the minimum line width thereof, and for easily forming a copper wiring pattern having less resistance variation between the level difference structures, without significantly deteriorating the productivity.例文帳に追加

画像表示装置の配線等として用いられる銅導電膜を形成する際に、生産性を大きく低下させることなく、段差構造体の最大線幅が最小線幅に対して4倍以上である場合においても均一なめっき高さでめっきを行ない、段差構造体間での抵抗ばらつきの小さい銅配線パターンを容易に形成できるようにする。 - 特許庁

In the photomask for near field exposure having a transparent base material and a light shielding body having an aperture constituting the mask pattern on the base material with the aperture width made equal to or smaller than the wavelength of the light source, the light shielding body is constituted to have a thickness to give a desired intensity of light directly under the aperture in consideration of the relationship with the width of the aperture in the light shielding body.例文帳に追加

透明な母材と、該母材上にマスクパターンを構成する開口部の開口幅が光源波長以下に形成された遮光体を有する近接場光露光用のフォトマスクにおいて、前記遮光体は、その厚さが前記遮光体の開口部の開口幅との関係において該開口部直下で所望の光強度を与える厚さに構成する。 - 特許庁

An empty cell group 5 is composed of a plurality of empty cells 5a on a 1st insulating substrate 1 is provided peripherally with a plurality of electrostatic protection patterns 7, wherein each of the patterns 7 comprises an electrostatic conduction portion 8 of constant width (w) and an electrostatic discharge portion 9 where the electrostatic conduction portion 8 is decreased in width at an angle toward an adjacent electrostatic protection pattern.例文帳に追加

第1の絶縁性基板1上における、複数の空セル5aからなる空セル群5の周囲に複数の静電気保護パターン7を周設し、静電気保護パターン7は、一定の幅wをもった静電気導通部分8と、静電気導通部分8の幅を隣り合う静電気保護パターンに近づくにつれて角度をもたせて減少させた静電気放電部分9とからなる。 - 特許庁

A modulator complying with prescribed specifications comprises a plurality of pattern memory means for dividing pulse width into a plurality of patterns to store them, a multiplexer means which is controlled by a start- stop synchronization pattern generated logically and selectively synthesizes the output from the pattern memory means, and a counter means for counting a clock signal based on the synthesized output from the multiplexer means to output the modulated signal complying with the prescribed specifications.例文帳に追加

所定の規格に準拠した変調器において、パルス幅のパターンを複数個に分けて記憶する複数個のパターンメモリ手段と、マイクロコンピュータ手段内で論理的に作成した調歩同期パターンにより制御され、前記パターンメモリ手段の出力を選択的に合成するマルチプレクサ手段と、このマルチプレクサ手段の合成出力に基づいてクロック信号をカウントして所定の規格に準拠した変調信号を出力するカウンタ手段とを具備する。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a color filter by which a pattern can be formed with high definition, particularly, a black image with extremely little variance in line width can be efficiently formed by forming a desired imaging pattern on an exposure face of a photosensitive layer while suppressing production of jaggy without decreasing an exposure speed.例文帳に追加

光変調手段を傾斜させて描画を行う露光を行うカラーフィルタの製造方法において、露光速度を低下させることなく、感光層の被露光面上にジャギーの発生が抑制された所望の描画パターンを形成することにより、パターンを高精細に、特にブラック画像の線幅ばらつきを極めて少なく、かつ効率よく形成可能なカラーフィルタの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a radiation-sensitive composition for colored layer formation, which avoids the occurrence of residues and scumming in development even in a high colorant concentration, excels in adhesion to a substrate even under low exposure energy, can form pixels and a black matrix having a high-definition excellent pattern profile, and so excels in latitude in developing time, etc., as to obtain a desirable pattern line width.例文帳に追加

高着色剤濃度であっても現像時に残渣や地汚れを生じることなく、かつ低露光量でも基板との密着性に優れ、高精細で優れたパターン形状を有する画素およびブラックマトリックスを形成でき、さらに所望のパターン線幅を得ることができる現像時間等の余裕度に優れた着色層形成用感放射線性組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a radiation sensitive resin composition useful as an excellent chemical amplification type resist which prevents a change of the line width of a resist pattern and the formation of T shape due to the time elapsed from exposure until heating after exposure [post-exposure delay(PED)], is not affected by a stationary wave due to reflection from a substrate and can be applied even in a very small pattern size.例文帳に追加

露光後の加熱処理までの引き置き時間(PED)により、レジストパターンが線幅の変化を生じたりT型形状になったりすることがなく、且つ基板からの反射による定在波の影響も無く、超微細なパターンサイズにおいても適用可能となる優れた化学増幅型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供すること。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a semiconductor device, capable of reducing the change in a width of a line of a connecting part of a transferred pattern and effectively connecting a plurality of divided patterns in the case of forming the pattern of the semiconductor device, by transferring to a resist coating the wafer by using an electron beam exposure device by forming a plurality of the divided patterns on the mask.例文帳に追加

分割された複数のパターンをそれぞれのマスク上に形成し、ウエハ上に塗布したレジストに電子線露光装置を用いて転写して半導体装置のパターンを形成する際に、転写されたパターンの接続部の線幅変化を小さくし、かつ、分割された複数のパターンを確実に接続できるような半導体装置の製造方法を提供すること。 - 特許庁

Productivity is thereby enhanced while saving the cost by skipping the photographic step in a process for producing a semiconductor package being used for driving an LCD, reliability of a product is improved by preventing occurrence of a defect in the process for forming the circuit pattern 110 of metallic material and a circuit pattern having a fine line width is produced more efficiently.例文帳に追加

したがって、LCD駆動用として使われる半導体パッケージの配線基板を製造する過程で写真工程を省略してコスト節減及び生産性の向上効果が得られ、金属材質の回路パターン110を作る過程で発生する欠陥を防止して製品の信頼性を改善し、微細線幅を有する回路パターンをさらに効率的に作られる。 - 特許庁

By using a photomask or a reticle formed with an auxiliary pattern having a light intensity reduction function formed of a diffraction grating pattern or a translucent film, the width of a region with a small thickness of a gate electrode can be freely set, and the widths of two LDD regions capable of being formed in a self-aligned manner with the gate electrode as a mask can be different in accordance with the each circuit.例文帳に追加

回折格子パターン或いは半透膜からなる光強度低減機能を有する補助パターンを設置したフォトマスクまたはレチクルを用いることによって、ゲート電極の膜厚の薄い領域の幅を自由に設定でき、そのゲート電極をマスクとして自己整合的に形成できる2つのLDD領域の幅を個々の回路に応じて異ならせることができる。 - 特許庁

In the imaging recipe generating apparatus for SEM observation of a semiconductor pattern using a scanning type electronic microscope, a CPU (CAD image generating unit) 1251 for generating a CAD image by conversion into the image on the basis of the CAD data is constituted with an image quantizing width determining processing unit 12511, a luminosity information assignment processing unit 12512, and a pattern shape conversion processing unit 12513.例文帳に追加

走査型電子顕微鏡を用いて半導体パターンをSEM観察するための撮像レシピ作成装置において、CADデータを基に画像に変換してCAD画像を作成するCPU(CAD画像作成部)1251を、画像量子化幅決定処理部12511と明度情報付与処理部12512とパターン形状変形処理部12513とで構成する。 - 特許庁

The light guide plate 1 is thinner in thickness than a light-emitting surface of the point light source 2, and an approximately concentric circular prism pattern for scattering or reflecting incident light around an approximately center in the width direction of the light-emitting surface of the point light source 2 is formed.例文帳に追加

ここで、導光板1は、点状光源2の発光面よりも厚みが薄く、かつ点状光源2の発光面の幅方向ほぼ中央を中心に入射光を拡散もしくは反射するほぼ同心円状のプリズムパターンが形成されている。 - 特許庁

A toner ejection pattern P, formed on a photoreceptor drum 14 when performing the refresh process, is obtained by repeating development of a line image L, which has a predetermined inclination to a main scan direction, at predetermined intervals over a width H of a development region of a developing roller 35.例文帳に追加

リフレッシュ工程の実行時に感光体ドラム14上に形成するトナー吐出パターンPを、主走査方向に所定の傾きを有するライン画像Lを現像ローラ35の現像領域の幅Hに亘って所定の間隔で繰り返し現像した構成とする。 - 特許庁

To provide an exposure method and exposure apparatus, and a method of manufacturing a device and the device, where a pattern having a line width larger than a resolution limit is transferred in desired contrast to secure a desired resolution when a projection optical system clearing in midsection is used.例文帳に追加

本発明は、中抜けのある投影光学系を使用した場合に、限界解像よりも大きな線幅のパターンを所望のコントラストで転写して所望の解像度を確保する露光方法及び装置、並びにデバイス製造方法及びデバイスを提供する。 - 特許庁

By combining CMP of high flatness in which patterning for making the area of an SiO_2 film uniform is unnecessary, and regulating the trench width and film thickness of an alignment pattern part for alignment of a semiconductor mask, the number of times of exposure processing is reduced to one.例文帳に追加

SiO_2膜の面積を揃えることを目的としたパターニングが不要な高平坦性のCMPと組み合わせることと、半導体マスクの位置合わせ用アライメントパターン部の溝幅と絶縁膜の膜厚を規定することで、露光工程の回数を1回に低減する。 - 特許庁

To provide an exposure method capable of performing projection exposure with fidelity and high accuracy by satisfactorily suppressing variations of the line width of a pattern formed on a photosensitive substrate, for example, even if aberration of a projection optical system using an EUV light is not sufficiently suppressed.例文帳に追加

たとえばEUV光を用いる投影光学系の収差が十分に抑えられていなくても、感光性基板上に形成されるパターンの線幅のばらつきを良好に抑えて、忠実で高精度な投影露光を行うことのできる露光方法。 - 特許庁

After the electrode 103 and the mark 104 are formed, the solder resist 124 is applied thereon, exposure and development are performed by using a matter formed so as to allow the solder resist 124 to remain at a predetermined width on each upper surface of the electrode 103 and the mark 104 for a master pattern.例文帳に追加

電極103やマーク104を形成した後、ソルダーレジスト124を塗布し、マスクパターンに電極103及びマーク104の各上面周縁に所定の幅でソルダーレジスト124が残存するように形成されたものを用いて露光・現像する。 - 特許庁

To provide a treatment apparatus capable of making the distribution of the dissolution amount and the etching amount of copper foils in an entire substrate and in the front and rear face seven and suppressing unevenness of the width of a conductor of wiring patterns in the wiring pattern directions by solving the formation of a liquid pool in the center part of the substrate at the time of etching treatment.例文帳に追加

エッチング処理時に基板中央部の液溜まりを解消し、基板全体及び表裏銅箔溶解量の分布とエッチング量の均一化と配線パターン方向による配線パターンの導体幅のバラツキを少なくする処理装置を提供する。 - 特許庁

To provide an active ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition adaptable to a normal dry process as well as an immersion process, having excellent sensitivity, and reducing LWR (line width roughness) and blob defects, and to provide a resist film and a pattern forming method using the composition.例文帳に追加

通常のドライプロセスに加え、液浸プロセスにも適合した、感度に優れ、LWR及びブロッブ欠陥が低減された感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いたレジスト膜及びパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

例文

To provide a semiconductor laser device in which a desired lateral mode is stable and a far-field pattern of light intensity has a solely-high main peak and extremely low side-lobes although a width of a light emitting stripe region is wide and high power is extracted, and to provide an optical wireless communication system employing the same.例文帳に追加

発光ストライプ領域の幅が広くて大出力であるにも拘らず、横モードが安定して、かつ、遠視野像の光強度が、主ピークのみが強くてサイドローブが極めて小さい半導体レーザ装置と、それを用いた光無線通信システムを提供する。 - 特許庁




  
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