FLOW-RATEの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 13614件
The flow rate of the blowout air current produced toward an aperture 6 of the casing 7 can be suppressed by the interaction of the behavior of the magnetic brush and the local development device casing and eventually the suppression of the splashing of the detached toner and carrier is made possible.例文帳に追加
よって、磁気ブラシの挙動と局所的な現像器ケーシングとの相互作用によって現像器ケーシング7の開口部6に向けて発生する吹き出し気流の流量を抑制でき、結果的に、離脱したトナーやキャリアの飛散を抑制できるようにした。 - 特許庁
This blowby gas reduction device 30 for an internal combustion engine 10 controls a flow rate of blowby gas, which is returned from a crank case 40 to an intake passage 22, by controlling a PCV valve 36 in response to a target opening set based on the engine operating condition.例文帳に追加
内燃機関10のブローバガス還元装置30は、機関運転状態に基づいて設定される目標開度に応じてPCVバルブ36を制御することにより、クランクケース40から吸気通路22に還元されるブローバイガスの流量を制御する。 - 特許庁
To provide a branching device for fire-fighting hose, with which the flow rate and water pressure of a fire-fighting hose for using pressurized water supplied from a single water supply source while branching it to a plurality of water flows can be prevented from being rapidly fluctuated by the operation of the partial fire-fighting hose.例文帳に追加
単一の送水元から供給される圧力水を複数に分岐させて使用する消火用ホースの流量と水圧が、一部の消火用ホースの動作により急激に変動することを防止できる消火ホース用分岐装置を得る。 - 特許庁
If a temperature T in a fuel cell module exceeds a threshold temperature T_0, the fluid supply device B1 adjusts the three-way valve 15 to gradually increase the flow rate of the low-temperature air piping 22, thereby lowering the temperature of the air to be supplied to the fuel cell C1.例文帳に追加
そして、燃料電池モジュール内の温度Tが閾値温度T_0を超えた場合に、三方弁15を調整して低温空気配管22の流量を徐々に増加するようにし、燃料電池C1に供給される空気の温度を降下させるようにした。 - 特許庁
Based on the amount (passage air intake amount GA) of air passing through the upstream side of a connection portion of the fresh air guide passage in the air intake passage, a throttle opening TA, and an air intake pressure PM, an estimated PCV flow rate MP is calculated (S102 and S103).例文帳に追加
吸気通路における新気導入通路の接続部分より上流側部分を通過する空気の量(通路吸気量GA)とスロットル開度TAと吸気圧力PMとに基づいて推定PCV流量MPを算出する(S102,S103)。 - 特許庁
A by-pass pipe 10 is provided in parallel with the cooling water exhaust heat recovery heat exchanger 9 on the cooling water circulating pipe 8, and a three-way valve 11 free to regulate a distributing flow rate is attached to a connecting point of the by-pass piping 10 and the cooling water circulating pipe 9.例文帳に追加
冷却水循環配管8に、冷却水排熱回収熱交換器9と並列にバイパス配管10を設け、そのバイパス配管10と冷却水循環配管9との接続箇所に、分配流量を調整可能な三方弁11を付設する。 - 特許庁
This implement has a bottle type container body 1, a cap 2 and a suction mouth body 4 of an elastic body having a relatively long size and is provided with a slide type control valve 3 which is regulatable in flow rate by a slide piece 7 from outside between the container body 1 and the cap 2.例文帳に追加
このため、ビン形容器本体1と、キャップ2と、比較的長い寸法を有する弾性体の吸い口本体4とを有し、前記容器本体1とキャップ2間に外部よりスライド片7により流量調整可能のスライド式調節弁3を設けた。 - 特許庁
The gas discharged from the pump 13 is guided to the QMS or composition analyzing/metering device 17, such as FTIR or the like, provided outside of a thermostatic tank 16 that is a gas sampling unit via a needle valve 15 to perform the analysis of a composition and the measurement of the flow rate.例文帳に追加
ポンプ13から排出されるガスは、ニードルバルブ15を介してガスサンプリングユニットとしての恒温槽16の外に設けたQMS、或いはFTIR等の組成分析・計量装置17に導き、組成の分析及び流量の測定を行う。 - 特許庁
In this constitution, when transfer to a power save mode is effected, a power fed to each bottle is decreased before a flow rate of the ultrapure water 40 is changed by considering an answer delay time of the first bottle 24-1 and the second bottle 24-2.例文帳に追加
このような構成において、省電力モードに移行する場合には、第1ボトル(24−1)および第2ボトル(24−2)の応答遅れ時間を考慮して、超純水(40)の流量を変化させる前に、該各ボトルに供給する電力をパワーダウンする。 - 特許庁
When a manual valve 20 is switched, so that a D-range port 20d and a drain port 20b is communicated by a D→N operation, hydraulic pressure of the input clutch hydraulic servo C-1 is discharged via orifice 27 and check valve 29 with small set flow rate area.例文帳に追加
D→N操作により、マニュアルバルブ20を、Dレンジポート20dとドレーンポート20bとが連通するように切換えると、入力クラッチ用油圧サーボC−1の油圧は、流量面積が小さく設定されてたオリフィス27及びチェックバルブ29を介して排出される。 - 特許庁
An ECU 6 computes an objective gas flow rate of the gas flowing through the DPF, which provides a heat removing amount for keeping temperature of the DPF 3 at a desired regeneration objective temperature, in order to control temperature rising of the DPF 3 installed in an exhaust passage 2 of an engine 1.例文帳に追加
エンジン1の排気通路2に設置したDPF3を昇温制御するために、ECU6は、DPF3の温度を所望の再生目標温度に維持可能な熱の持ち去り量となるDPF通過ガスの目標ガス流量を算出する。 - 特許庁
The flow rate control valve 32 is configured in such a manner that the rotor 172 forms a hollow shape having bearing parts on one end side and the other end side thereof, the shaft 182 is extended into an inner space of the rotor 172, thereby allowing the rotational stopper 188 to be displaced in the inner space.例文帳に追加
そして、ロータ172がその一端側と他端側に軸受部を有する中空形状をなし、シャフト182がロータ172の内部空間に延設されることにより、回転ストッパ188がその内部空間において変位するように構成されている。 - 特許庁
The data are compressed by itemizing a term use amount, the maximum term instantaneous flow rate and a term use time respectively referring to compression tables 34A, 34B, 34C stored in a compression table storage part 34, in order to grasp the using condition of the own gas meter.例文帳に追加
自メータの使用状況を把握するために、期間使用量、期間最大瞬時流量、期間使用時間をそれぞれ、圧縮テーブル記憶部34に記憶される圧縮テーブル34A、34B、34Cを参照して、区分することにより、データ圧縮する。 - 特許庁
The flow rate of the washing solvent to the filter device F4 in a first liquid supplying passage L1 is adjusted so that the regulating valve V51 of a second liquid supplying passage L2 is fully opened at the start to control counter pressure applied thereafter to the filter not to exceed a counter pressure limit.例文帳に追加
第一送液路L1における濾過装置F4への洗浄用溶媒の流量は、第二送液路L2の調整弁V51を、開始時には全開とし、その後フィルタにかかる逆圧が逆圧限界以下となるよう制御するために調節される。 - 特許庁
To provide a compression device wherein a compressor suction pressure can be controlled to be in a predetermined value, a flow rate flowing into the compressor is prevented from being zero even when a valve is failed, a surging phenomenon can be prevented, and failure of the compressor can be covered.例文帳に追加
本発明は、圧縮機吸入圧力を所定値に制御でき、且つ、弁が故障しても圧縮機に流入する流量がゼロにならず、サージング現象の防止、圧縮機の破損をカバーすることができる圧縮装置を提供することを目的とする。 - 特許庁
This cooler is made by overlapping wire nettings woven by plain weave in the radial direction and compressing and forming them in the radial direction and the axial direction, and has pressure loss of 0.3×10-2 to 1.5×10-2 kg/cm2 at a flow rate of 100 L/min/cm2 at a normal temperature.例文帳に追加
本クーラントは、平編の金網を半径方向に重ね半径方向及び軸方向に圧縮成形してなり、常温において流量100l/min/cm^2で0.3×10^-2〜1.5×10^-2kg/cm^2の圧力損失を有する。 - 特許庁
A control means 12 calculates an objective hot-water storage temperature from an estimated supplying amount of hot-water and adjusts the flow rate of circulating water, by controlling the number of rotation of a circulation pump 4, so that the detected temperature of a thermistor 11 becomes the temperature of the objective hot-water storage.例文帳に追加
制御手段12は、予測される給湯使用量から貯湯目標温度を算出し、サーミスタ11で検出された検出温度が、目標貯湯温度になるように、循環ポンプ4の回転数を制御して循環水の流量を調整している。 - 特許庁
To provide an ultrasonic image diagnostic instrument capable of obtaining Doppler images of good frequency resolution at a continuous wave(CW) mode, and contributing to high image quality Doppler measurement even when a sampling rate is low at the time of diagnosing with a low speed blood flow, especially in a pulse wave(PW) mode.例文帳に追加
連続波(CW)モードでの周波数分解能の良いドプラ像が得られると共に、パルス波(PW)モードで特に低速血流診断時においてサンプリングレートが低いときでも高画質なドプラ計測に寄与できる超音波画像診断装置を提供する。 - 特許庁
A control unit of internal combustion engine (1) is provided with a balance tube (12) that causes a purge gas to inflow so as to complement flow rate difference between respective cylinders of intake air that inflows into a plurality of cylinders (31 to 36) through throttles (61 to 66).例文帳に追加
内燃機関の制御装置は、スロットル(61〜66)を経由して複数の気筒(31〜36)へ流入する吸入空気の、各気筒間での流量差を補完するように、パージガスを流入させるバランスチューブ(12)を備える内燃機関(1)の制御装置である。 - 特許庁
This silane-cross-linked watertight material is characterized by cross-linking an ethylene-ethyl acrylate copolymer or a mixture of ethylene-ethyl acrylate copolymers having a melt mass flow rate (190°C, 2.16 kg) of 57 to 275 g/10 min with a silane at a cross-linking degree of 28 to 62 %.例文帳に追加
メルトマスフローレート(190℃、2.16kg)が57〜275g/10minのエチレン・エチルアクリレート共重合体或いはエチレン・エチルアクリレート共重合体どうしの混合物が、28〜62%の架橋度にシラン架橋された水密材とすることによって、解決される。 - 特許庁
In these catalyst temperature change quantity, since catalyst temperature change quantity due to exhaust gas relates to heat transfer between the exhaust gas and the exhaust emission control catalyst and all of heat quantity can not be received in some exhaust gas flow rate, limit is set in catalyst temperature change quantity ΔTexq (S106, S108).例文帳に追加
この内で排気による触媒温度変化量ΔTexqについては排気と排気浄化触媒との間での熱伝達に関係し、排気流量によっては授受しきれない熱量があるので、触媒温度変化量ΔTexqには限界を設けている(S106,S108)。 - 特許庁
In an apparatus for vaporizing the liquid raw material by introducing carrier gas with its flow rate controlled into the raw material, a lower part heater 2 for heating a liquid phase part and an upper part heater 3 for heating a gas phase part are different from each other.例文帳に追加
流量が制御されたキャリアガスを液体原料に導入することにより液体原料を気化させる液体原料気化装置において、液相部を加熱する下部加熱ヒータ2と、気相部を加熱する上部加熱ヒータ3をそれぞれ別のヒータで構成する。 - 特許庁
To a polyester resin, a thickening agent (excluding a polymer alloy of a polyolefin resin and a styrenic elastomer and/or a synthetic rubber) having a melt flow rate (MFR) according to condition 4 in the JIS K7210 Table 1 of ≤20 g/10 min is added to increase the melt viscosity.例文帳に追加
ポリエステル樹脂に、JISK7210表1条件4によるメルトフローレート(MFR)が20 g/10分以下の増粘剤(ポリオレフィン樹脂とスチレン系エラストマーおよび/または合成ゴムとのポリマーアロイを除く)を添加することによって溶融粘度を増大せしめる。 - 特許庁
The present invention is directed to a golf ball having at least one layer formed from a moisture resistant composition having a moisture vapor transmission rate of 12.5 g.mil/100 in^2/day or less, a melt flow index of 1.0 g/10 min or higher.例文帳に追加
この発明は、水蒸気透過率が12.5g・mil/100in^2/日以下で、メルトフローインデックスが1.0g/10分以上で、高度に中和された酸ポリマーを有する耐湿性組成物から製造された少なくとも1つの層を具備するゴルフボールに向けられている。 - 特許庁
To reduce thermal influence to a fuel tank and to stabilize engine supply fuel flow rate in a system, where high-temperature surplus fuel returning from a fuel injection valve to a pump module installed in a fuel tank while incorporating a fuel pump in a housing is introduced.例文帳に追加
燃料ポンプをハウジングに内蔵して燃料タンク内に設置したポンプモジュールに燃料噴射弁から戻る高温の余剰燃料が導入されるシステムにおける燃料タンクへの熱的影響の低減とエンジン供給燃料流量の安定とを図る。 - 特許庁
Thereafter, when humidity by a dew-point hydrometer 32 and oxygen concentration by the oxygen concentration analyser 35 become lower than specified points, this inert gas is delivered to a gas pressure flow rate control device 36, and therefrom it is delivered again to an inert gas supply passage 5.例文帳に追加
そして、露点計32による湿度の値、及び酸素濃度分析計35による酸素濃度の値が一定位置以下になると、この不活性ガスはガス圧・流量制御装置36に送り込まれ、ここから再び不活性ガス供給路5に送出される。 - 特許庁
To provide evaporation fuel processing equipment of an internal combustion engine which can properly control the amount of fuel supplied to an engine and control fluctuations of the air/fuel ratio when the rate of flow of intake air rapidly decreases at the time of the implementation of the purge of evaporation fuel.例文帳に追加
蒸発燃料のパージを実行している場合において吸入空気流量が急減したときに、機関に供給する燃料量を適切に制御し、空燃比の変動を抑制することができる内燃機関の蒸発燃料処理装置を提供する。 - 特許庁
A control device 6 of this hydrogen supplying station 1 switches a used storage tank 21 to that having a pressure stage Pt one level higher, when a filling speed V obtained by a supply flow rate detecting means 33 becomes smaller than a specific standard speed V.例文帳に追加
水素供給ステーション1の制御装置6は、供給流量検出手段33による充填速度Vが規定の基準速度Vsよりも小さくなったときには、使用する貯蔵タンク21を1段上の圧力ステージPtを有するものに切り替える。 - 特許庁
Or, flame polishing may be carried out by determining the moving speed or the gas flow rate of the burner based on the preliminarily measured polishing performance of the burner and then determining the number of reciprocal movement of the burner necessary to obtain a specified polishing amount under the above conditions.例文帳に追加
また、予め測定しておいたバーナの研磨能力から、バーナの移動速度またはガス流量を決定し、さらに、その条件で所定の研磨量を得るのに必要なバーナの往復運動の回数を決定してから火炎研磨を行ってもよい。 - 特許庁
When viscosity of oil in the compressor 11 is reduced, abnormal interruption of the compressor 11 is avoided, and pressure of the helium gas rises to increase the flow rate of suction gas in the compressor 11 and hence ensure freezing capability of the very low temperature freezing apparatus.例文帳に追加
圧縮機11の油の粘性が減少して、圧縮機11の異常停止が回避されると共に、ヘリウムガスの圧力が上昇して圧縮機11における吸入ガスの流量が増加して、極低温冷凍装置の冷凍能力が確保される。 - 特許庁
The flow rate of the lubricating oil returning to the compressor 30 from the oil separator 37, is increased as a refrigerant circulating quantity parameter expressed by the product of a rotating speed of the compressor 30 and pressure of the refrigerant in an inlet of the compressor 30 increases.例文帳に追加
そして、圧縮機30の回転数と、圧縮機30の入口における冷媒の圧力との積で表される冷媒循環量パラメータが大きくなるにしたがって、油分離器37から圧縮機30へ戻す潤滑油の流量を増加させる。 - 特許庁
To hold the flow rate of feed liquid almost fixed irrespective of a change in environmental temperature by making a dilution device have a temperature compensation function by a simple means to compensate a change in kinematic viscosity of the feed liquid by the change in environmental temperature.例文帳に追加
希釈装置に簡単な手段によって温度補償機能を持たせ、環境温度変化による原液の動粘度の変動を補償して、原液流量を環境温度変動にかかわらず略一定に保持できるようにした希釈装置を提供する。 - 特許庁
To provide a hydraulic control device for a construction machinery capable of improving switching response of a direction switching valve with respect to the operation of a pilot operation valve, and followability in increasing and decreasing a pump flow rate of a variable capacity hydraulic pump.例文帳に追加
本発明の目的は、パイロット操作弁の操作に対する方向切換弁の切換え応答性、可変容量油圧ポンプのポンプ流量の増減の追従性をそれぞれ向上させることができる建設機械の油圧制御装置を提供することにある。 - 特許庁
Also, the oxygen concentrator 1 is provided with a leakage detection means 39 for detecting the leakage of the oxygen concentrated gas in the normal supply path 27 by the flow rate or pressure of the oxygen concentrated gas, and switches to the bypass supply path 28 when the leakage is detected.例文帳に追加
また、酸素濃縮器1は、通常供給路27における酸素濃縮気体の漏れを、酸素濃縮気体の流量又は圧力により検出する漏れ検出手段39を備え、漏れを検出したときは、バイパス供給路28に切り換える。 - 特許庁
The evaluation method of the exhaust heat recovering equipment 2 for recovering heat from exhaust gas G1 of a generator 3 is characterized in calculating the exhaust heat recovering efficiency using temperature conditions and flow rate conditions of the exhaust gas G1 injected into the exhaust heat recovery equipment 2.例文帳に追加
発電機器3の排ガスG1から熱を回収する排熱回収機器2の評価方法であって、排熱回収機器2に投入される排ガスG1の温度条件、および流量条件を用いて排熱回収効率を求めることを特徴とする。 - 特許庁
To prevent overheat and the deterioration of a filter, when resuming regeneration from a state of suddenly reducing in an exhaust flow rate flowing in the filter, in an exhaust emission control device for regenerating the filter for capturing exhaust particulates of an engine, by a rise in the exhaust temperature.例文帳に追加
エンジンの排気微粒子を捕捉するフィルタを排気温度上昇により再生するようにした排気浄化装置において、フィルタを流れる排気流量が急減した状態から再生を再開したときのフィルタの過熱および劣化を防止する。 - 特許庁
To provide a turning device wherein loss is insignificant even in the case where a flow rate and a pressure significantly change, and also to provide an electricity generation device generating electric power in an unintentional action of a human in his daily life by using the turning device without any intentional operation.例文帳に追加
流量と圧力が大きく変化する状況でも損失が少ない回転装置を提供し、また、その回転装置を用いることで人間の日常生活の何気ない動作の中で意識的な作業なしに発電可能な発電装置を提供すること。 - 特許庁
To optimize the flow rate of a refrigerant for cooling an electric motor under any operating state, to prevent frost formation to an electric motor chamber external wall even when the operating state is changed, and dispensing with a heat-proof material placed on the electric motor chamber external wall.例文帳に追加
どのような運転状態下にあっても電動機冷却用冷媒流量の適正化を図れ、かつ運転状態が変化しても、電動機室外壁への着霜を防止できて、電動機室外壁への防熱材の取り付けを不要にできるようにする。 - 特許庁
Therefore, a first pump 45 and a second pump 65 are not used for the circulation of the ink, but it is enough that only the flow rate for generating the back pressure applied to the ink fed into the inkjet recording head 20Y is controlled, so that the alternatives of the pump can be enlarged.例文帳に追加
このため、第1ポンプ45及び第2ポンプ65は、インクの循環に用いられず、インクジェット記録ヘッド20Yに供給されるインクへ付与される背圧を発生させるための流量のみを制御すればよくなり、ポンプの選択肢の拡大が図れる。 - 特許庁
The blocking plate 23 has an area approximately uniformly expandable omnidirectionally around the revolving shaft 6 of the blower 4 and has a size not to influence the essential air flow rate of the blower 4 at least in the most reduced state of the area.例文帳に追加
前記遮蔽板23は、前記送風機4の回転軸6を中心とする全方位にほぼ均等に面積が拡縮自在であり、且つ、少なくとも最も縮小した状態において前記送風機4の本来の送風量に影響しない大きさとされている。 - 特許庁
The flow rate adjusting plate has a plate-like body part having a plurality of openings penetrating through in the thickness direction, and at least one pin provided so as to be freely attachable/detachable to the openings of the body part and for closing the opening under the condition that it is mounted on the opening.例文帳に追加
流量調整板は、厚さ方向に貫通する複数の開口を有する板状の本体部と、本体部の開口に対して着脱自在に設けられ開口に装着された状態では当該開口を閉塞する少なくとも一つのピンとを有する。 - 特許庁
The flow temperature is a temperature at which a heat-melted material shows a melt viscosity of 4,800 Ps.s when extruded through a nozzle under a load of 100 kg/cm2 at a temperature-rising rate of 4°C/min using a capillary rheometer provided with a nozzle having an inner diameter of 1 mm and a length of 10 mm.例文帳に追加
流動温度:内径1mm、長さ10mmのノズルを持つ毛細管レオメーターを用い、100kg/cm^2の荷重下において4℃/分の昇温速度で加熱溶融体を押し出すときに溶融粘度が4800Pa・sを示す温度。 - 特許庁
A temperature of the heat load circulating fluid is detected by a heat load-side temperature sensor 27, and a flow rate of the heat load circulating fluid is controlled by a water quantity control valve 26 so that a temperature of the heat load circulating fluid supplied to the heating device 1 is controlled to a set temperature.例文帳に追加
熱負荷側温度センサ27で熱負荷循環流体の温度を検出し、暖房装置1に供給される熱負荷循環流体の温度が設定温度となるように水量制御弁26で熱負荷循環流体の流量を制御する。 - 特許庁
When the volume of the water flowing through a first bypass pipeline 8 increases on increasing of the volume of the ozonized water used, a differential pressure regulating valve 18 opens to pass raw water to a second bypass pipeline 17b as well and therefore the volume of the water flowing to a flow rate sensor 6 can be limited to a rating or below.例文帳に追加
オゾン水の使用量が増加して第1バイパス管路8に流れる水量が増加すると、差圧調整弁18が開弁して第2バイパス管路17にも原水を流すから、流量センサ6に流れる水量を定格以下に制限できる。 - 特許庁
Then, the flow rate of an ink or a washing liquid and so forth flowing in a tube 28 or the like is reduced by the chalk valve 31, and the ink or the like is sucked from a recording head 19 by the suction pump, and a pressure in the tube 28, a valve unit 21 and the recording head 19 is reduced.例文帳に追加
そして、チョークバルブ31によってチューブ28等を流れるインクや洗浄液等の流量を減少させ、吸引ポンプによって記録ヘッド19からインク等を吸引して、チューブ28、バルブユニット21、記録ヘッド19内の圧力を減少させる。 - 特許庁
The flow rate of a low-temperature refrigerant supplied from a storage tank to the evaporator coil is changed whenever the temperature at the exit of the evaporator coil passes through one of a plurality of first temperature control values and the temperature at the air inlet of the heat exchanger passes through one of a plurality of second temperature control values.例文帳に追加
貯蔵タンクから蒸発器コイルへの低温冷媒の流量を、出口の温度が第1の複数の温度制御値のうちの1つを通過するたびに、また空気入口の温度が第2の複数の温度制御値の1つを通過するたびに、変化する。 - 特許庁
The air ventilating device for the ventilation equipment in the vehicle has a housing defining an air outlet channel, and a manual operation element (24) formed of a partial sphere for controlling a direction and a flow rate of air fed by the ventilating device.例文帳に追加
車両における換気設備のための空気通気装置は空気出口チャンネルを画定するハウジングと、通気装置により送給された空気の方向及び流量を調整するために部分球体により形成された手動作動素子(24)とを有する。 - 特許庁
Because the flexible film 53a in the intermediate liquid chamber C and the orifice 7 are arranged in series, the rate of flow of the encapsulated liquid in the orifice 7 is compensated even if the flexible film 53a is deformed by a change in liquid pressure when the idling vibration is fed.例文帳に追加
中間液室Cの可撓膜53aとアイドル振動用オリフィス7が直列配置されているので、可撓膜53aがアイドル振動入力の際の液圧変化によって変形を受けても、アイドル振動用オリフィス7における封入液の流量が補償される。 - 特許庁
The heat regulating device 40 is equipped with a heat regulating lever 6a, a needle valve 41 installed in a gas passage 15 and moving in the vertical direction for regulating the gas flow rate according to its position, and a coil spring 43 to energize the needle valve 41 in the throttling direction (downward in the attached illustration).例文帳に追加
火力調節装置40は、火力調節レバー6aと、ガス流路15に設けられ上下動してその位置に応じたガス流量に調節するニードル弁41と、ニードル弁41を絞り方向(図では下方向)に付勢するコイルバネ43とを備える。 - 特許庁
To provide a vaporizer that can restrain the deterioration of a medical solution, has high vaporization efficiency, and can reduce the flow rate of a carrier gas, to provide a substrate processing apparatus employing the vaporizer to reduce the risk of leakage of a vaporized processed gas, and to provide a substrate processing method.例文帳に追加
薬液の劣化を抑え、気化効率が高くキャリアガスの流量を少なくすることができる気化装置、及びこの気化装置を備えることにより気化された処理ガスの漏洩のリスクを低減させた基板処理装置、基板処理方法を提供すること。 - 特許庁
| Copyright © Japan Patent office. All Rights Reserved. |
|
ログイン |
Weblio会員(無料)になると
|
|
ログイン |
Weblio会員(無料)になると
|