「surface processing」に関連した英語例文の一覧と使い方(101ページ目) - Weblio英語例文検索

The simultaneously molding and decorating sheet is constituted by laminating a thermoplastic substrate sheet on the emboss processed side of a release sheet made of a thermoplastic resin receiving emboss processing on at least a part of one side thereof and a decorative layer is formed on the surface on the side opposite to the release sheet laminated surface of the substrate sheet.例文帳に追加

片面の少なくとも一部にエンボス加工が施された熱可塑性樹脂製剥離シートのエンボス加工面側に熱可塑性基体シートが積層され、且つ該基体シートの剥離シート積層面とは反対側の面には加飾層が形成された成形同時加飾用シートである。 - 特許庁

To provide an optical processing method taking an optical path of an optional beam from an objective surface to an image surface through an optical system as a reference axis and efficiently and precisely calculating a paraxial amount/an aberration amount developed around the axis and an optical processor using it.例文帳に追加

物体面から光学系を介して像面に至る任意の光線の光路を基準軸として、その軸のまわりに展開した近軸量・収差量を効率的に正確に計算することができる光学処理方法およびそれを用いた光学処理装置を得ること。 - 特許庁

One fixing part 14 has a pair of metallic holding parts 38, 40, and contact surfaces 38A, 40A of the holding parts 38, 40 for the optical fiber 12 are polished as surface processing for suppressing flawing of the surface part of the optical fiber 12.例文帳に追加

一方の固定部１４は、金属製の一対の挟持部３８，４０を備えており、各挟持部３８，４０における光ファイバ１２との接触面３８Ａ，４０Ａには、光ファイバ１２の表面部に傷が形成されること抑制するための表面処理として、研磨処理が施されている。 - 特許庁

To provide a fluid dynamic pressure bearing and a forming method for a dynamic pressure generating groove, which contribute to the enhancement of productivity and process performance because the dynamic pressure generating groove can be excellently and quickly formed in the thrust bearing surface or the radial bearing surface of the fluid dynamic pressure bearing by means of a laser processing method.例文帳に追加

レーザ加工法により、流体動圧軸受のスラスト軸受面またはラジアル軸受面に動圧発生溝を迅速かつ良好に形成することができ、生産性の向上、加工性能の向上に寄与する、流体動圧軸受及び動圧発生溝の形成方法を提供する。 - 特許庁

The fulled felt material has: a felt layer formed by entangling natural fiber by fulling processing and then cutting surface fuzz flatly; and a double-sided tape layer for fixing the felt layer at a prescribed position, and a cushion layer having predetermined elasticity is stuck on the reverse surface of the felt layer on demand.例文帳に追加

天然繊維を縮充加工によって絡合させた後に表面の毛羽を平らにカットしたフェルト層と、該フェルト層を所定の位置に固定するための両面テープ層とを備え、所望に応じて、該フェルト層の裏面に所定の弾性を付与するクッション層を貼り付けている。 - 特許庁

To provide a titanium part obtained by strongly forming a structural shaped matter having an uneven shape on the rear surface of a titanium part main body formed by press processing or the like with good productivity without generating the uneven parts on the upper surface of the main body, and a method for manufacturing the same.例文帳に追加

本発明はプレス加工等によって形成されたチタン部品本体に、表面等に凹凸部が生じることなく、裏面等に凹凸形状の構造形状物を強固に生産性よく形成することができるチタン部品およびチタン部品の製造方法を得るにある。 - 特許庁

An insertion process inhibition area 23 is set for insertion type parts 20 corresponding to the insertion machine tool for processing of the lead wire 22, and surface mounting process inhibition areas 24 and 25 are set in accordance with the height of the surface mounting type parts in relation to the operation.例文帳に追加

（ｂ）に示すような挿入型部品２０に対しては、リード線２２の処理を行う挿入機工具に対応して挿入工程禁止領域２３を設定し、動作に関連して、表面実装工程禁止領域２４，２５を表面実装型部品の高さに応じて設定する。 - 特許庁

A coating layer is prepared on a support by coating a coating liquid for ink receiving layer, and after applying a processing liquid which makes the coating layer to solidify while the surface of this coating layer is still in moist condition, the coating layer is pressed onto the heated mirror surface and then dried to get the ink receiving layer.例文帳に追加

支持体上に、インク受理層用塗工液を塗布して塗工層を設け、該塗工層の表面が湿潤状態にある間に塗工層を凝固させる処理液を塗布した後に、該塗工層を加熱した鏡面に圧接、乾燥してインク受理層を設ける。 - 特許庁

To provide a surface inspection device constituted of a usual surface inspection device composed of one two-dimensional camera, one illuminator, an operation stage and an image processor all of which are generally easily obtained, for determining whether a flaw is projected and realizing inspection processing in a short time.例文帳に追加

一般に入手が容易である１台の二次元カメラと１台の照明と稼動ステージと画像処理装置という通常の表面検査装置の構成で、欠陥が凸であるか否かの判定を可能とし、短時間で検査処理が実現できる表面検査装置を提供すること。 - 特許庁

The processing device is further provided with: a first adjustment mechanism 10 adjusting pressing form applied to the one-side surface of the peripheral part from the first cleaning mechanism 30; and second adjustment mechanisms 21, 25 adjusting pressing force applied to the other-side surface of the peripheral part from the second cleaning mechanism 40.例文帳に追加

処理装置は、第一洗浄機構３０から周縁部の一方の面に加わる押圧力を調整する第一調整機構１０と、第二洗浄機構４０から周縁部の他方の面に加わる押圧力を調整する第二調整機構２１，２５と、をさらに備えている。 - 特許庁

To provide a corner covering tool and a corner structure, without receiving adverse influence of the expansion/contraction of a wall surface fixture material, by easily installing the wall surface fixture material and a wall such as a baseboard, a parting material or a ceiling cornice installed in a reentrant part or the projected corner, without processing.例文帳に追加

入隅若しくは出隅に取り付けられている幅木、見切り材又は回り縁のような壁面造作材及び壁を加工することなく容易に取り付けることができ、しかも壁面造作材の伸縮の悪影響を受けることがないコーナー被覆具及びコーナー構造を提供する。 - 特許庁

For this safety system, a CPU 3 and a measurement-processing unit 2 measure an electric current and/or an electric voltage generated between surface electrodes Hc, Lc, Hp, and Lp, to which power is fed from a power source, and which are conductively attached to surface areas at specified two locations being separated from each other of a subject.例文帳に追加

本発明の安全装置は、ＣＰＵ３及び測定処理部２は、電源から電力が供給され、被験者の互いに隔たる所定の２箇所の表面部位に導電可能に付けられた表面電極間Ｈｃ，Ｌｃ，Ｈｐ，Ｌｐに生じる電流及び／又は電圧を測定する。 - 特許庁

The heating means 2 is formed by burying a heater 23 into a metal block 20 having the upper surface formed flatly, and container loading holes 21 loadable with the steam generation container 6 and the sample containers 3 are provided as many as at least the corresponding number to the number of systems of the sample processing apparatuses on the upper surface of the heating means 2.例文帳に追加

加熱手段（２）は、上面が平坦な金属製ブロック（２０）にヒーター（２３）を埋設して成り、加熱手段（２）の上面には、水蒸気生成容器（６）及び試料容器（３）を装填可能な容器装填穴（２１）が少なくとも試料処理機器の系統数に相当する数設けられる。 - 特許庁

Since this conveyance system is provided with the tray comprising carbon having a region for mounting a processing object, and the carbon rail with carbon blocks spread on a surface for transferring the tray, the friction coefficient of the surface thereof never increases even when the system is used in a high-temperature state, whereby the system is suitable for conveyance by, for instance, pressure drive.例文帳に追加

カーボンからなり、処理品が載置される領域を有するトレーと、当該トレーを移送する面にカーボンブロックが敷き詰められたカーボンレールとを具備することとしたので、高温状態で使用しても表面の摩擦係数が上がらないため、例えばプッシャー駆動による搬送に好適である。 - 特許庁

This toner contains as the external additive one or more sorts of inorganic particles of positive electrostatic property with the volume average particle size of 80-200 nm and one or more sorts of metatitanic acid particles of negative electrostatic property to which surface processing of 50 mass% or more is performed with a surface treatment agent.例文帳に追加

トナーの外添剤として、少なくとも体積平均粒径８０ｎｍ以上２００ｎｍ以下の正帯電性の無機粒子を１種以上と、表面処理剤によって５０質量％以上の表面処理が施された負帯電性のメタチタン酸粒子を１種以上と、を含有する。 - 特許庁

After a thin film is formed on the filming surface of a wafer W and the wafer W is carried out from a processing chamber 2 by means of a carrying arm (not shown), a clamp 11 is lowered to a clamp heating position (III) and heated by touching a protrusion 30 formed on the lower surface of the clamp 11 onto a susceptor 9.例文帳に追加

ウエハＷの被成膜面に薄膜を形成し処理チャンバ２内から図示しない搬送アームで搬出した後、クランプ１１をクランプ加熱位置（ＩＩＩ）に下降させクランプ１１の下面に形成された接触突起３０をサセプタ９上に接触させてクランプ１１を加熱する。 - 特許庁

The processing device 1 comprises an agitating means 2 provided with an agitating member 3 (3A) having a hydrophilicity, and positioned to have a gap to an attached surface P1 of the support P where the specimen S is attached, and a displacement means 4 to displace the agitating member 3 (3A) along the attached surface P1.例文帳に追加

この処理装置１は、支持体Ｐの被処理物Ｓの付着面Ｐ１との間に隙間が存在するように位置する親水性を有した撹拌部材３（３Ａ）と、この撹拌部材３（３Ａ）を付着面Ｐ１に沿って変位させる変位手段４とを備える撹拌手段２を有している。 - 特許庁

To provide a heat-shrinkable polyester-based film which has a light-shielding property without any further printing or processing, and hardly causes the reduction of whiteness on the surface opposite to the surface of the film where printing is applied, and further to provide a heat-shrinkable label having an excellent solvent adhesion property.例文帳に追加

印刷や加工を施さなくとも光線カット性を有し、フィルムの片面に印刷を施した反対面の白色度の低下が少ない熱収縮性ポリエステル系フィルム、さらには優れた溶剤接着性を有する熱収縮性ポリエステル系フィルムを提供すること。 - 特許庁

The substrate processing apparatus 1 includes: a nitrohydrofluoric acid nozzle 5 for supplying nitrohydrofluoric acid to the top surface of a wafer W held in a spin chuck 4; and a DIW(deionized water) nozzle 7 for supplying DIW toward the circumferential edge portion of the top surface of the wafer W held in the spin chuck 4.例文帳に追加

基板処理装置１は、スピンチャック４に保持されたウエハＷの上面にフッ硝酸を供給するためのフッ硝酸ノズル５と、スピンチャック４に保持されたウエハＷ上面の周縁部に向けてＤＩＷを供給するためのＤＩＷノズル７とを備えている。 - 特許庁

When a solid sample 1 having a rough on its surface is subjected to a lithography processing, the incident light 2 is inclined within the range of 10° to 60° relative to the normal direction of a substrate surface of the solid sample 1 for exposure, in an exposure process in which a resist is applied for patterning.例文帳に追加

表面に凹凸のある立体サンプル１にリソグラフィー加工を行う際に、レジストを塗布してパターニングを行う露光工程において、入射光２を立体サンプル１の基板面の法線方向に対して、１０°以上６０°以下の範囲で傾斜させて露光する。 - 特許庁

In a state of abutting on the stopper 7 by folding the sheet bundle by the folding plate 8, the folding roller pairs 5 (5a and 5b) of the folding processing means 801 pass through in the sheet width direction orthogonal to the carrying direction of the sheet on a surface crossing substantially vertically with a sheet pushing-out surface of the folding blade 8.例文帳に追加

折りブレード８がシート束を折ってストッパ７に当接させた状態で、折り処理手段８０１の折りローラ対５（５ａ、５ｂ）は、折りブレード８のシート押し出し面と略垂直に交わる面上を、シートの搬送方向と直交するシート幅方向に通過する。 - 特許庁

The material wood marking method is a method for providing material wood data related to the properties of material wood to the end surface of material wood and constituted so as to subject a part of the end surface of the material wood to smoothing processing to provide the marking I of the necessary material wood data thereto.例文帳に追加

本発明の原木マーキング方法は、原木の木口面に原木の性状に関する原木情報を設ける方法であって、この方法は原木の木口面の一部のみを平滑加工し、ここに必要な原木情報のマーキングＩを設けるようにしたことを特徴として成るものである。 - 特許庁

A time series integrated system state information processing part 15 possessed by the integrated system variation determination part prepares the time series integrated system state flat surface for indicating the state variation information of the periphery of the platform door by determining variation of the time exception integrated system state flat surface.例文帳に追加

総合システム変化判定部４ｃが有する時系列総合システム状態情報処理部１５は、時点別総合システム状態平面の変化を求めることで、プラットホームドア周辺の状態変化情報を示す時系列総合システム状態平面を作成する。 - 特許庁

Also, the control part 16 fetches road surface irradiation by the stand-by vehicle at the junction through an image sensor SEN and an image processing MPU 11, and when recognizing a road surface irradiation pattern from the fetched image, the control part 16 returns a vehicle ID signal transmitted from the stand-by vehicle.例文帳に追加

また、制御部１６は、交差路での待機車両による路面照射を画像センサＳＥＮおよび画像処理ＭＰＵ１１を通じて取り込み、この取り込まれた画像から路面照射パターンを認識すると、待機車両から送信された車両ＩＤ信号を返信する。 - 特許庁

In this manufacturing method, the polishing cloth is manufactured by heating and drying the substrate after impregnating the substrate in resin solution, and a pressurization processing of at least a surface side (a side to be a polishing surface) of the substrate is performed by using flat-plate shaped press members 2 and 3, for instance, after the heating and drying (process S10).例文帳に追加

その製造方法では、基材を、樹脂溶液に含浸した後、加熱乾燥して研磨布を製造するが、加熱乾燥後に、基材の少なくとも表面側（研磨面となる側）を、例えば、平板状のプレス部材２，３を用いて加圧処理（工程Ｓ１０）する。 - 特許庁

A releasing film 5 is formed in the recessed part of a press surface 6 corresponding to the shaft part of the glass substrate for the disk, and thereafter this releasing film 5 is subjected to precision processing, by which the mold for forming the glass substrate having the press surface inclusive of the recessed part 4 with high accuracy and having excellent releasing properties is obtained.例文帳に追加

ディスク用ガラス基板の軸部に対応するプレス面６の凹部には、離型膜５を形成した後、この離型膜５を精密加工することにより、凹部４を含むプレス面が高精度で、離型性に優れたガラス基板成形用金型を得るようにしている。 - 特許庁

A coating layer is prepared on a support by coating a coating liquid for an ink receiving layer, and after applying a processing liquid to the coating layer to solidify while the surface of the coating layer is still in the moist condition, the coating layer is pressed onto the heated mirror surface and then dried to get the ink receiving layer.例文帳に追加

支持体上に、インク受理層用塗工液を塗布して塗工層を設け、該塗工層の表面が湿潤状態にある間に塗工層を凝固させる処理液を塗布した後に、該塗工層を加熱した鏡面に圧接、乾燥してインク受理層を設ける。 - 特許庁

For this mat for water section, water absorptive, water permeable and water diffusible cloth is used for surface cloth 1, water shielding cloth is used for back cloth 2, respectively, inner cloth 3 composed of nonwoven fabric to which water repellent processing is executed is disposed between the surface cloth 1 and the back cloth 2, and they are integrated so as not to be separated.例文帳に追加

表布１に吸水・透水性で、かつ水拡散性を有する布地を、裏布２に遮水性を有する布地を、それぞれ用い、表布１と裏布２の間に、撥水加工を施した不織布からなる中布３を配し、これらが分離しないように一体化する。 - 特許庁

To provide a method of surface treatment by which an antiglare layer is formed with a short processing time without necessitating a complicated process, an apparatus for plasma discharge treatment, an antiglare film and an antiglare low reflection film formed by the method of surface treatment and the apparatus for plasma discharge treatment.例文帳に追加

処理時間が短い煩雑な工程を必要としない防眩性を有する層を生成する表面処理方法、及びプラズマ放電処理装置、また、これら表面処理方法及びプラズマ放電処理装置により形成された防眩性フィルム及び防眩性低反射フィルムの提供。 - 特許庁

The fluid ejection device comprises an ejection head 3 having an ejection surface 17 including a nozzle forming region A in which a plurality of nozzles 16 for spraying fluids are formed, and a capping device 14 which is in contact with the ejection surface 17 and performs maintenance processing to the nozzles 16.例文帳に追加

流体を噴射する複数のノズル１６が形成されたノズル形成領域Ａを含む噴射面１７を有する噴射ヘッド３と、噴射面１７に接触し、ノズル１６に対するメンテナンス処理を行うキャッピング装置１４と、を備える流体噴射装置である。 - 特許庁

A processing liquid discharge device includes one or a plurality of injection nozzles which inject gas to the fine liquid crystals remaining on the nozzle surface of the head and push the liquid crystals toward a suction nozzle so as to efficiently remove the remaining liquid crystals by means of a head cleaning unit for cleaning the nozzle surface of the head.例文帳に追加

本発明の処理液吐出装置では、ヘッドのノズル面を洗浄するヘッド洗浄ユニットにて、ヘッドのノズル面に残留する微細液晶を効率的に除去できるように、残留する液晶に気体を噴射してサクションノズル方向に押し出す噴射ノズルを１つ又は複数個設ける。 - 特許庁

The substrate 6 is heated up to a temperature equal to or higher than the boiling temperature of chloride of a group III element (Ga) contained in the substrate 6, and at the same time, the radical generated in plasma of a plasma generator (electrode section 81) is brought into contact with the surface of the substrate 6, thereby processing its surface.例文帳に追加

上記基板６を、その基板６に含まれるIII族元素(Ｇa)の塩化物の沸点以上の温度に加熱し、同時に、プラズマ生成部(電極部８１)のプラズマ中で生成されたラジカルを基板６の表面に接触させることにより、基板６の表面を加工する。 - 特許庁

In configuring the photographic printing device equipped with a relief groove extended in a photographic paper carrying direction on an abutting surface 51S coming into contact with the base surface of the photographic paper in an exposure unit for performing exposure processing of the photographic paper whose back side has been already printed, the width of the relief groove 80 is changed in the carrying direction.例文帳に追加

バックプリント済みの印画紙を露光処理する露光ユニットにおける印画紙のベース面に接触する当接面５１Ｓに、印画紙の搬送方向に延びる逃し溝を備えた写真プリント装置を構成するに、搬送方向において逃し溝８０の幅を変化させる。 - 特許庁

To devise a surface flaw inspection device so as to keep the detection precision of the whole of the inspection surface of an object to be inspected constant, to detect a gentle gradient flaw, not to complicate the processing of measured light receiving data, and to miniaturize the inspection device.例文帳に追加

被検査物の検査面全体の検出精度を一定に保つことができ、勾配の緩やかな欠陥を検出することができるように、また、計測した受光データの処理が複雑でなく、検査装置を小型化できるように、表面欠陥検査装置について工夫すること。 - 特許庁

An elliptic aperture 65a long along the direction perpendicular to a surface of photographic paper 2 conveyed along a processing passage is formed on a side surface of the casing 65, and the section near the end of the shaft 63a is inserted into the casing 65 through the aperture 65a.例文帳に追加

筐体６５の側面には、処理経路に沿って搬送される印画紙２の面に垂直な方向（矢印Ａ方向）に細長な楕円形の開口６５ａが形成されており、シャフト６３ａの端部近傍が開口６５ａから筐体６５内に挿入されている。 - 特許庁

After an internal electrode 5 is formed on the surface of an insulating ceramic 2, a micro gap space 6 is formed in the internal electrode 5 and the ceramic 2 at one processing, and a surge absorbing element 1 can be obtained by pasting other insulating ceramic 3 on its surface.例文帳に追加

絶縁性セラミックス２の表面に、内部電極５を形成した後、内部電極５および絶縁性セラミックス５に、一度の加工によって、マイクロギャップ空間６を形成し、その面に、他の絶縁性セラミックス３を貼り合わせることによってサージ吸収素子１が得られる。 - 特許庁

To provide a surface processing method of a member for OA equipment capable of completely peeling off and removing a functional layer formed on the surface of used member for OA equipment without damaging a base and thus, to reuse and recycle the used member for OA equipment.例文帳に追加

使用済みＯＡ機器用部材表面に形成された機能層を、基材を傷めることなく完全に剥離、除去することができ、これにより使用済みＯＡ機器用部材をリユースやリサイクル可能とすることができるＯＡ機器用部材の表面処理方法を提供する。 - 特許庁

This crop processing device is provided with a striking blade 75 for striking a shearing surface 38a of the upside crop 38 in the joined part and a striking blade 74 for striking the shearing surface 39a of the downside crop 39 and the crops 38, 39 on the upper and lower sides are removed by striking the crops with the striking blades 75, 74.例文帳に追加

接合部における上側のクロップ３８のせん断面３８ａをたたくたたき刃７５と、下側のクロップ３９のせん断面３９ａをたたくたたき刃７４とを備え、たたき刃７５、７４によって上下のクロップ３８、３９たたいて除去するクロップ処理装置。 - 特許庁

A scanner part 232 for a printing accepting machine 230 is provided with a gloss detection sensor 250, and the gloss detection sensor outputs a signal, according to the surface state of a photographic print, and a determination part 258 of an image processing part 120A determines the surface state of the photographic print from the output of the gloss detection sensor.例文帳に追加

プリント受付け機２３０のスキャナ部２３２には、光沢検出センサ２５０が設けられており、写真プリントの表面状態に応じた信号を出力し、画像処理部１２０Ａの判定部２５８は、光沢検出センサの出力から写真プリントの表面状態を判定する。 - 特許庁

To provide a method and device for reforming surface by micro electric discharge that can perform surface reforming on a minimum necessary local area so that processing for improving hydrophilic property may be done only to a targeted desired position by controlling a micro discharge plasma generation area.例文帳に追加

微小放電プラズマの生成領域を制御して処理対象の所望部位のみに親水性を高める処理を施すため、必要最低限の局部領域に対して表面改質を行なうことができる微細放電表面改質方法および装置を提供する。 - 特許庁

The surface processing tool 9 has rolling rollers 10 having central axes of rolling N, and uneven parts 12 in which pressurizing projections 121 having pressurizing surfaces 12f for pressurizing an inner circumferential surface Cs of a casting C and groves 120, are alternatively arranged in a circumferential direction centering on the central axes of rolling N.例文帳に追加

表面加工工具９は、転動中心軸Ｎと、鋳物Ｃの内周面Ｃｓを押圧する押圧面１２ｆをもつ押圧突起１２１および溝１２０が転動中心軸Ｎを中心とした周方向に交互に配設されてなる凹凸部１２とを有する転動ローラ１０をもつ。 - 特許庁

To provide a substrate processing apparatus with a non-contact floating conveyance function which can convey a substrate without touching the lower surface of the substrate and which can process both upper and lower surfaces or only the lower surface of the substrate without causing the contamination of the substrate or roller tracks while transferring the substrate at high speed and stably.例文帳に追加

基板の下面に非接触で基板を搬送し、基板を高速かつ安定的に移動させながら、基板の汚染やローラー痕の生成なく、基板の上下両面又は下面のみに処理を行う、非接触浮上搬送機能を有する基板処理装置を提供する。 - 特許庁

The manufacturing method for windows 4 having electric wave stealth property and/or electromagnetic wave shielding property consists of two steps, a step to form a thin film 2 made from an electric conductive material on the surface of a transparent window member 1 assuming a curved surface and a step to subject the thin film 2 to a processing to generate a mesh form.例文帳に追加

曲面形状をなす透明な窓部材１の表面に、導電性材料からなる薄膜２を形成するステップと、該薄膜２を処理してメッシュ形状に形成するステップとを備える電波ステルス性および／または電磁波シールド性を有する窓４の製造方法を提供する。 - 特許庁

The processing device 1 comprises a developing means 2 provided with a developing member 3 (3A) having a hydrophilicity, and positioned to have a gap to an attached surface P1 of the support P where the specimen S is attached, and a displacement means 4 to displace the developing member 3 (3A) along the attached surface P1.例文帳に追加

この処理装置１は、支持体Ｐの被処理物Ｓの付着面Ｐ１との間に隙間が存在するように位置する親水性を有した展開部材３（３Ａ）と、この展開部材３（３Ａ）を付着面Ｐ１に沿って変位させる変位手段４とを備える展開手段２を有している。 - 特許庁

To provide a chuck table cleaning method, a chuck table cleaning apparatus, and a semiconductor wafer planar processing apparatus for easily removing silicone dust adhered to an adsorption surface of a chuck table, and thereby recovering the adsorption surface of the chuck table in a non-contaminated condition.例文帳に追加

チャックテーブルの吸着面に付着したシリコンダストを容易に除去することができ、これによりチャックテーブルの吸着面を汚れていない状態に再生することができるチャックテーブル洗浄方法、チャックテーブル洗浄装置及び半導体ウェーハ平面加工装置を提供する。 - 特許庁