「processing pressure」に関連した英語例文の一覧と使い方(34ページ目) - Weblio英語例文検索

The method of manufacturing the carbon fiber is provided by which the carbon nanotube having high quality and few structural defects caused by carbon-based impurities is manufactured by controlling the partial pressure of acetylene gas in a vacuum processing chamber to ≤2,000 Pa thereby suppressing the formation of the carbon-based impurities.例文帳に追加

本カーボンファイバ製造方法は、真空処理室内におけるアセチレンガスの分圧を２０００Ｐａ以下に制御することで気中でのカーボン系不純物の生成を抑制して、このカーボン系不純物に起因した構造欠陥が少ない品質に優れたカーボンナノチューブを基板上で製造する。 - 特許庁

To provide a useful method capable of obtaining a high-density green compact by a relatively low compression pressure by appropriately controlling the condition so as to sufficiently demonstrate the rearrangement action of powder elements when manufacturing the green compact by applying compression twisting processing.例文帳に追加

圧縮ねじり加工を適用して圧粉成形体を製造するに際して、粉末素子の再配列作用を十分に発揮できるように、その条件を適切に制御することによって、比較的低い圧縮圧力によって高密度の圧粉成形体を得ることのできる有用な方法を提供する。 - 特許庁

To provide a nuclear power plant that is, even when an entire power source is lost and hydrogen generated in a reactor pressure vessel leaks into a reactor building, capable of safely processing the hydrogen, of preventing a hydrogen explosion and of sealing radioactivity while preventing the reactor building from being damaged.例文帳に追加

全電源喪失が生じ、原子炉圧力容器内で発生した水素が原子炉建屋内に漏洩した場合でも、水素を安全に処理し水素爆発を防ぎ、原子炉建屋の損壊を防止すると共に、放射能を封じ込めることが可能な原子力発電プラントを提供すること。 - 特許庁

To obtain an aliphatic polyester-based biaxially oriented film hardly causing deterioration of planarity, shear and the like in printing or lamination, having excellent processing properties, excellent in hand-tearing properties and torsion properties, and useful as a wrapping film, a film for a pressure- sensitive adhesive tape or the like.例文帳に追加

印刷工程やラミネート工程において平面性悪化や印刷ずれ等が発生しにくく優れた加工適性を有するとともに、手切れ性およびひねり性に優れ、包装用フィルム、粘着テープ用フィルム等として有用な脂肪族ポリエステル系二軸延伸フィルムを提供する。 - 特許庁

To provide a manufacturing technology of a UV-crosslinkable acrylic hot-melt pressure-sensitive adhesive (PSA) in which concentration is readily carried out and a polymer is functionalized by UV light initiator in order to carry out UV crosslink and is crosslinked as the acryl hot melt PSA on a support after coating treatment to enable treatment with hot melt processing.例文帳に追加

濃縮が容易で、ＵＶ架橋のためにＵＶ光開始剤によりポリマーが官能化され、被覆操作後、支持体上でアクリルホットメルトＰＳＡとして架橋される、ホットメルト加工で処理可能であり、ＵＶ架橋が可能なアクリルホットメルトＰＳＡの製造技術。 - 特許庁

To reduce the time and labor of a user as much as possible, to simplify the processing of data and to improve a function in realizing the function of compositing the images of a format original and a normal original inputted by scanner read by a copying machine or the like capable of the scanner read of an ADF (automatic document feeder) and a pressure plate.例文帳に追加

ＡＤＦ・圧板のスキャナ読み取りが可能な複写機等でスキャナ読み取りにより入力されたフォーマット原稿と通常原稿の画像合成を行う機能を実現する際に、ユーザの手間をできるだけ少なくしかつデータの処理を簡単化し機能の向上を図る。 - 特許庁

To provide a sludge recycling system in a soil improvement method capable of minimizing the mixture of a solidifying material component to sludge, effectively using resources, reducing industrial wastes and largely cutting construction and processing costs in the soil improvement method replacing a cut space formed by making use of high pressure cut water or the like with a paste solidifying material.例文帳に追加

高圧の切削水等を利用して形成される切削空間を固練りの固化材で置き換える地盤改良工法において、固化材成分の排泥への混入を最小限に抑え、資源の有効利用、産業廃棄物の削減、工費および処理費の大幅削減を図る。 - 特許庁

The fire detector comprises the sound source part 1 capable of transmitting ultrasonic waves, a control part for controlling the sound source part 1, the wave-receiving element 3 for detecting the sound pressure of the ultrasonic wave transmitted from the sound source part 1; and a signal processing part for determining whether there is a fire, based on the output of the wave-receiving element 3.例文帳に追加

超音波を送波可能な音源部１と、音源部１を制御する制御部と、音源部１から送波された超音波の音圧を検出する受波素子３と、受波素子３の出力に基づいて火災の有無を判断する信号処理部とを備える。 - 特許庁

Subsequently, the transistor interface characteristic is improved by omitting oxygen which has been left in the HfAlOx film 10 in the first PDA by conducting the second PDA under the condition that the temperature is 600°C, nitrogen atmosphere includes partial pressure of oxygen of 1%, and the processing time is 15 minutes.例文帳に追加

続いて、温度が６００℃、酸素分圧が１％の窒素雰囲気、処理時間が１５分の条件で２回目のＰＤＡを行うことにより、１回目のＰＤＡにより生じたＨｆＡｌＯｘ膜１０の酸素抜けを回復させて、トランジスタ界面特性を改善する。 - 特許庁

When a lever interlocking mode is selected, the control circuit 60 computes a command value from the speed command value of a control valve 41 computed by a lever signal processing part 61 so that the set pressure value of the proportional solenoid relief valve 45 is proportional to the operation quantity of an operating lever 71.例文帳に追加

レバー連動モードが選択された場合、制御回路６０は、比例電磁式リリーフ弁４５の設定圧力値が操作レバー７１の操作量に比例するように、レバー信号処理部６１で演算されたコントロール弁４１の速度指令値から指令値を演算する。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a capacitor of a semiconductor element which can form a dielectric film without lowering a step temperature or pressure to avoid the reduction of a step processing quantity, can facilitate the composition adjustment of the dielectric thin film, and can suitably improve a leak current characteristic.例文帳に追加

工程温度や圧力を下げずに誘電膜を形成することができるようになって、工程処理量を減少させないことができ、また、誘電体薄膜の組成調節が容易で、漏れ電流の特性を改善することに好適な半導体素子のキャパシタ製造方法を提供する。 - 特許庁

Since this deformable body vehicle for measuring the pressure comes to deform according to a tension of a boundary portion with the epidermis of the subject, the condition of the deformation is determined by a signal processing and the tension given to the body surface of the diagnostic section pressed by the ultrasonic probe is measured based on it.例文帳に追加

この圧計測用変形体手段が被検体表皮との境界部分の圧力に応じて変形するようになるので、その変形の状態を信号処理で求め、それに基づいて超音波探触子によって圧迫された診断部位の体表に与えられた圧力を計測する。 - 特許庁

To provide a differential exhaust system easy to maintain with a low cost a big pressure difference between a light-generating chamber and an illumination optical chamber for performing an optical processing, such as, exposure using an EUV light generated in the light generating chamber and capable of securing sufficient optical path.例文帳に追加

光発生チャンバーと、光発生チャンバーで生成されたＥＵＶ光を用いて露光などの光学的処理を行う照明光学チャンバーとの間の大きな差圧を低コストで容易に維持でき、且つ十分な光路確保ができる差動排気システムを提供すること。 - 特許庁

The processing apparatus 10 comprises a high pressure discharge chamber 1 in which a low-temperature plasma can be produced, a means 8a for supplying the carbon monoxide-containing gas to be treated into the high voltage discharge chamber, a transport pipe 4 for supplying hydrogen peroxide, and an exhaust means 8b of the treated gas treated in the high voltage discharge chamber.例文帳に追加

処理装置１０は、低温プラズマ発生可能な高圧放電室１、高圧放電室に一酸化炭素含有被処理気体を供給する手段８ａ、過酸化水素を供給する移送管４、高圧放電室で処理された処理済気体の排気手段８ｂを含む。 - 特許庁

In this low-temperature air processing equipment, oxygen is taken out from a rectifying column 7 as a state of gas and temperature- recovered up to around a normal temperature by an air heat exchanger 13 and then the oxygen gas is boosted up to a target product pressure by functioning as an oxygen blower 16 a brake on a normal temperature side of an expansion turbine 6.例文帳に追加

深冷空気分離装置であって、精留塔７から酸素をガスの状態で抜き出し、空気熱交換器１３で常温付近まで温度回復させ、膨張タービン６の常温側のブレーキに酸素ブロワ１６の機能を持たせて、酸素ガスを目的の製品圧力まで昇圧する。 - 特許庁

The display control device causes a display to display an image which shows the sound pressure distribution and the phase distribution of sound of an indicated frequency component as a display object, among sounds emitted in the acoustic space, and the display control device is caused to implement the following processing while changing a phase of the display object.例文帳に追加

音響空間内に放射される音のうち表示対象として指定された周波数成分の音についての音圧分布および位相分布を表わす画像を表示装置に表示させる表示制御装置に、表示対象の位相を変化させつつ、以下の処理を実行させる。 - 特許庁

Since this conveyance system is provided with the tray comprising carbon having a region for mounting a processing object, and the carbon rail with carbon blocks spread on a surface for transferring the tray, the friction coefficient of the surface thereof never increases even when the system is used in a high-temperature state, whereby the system is suitable for conveyance by, for instance, pressure drive.例文帳に追加

カーボンからなり、処理品が載置される領域を有するトレーと、当該トレーを移送する面にカーボンブロックが敷き詰められたカーボンレールとを具備することとしたので、高温状態で使用しても表面の摩擦係数が上がらないため、例えばプッシャー駆動による搬送に好適である。 - 特許庁

This moisture-permeable waterproof camouflage fabric is printed by a camouflage pattern showing ≥5% reflectance of fabric surface and ≤60% multistage reflectance in an infrared wavelength range from 1,000 nm to 1,400 nm and is subjected to moisture permeable waterproof processing having ≥2 kg/cm2 waterproof pressure and ≥5,000 g/m2.24 hours moisture permeability.例文帳に追加

１０００ｎｍから１４００ｎｍの赤外線波長領域において、布帛表面反射率が５％以上、６０％以下の多段階反射率を示す迷彩模様を捺染し、２kg/cm^2以上の耐水圧と５０００g/m^2・24hrs以上の透湿性を有する透湿防水加工を施す。 - 特許庁

To prevent a mixing of impurities such as a synthetic resin and the like into a material of a vessel body to be re-utilized and to certainly discharge a filler by separating and processing the vessel body and a valve mechanism when a pressure vessel remained with the filler is wasted and processed.例文帳に追加

充填物が残留している圧力容器を廃棄処理するに際し、容器本体と弁機構を分離して処理することで、再利用をはかる容器本体の材料に合成樹脂等の不純物の混入を防止し、且つ充填物を確実に排出させる。 - 特許庁

To provide a heat-developable photosensitive material free of fogging due to pressure, less liable to pinhole trouble, etc., due to adhesion of dust in electrification and easy to handle with respect to a heat-developable photosensitive material rolled up in a lightproof cassette, having high sensitivity and adaptable to rapid processing.例文帳に追加

遮光カセットにロール状に巻装され、高感度で、迅速処理に適合した熱現像感光材料において、圧力によるカブリの発生がなく、帯電でのゴミ付着によるピンホール故障等の少ない、取扱いが容易な熱現像感光材料を提供する。 - 特許庁

A substrate processing device has a transfer roller 6 of the substrate 3 substantially in the horizontal direction, an air knife nozzle 3 for flowing mixed gas containing water soluble organic solvent at the concentration range of 0.05% to 90% under the substrate vapor pressure on the surface of the substrate 3 after washing transferred substantially in the horizontal direction.例文帳に追加

基板３を略水平方向に搬送用ローラ６と、略水平方向に搬送される洗浄後の基板３表面に、水溶性有機溶剤を飽和蒸気圧の０．０５％〜９０％の濃度範囲で含む混合気体を狭い空間から吹き付けるエアナイフノズル３を有する。 - 特許庁

This device comprises a temperature rise control part 15 for processing input present speed and pressure as predetermined and outputting a first switch instruction and a switch part 16 to be controlled by the first switch instruction for controlling the ON/OFF of a power supply to a fan motor 7a.例文帳に追加

現在速度および現在圧力を入力として所定の処理を行って第１のスイッチ指令を出力する昇温制御部１５と、第１のスイッチ指令により制御されてファンモータ７ａへの供給電源のＯＮ／ＯＦＦを制御するスイッチ部１６とを有している。 - 特許庁

Thus the front and back, left and right cross turn can be realized with a simple constitution, the pressure loss at the refrigerant side can be reduced, the distribution of temperature can be improved, left and right air volumes can be independently controlled, the processing can be simplified, the number of components can be reduced, the productivity can be improved, and the cost can be reduced.例文帳に追加

これにより、より簡素な構成で前後左右クロスターンを実現することができ、冷媒側の圧力損失の低減・温度分布の改善・左右風量独立制御を可能とすると共に、簡易な加工・部品点数の低減などで生産性が向上し、コストを抑えることができる。 - 特許庁

To provide a blade support member for an electrophotographic apparatus, the support member ensuring the contact pressure of a blade with respect to a photoreceptor drum, developing roller, or the like and capable of suppressing occurrence of defects such as image failure and nonuniform image density, and to provide a bending processing method for it.例文帳に追加

本発明は、感光体ドラムまたは現像ローラ等に対するブレードの接触圧を確保することができ、画像不良および画像濃度ムラ等の不具合の発生を抑えることができる電子写真装置用ブレードのブレード支持部材とその折曲げ加法を提供する。 - 特許庁

The sleeve inner surface 1a of the resin 10 after the impregnation (a) is cut on a processing condition where temperature exceeding the highest temperature of the sleeve in using of a predetermined dynamic-pressure bearing is applied to the processed surface, and the sleeve inner surface 1a is finished to a desired dimension (b).例文帳に追加

また、樹脂１０の含浸後（ａ）のスリーブ内周面１ａに、予め求めた動圧軸受の使用時におけるスリーブの最高温度を越える温度が加工面に加わる加工条件で切削加工を施し、このスリーブ内周面１ａを所要の寸法に仕上げる（ｂ）。 - 特許庁

To provide a small sized image forming apparatus with a simple structure, which allows improvement in usability in opening/closing of a door in a jam processing with an auxiliary means applying force in a locking direction when a front door is closed and applying force in the opening direction when opening the front door in a pressure releasing mechanism linked to the front door.例文帳に追加

前ドア連動の圧解除機構において、前ドアを閉じる際はロック方向に力を加え、前ドアを開く際は、開く方向に力を加える補助手段を有することでジャム処理時のドア開閉のユーザビリティ性を向上させ、構成が簡単で小型の画像形成装置を提供する。 - 特許庁

A laminated film formed by providing PET-G films 10 and 12 on both the surfaces of an antenna sheet film 1 and PET films 11 and 13 outside the PET-G films 10 and 12 is softened by being held at specified temperature for a certain time without being applied with pressure to perform preheating processing.例文帳に追加

アンテナシートフィルム１の両面にはＰＥＴ−Ｇフィルム１０、１２が設けられ、該ＰＥＴ−Ｇフィルム１０、１２の外側にはＰＥＴフィルム１１、１３が設けられて構成された積層フィルムを所定の温度で圧力をかけずに一定時間保持しフィルムを軟化させ、予熱処理を行う。 - 特許庁

A sensor output processing part 11 counts the output time of the detection signal, and application of the pressure which is not intended by the user is determined to stop output of the detection signal in the case that the output time of the detection signal from the sensor 10 is equal to or longer than a first set time which is set beforehand.例文帳に追加

センサ出力処理部１１は、検出信号の出力時間を計時し、センサ１０からの検出信号の出力時間が予め設定してある第１設定時間以上の場合は、ユーザが意図しない圧力付加であると判断して検出信号の出力を停止する。 - 特許庁

A control device 62 controls the hydraulic circuit 30 to reduce brake oil pressure to the wheel cylinders 21-24 by program processing when the brake pedal BP is depressed in the state of a vehicle being in a low-speed four-wheel drive state and the wheels FW1, FW2, RW1, RW2 being in the slip state.例文帳に追加

制御装置６２は、プログラム処理により、車両が低速４輪駆動状態にあり、車輪ＦＷ１，ＦＷ２，ＲＷ１，ＲＷ２がスリップ状態にあり、かつブレーキペダルＢＰが踏み込み操作されたとき、油圧回路装置３０を制御してホイールシリンダ２１〜２４に対するブレーキ油圧を低減する。 - 特許庁

The metal processing oil composition comprises an ester oil, a hydrocarbon oil and an extreme pressure agent in an amount of 0.005-20 mass% based on the whole amount of the composition, and has a kinematic viscosity of at most 37 mm^2/s at 40°C and a flashing point of 250°C or higher.例文帳に追加

本発明の金属加工油組成物は、エステル油と、炭化水素油と、組成物全量基準で０．００５〜２０質量％の極圧剤とを含有し、４０℃における動粘度が３７ｍｍ^２／ｓ以下であり、かつ、引火点が２５０℃以上であることを特徴とする。 - 特許庁

To provide a pressure-sensitive adhesive tape for use in semiconductor substrate processing which suppresses the external discharge of such an adhesive scrape, film substrate scrape and semiconductor substrate scrap as generated at the time of cutting in the dicing process, and simultaneously which prevents a semiconductor element from the contamination.例文帳に追加

半導体基板加工用粘着テープが、ダイシング工程において、切断時に発生した粘着剤屑、フィルム基材屑、半導体基板屑の外部排出を抑制し、同時に半導体素子の汚染を防止する特徴を有する半導体基板加工用粘着テープを提供するものである。 - 特許庁

A printer drives a pressure generating means after the ink ejection by the recording head at a timing of canceling the vibration of a meniscus M in the nozzle 43 to damp the vibration of the meniscus, thereby executing processing of promoting the alignment of the luster system pigment aligned along the gas-liquid interface of the meniscus.例文帳に追加

プリンターは、記録ヘッドによるインク噴射動作の後、ノズル４３におけるメニスカスＭの振動を相殺するタイミングで圧力発生手段を駆動して当該メニスカスを制振させることで、メニスカスの気液界面に沿った光輝系顔料の配向を促進させる処理を実行する。 - 特許庁

The arithmetic processing device 20 then calculates the air-fuel ratio or/and the EGR rate in a cylinder to which the cylinder internal pressure sensor 5 is attached, from the values of the calculated combustion state quantities on the basis of the relationship between the combustion state quantities and the air-fuel ratio and EGR rate stored in advance.例文帳に追加

次いで、演算処理装置２０が、予め記憶した燃焼状態量と空燃比およびＥＧＲ率との間の関係に基づいて、算出した燃焼状態量の値から、筒内圧センサ５が取り付けられた気筒における空燃比または／およびＥＧＲ率を計算する。 - 特許庁

To provide an intermediate plate for manufacturing a resin base substrate excellent in releasability and heat resistance, capable of molding a prepreg under pressure and heating without hindrance even if release paper is omitted at the time of hot press processing and capable of improving the releasability of the prepreg and a hot plate.例文帳に追加

本発明は、離型性と耐熱性に優れ、本発明は熱プレス加工の際に離型紙を省略してもプリプレグを支障なく加圧加熱成形することができ、プリプレグと熱板との離型性も良好とすることができる樹脂ベース基板製造用中間板の提供を目的とする。 - 特許庁

To easily enable information processing closer to tactile sensation which a human being has for various uses in different fields, such as the surface conditions of paper, various uneven patterns, etc., an input device to an information apparatus, etc., concerning various tactile information, such as temperature, pressure, etc., without damaging the device.例文帳に追加

温度や圧力等の各種触覚情報について、各種の凹凸パターン、紙などの表面状態、情報機器への入力デバイスなど、異なる分野の幅広い用途に人間の持つ触覚により近い情報処理を安易にデバイスを損ねることなく可能とする。 - 特許庁

When the amount of PM deposits obtained based on an output from a differential pressure sensor 34 is a predetermined determination value or below, an air/fuel ratio A/F of an EGR gas fed to the EGR catalyst 28 is controlled to a theoretical air/fuel ratio when regeneration processing for eliminating PM from the EGR catalyst 28 is made.例文帳に追加

差圧センサ３４の出力に基づいて取得されたＰＭ堆積量が所定の判定値以下である場合には、ＥＧＲ触媒２８からＰＭを除去する再生処理時に、ＥＧＲ触媒２８に供給されるＥＧＲガスの空燃比Ａ／Ｆを理論空燃比に制御する。 - 特許庁

Under these processing conditions, the distance between the catalytic substance 3 and the substrate 10 is larger and a film-forming pressure is lower than the conventional film- forming conditions, increasing a mean free path of a reaction gas while suppressing the gas phase reaction thereof, resulting in the formation of an insulation film having prosper coverage.例文帳に追加

このようなプロセス条件下では、従来の成膜条件に比較して触媒体３と基板１０との距離が大きく、成膜圧力が低圧化されるため、反応ガスの平均自由行路が増加され、反応ガスの気相反応が抑制され、カバレッジのよい絶縁膜を形成できる。 - 特許庁

A sensor output processing circuit of a combustion pressure sensor 24 is provided with a bottom value holding circuit 50 having a capacitor 52 for holding a bottom value of an output of the sensor 24, and a differential amplifier 62 for obtaining difference between an output of the sensor 24 and an output of the holding circuit 50.例文帳に追加

燃焼圧センサ２４のセンサ出力処理回路は、燃焼圧センサ２４の出力のボトム値ホールド用のコンデンサ５２を有するボトム値ホールド回路５０と、燃焼圧センサ２４の出力とボトム値ホールド回路５０の出力の差をとる差動増幅器６２を備えている。 - 特許庁

The fire detector is provided with a sound source part 1 transmitting an ultrasonic wave, a control part 2 for controlling the sound source part 1, a wave receiving element 3 for detecting a sound pressure of the ultrasonic wave transmitted from the sound source part 1, and a signal processing part 4 for determining a fire based on an output of the wave receiving element 3.例文帳に追加

超音波を送波可能な音源部１と、音源部１を制御する制御部２と、音源部１から送波された超音波の音圧を検出する受波素子３と、受波素子３の出力に基づいて火災の有無を判断する信号処理部４とを備える。 - 特許庁

When the sound signal processing unit receives an N-channel reproduction signal (S101), M-sets of transfer functions generated on the basis of a sound pressure measured at M-sets of measurement positions enclosing an enclosed curved surface from each reproduction signal on an outer circumference of the enclosed curved surface are convoluted (S102).例文帳に追加

Ｎチャンネルの再生信号を入力した場合（Ｓ１０１）、各再生信号に対して、閉曲面の外周上において、前記閉曲面内を包囲するＭ個の測定位置で測定された音圧に基づいて生成されたＭ個の伝達関数を畳み込む（Ｓ１０２）。 - 特許庁

To provide a fold-up device for a printing paper sheet even if it has a tendency to be laid aslant as inherent nature according to its material quality or processing accuracy or such a tendency is promoted by a fixation device of hot pressure roll type, whereby it is practicable to fold up a large quantity of such paper sheets without generating a jam.例文帳に追加

紙質や加工精度などによって、元来斜積する傾向のある用紙や、加熱、加圧ロール方式の定着装置によって、斜積する傾向が助長された用紙でも、ジャムを発生させることなく、大量に折り畳むことのできる印刷用紙折り畳み装置を提供する。 - 特許庁

The derivation processing part 104 computes a pulse wave component based on the waveform before and after the specific component and the waveform of the specific component, for example, and determines the value obtained by adding a prescribed value to the maximum blood pressure value estimated based on the amplitude of the pulse wave component as the target value for pressurization.例文帳に追加

導出処理部１０４は、たとえば、特定成分の前後の波形と特定成分の波形とに基づいて脈波成分を算出し、脈波成分の振幅に基づいて推定される最高血圧値に所定値を加算した値を、加圧目標値として決定する。 - 特許庁

A protective film 107 of a carbon polymer is formed on a sidewall of a polysilicon film 105 with plasma containing carbon after the polysilicon film 105 is etched to prevent side etching and sidewall roughening of the polysilicon film 105 even when the metal material 104 forming a lower-layer film is subjected to etching processing with plasma of halogen-based gas under etching conditions of volatility increased by keeping a wafer at higher temperature and processing pressure lower.例文帳に追加

ポリシリコン膜１０５をエッチングした後に、カーボンを含むプラズマによりポリシリコン膜１０５の側壁にカーボンポリマの保護膜１０７を形成させることで、ウェハの高温化や処理圧力の低圧力化により揮発性をあげたエッチング条件下で、ハロゲン系ガスのプラズマにより下層膜である金属材料１０４のエッチング処理を行っても、ポリシリコン膜１０５のサイドエッチ及び側壁荒れを防止することができる。 - 特許庁

In the cleaning method of semiconductor production equipment performing a predetermined production processing by supplying reactive gas into a chamber 10, matters adhering in the chamber are removed by exhausting the chamber 10 while supplying first inert gas heated at a first temperature and pressurized at a predetermined pressure, and second inert gas cooled to a second temperature lower than the first temperature and pressurized at a predetermined pressure alternately into the chamber.例文帳に追加

反応性ガスをチャンバー内に供給して所定の製造処理を行う半導体製造装置のクリーニング方法において，第１の温度に加熱され所定の圧力に加圧された第１の不活性ガスと，第１の温度より低い第２の温度に冷却され所定の圧力に加圧された第２の不活性ガスとを交互にチャンバー内に供給しながら，チャンバーを排気してチャンバー内に付着した付着物を除去する。 - 特許庁

A combustion type waste gas processing apparatus includes a combustion cylinder composed of an outer cylinder and an inner cylinder on which atmosphere introduction means is provided, a waste gas combustion nozzle provided on a bottom in the inner cylinder and including a waste gas flow passage and a fuel gas supply passage disposed concentrically around the waste gas flow passage, and means for supplying combustion assist gas having pressure higher than the atmospheric pressure into the inner cylinder.例文帳に追加

本発明の燃焼式排ガス処理装置は、外筒と大気の導入手段が設けられている内筒とからなる燃焼筒と、前記内筒内の底部に設けられ且つ排ガス流路と該排ガス流路の周囲に同心円状に配された燃料ガス供給路とを有する排ガス燃焼ノズルと、大気圧以上の圧力を有する支燃性ガスを内筒内に供給する手段とを備えるという構成を採用することにより得ることができる。 - 特許庁