「surface generation」に関連した英語例文の一覧と使い方(60ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide a textile generating negative ions, exhibiting the effect of a filler to the maximum by exposing the filler having an effect on organisms such as the generation of minus ions to the surface of the textile.例文帳に追加

マイナスイオンの生成等の生体への効能効果を有する充填物を繊維製品表面に露出させることにより、かかる充填物の効果を最大限発揮させることのできるマイナスイオン等発生繊維製品を得ることを目的とする。 - 特許庁

To provide a marine organism adhesion preventing device which efficiently generates oxygen, effectively prevents the adhesion of marine organisms to an inlet channel wall surface, and prevents the corrosion of stainless steel band bodies when oxygen generation is stopped.例文帳に追加

酸素を効率よく発生させることができ、取水路内壁面の海生生物の付着を有効に防止することが可能で、酸素発生停止時のステンレス鋼帯状体の腐食を防止できる海生生物付着防止装置を提供する。 - 特許庁

Since the substrate processing apparatus 1 holds the substrate 90 on the substrate holding plate 20 in the non-contact state, generation of peeling charge on the surface of the substrate 90 can be prevented when the substrate 90 is separated from the substrate holding plate 20.例文帳に追加

また、基板処理装置１は、基板９０を基板保持プレート２０上に非接触で保持するため、基板保持プレート２０から基板９０を引き離すときに、基板９０の表面に剥離帯電が発生することを防止することができる。 - 特許庁

To keep good vibration characteristic by restraining generation of a stress to a crystal piece and to easily realize miniaturization in a surface mount crystal oscillator wherein the crystal piece and an IC chip with an integrated oscillation circuit are integrated.例文帳に追加

水晶片と、発振回路を集積化したＩＣチップとを一体化した表面実装水晶発振器において、水晶片に対する応力の発生が抑制されて振動特性が良好に維持されるとともに、小型化を容易にする。 - 特許庁

By coating the surface of barium sulfate with the carbon material, electric conductivity in the vicinity of barium sulfate can be enhanced, and the generation of a lead sulfate crystal in the discharge reaction is facilitated to improve the high-rate discharge characteristic.例文帳に追加

硫酸バリウムの表面に炭素材を被覆することによって、硫酸バリウム近傍の電気伝導性を高めることができ、放電反応時における硫酸鉛結晶生成を容易にさせ、効率放電特性を向上させることができる。 - 特許庁

The class I molecules expressed to a high density on the surface of the Drosophila cells are empty, allowing for efficient loading of multiple peptides that results in the generation of polyclonal responses recognizing tumor cells endogenously expressing the specific peptides.例文帳に追加

ショウジョウバエ（Ｄｒｏｓｏｐｈｉｌａ）細胞の表面上に高密度まで発現されたクラスＩ分子は空であり、特異的ペプチドを内因性に発現する腫瘍細胞を認識するポリクローナル応答の生成をもたらす複数のペプチドの効率的な添加を見込む。 - 特許庁

To provide a proton conductive resin composition and an electrode structure which enlarges the surface area of a catalyst used for power generation and keep profile stability of an electrode and suitable jointing capability between a membrane and the electrode.例文帳に追加

本発明は、発電に利用される触媒表面積を増大させるとともに、電極の形状安定性，膜−電極間の接合性を良好に保つためのプロトン伝導性樹脂組成ならびに電極構造を提供するものである。 - 特許庁

The production method for basic magnesium carbonate-covered composite particles comprises mixing inorganic particles in a generation step of basic magnesium carbonate to cover the surface of the inorganic particles as the core particles with flaky microcrystals of basic magnesium carbonate.例文帳に追加

塩基性炭酸マグネシウムの生成過程において、無機微粒子を混合することにより無機微粒子を核として、その表面を塩基性炭酸マグネシウムの薄片状微細結晶により覆って塩基性炭酸マグネシウム被覆複合粒子を製造する。 - 特許庁

To prevent the generation of scale defects by surely peeling scale generated on the surface of a material to be rolled by adding a relatively simple device without elevating the pressure of a descaling device before finish rolling in a hot-rolling line for hot-rolled steel sheets.例文帳に追加

熱延鋼板の熱間圧延ラインにおいて、仕上圧延前のデスケーリング装置の高圧化を図ることなく、比較的簡易な装置の付加だけで、被圧延材表面に生成したスケールを確実に剥離させ、スケール疵の発生を防止する。 - 特許庁

Consequently, without very slight vibration generation following the servo-control for the positioning in the case of keeping the substrate stage 116 and the head 110 at prescribed positions, the cross-sectional surface area of the paste 60 can be properly measured.例文帳に追加

これにより、基板ステージ１１６やヘッド１１０を所定位置に留まらせようとする場合に、位置合わせのためのサーボ制御に伴う微小な振動が生じることがなく、ペースト６０の断面積の測定を適切に行うことが可能となる。 - 特許庁

To provide a thin film solar cell which is improved in light utilization factor and power generation efficiency by restraining light incident on a photo voltaic transducer layer from decreasing in volume, even if the light reflects on the surface and a light condensing/reflecting element.例文帳に追加

表面反射光があっても、光電変換層に入射される光量を減少させないようにして、光利用効率を高めて、発電効率を高くすることができる薄膜太陽電池及び集光反射素子を提供すること。 - 特許庁

A heat generation layer M and/or a microwave shielding layer S formed in a predetermined pattern by overlaying the internal surface of a container 10 with conductive polymers, thereby providing the container 10 to be heated by microwaves with a plurality of food materials stored and positioned in a container body 11.例文帳に追加

容器１０の内面に、導電性高分子を積層して所定パターンに形成された発熱層Ｍ及び／又はマイクロ波シールド層Ｓを形成し、容器本体１１に複数の食材を収納配置したマイクロ波加熱用容器１０とする。 - 特許庁

To prevent generation of an offensive smell and also to avoid surely the corrosion of a gate spindle by removing early foreign matters which stick to a rising part of the gate spindle rising above the water surface and are drawn up thereby at the time of full opening of a regulating gate, or the like.例文帳に追加

制水扉の全開時などにおいて水面の上位に上昇するゲートスピンドルの上昇部分に付着して引揚げられた異物を早期に除去して、異臭の発生を防止するとともに、ゲートスピンドルの腐食を確実に避ける。 - 特許庁

A generation frequency of a pixel having an amplitude larger than a threshold is calculated in each Wavelet component, thereby extracting a fine surface characteristic of the recording medium 304 precisely, and discriminating the kind of the recording medium 304 highly accurately.例文帳に追加

各Ｗａｖｅｌｅｔ成分において閾値以上の振幅を持つ画素の発生頻度を算出することにより、記録媒体３０４の表面の微少な特徴を的確に抽出し、記録媒体３０４の種類をより高い精度で判別する。 - 特許庁

Since the fuel cooling device having this constitution cools the fuel surface where the vaporized fuel is generated, it is possible to efficiently cool the fuel in the fuel tank, thereby preventing the generation of the vaporized fuel.例文帳に追加

このように燃料冷却装置を構成し、蒸発燃料が発生する部分である燃料液面を冷却することで、燃料タンク内の燃料を効率的に冷却することができ、蒸発燃料の発生を抑えることが可能となる。 - 特許庁

To prevent generation of rotation load to sliders under conditions including those where large external force acts on a saw blade housing and where a wheel rolls on cutting chips and the like adhering to an upper surface of a second guide rail.例文帳に追加

切断中に大きな外力が鋸刃ハウジング１１に作用した場合、又は第２ガイドレール９の上面に付着した切粉等の上を車輪４９が転動した場合等において、スライダ３７，３９に回転負荷が発生しないようにする。 - 特許庁

As the result, the shock energy absorbing member 83 is plastically deformed to absorb the shock energy, thus preventing generation of the large shock caused by the collision of the edge surface 13 on the front side of the vehicle body side of the upper column 1 with the lower bracket 6 on the vehicle body side.例文帳に追加

この結果、衝撃エネルギー吸収部材８３が塑性変形して、衝撃エネルギーを吸収し、アッパーコラム１の車体前方側端面１３が車体側ロアーブラケット６に衝突して、大きな衝撃力が発生するのを防止する。 - 特許庁

In this way, the generation of the scale on the surface of the steel plate S after finish rolling is suppressed and yet the steel plate is softly cooled between the finishing mill 1 and the hot straightening machine 3 so that irregular cooling is not caused on the steel plate S.例文帳に追加

これにより、仕上圧延後の厚鋼板Ｓの表面におけるスケールの発生を抑制し、なお且つ、厚鋼板Ｓに冷却ムラが生じないよう仕上圧延機１と熱間矯正機３との間で厚鋼板を緩冷却することができる。 - 特許庁

To provide a method for continuous casting, which enables the manufacture of a cast ingot having excellent surface quality by preventing the generation of shrinkages and cracks even when continuously casting high aluminum steel containing 0.1% or more of aluminum.例文帳に追加

Ａｌ含有量が０．１％以上であるような高Ａｌ鋼を連続鋳造によって製造する場合でも、凹みや鋳片の割れの発生を防止して、表面品質に優れた鋳片を製造できる連続鋳造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a semiconductor device capable of producing a semiconductor device disposed apart from a second insulating film by a predetermined distance on a self-alignment, and reducing a generation of leak current in an upper part of a boundary surface between the second insulating film and a single crystal layer.例文帳に追加

第２絶縁膜からセルフアラインに所定の距離だけ離して半導体素子を形成可能で、第２絶縁膜と単結晶層との界面の上部でのリーク電流の発生の低減が可能な半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a fireproof covering structure with a condensation prevention function that prevents the generation of condensation on the member surface of a steel frame or the like, improves waterproofness for maintaining fireproof performance, and can be subjected to facing, and a fireproof covering method.例文帳に追加

鉄骨等の部材表面に結露の発生を防止し、耐水性を向上させることにより耐火性能を維持し、化粧仕上げをすることが可能な結露防止機能を有する耐火被覆構造及び耐火被覆工法を提供する。 - 特許庁

To provide a mold releasing polyester film wherein defects such a pinhole and the like derived from a film surface projection are not generated in a green sheet, and generation of defects of the green sheet caused by flaws and a working process can be suppressed.例文帳に追加

グリーンシートにフィルム表面突起由来のピンホール等の欠点を発生させず、かつ製造工程や加工工程で発生する傷や削れに起因するグリーンシートの欠点の発生を抑制することができる離型ポリエステルフィルムを提供する。 - 特許庁

Generally, an aromatic polyamide resin has a glass transition temperature higher than 150°C, so it is higher than the glass transition temperature of a transparent composite resin sheet of PET, PEN, a norbornane-based resin and so on, and it is capable of effectively preventing the generation of wrinkles on the sheet surface.例文帳に追加

一般的に芳香族ポリアミド樹脂は、ガラス転移温度が１５０℃以上あるためＰＥＴ、ＰＥＮ、ノルボルネン系樹脂等の透明合成樹脂シートのガラス転移温度より高く、シート表面の皺の発生を有効に防止することができる。 - 特許庁

To improve quality and reduce a cost by reducing friction of a printing form for the mounting face of a surface plate, preventing occurrence of damage, dispensing with lubricity treatment for friction reduction, and suppressing generation of static electricity to reduce load for conveyance.例文帳に追加

定盤の載置面に対する印刷版の摩擦を低減して、傷の発生を防止するとともに摩擦低減のための潤滑処理を不要とし、さらに静電気の発生を抑えて搬送のための負荷を低減し、品質の向上と低コスト化を図る。 - 特許庁

To provide an image forming apparatus which removes a foreign matter with a cleaning member even when the foreign matter, etc. invades into between a belt-like image carrier and a roller which supports it, prevents a damage on the rear surface of the image carrier and suppresses generation of a stripe-like image.例文帳に追加

ベルト状像担持体とそれを懸架するローラとの間に異物等が混入しても清掃部材により異物を除去し、像担持体の裏面が傷つくことを防止し、スジ画像の発生を抑制する画像形成装置を提供する。 - 特許庁

To prevent the generation of surface discharge, an earth fault, and the breakage of a high-voltage cutout itself, by supporting the high-voltage cutout without using a cross arm such as an electric pole, even if abnormal voltage is generated in a high-voltage distribution line.例文帳に追加

高圧カットアウトを電柱等の腕金を用いずに支持することにより、高圧配電線に異常電圧が発生した場合であっても、沿面放電を発生させないようにして、地絡事故及び高圧カットアウト自体の破損を防止する。 - 特許庁

To break a brittle material such as single plate or laminated glass having a scribed surface formed on the surface layer by thermal stress raised by the heating with the laser irradiation and the cooling with the spray of a cooling liquid over the whole thickenss of the material as high positioning precision and a clean state free from the generation of cullet are kept.例文帳に追加

レーザビーム照射による加熱と冷却液噴霧による冷却によって惹起される熱応力に起因して、表面層にスクライブ面を発生させた単板あるいは合わせガラスなどの脆性材料において、高い位置精度やカレット発生のないクリーンな状態を維持したまま、材料の全厚みにわたってブレークを行うこと。 - 特許庁

To provide a garbage deodorizing tool to be fixed to the rear surface of the lid of a garbage container and/or a deodorizing container for garbage having a lid to whose rear surface the described deodorizing tool is fixed, capable of suppressing generation of bad smell by scattering an appropriate amount of a solution of a garbage deodorizer onto the garbage and thereby preventing it from becoming rotten.例文帳に追加

生ゴミに適切な量の生ゴミ用防臭剤の溶解液を簡単な構造により散布し、生ゴミの腐敗を防止して悪臭の発生を抑制することができる、生ゴミ収納容器の蓋の裏面に固定することができる生ゴミ用防臭具や、生ゴミ用防臭具が蓋裏面に固着された生ゴミ収納用防臭容器を提供すること。 - 特許庁

A regular mesh generation portion 105 assumes a shaped parallelepiped enclosing the shape to be meshed, divides the parallelepiped in a meshed manner by the hexahedral element whose distance between the nodes has the substantially same density as the triangular mesh on the surface to generate a regular mesh, and divides the regular mesh located inside the triangular mesh on the surface of geometry model into a tetrahedral meshed manner.例文帳に追加

規則メッシュ生成部１０５は、メッシング対象形状を包含する直方体形状を仮定して、それを節点間距離が表面３角形メッシュとほぼ同一密度である６面体要素でメッシュ分割して規則メッシュを生成し、形状表面３角形メッシュの内部に位置する規則メッシュを４面体メッシュに分割する。 - 特許庁

To prevent the generation of coating nonuniformity and the cutting of decorative paper of a paper base material during lamination caused by the deterioration of processability by the decrease of the strength of the paper base material by ionizing radiation even when the surface resin layer of the decorative paper which is incorporated with inorganic particles is crosslinked by being irradiated with the ionizing radiation to improve surface properties such as abrasion resistance.例文帳に追加

紙基材の化粧紙で、耐摩耗性等の表面物性向上の為に無機質粒子含有の表面樹脂層を電離放射線照射で架橋形成した構成としても、塗布ムラ無く、なお且つ電離放射線による紙基材の強度劣化で加工性が低下してラミネート時に紙切れが起きない様にする。 - 特許庁

To perform no reversal treatment of front/back surface relative to tab paper and to smoothly prepare a recorded object by previously preventing generation of failure of conveying of the tab paper when the tab paper is inserted to predetermined page of the recorded object constituted by a plurality of sheets of both surface image recorded papers as insertion paper and when an image such as an index letter is formed on a tab part of the tab paper.例文帳に追加

複数枚の両面画像記録済用紙によって構成される記録物の所定頁に合い紙としてタブ紙を挿入する際や、タブ紙のタブ部分に見出し文字等の画像を形成する際に、タブ紙に対する表裏面の反転処理を行わないようにし、タブ紙の搬送不良の発生を未然に防止して記録物を円滑に作成する。 - 特許庁

By setting a plasma condition (a diffusion distance or a pressure) and a mask shape (the opening width) so as to avoid a region with a hydrogen plasma amount in which etching and polymer generation that drastically increase the unevenness occur simultaneously on its surface, a shape with different etching depths can be processed in the same plane while suppressing the unevenness on the surface.例文帳に追加

表面で凹凸を著しく増加させるようなエッチングとポリマーの生成が同時に起きるような水素プラズマ量の領域を避けるように、プラズマ条件（拡散距離または圧力）とマスク形状（開口部幅）を設定することにより、表面の凹凸を抑制して同一面内でエッチング深さが異なる形状を加工することができる。 - 特許庁

To provide a replacement method with inert gas which has a high replacement effect near liquid surface, has adaptation even for upper and lower parts of the liquid surface and hardly causes splashing and charge generation due to inert gas blowing when replacing a gas phase part in a vessel having at least one kind of liquid and at least one kind of combustible substance therein.例文帳に追加

内部に少なくとも１種の液体と少なくとも１種の可燃性物質を有する容器内の気相部を不活性ガスで置換するにあたり、液面近傍の置換効果が高く、液面の上下に対しても適応性を有し、不活性ガス吹き込みによる飛沫発生や静電気発生が少ない不活性ガスによる置換方法を提供する。 - 特許庁

To provide a magnetic resonance apparatus excellent in spatial resolution by making a high frequency magnetic field deeply into an object to be measured and improving precision of a high frequency magnetic field generation coil in the magnetic resonance apparatus of a type which makes a sensor head scan on a surface to be measured and the magnetic resonance apparatus of an open type which generates a static magnetic field on an open surface.例文帳に追加

センサヘッドを測定対象面上で走査させるタイプの磁気共鳴装置であって、開放面に静磁場を発生させるオープンタイプの磁気共鳴装置において、測定対象に深く高周波磁場を入り込ませることができ、かつ高周波磁場発生コイルの精度がよく、空間的分解能に優れた磁気共鳴装置を提供する。 - 特許庁

The purification device comprises a purification tank 1, an air bubble generator 2 having a pipe 3 introduced under the water surface in the purification tank 1, and converting air fed into the pipe 3 into air bubbles by discharging the air from the air bubble generation part 5 installed at the lower end of the pipe 3, and a fibrous electrode 61 installed under the water surface inside of the pipe 3.例文帳に追加

浄化装置は、浄化槽１と、浄化槽１の内部の水面下へ導かれる導管３を有し導管３内へ送り込まれた空気を導管３の下端部に設けられた気泡発生部５より送り出して気泡化する気泡発生装置２と、前記導管３内の水面下の位置に設けられる繊維状電極６１とから成る。 - 特許庁

Equal pressure is applied to the back of a quartz vibrator substrate by a gas hermetically sealing line LB, with respect to the change in the pressure applied to the surface of the quartz vibrator 13 by the sample solution driven by the liquid feed pump 21 and the pressures applied to the surface and back of the quartz vibrator substrate are made to reach equilibrium, to eliminate generation of strains in the substrate.例文帳に追加

送液ポンプ２１で駆動される試料溶液によって水晶振動子１３の表面に加えられる圧力変化に対して、気体密封ラインＬＢにより同等の圧力を水晶振動子基板の裏面に加え、水晶振動子基板の表裏面に加えられる圧力を平衡させてその歪み発生を無くす。 - 特許庁

This method for producing the iron-coated rice seeds is characterized by forming the coating layer on the surface of the rice seeds using the oxidation reaction of the iron, by bringing iron powder and ≥1 kind selected from the group consisting of carbon powder, powder of superphosphate of lime and mineral acid iron powder as accelerating agents of heat generation, in contact with water on the surface of the rice seeds.例文帳に追加

稲種子表面で、鉄粉、及び、発熱促進剤として炭素粉末、過燐酸石灰粉末及び鉱酸鉄粉末からなる群より選ばれた１種以上と、水とを接触させることによって、稲種子表面に鉄の酸化反応によるコーティング層を形成させることを特徴とする鉄コーティング稲種子の製造方法である。 - 特許庁

To provide a plating device capable of forming a metal plating uniform in film thickness which is capable of reducing the depth of a plating tank, and preventing abnormal consumption of an additive in a plating solution through oxidizing decomposition, or generation of plating defects on a surface of a substrate to be plated or in small pores and grooves formed in the surface caused by the generated oxygen.例文帳に追加

めっき槽の深さ寸法を小さくでき、めっき液中の添加剤が酸化分解し異常に消耗したり、発生する酸素により被めっき基板の表面や該表面に形成された微細な孔や溝中にめっき欠陥が発生することなく、均一な膜厚の金属めっきができるめっき装置を提供すること。 - 特許庁

To provide an electrode wire for high-speed machining for preventing short circuit between the electrode wire and an object to be machined, and not only increasing machining speed but also suppressing loss in machining precision and generation of fine lines and metal powder on the machined surface, by preventing granular matter of a copper-zinc diffused alloy layer formed on the outer peripheral surface of the electrode wire from peeling from a core wire.例文帳に追加

電極線外周面に形成した銅-亜鉛拡散合金層の粒状物を芯線から剥離し難くすることによって、電極線と加工対象物間での短絡を防止して、加工速度の向上だけでなく、加工精度の低下、加工面の微細スジ・金属粉の発生を抑えた高速加工用電極線を提供する。 - 特許庁

To provide a filter consisting of a nickel porous body which can inhibit generation of product failure by surely removing fine particles contained in washing water used in a surface treatment process of an aluminum material to inhibit adhesion of the fine particles to the surface of the aluminum material after being washed, and can be used repeatedly by backwashing.例文帳に追加

本発明は、アルミニウム材料の表面処理工程において使用される洗浄水中に含まれる微粒子を確実に除去し、洗浄後のアルミニウム材料の表面における微粒子の付着を防いで、製品不良の発生を抑えるとともに、逆洗により繰り返し使用することのできるニッケルの多孔質体のフィルターを提供することにある。 - 特許庁

To provide an electric junction box having a plurality of electric component mounting sections which are opened on an upper surface, and having a new structure capable of (1) achieving a drainage groove for preventing water from remaining on the upper surface without requiring any special space, and (2) effectively solving the problem with heat generation from electric components.例文帳に追加

上面に開口して多数の電気部品装着部が設けられた電気接続箱において、（一）上面への水の滞留を防止する排水用溝を特別なスペースを必要とすることなく実現することが出来ると共に、（二）電気部品における発熱の問題を効果的に解消し得る、新規な構造の電気接続箱を提供すること。 - 特許庁

In the machining method in which two dimensional ultrasonic microvibration of a machining tool is caused by the simultaneous generation of longitudinal vibration in a direction perpendicular to the machining surface of a head and lateral vibration in a direction parallel to the machining surface, constant pressure or constant cutting out machining is carried out using two dimensional ultrasonic wave vibration machining head to which a fixed abrasive grain machining tool is affixed.例文帳に追加

加工工具の２次元超音波微振動がヘッドの加工面に垂直な方向の縦振動と加工面に平行な方向の横振動の同時発生によって引き起こされる加工法において、固定砥粒加工工具を貼り付けた２次元超音波振動加工ヘッドを用いて定圧か定切込加工を行う。 - 特許庁

This light emitting device 10A comprises an emitter part 14 formed of a dielectric; a negative electrode 16 formed on the front surface of the emitter part 14; a positive electrode 20 formed on the back surface of the emitter part 14; and a pulse generation source 22 for applying a drive voltage Va between the negative electrode 16 and the positive electrode 20 through a resistor R1.例文帳に追加

発光装置１０Ａは、誘電体から構成されたエミッタ部１４と、該エミッタ部１４の表面に形成されたカソード電極１６と、エミッタ部１４の裏面に形成されたアノード電極２０と、カソード電極１６とアノード電極２０間に、抵抗Ｒ１を介して駆動電圧Ｖａを印加するパルス発生源２２とを有する。 - 特許庁

The electron beams EB are radiated from an outgoing window 40g of an electron beam generation unit 40A, 40B to a substrate surface while being scanned in a scanning direction (a first direction) Y, and a substrate W concerned is moved in a horizontally moving direction (a second direction) X and the electron beams EB are radiated to the substrate surface Wf two-dimensionally.例文帳に追加

電子ビーム発生ユニット４０Ａ，４０Ｂの出射窓４０ｇから電子ビームＥＢがスキャン方向（第１方向）Ｙに走査されながら基板表面に照射されるとともに、当該基板Ｗが水平移動方向（第２方向）Ｘに移動して基板表面Ｗｆに対して電子ビームＥＢが２次元的に照射される。 - 特許庁

To create a high-frequency power supply means effectively controlling standing wave generated among electrodes being a disincentive of generation of uniform plasm having large area and high density necessary to improve productivity in an application for a surface treatment of high-frequency plasma; and to provide an apparatus for a surface treatment for a thin film Si system solar cell, a TFT or the like with a high productivity.例文帳に追加

高周波プラズマの表面処理への応用での生産性向上に必要な大面積・高密度・均一のプラズマ生成の阻害要因である電極間に発生の定在波を、効果的に制御する高周波電力供給手段を創出し、薄膜Ｓｉ系太陽電池・ＴＦＴ等の高生産性の表面処理装置を提供すること。 - 特許庁