「surface table」に関連した英語例文の一覧と使い方(34ページ目) - Weblio英語例文検索

While film formation is developed by sputtering, a grounding surface is covered with an insulation film adhered to the first adhesion preventive plate 13a and a wafer 11a, and a plasma tends to spread outwardly from a clearance between a table 12 and the double-structured adhesion preventive plates 13a and 13b.例文帳に追加

スパッタリングによる成膜が進行すると、第１の防着板１３ａとウエハ１１ａとに絶縁膜が付着して接地面が見えなくなり、プラズマはテーブル１２と二重構造の防着板１３ａ，１３ｂ間の隙間から外に広がろうとする。 - 特許庁

The thin film stripping test method and the apparatus use a method for testing and beating the test piece (3) having the thin film (3b) formed on one surface and fixed to a support table (15) on the side (3D) opposite to the thin film by using the mass element (14) such as the hammer etc.例文帳に追加

本発明による薄膜剥離試験方法および装置は、一表面に薄膜（３ｂ）が形成され支持台（１５）に固定された試験片（３）の反薄膜側（３Ｄ）を質量体（１４ハンマ等）により打撃して試験する方法である。 - 特許庁

To provide a vessel having an applicator in which the applicator can consistently reach fluid by inclining and holding the vessel according to the volume of the content on the horizontal surface of a table or the like, and the content can be used to the last while holding the vessel in one hand.例文帳に追加

塗布具付き容器において、容器をテーブルなどの水平面上で、中味の量に合わせて容器を傾けて保持できるようにすることで塗布具が流体に常に届く状態にし、片手で最後まで使えるようにすることを課題とする。 - 特許庁

A plurality of LEDs 20, each emitting either one of three primary colors of light, that is, the light of red color, blue color, or green color, are respectively attached to a main attachment section 11 of photodetector attachment table 10 constructed in a form of a spherical surface.例文帳に追加

それぞれが、光の三原色である赤色、青色、緑色の光のいずれかを出射する複数のＬＥＤ２０が、球面状に構成された発光素子取付台１０の取付本体部１１にそれぞれ取り付けられている。 - 特許庁

The spur gear 89 is provided integrally with a drive gear 91, which is meshed with the annular rack 41 formed on the rim of the lower surface of the rotating table 35 projecting from an opening 45 of the bottom wall 21 of the article housing case 5.例文帳に追加

平歯車８９には、一体に駆動歯車９１が設けられており、これは物品収納ケース５の底壁２１の開口４５から突出する回転盤３５の下面周縁に形成された環状のラック４１とかみ合っている。 - 特許庁

The pusher slider 42 is moved from a position P1 to a position P2, and a substrate 100 loaded on a carrying-in substrate holder 20 is pressed by the inner side surface of the first arm to move the substrate 100 on a substrate holder 16 in a table positioned at a carrying-in waiting position T1.例文帳に追加

プッシャスライダを位置Ｐ１からＰ２に移動して、搬入基板ホルダ（２０）の上に載置された基板（１００）を第１アームの内側面で押して搬入待機位置Ｔ１に位置せしめられているテーブル内基板ホルダ（１６）上に移す。 - 特許庁

A split mold which vulcanizes and molds tire is retained in a mold retaining means 14, and the mold-retaining means 14 is laid on a rotating table 16, so that the radial and the axial distances to the inner surface of the split mold are measured by a measuring means 14.例文帳に追加

タイヤを加硫成型する割モールドをモールド保持手段１４に保持し、モールド保持手段１４を回転台１６に載置して、測定手段１４により割モールドの内面までの内径方向および軸心方向の距離を測定する。 - 特許庁

If the work W1 is scanned only in the longitudinal direction, surface unevenness, waviness, etc., in the longitudinal direction can not be removed satisfactorily, so that the scan is performed with the table 20 swung in the longitudinal direction by controlling the rotation in regular and reverse direction of a stepping motor 21.例文帳に追加

ワークＷ_1 を長手方向に走査するのみでは長手方向の凹凸やうねり等を充分除去することができないため、ステッピングモータ２１の正逆回転を制御することで載置台２０を長手方向に揺動させながら走査する。 - 特許庁

Next, recessing or cutting processing exceeding the maximum thickness of the chip 3 is carried out along the cutting schedule line 2, and then after sticking the protective tape 5 on the surface thereof, the wafer 1 is held on the chuck table 17 of a grinding processing apparatus 10 with the backside thereof being exposed.例文帳に追加

次に切断予定ライン２に、チップ３の最大厚さを超える溝加工か、もしくは切断加工を施し、表面に保護テープ５を貼着してから、研削加工装置１０のチャックテーブル１７上に裏面を露出させてウェーハ１を保持する。 - 特許庁

The paste applicator is configured to install vibration isolating means at both ends of a support frame (a gate-shape frame ) for a Z axis table for supporting a coating head of the applicator and also to reduce the relative vibration of a nozzle and the surface of a substrate during coating operation.例文帳に追加

本発明は塗布機の塗布ヘッドを支持するＺ軸テーブル支持架台（門型フレーム）の両端に振動絶縁手段を設置し、塗布動作時のノズルと基板表面の相対振動を低減できるようにペースト塗布機を構成している。 - 特許庁

The scale 24 housed in the grooves 21 and 22 of a table saw 1 is constituted of the scale main body 25 having graduations entered in its surface and has a key hole-shaped notch 26 formed in its end part and the adjusting spring 27 connected to the notch 26 of the scale main body 25.例文帳に追加

テーブルソー１の溝２１，２２内へ収容されるスケール２４は、上面に目盛を表記し、端部に鍵穴状の切欠き２６を形成したスケール本体２５と、そのスケール本体２５の切欠き２６に連結される調整スプリング２７とからなる。 - 特許庁

A rotary caulking machine is used for securing two workpieces so as to be rockable while using the rivet as the axis by pressure-contacting and rotating a rotary punch on the upper end surface of the rivet formed by inserting into a through-hole of two workpieces laid on a table in piled-up state.例文帳に追加

テーブル上に重ねて載置した２枚のワークの貫通孔に挿通して成るリベットの上端面にロータリーパンチを圧接して回転させることによりリベットを軸とする揺動が可能なように２枚のワークを締着するロータリーカシメ機。 - 特許庁

To provide a tray for table setting excellent in durability, impact resistance, and form stability, hardly bent and deformed on its surface even when load is applied on a placing part of the tray during storage, etc., and method of rationally manufacturing the same.例文帳に追加

保管時等にトレイの載置部分に荷重がかかった場合であっても、表面が反り曲がって変形しにくく耐久性や耐衝撃性に優れ、形態安定性も良好な配膳用トレイ、およびそれを合理的に製造する方法を提供すること。 - 特許庁

To produce a nonwoven opening fabric having functionality to various uses such as the surface sheets absorbing articles, medical materials such as gauze, table cloth, wet tissue, dish cloth, wiping materials such as wiper or the like, having a characteristic opening pattern excellent in design.例文帳に追加

吸収性物品の表面シート、ガーゼなどのメディカル資材、テーブルクロス、あるいはウェットティッシュ、ふきん、ワイパー他の拭き取り材等の様々な用途に対して機能性を有し、かつ意匠性に優れた独特の開孔パターンを有する不織布を提供する。 - 特許庁

A crane support steal material 4 and a crane reinforcing steel material 5 integrated with each other by a crane joint steel material 46 are provided on an optional corner of a table upper surface on this workbench, and a crane beam reinforcing steel material 3 and a crane beam 2 are provided on each rotating pipe 50.例文帳に追加

テーブル上面の任意の角隅に、クレーン柱ジョイント鋼材（４６）で、１本化されたクレーン柱鋼材（４）とクレーン補強鋼材（５）を設けると共に、回転パイプ（５０）にそれぞれ、クレーンビーム補強鋼材（３）とクレーンビーム（２）を設ける。 - 特許庁

After the polishing pad 3 is stuck on the surface 2a of the hollow dorm 2 of a polisher head 1 having the hollow dorm 2 formed of an elastic member, the polishing pad 3 is held by the receiving table 61 and the pressing jig 62 of a press 60 and pressed with a force of approximately 75 kg.例文帳に追加

弾性部材からなる中空ドーム２を備えたポリシャヘッド１の中空ドーム２の表面２ａに研磨パッド３を貼り付けた後、プレス装置６０の受け台６１と加圧冶具６２とで挟んで、７５ｋｇ程度の力でプレスする。 - 特許庁

Two pieces of wooden sheets 3 wherein a synthetic resin film 4a is formed on a surface are allowed to lie between a pair of opposed pressing components 1 and 1 on a table 2 wherein a space W is changeable, and a heater 5 is provided in a freely frequentable manner between two pieces of the wooden sheets.例文帳に追加

対向した間隔Ｗが可変するテーブル２上の一対の押圧部材１、１間に、表面に合成樹脂膜４ａを形成した木製薄板３の２片を介在させ、２片の木製薄板間に出没自在にヒーター５を設けた。 - 特許庁

When the optical disk D is appressed to the holding surface 210b of the holding table 210 and held normally, the opening part of the air sucking port 210a is completely covered, and the air is not introduced from the outside, thereby the vacuum pressure in the piping is increased (Figure 1 (b)).例文帳に追加

一方、光ディスクＤが保持テーブル２１０の保持面２１０ｂに密着して正常に保持されると、エアー吸引口２１０ａの開口部が完全に覆われ、外部からエアーが浸入せず、配管内の真空圧力が高くなる（図１（ｂ））。 - 特許庁

The unit electronic component mounting apparatuses 2 includes a transfer line 11 of a substrate 8 on the center of the upper surface of a base 10, as well as an XY-table mechanism composed of a feed screw 12 in X-direction, a feed screw 13 in Y-direction, and motors 18, 19.例文帳に追加

単位電子部品実装装置２は基台１０の上面中央に基板８の搬送路１１を設け、またＸ方向の送りねじ１２、Ｙ方向の送りねじ１３、モータ１８，１９から成るＸＹテーブル機構を設けて構成される。 - 特許庁

This table is provided with a lower unit 30 mounted on a floor, an upper unit 32 having a placing surface 50a for placing a finisher 12, and a fixing means for fixing the upper and lower units 32 and 30 such that heights are freely adjusted.例文帳に追加

フロア上に載置される下ユニット３０と、フィニッシャ１２が載置される載置面５０ａを備えた上ユニット３２と、上ユニット３２を下ユニット３０に対し高さ調整自在に固着することができる固着手段とを備えてなるフィニッシャの載置用テーブル。 - 特許庁

The corrosion-resistant member 3 consisting of a sintered body composed mainly of at least one kind selected from Group II or Group III elements of the periodic table, is joined to the surface of the ceramic base material 2 through a mutual diffusion layer 4 between the ceramic base material 2 and the corrosion-resistant member 3.例文帳に追加

セラミック基材２表面に、周期律表第２族あるいは第３族元素の少なくとも１種を主成分とする焼結体から成る耐食材３を、前記セラミック基材２と耐食材３との相互拡散層４を介して接合する。 - 特許庁

By mounting the slip stopper on the left or right or at the upper and lower parts of the chopping board matched with the use, the chopping board is slightly floated from the work table, and the chopping board is fixed so as not to easily slip by slip stopping work on the surface of the slip stopper.例文帳に追加

用途に合わせ、まな板の左右または上下のどちらかに滑り止めを装着することによって、まな板を作業台からわずかに浮かせ、滑り止めの表面の滑り止め加工により、まな板を滑りにくく固定させる。 - 特許庁

In a structure of the horizontal projection apparatus, a step part 12 is provided on the four sides of a display part 11 in the central part of the top surface of the apparatus body 1 of the horizontal projection apparatus; a frame-like table part 13 is mounted in the step part 12; and the display part 11 is fitted into the frame part 14.例文帳に追加

水平型投影装置の装置本体１の上面中央部分のディスプレイ部１１の四周に段部１２を設け、そこに枠状のテーブル部１３を装着し、かつ枠部１４内にディスプレイ部１１を嵌着する構造である。 - 特許庁

The resist and the single-crystal semiconductor layer can also be grounded together with the foundation semiconductor layer through a grounding terminal by fixing the SOI substrate under the state on a sample table having the grounding terminal on a surface by using an electrostatic attraction method.例文帳に追加

この状態のＳＯＩ基板を、表面に接地端子を備えた試料台に静電吸着法を用いて固定することで、接地端子を介して下地半導体層とともにレジストおよび単結晶半導体層も接地することが可能となる。 - 特許庁

When the upper surface of the Bucky table 30 fits the standard height, the standard height is determined in almost all of anatomical cases in such a way that the horizontal width of the measuring region (lumbar spine 42) of the subject 40 fits into the width of a fanbeam 22.例文帳に追加

基準高さは、ブッキー台３０の上面がこの基準高さに合っているとき、解剖学的に見てほとんどの場合に、被検体４０の測定対象部位（腰椎４２）の左右方向の幅がファンビーム２２の幅に合うように定められている。 - 特許庁

To perform film deposition processing with high in-plane uniformity in an ALD in which a plurality of semiconductor wafers are arranged along the circumferential direction of a table in a vacuum chamber and two reactant gases are sequentially supplied to the surface of the substrates for film deposition.例文帳に追加

真空容器内にてテーブルの周方向に沿って複数の半導体ウェハを配置し、２種類の反応ガスを順番に基板の表面に供給して成膜するＡＬＤにおいて面内均一性高く成膜処理を行うこと。 - 特許庁

The substrate table WT includes a drainage groove, i.e. a barrier 40 which surrounds an outer peripheral edge of the substrate W and a barrier 100 which surrounds another object 20 like a sensor present on substantially the same plane with a top surface of the substrate.例文帳に追加

基板テーブルＷＴは基板Ｗの外周縁を取り囲む排液溝すなわち障壁４０と、基板Ｗの上面と実質的に同じ平面に存在するセンサーのような別の対象２０を取り囲む障壁１００を備える。 - 特許庁

A process computing portion 15 calculates a polishing rate estimated value by substituting the polishing pressure, the table rotating motor current, the surface temperature of the polishing pad, and the polishing pad remaining thickness recorded in the data recording portion 14 into a predetermined model expression.例文帳に追加

プロセス演算部１５は、データ記録部１４に記録された研磨圧力、テーブル回転モータ電流、研磨パッドの表面温度および研磨パッド残厚の平均値を、予め作成されたモデル式に代入して研磨レート予測値を算出する。 - 特許庁

The method of manufacturing a solar cell device of semiconductor comprises the steps of: doping a semiconductor wafer before a diffusion process with a group IV element on the periodic table, its compound or a mixture containing any of them from the surface layer becoming the light receiving surface side; and repairing crystal damage by annealing.例文帳に追加

また半導体の太陽電池デバイスの製造方法において、拡散工程前の半導体ウエハに対し、元素周期律表の第ＩＶ族元素又はその化合物或いはその何れかを含む混合物を受光面側となる表層からドーピングし、アニーリングにより結晶ダメージを修復することを特徴とする太陽電池デバイスの製造方法の構成とした。 - 特許庁

The bag hanging unit 201 is accommodated in the accommodation part 151 in a first accommodation mode where the bag holders 217 are exposed from the upper-surface opening 105 with a bag-hanging panel 211 directed upward, and a second mode where an opposite ground side is disposed on the same surface as the article table 103 with the bag-hanging panel 211 directed downward.例文帳に追加

袋掛ユニット２０１は、袋掛面２１１を上向きにして上面開口部１０５から袋保持部２１７を露出させる第１の収納態様と、袋掛面２１１を下向きにして反対側の接地面を商品載置面１０３と同一面上に配置する第２の収納態様との二態様で収納部１５１に収納される。 - 特許庁

A top surface position H of a dicing tape (supporting member) 6 stuck on the backside of a wafer (workpiece) 1 held by a holding table 20 is detected by noncontact type detecting means 30, and the dicing tape 6 is cut together with the wafer 1 by means of a cutting blade 13 located in a position in which a predetermined cutting depth value h is reduced from the top surface position H.例文帳に追加

保持テーブル２０で保持されたウェーハ（被加工物）１の裏面に貼着されているダイシングテープ（支持部材）６の上面位置Ｈを非接触式検出手段３０で検出し、該上面位置Ｈから所定の切り込み深さ値ｈを減じた位置に位置付けた切削ブレード１３によってウェーハ１とともにダイシングテープ６を切削する。 - 特許庁

In this grinding method, a glass panel 4 is placed and fixed onto a rotating table 5 to be rotated, and a supporting plate 1 arranged by plural grinding wheels 2 is rotatably pushed to the panel 4 from the upper part while continuously supplying grinding fluid containing an abrasive material abrasive grain to a grinding surface from a nozzle 3, thereby grinding a face surface while dressing the wheels 2 by the said grain.例文帳に追加

回転テーブル５上にガラスパネル４を載置固定し回転させ、ノズル３から研磨剤砥粒を含有する研削液を研削面に連続的に供給しつつ、上方から複数の砥石２を配置した支持板１を回転させながらガラスパネルに押しつけ、前記研磨剤砥粒により砥石をドレッシングしながらフェース面を研削する。 - 特許庁

The box tube bending die is equipped with a pair of holders 11 and 12 mounted on an upper table, the punch 15 which is freely turnably supported via a turning shaft 16 on the one holder 11 and is supported on an abutting surface 19 of the other holder 12 and a pressure plate 22 which is freely turnably mounted on the holder 12 formed by the abutting surface 19 and fixes the punch 15.例文帳に追加

上部テーブルに装着される一対のホルダ１１，１２と、前記一方のホルダ１１に回動軸１６を介して回動自在に支えられ、前記他方のホルダ１２の当接面１９に支えられるパンチ１５と、前記当接面１９が形成のホルダ１２に回動自在に取付られ、前記パンチ１５を固定する押え板２２を備えている。 - 特許庁

Before a new battery placed on the transport means 15 is transported to the table 14b, the drive controller 27 controls the transport belts 16, 17 such that an inclination on a horizontal surface of the new battery is adjusted to equal to an inclination on a horizontal surface of the battery detected by an inclination detection means 29 when being transported from a battery storage 43 to the transport means 15.例文帳に追加

駆動制御装置27は搬送手段15上に載置された新たなバッテリがテーブル14ｂに移載される前に、新たなバッテリの水平面における傾きを、バッテリ収納部43から搬送手段15上に移載された際に傾き検出手段29で検出されたバッテリの水平面における傾きに合わせるように、両搬送ベルト16，17を制御する。 - 特許庁

The sheet sticking device includes a pressing unit 14 of pressing and sticking the adhesive sheet S fed to a position where it faces a surface W1 of a semiconductor wafer W supported on a table 13, and a non-adhesion processing unit 15 of applying a non-adhesion processing agent to a corresponding region Sa, corresponding to the semiconductor wafer W, of the adhesive sheet S as a processing surface portion.例文帳に追加

テーブル１３に支持された半導体ウエハＷの表面Ｗ１に臨む位置に繰り出された接着シートＳを押圧して貼付する押圧手段１４と、半導体ウエハＷに対応する接着シートＳの対応領域Ｓａを処理面部として不接着処理剤を塗布する不接着処理手段１５とを備えている。 - 特許庁

In a method of processing a wafer 20 having a surface on which bumps B are formed and a surface protection film 11 is adhered, the edge face of a housing 40 placed around a table 51 for holding the wafer thereon is ground so as to be a predetermined thickness and the wafer is placed on the housing with its backside 22 being upwards.例文帳に追加

表面にバンプＢが形成されていて該表面に表面保護フィルム１１が貼付けられているウェーハ２０を処理する処理方法においては、ウェーハを保持するテーブル５１の周りに配置された筒体４０の端面を所定の厚さまで研削し、ウェーハの裏面２２を上方に向けた状態で、ウェーハを筒体に配置する。 - 特許庁

At least one kind selected from the group consisting of the oxides and multiple oxides contg. at least one kind of group 2-14 metallic element of the periodic table having 12-82 atomic number is stuck to the surface of a metallic nickel fine particle, and further a saturated or unsaturated fatty acid is deposited on the surface to constitute the composite nickel fine powder.例文帳に追加

金属ニッケル微粒子表面に、原子番号１２〜８２の範囲内で周期表の２〜１４族に属する金属元素の少なくとも１種を含む酸化物及び複合酸化物からなる群より選ばれる少なくとも１種が固着しており、更にその表面上に飽和又は不飽和の脂肪酸が担持されている複合ニッケル微粉末。 - 特許庁

A seal plate 30 for preventing a short path of exhaust gas is fitted to the peripheral part of a catalyst packing frame 2 to protrude to the inner surface of the casing 1, and the seal guide 31 engaged with the seal plate 30 is fitted to the inner surface of the casing 1 through a heat insulation table 50 so that the seal plate 30 can slide freely when the frame is heat-expanded.例文帳に追加

触媒充填枠体２の周縁部に、排ガスのショートパス防止用のシールプレート３０をケーシング１内面側へ張り出すように取り付けると共に、ケーシング１内面に、前記触媒充填枠体２の熱膨張時にシールプレート３０がスライド自在となるよう該シールプレート３０と係合するシールガイド３１を遮熱台５０を介して取り付ける。 - 特許庁

On the temperature control device 80, surface temperature of a fixing roller 61 is calculated by using a temperature corresponding table 124 on which corresponding relation between a value of output voltage of an NTC thermistor 101 for detecting heat of infrared-ray from a fixing roller 61 and surface temperature of the fixing roller 61 is shown at every value of output voltage of the NTC thermistor 102 for compensation.例文帳に追加

温度制御装置８０は、定着ローラ６１からの赤外線による熱を検知するＮＴＣサーミスタ１０１の出力電圧値と定着ローラ６１の表面温度との対応関係が補償用のＮＴＣサーミスタ１０２の出力電圧値ごとに示された温度対応テーブル１２４を用いて定着ローラ６１の表面温度を算出する。 - 特許庁

The test piece placing table 10 includes a placing surface 12 where a positioning hole 13 for inserting a sprue and receiving is formed, and a sprue is inserted and received in the hole 13 to place the injection molded test piece and a positioning guide 14 projected over the placing surface, to which the side egdge of a multi-purpose test piece 5 is pressed to be positioned.例文帳に追加

試験片載置台１０は、スプルーを挿入受容する位置決め穴１３が形成されてこの穴１３にスプルーを挿入受容させて射出成型試験片を載置させる載置面１２と、この載置面から突出して多目的試験片５の側縁を当接させて位置決めする位置決めガイド１４とを備えて構成される。 - 特許庁

In carrying out lapping by moving a sheet-like elongated rectangular workpiece 2 held onto a lapping plate 1, relatively to a lapping surface table 3, the workpiece 2 is held onto a rubber plate 4 with a flat surface for abutting on the workpiece 2, and a thin-walled part 5 is formed at the rubber plate 4 to adjust polishing speed distribution.例文帳に追加

ラッププレート１上に保持される薄板細長矩形状のワーク２をラップ定盤３に対して相対移動させてラップ加工を施す際に、 前記ワーク２を、ラッププレート１表面に貼り付けられ、ワーク２当接面が平坦なゴムプレート４上に保持し、 かつ、ゴムプレート４に薄肉部５を形成して研磨速度の分布を調整する。 - 特許庁

To excellently embed a thin film into a recess formed on the surface of a substrate in forming the thin film by sequentially supplying at least two kinds of reactant gases reacting with each other in a vacuum chamber to the surface of the substrate on a rotation table and executing this supply cycle to laminate layers of a reaction product.例文帳に追加

真空容器内にて互いに反応する少なくとも２種類の反応ガスを順番に回転テーブル上の基板の表面に供給しかつこの供給サイクルを実行することにより反応生成物の層を積層して薄膜を形成するにあたり、基板の表面に形成された凹部内に薄膜を良好に埋め込むこと。 - 特許庁

When the work to be processed is held by any of first and second ceramic jigs 100 and 101 on a chuck table 55 having a holding surface 55c and insulating regions 55d, 55e, a jig identifying means 80 for discriminating between the ceramic jigs 100 and 101 is provided to previously know one of the jigs mounted on the chuck table 55.例文帳に追加

保持面５５ｃと絶縁領域５５ｄ、５５ｅとから構成されるチャックテーブル５５に、第一のセラミックス治具１００、第二のセラミックス治具１０１のいずれかを介して被加工物が保持される場合において、第一のセラミックス治具１００と第二のセラミックス治具１０１とを判別する治具判別手段８０を配設することにより、チャックテーブル５５にどちらのセラミックス治具が搭載されているかを予め把握する。 - 特許庁

The processing apparatus for the semiconductor wafer which grinds or polishes a reverse surface of the semiconductor wafer having a mark indicating crystal orientation at an outer periphery includes a positioning means having a rotatable holding table and detecting the mark of the semiconductor wafer to position the semiconductor wafer in the predetermined direction, and a spinner cleaning device having a spinner table for cleaning or spin-drying the semiconductor wafer having been ground or polished.例文帳に追加

外周に結晶方位を示すマークを備えた半導体ウエーハの裏面を研削又は研磨する半導体ウエーハの加工装置であって、回転可能な保持テーブルを有し、半導体ウエーハのマークを検出して半導体ウエーハを所定の向きに位置付ける位置合わせ手段と、研削又は研磨された半導体ウエーハを洗浄及びスピン乾燥するスピンナテーブルを有するスピンナ洗浄装置を備えている。 - 特許庁

A specimen having a metallic thin film formed on the upper surface of the transparent electrode is disposed on a specimen stage in a chamber of a parallel flat plasma etching apparatus, a gas containing fluorine atom is introduced into the chamber, and applying a high frequency voltage between the specimen table, and an opposite electrode disposed to be faced to the specimen table so as to etch the metallic thin film with the plasma.例文帳に追加

本発明は、透明電極の上面に形成された金属薄膜を有する試料を平行平板型プラズマエッチング装置のチャンバ内の試料台上に配置し、該チャンバ内にフッ素原子を含むガスを導入し、該試料台と該試料台に対面して設置された対向電極との間に高周波電圧を印加して前記金属薄膜をプラズマエッチングする補助電極の形成方法である。 - 特許庁