「fitting method」に関連した英語例文の一覧と使い方(52ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide a die head which is capable of accurately making the gap size of the slit gap constant to the die head longitudinal direction even if a first and second die blocks which are thinly weight-reduced are clamped using the proper torque of a bolt, and to provide a manufacturing and fitting method of a die head.例文帳に追加

薄く軽量化した第一及び第二ダイブロックをボルトの適正トルクを用いて締結した場合においてもスリットギャップのギャップ寸法をダイヘッド長手方向に高精度で一定とすることの可能なダイヘッド及びそのダイヘッドの製作、組み付け方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for controlling an automatic transmission for determining synchronization of an input shaft and an output shaft accurately without causing delay in time even when rotational speed of the output shaft cannot be detected, shortening speed change operation time, and reducing mechanical shock caused by fitting operation.例文帳に追加

出力軸の回転速度が検出できない場合であっても、入力軸と出力軸との同期判定を時間遅れなく正確に行うことができ、変速操作時間を短縮できるとともに、嵌入操作による機械的なショックの小さい、自動変速機の制御方法を提供する。 - 特許庁

In a method of installing a jig such as a chuck at an end portion of an output shaft 1 of a motor, the material of the output shaft 1 and the material of the jig 2 is made to have different linear expansion coefficients, and an end of the output shaft 1 and the jig 2 are united by shrinkage fitting.例文帳に追加

モータの出力軸１の端部にチャックなどの治具を装着する方法において、出力軸１の材料と治具２の材料をそれぞれ線膨張係数の異なる材料とし、出力軸１端と治具２を焼き嵌めで結合するものである。 - 特許庁

To provide a through cylinder body, a cylinder body, a fitting member and a through cylinder body applying method allowing the through cylinder body to be held easily in a stable state between forms in a place where a space between the forms is narrow and structural skeletons such as a wall and a beam of a building are stretched around.例文帳に追加

建築物の壁、梁等の構造駆体が張り巡らされ、型枠間の間隔の狭い場所において、貫通筒体を型枠間に容易にかつ安定した状態で保持させることができる貫通筒体、筒本体、取付部材及び貫通筒体の使用方法を提供する。 - 特許庁

To provide a pipe fitting connecting method and a connecting tool used in connection capable of establishing the coupling certainly in a short time even if a pressure exists in the piping while the overflow amount of the pressure fluid is lessened and generating a large thrust force using a simple constitution.例文帳に追加

配管内に圧力があっても短時間に、しかも圧力流体のこぼれ量を少なくして確実に結合することが出来、簡単な構成により大きな推力を得ることが出来る管継手の接続方法及びその接続に用いる接続治具を提供する。 - 特許庁

To form recesses of various profiles including a reverse tapered one on any surface of a carbon base member in a step of pressurizing and sintering in a method of manufacturing a carbon base member having recesses for engagement, fitting or the like with other members by sintering.例文帳に追加

他部材との係合や嵌合等をするための凹部が形成されたカーボン基材を焼結により製造する方法において、加圧、焼結を行う工程で、カーボン基材の表面の何れの面に、逆テーパを含む種々の形状の凹部が形成できるように構成する。 - 特許庁

To provide a battery state monitoring device provided with the approximate expression calculation system and its method capable of calculating the approximate expression calculation system indicating the relationship between the battery terminal voltage and the elapsed time after finishing the charge or discharge which are precisely fitting to the actual measurement value.例文帳に追加

実測値と精度良くフィッティングするバッテリ端子電圧と充電又は放電終了後の経過時間との関係を示す近似式を算出することができる近似式算出装置及びその方法、並びに、前記近似式算出装置を有するバッテリ状態監視装置を提供する。 - 特許庁

The method further includes measuring (104) the time-varying eddy current, fitting (106) the time-varying measured eddy current to a parameterized polynomial, and interpreting (108) the parameterized polynomial to determine one or more measurement/object properties of the metal object.例文帳に追加

方法は、時間変動渦電流を測定すること（１０４）と、時間変動測定渦電流をパラメータ化多項式に当てはめること（１０６）と、金属被検体の１つ以上の測定／被検体特性を判定するためにパラメータ化多項式を解釈すること（１０８）とを更に含む。 - 特許庁

The method includes: a step of producing a substrate; a step of fitting a plurality of light-emitting diode (LED) dice on a base of the substrate in a cavity; and a step of disposing at least one lens between the walls that define the cavity and also arranging the at least one lens such that the overall lens is placed within an aperture of an elongate cavity.例文帳に追加

この方法は、基板を作製するステップと、複数の発光ダイオード（LED）ダイスをキャビティ内の基板の基部に取り付けるステップと、少なくとも１つのレンズをキャビティ画定壁の間に配置し、かつ、そのレンズ全体が細長いキャビティの開口内に配置されるようにするステップとを含む。 - 特許庁

To provide an aseismatic reinforcing method and an aseismatic reinforcing structure that can reduce horizontal force in an earthquake by fitting an abutment and each bridge pier in a tensioned state by a connecting member without reinforcing the bridge pier into a load bearing structure.例文帳に追加

本発明は、橋脚を耐力構造に補強せずに、橋台と各橋脚を連結材によって張着することで、地震時における水平力を軽減することができる耐震補強工法および耐震補強構造を提供することを目的とするものである。 - 特許庁

To provide a column-beam structural body constructed of a column and a steel beam, its construction method, and a connection metal fitting connecting a column and a beam together for maximally simplifying structure of a connection part for very efficiently constructing both of a ground structure and an underground structure.例文帳に追加

仕口部の構造を可能な限り簡素化して地上構造物および地下構造物のいずれをもきわめて効率的に施工できるようにした柱と鉄骨ばりとからなる柱・梁構造躯体、その構築工法および柱と梁を接合する接合金物を提供する。 - 特許庁

To provide a blasting material for polishing metal parts, and a method of polishing metal parts allowing surface polishing of parts having a narrow part or a fitting part and improving quality by eliminating an oxide film on a surface without degrading surface roughness.例文帳に追加

狭隘部や嵌合部を有する部品の表面研磨を可能にし、また、表面粗さを悪化させることなく、表面の酸化皮膜を除去することにより品質を向上させることが可能な金属部品研磨用投射材および金属部品の研磨方法を提供する。 - 特許庁

To provide a veneer for an exterior wall, which makes a cavity with a heat insulating structure, preeminent in the prevention of warm air and cool air, the prevention of dew condensation, excellent weatherability, heat insulation, etc., formed in the exterior wall of a wooden house, and which can be easily assembled by fitting using a tenon jointing method.例文帳に追加

木造住宅における外壁に、暖冷気の防止、結露の防止、優れた耐候性、断熱等が抜群である断熱構造を持つ空洞を形成すると共に、ほぞ継ぎ工法による嵌合わせにより組立てが容易な外壁単板を提供するものである。 - 特許庁

To make an erroneous determination hardly occur by setting a threshold value of eliminating influence of fitting-in, in an operation state inspection method of a rolling support device for determining that the rolling support device is abnormal when vibration strength detected by a vibration sensor exceeds the threshold value.例文帳に追加

振動センサにより検出された振動強度が閾値を超えたときに転がり支持装置が異常であると判定する転がり支持装置の作動状態検査方法において、なじみによる影響が排除された閾値の設定を行うことにより、誤判定が生じにくくする - 特許庁

To provide an image input device in which an asymmetrical off-axis error due to an inclination of an image plane caused when a photography optical system is assembled and a fitting inclination of an imaging element, is corrected, and to provide an optical adjustment method in which the correction is simply carried out with high accuracy.例文帳に追加

撮影光学系を組み立てる際に生じる像面の傾きと撮像素子の取り付け傾きとに起因する非対称な軸外の誤差が補正された画像入力装置と、その補正を高い精度で簡単に行うことができる光学調整方法を提供する。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of a laminated rubber supporting body in which a lead column can be used in place of a plug pin, thereby the plug pin and its insertion and extraction processes can be omitted and work time for press-fitting of the lead can be shortened and also the lead columns can be placed tightly into the open holes.例文帳に追加

プラグピンの代わりに鉛支柱を用いることができ、而して、プラグピンとその挿抜工程とを省き得て、しかも、鉛の圧入作業時間を短縮できると共に、隙間なしに鉛支柱を貫通孔に配置することができる積層ゴム支承体の製造方法を提供すること。 - 特許庁

In a method for obtaining the lost foam pattern assembling a plurality of separated constituting elements, respective constituting elements are combined by fitting solid matters possible to lose with molten metal into recessed parts arranged at the positions corresponding to the respective constituting elements for combining.例文帳に追加

複数の分離した各構成要素を組み立てて消失模型を得る方法であって、結合する各構成要素の対応する位置に設けられた凹部に溶湯によって消失可能な固形物を嵌入して各構成要素どうしを結合することを特徴とするものである。 - 特許庁

To enable to automatically assemble without choking an exhaust hole of an exhaust tube by accurately fitting the exhaust tube and a flare, in a stem mount assembling method and an assembly device including the flare, the exhaust tube, a connection lead of a coil or the like fitted to an end part of a glass tube bulb of a fluorescent lamp.例文帳に追加

蛍光ランプのガラス管バルブの端部に取り付けられるフレアおよび排気管ならびにコイルの接続リ−ドなど含むステムマウント組立方法およびその組立装置において、排気管とフレアを正確に取付け排気管の排気孔を塞ぐことなく自動的に組立できるようにする。 - 特許庁

To provide a block for a retaining wall, firmly fitting blocks to each other like one body without requiring freshly mixed concrete and filler by using one kind of block only, a construction method for a retaining wall using the block for a retaining wall, and a retaining wall using the block for a retaining wall.例文帳に追加

１種類のブロックのみの使用で、生コンクリートや充填材を必要とすることなく、ブロック同士が一体状に強固に嵌合することのできる擁壁用ブロックと、擁壁用ブロックを用いた擁壁の構築方法、及び擁壁用ブロックを用いた擁壁の提供を目的とする。 - 特許庁

This evaluation method includes a step for acquiring data of dependency to ion dose having the intensity of gamma rays generated by a hydrogen resonance nuclear reaction, relative to a sample comprising a plurality of membranes laminated mutually, and a step for fitting the data by a function expression of the ion dose.例文帳に追加

実施形態に係る評価方法は、互いに積層された複数の膜からなる試料について、水素共鳴核反応で発生するガンマ線の強度のイオンドーズに対する依存性のデータを取得するステップと、上記イオンドーズの関数式で上記データをフィッティングするステップと、を含む。 - 特許庁

To provide a frame body with optical filter, which enables an optical filter to be fitted to the fitting frame body with high precision obliquely at such a tilt angle that a desired transmission characteristic is obtained and improves the productivity when a mounted optical device is produced in-line, and its manufacturing method.例文帳に追加

光学フィルタを所望の透過特性を示すような傾斜角で傾斜させて取付枠体に高精度に取付可能とし、しかも搭載される光学装置をインラインで生産する上でその生産性を向上させ得る光学フィルタ付き枠体及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a bearing manufacturing method capable of suppressing occurrence of heating irregularities on a raceway surface of a rolling element when performing the induction hardening of the raceway surface of the rolling element formed on the inner circumferential surface of an outer race having a plurality of fitting flanges on an outer circumferential surface on the same circumference.例文帳に追加

外周面に複数の取付フランジを同一円周上に有する外輪の内周面に形成された転動体軌道面を高周波焼入れする際に、転動体軌道面に加熱ムラが発生することを抑制することのできる軸受の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for fixing a label of hand-knitted sling rope, with which a label is not simply removed from the hand-knitted sling rope by inserting and fitting the narrow tip side of the label to the main line inside of a wire rope in the middle of manufacturing the hand-knitted sling rope using the wire rope.例文帳に追加

ワイヤロープを用いて手編み玉掛索を製作する途中で、ラベルの幅狭な先端側をワイヤロープの本線内部に差し込んで取り付けることにより、手編み玉掛索からラベルが簡単に外れることがないようにした手編み玉掛索のラベル取り付け法を提供することにある。 - 特許庁

In the method for fitting the belt sleeve to the mold wherein an unvulcanized belt sleeve (v) having the inner mother mold 1 with the drum is inserted into a cylindrical outer mother mold 2 for vulcanization, the outer mother mold 2 is in advance expanded in a diameter by heating, and the unvulcanized belt sleeve (v) is inserted into the outer mother mold 2 of which the diameter is expanded.例文帳に追加

ドラム付き内母型１を有した未加硫ベルトスリーブｖを、加硫処理すべく円筒状の外母型２内に挿入するベルトスリーブ着型方法において、予め外母型２を加熱して拡径させておき、その拡径された外母型２に未加硫ベルトスリーブｖを挿入するようにする。 - 特許庁

To provide a good connection even if there is a little slippage in mounting of a semiconductor device on a wiring board, and to prevent the circuit surface of the semiconductor device from being short-circuited with a wiring pattern when mounted by a resin press-fitting connection method.例文帳に追加

半導体素子の配線基板上への搭載ずれが多少あっても良好に接続できるようにすると共に樹脂圧着接続方法により実装したときにも半導体素子の回路面が配線パターンによりショートすることがないようにすることを目的とする。 - 特許庁

To provide a universal joint and its assembling method capable of firmly fitting and installing a cover member to a shaft part of a joint cross member, and capable of using the cover member large in a dimension in the axial direction without becoming a hindrance to assembling of the universal joint.例文帳に追加

十字軸部材の軸部に対してカバー部材を強固に嵌合させて取り付けることができ、しかも、十字軸継手の組立の妨げとなることなく軸方向寸法の大きなカバー部材を使用可能にした十字軸継手及びその組立方法を提供する。 - 特許庁

This method of fitting the scattering prevention net for the steel tower, which covers the steel tower to prevent scattering of paints/chaplets to the outside, is characterized in that connecting ropes extended from all sides of the scattering prevention net to the outside are directly tied to the steel tower member.例文帳に追加

本発明は、鉄塔の塗装工事施工時に、該鉄塔を覆って外部への塗料・ケレンカス等の飛散を防止するための鉄塔用飛散防護ネットの取付工法であって、飛散防護ネットの四方から外部に延出させた連結ロープを、鉄塔部材に直接固縛することを特徴とする。 - 特許庁

To provide a lining piece, lining piece joint structure and a lining piece jointing method for positively fitting a male joint and a female joint regardless of accuracy in the manufacture of the lining piece and a work execution error at a construction site and heightening work execution efficiency while maintaining sufficient joint strength.例文帳に追加

覆工ピースの製作精度や現場での施工誤差に拘わりなく、雄継手及び雌継手を確実に嵌合可能にして、十分な継手強度を維持しつつ、施工能率を高めることのできる覆工ピース、覆工ピースの継手構造及び覆工ピースの接合方法を提供する。 - 特許庁

A spike part allowed to bite into the inside of the antenna layer by the depression of bumps 201, 202 is formed on the IC chip and the IC chip fitting method allows the IC chip to bite into the antenna layer, running through the protection layer 14.例文帳に追加

本発明のＩＣチップは、バンプ２０１，２０２に押圧によりアンテナ層内に食い込むスパイク部分が形成されていることを特徴とし、本発明のＩＣチップ装着方法は、このようなＩＣチップを保護膜１４を貫通してアンテナ層に食い込ませることを特徴とする。 - 特許庁

As for a plurality of equivalent circuit models having mutually different structures, a step of evaluating appropriateness for application of the equivalent circuit model and a step of modelling the fuel cell by fitting a circuit constant of the appropriate equivalent circuit model obtained by the step of evaluating its appropriateness are provided in the characteristic evaluation method.例文帳に追加

互いに構成の異なる複数の等価回路モデルについて、その適用の妥当性を評価するステップと、妥当性を評価するステップにより得られた妥当な等価回路モデルの回路定数をフィッティングすることで燃料電池をモデル化するステップとを備える。 - 特許庁

The method also includes a step S4 of setting the fitting condition of the tire wished by the customer, a simulating step S5 of acquiring the evaluation parameter by performing simulation on the tire by using at least the surface condition of the road and fitting condition of the tire, and an information providing step S6 of providing the evaluation parameter to the customer.例文帳に追加

情報を提供するタイヤを設定するステップＳ１、前記タイヤを走行させる路面条件を設定するステップＳ２、前記タイヤを装着する装着条件を設定するステップＳ３、顧客が希望するタイヤの評価パラメータを設定するステップＳ４、少なくとも前記路面条件と装着条件とを用いて前記タイヤのシミュレーションを行い前記評価パラメータを取得するシミュレーションステップＳ５、及び前記評価パラメータを顧客に提供する情報提供ステップＳ６を含む。 - 特許庁

The method for producing the processed food comprises mixing part or the whole of the liquid material with the vegetable protein, admixing the emulsion curdy flavor composition and the remaining production raw material with the mixture, and forming the mixture into a shape object fitting to the shape of processed food followed by producing with a conventional method.例文帳に追加

エマルジョンカード状フレーバー組成物、植物性タンパク質、液体材料、固体材料からなる製造原料を用い、しかも液体材料の一部あるいは全てと植物性タンパク質とを混合し、次いで、該混合物にエマルジョンカード状フレーバー組成物と残りの製造原料を加え混合し、加工食品の形状に即した形状物に成形し、常法を用いて加工食品を製造する。 - 特許庁

To provide a thin steel pipe thickness measurement method reliably determining a time interval Δt of an echo and performing substantially continuous thickness measurement over the entire length in the longitudinal direction of the tube, in place of a conventional method determining the time interval of an echo by echo fitting processing.例文帳に追加

光学干渉計（２ａ）で検出したエコーの周波数解析を行い、波数解析によって得られるスペクトル分布から、高周波のノイズ成分を除去したのち、最もエコーの振幅強度が大きいピーク周波数を抽出し、該ピーク周波数からエコーの時間間隔を決定し、下記式に基づき肉厚を計算することを特徴とする薄肉鋼管の肉厚測定方法。 - 特許庁

To provide a lithographic printing plate which can be made easily without needing development, can be made by fitting it directly to a press, is excellent in printing resistance, reduces printing fouling on a printing surface, especially can be made by a scanning type image exposure method by laser beams, and is excellent in discriminating an image part and non-image part and a method for making the printing plate.例文帳に追加

現像処理を必要としないで、簡易に製版でき、直接に印刷機に装着して製版することが可能な、しかも耐刷性にすぐれ、印刷面上の印刷汚れが少なく、とくにレーザー光による走査型の画像露光方式によって容易に製版でき、画像部と非画像部との識別性に優れた平版印刷版及びその作製方法を提供すること。 - 特許庁

Either or both algorithms are used, in a method for determining incident polarization by fitting mathematically a pattern shape or matching with a database or in a method for determining incident polarization from a frequency component acquired by performing Fourier transform of the pattern shape, as an analysis procedure of a two-dimensional intensity distribution pattern observed by a light-receiving element array.例文帳に追加

受光素子アレイによって観測される２次元強度分布パターンの解析手法として、パターン形状を数学的にフィッティングするか、またはデータベースとのマッチングを行うことにより入射偏波を求める方法、もしくはパターン形状をフーリエ変換し、その周波数成分から入射偏波を求める方法の、どちら一方または両方のアルゴリズムを用いる。 - 特許庁

To provide a manufacturing method for a lithographic printing plate material by which process contamination caused by dusting in cutting the printing plate material to a specified size at production, printer contamination in fitting the printing plate material to a printer and contamination in handing the printing plate material by an operator, all are remarkably reduced, and to provide a printing method for greatly enhancing the positional accuracy in printing.例文帳に追加

印刷版材料の生産時に所定のサイズに断裁する際の粉落ちによる工程汚染、印刷版材料に印刷機に取り付ける際の印刷機汚染、作業者の印刷版材料取り扱い時の汚れを著しく軽減する印刷版材料の製造方法、及び印刷時の位置精度を大幅に高めるための印刷方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method to assure engagement by simultaneously press-fitting a certain number of fins without bending a base on a heat sink forming protrusions/recesses for engagement and assembled by press-fitting the fins to release heat from the base to absorb heat from a semiconductor and from the base forming protrusions/recesses, in the corresponding protrusions/recesses.例文帳に追加

勘合用の凹凸状部を形成した、半導体から熱を吸収するベースと凹凸状部を形成したベースからの熱を放熱するフィンを対応する凹凸状部に圧入することにより組み立てられるヒートシンクにおいて、圧入勘合時に生じる、ひずみを吸収する第二の凹状部を設けることにより、ベースと前記フィンの勘合時に生じる、ベースの曲がりを防止することにより、ベースに曲がりがなく、かつ数本のフィンを同時に圧入することによる勘合を確かなものにする方法の提供。 - 特許庁

To provide a device for regulating lubricating oil flowing out to a turbine rotor side of a turbocharger capable of reducing the diameter of a housing fitting through part through which a turbine shaft fits into a housing, and of improving performances for regulating flowing out of lubricating oil tending to leaking out to a turbine rotor side, and a method for manufacturing the same.例文帳に追加

タービン軸がハウジング内に嵌通するハウジング嵌通部の径を小さくすることを可能とすると共に、タービンロータ側へ漏れ出そうとする潤滑油の流出規制性能を向上させ得るターボチャージャーのタービンロータ側への潤滑油流出規制装置、およびその製造方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a method of highly securing safety for the eyes, by selecting a contact lens fitting for a wearer and a care system therefor so that deterioration in wearing feeling or decrease in oxygen permeability, decrease of the lens life, decrease in eyesight, cornea disorder, and so forth can be avoided at quickly as possible.例文帳に追加

装用感の悪化や酸素透過性能の低下、レンズ寿命の低下、視力の低下、角膜障害等の問題の発生が可及的に回避され得るような、装用者に適合するコンタクトレンズとそのケアシステムを選定することで、眼に対する安全性を高度に確保する方法を、提供すること。 - 特許庁

To provide a fixing method for a marker and a wiring fitting capable of easily marking a straight line extending at least in either of vertical or horizontal directions on a wall surface inside a building, and fixing a wiring tool without tilting the wall surface inside the building by using the straight line.例文帳に追加

鉛直方向及び水平方向のうちの少なくとも一方向に延びる直線を建築物内の壁面に容易に罫書くことができ、その直線を使用して建築物内の壁面に配線器具を傾斜せずに取付可能とすることができる罫書具及び配線器具の固定方法を提供する。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of a traffic sign provided with a structure capable of not only stably fitting a flash signal lamp and a reflective mirror but also stably holding the flash signal lamp in the state that it is downward inserted in the traffic sign and turning the lamp on and off.例文帳に追加

上部に照明灯やフラッシュ合図灯或いはや反射鏡を安定して取付けることができることは勿論、フラッシュ合図灯を標識内に下向きに挿入した状態で安定に保持させて、内部において点灯，点滅させることのできる構造を具備した道路標識の製造方法を提供すること。 - 特許庁

In this method of manufacturing the stator, the temperature rise range of the ring 2 is detected using a predetermined relational expression, so that a gap size between the core 1 and the ring 2 is determined in consideration of the fitting workability, the temperature rise range of the ring 2 to satisfy the gap size can be quantitatively and efficiently set.例文帳に追加

このステータ製造方法では、所定の関係式を用いてリング２の昇温幅を決定することにより、コア１とリング２との隙間寸法を嵌め合わせ作業性を考慮して決定するとともに、その間隙寸法を実現するためのリング２の昇温幅を定量的に効率よく設定できるようになっている。 - 特許庁

In this method for repairing degraded concrete, the concrete surface of a specified section including a dangerous part is covered with a net body fitted by concrete nails through fitting plates in the case there is the danger of concrete flaking due to degradation in the concrete structure such as the tunnel.例文帳に追加

トンネルなどのコンクリート構造物において、劣化などによりコンクリートが剥落する危険のある場合に、当該危険のある個所を含む一定の区画のコンクリート表面を、コンクリート釘により取付プレートを介して取り付けた網体によって被覆することを特徴とする劣化コンクリートの補修工法である。 - 特許庁

For the manufacturing method of the automobile wheel, the cap fitting fixtures 4b and the cap fixing grooves 11 are formed through a compression working process and a cutoff working process so that a cutting process applied before becomes unnecessary, which enables rationalization of the manufacturing process and reduction of manufacturing cost.例文帳に追加

そして、この自動車用ホイールの製造方法として、圧縮加工工程と切断加工工程によりキャップ固定嵌部４ｂとキャップ固定溝１１とを形成するようにしたから、従来のような切削工程が不要となるため、製造工程が合理化でき、製造費用を低減することができ得る。 - 特許庁

The method of fitting the non-contaminated ceramic component for semiconductor manufacturing apparatus in which the ceramic component is fitted to the semiconductor manufacturing apparatus in a state that an amount of carbon detected in a depth of ≥5 nm from the surface by the measurement in the surface depth direction using the X-ray photoelectron spectroscopy is ≤5 mass%.例文帳に追加

Ｘ線光電子分光法で表面の深さ方向の測定をし、表面から５ｎｍ以深の深さで検出される炭素量が５ｍａｓｓ％以下である状態で半導体製造装置に装着することを特徴とする半導体製造装置用非汚染性セラミックス部品の装着方法である。 - 特許庁